JP2021046273A - 物品搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
物品を搬送する物品搬送装置であって、
上下方向に沿う搬送経路に沿って設置された案内レールと、
前記案内レールに沿って昇降する昇降ユニットと、
前記昇降ユニットに支持されると共に、前記案内レールに対して水平方向に離間して配置された複数の保持部との間で物品を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置は、前記昇降ユニットに支持された上側移載部、及び、前記上側移載部の下側に配置され、前記上側移載部と同一の前記昇降ユニットに支持された下側移載部と、を備え、
前記上側移載部は、物品を支持する上側支持部と、前記上側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記保持部側に突出させた突出位置との間で出退させる上側出退駆動部と、を備え、
前記下側移載部は、物品を支持する下側支持部と、前記下側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記保持部側に突出させた突出位置との間で出退させる下側出退駆動部と、を備え、
前記上側出退駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側出退駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置されている。
次に、物品搬送装置のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送装置について説明する。
上下方向に沿う搬送経路に沿って設置された案内レールと、
前記案内レールに沿って昇降する昇降ユニットと、
前記昇降ユニットに支持されると共に、前記案内レールに対して水平方向に離間して配置された複数の保持部との間で物品を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置は、前記昇降ユニットに支持された上側移載部、及び、前記上側移載部の下側に配置され、前記上側移載部と同一の前記昇降ユニットに支持された下側移載部と、を備え、
前記上側移載部は、物品を支持する上側支持部と、前記上側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記保持部側に突出させた突出位置との間で出退させる上側出退駆動部と、を備え、
前記下側移載部は、物品を支持する下側支持部と、前記下側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記保持部側に突出させた突出位置との間で出退させる下側出退駆動部と、を備え、
前記上側出退駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側出退駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置されている。
複数の前記保持部が、前記移載装置に対して前記上下方向に沿う軸心周りの複数方向に分かれて配置され、
前記上側移載部は、前記上側支持部を前記上下方向に沿う軸心周りに旋回させる上側旋回駆動部を備え、
前記下側移載部は、前記下側支持部を前記上下方向に沿う軸心周りに旋回させる下側旋回駆動部を備え、
前記上側旋回駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側旋回駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置されていると好適である。
前記上側旋回駆動部が前記昇降ユニットに支持され、前記上側出退駆動部が前記上側旋回駆動部に支持され、前記上側支持部が前記上側出退駆動部に支持されており、
前記下側旋回駆動部が前記昇降ユニットに支持され、前記下側出退駆動部が前記下側旋回駆動部に支持され、前記下側支持部が前記下側出退駆動部に支持されていると好適である。
前記上側支持部および前記下側支持部の双方が、物品を下方から支持するように構成されていると好適である。
10 :案内レール
20 :昇降ユニット
30 :移載装置
31 :上側移載部
31A :上側出退駆動部
31B :上側旋回駆動部
31S :上側支持部
32 :下側移載部
32A :下側出退駆動部
32B :下側旋回駆動部
32S :下側支持部
90 :保持部
P1 :基準位置
P2 :突出位置
V :上下方向
R :搬送経路
W :物品
Claims (4)
- 物品を搬送する物品搬送装置であって、
上下方向に沿う搬送経路に沿って設置された案内レールと、
前記案内レールに沿って昇降する昇降ユニットと、
前記昇降ユニットに支持されると共に、前記案内レールに対して水平方向に離間して配置された複数の保持部との間で物品を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置は、前記昇降ユニットに支持された上側移載部、及び、前記上側移載部の下側に配置され、前記上側移載部と同一の前記昇降ユニットに支持された下側移載部と、を備え、
前記上側移載部は、物品を支持する上側支持部と、前記上側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記保持部側に突出させた突出位置との間で出退させる上側出退駆動部と、を備え、
前記下側移載部は、物品を支持する下側支持部と、前記下側支持部を基準位置と前記基準位置よりも前記保持部側に突出させた突出位置との間で出退させる下側出退駆動部と、を備え、
前記上側出退駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側出退駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置されている、物品搬送装置。 - 複数の前記保持部が、前記移載装置に対して前記上下方向に沿う軸心周りの複数方向に分かれて配置され、
前記上側移載部は、前記上側支持部を前記上下方向に沿う軸心周りに旋回させる上側旋回駆動部を備え、
前記下側移載部は、前記下側支持部を前記上下方向に沿う軸心周りに旋回させる下側旋回駆動部を備え、
前記上側旋回駆動部が前記上側支持部よりも上方に配置されると共に、前記下側旋回駆動部が前記下側支持部よりも下方に配置されている、請求項1に記載の物品搬送装置。 - 前記上側旋回駆動部が前記昇降ユニットに支持され、前記上側出退駆動部が前記上側旋回駆動部に支持され、前記上側支持部が前記上側出退駆動部に支持されており、
前記下側旋回駆動部が前記昇降ユニットに支持され、前記下側出退駆動部が前記下側旋回駆動部に支持され、前記下側支持部が前記下側出退駆動部に支持されている、請求項2に記載の物品搬送装置。 - 前記上側支持部および前記下側支持部の双方が、物品を下方から支持するように構成されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の物品搬送装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019168692A JP2021046273A (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 物品搬送装置 |
TW109127245A TW202112631A (zh) | 2019-09-17 | 2020-08-11 | 物品搬送裝置 |
KR1020200112846A KR20210032905A (ko) | 2019-09-17 | 2020-09-04 | 물품 반송 장치 |
CN202010979786.1A CN112520330A (zh) | 2019-09-17 | 2020-09-17 | 物品搬运装置 |
JP2023131823A JP2023153247A (ja) | 2019-09-17 | 2023-08-14 | 物品搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019168692A JP2021046273A (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 物品搬送装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023131823A Division JP2023153247A (ja) | 2019-09-17 | 2023-08-14 | 物品搬送設備 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021046273A true JP2021046273A (ja) | 2021-03-25 |
Family
ID=74877665
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019168692A Pending JP2021046273A (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 物品搬送装置 |
JP2023131823A Pending JP2023153247A (ja) | 2019-09-17 | 2023-08-14 | 物品搬送設備 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023131823A Pending JP2023153247A (ja) | 2019-09-17 | 2023-08-14 | 物品搬送設備 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2021046273A (ja) |
KR (1) | KR20210032905A (ja) |
CN (1) | CN112520330A (ja) |
TW (1) | TW202112631A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI831530B (zh) * | 2022-12-20 | 2024-02-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 搬送裝置及基板處理裝置 |
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JP6435795B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-12-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
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JP6825604B2 (ja) * | 2018-04-27 | 2021-02-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置及び物品搬送設備 |
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-
2019
- 2019-09-17 JP JP2019168692A patent/JP2021046273A/ja active Pending
-
2020
- 2020-08-11 TW TW109127245A patent/TW202112631A/zh unknown
- 2020-09-04 KR KR1020200112846A patent/KR20210032905A/ko active Search and Examination
- 2020-09-17 CN CN202010979786.1A patent/CN112520330A/zh active Pending
-
2023
- 2023-08-14 JP JP2023131823A patent/JP2023153247A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210032905A (ko) | 2021-03-25 |
TW202112631A (zh) | 2021-04-01 |
CN112520330A (zh) | 2021-03-19 |
JP2023153247A (ja) | 2023-10-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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