JPH0487785A

JPH0487785A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH0487785A
Application number: JP20170390A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Kojima; 健一小島
Original assignee: PLASMA SYST KK
Current assignee: PLASMA SYST KK
Priority date: 1990-07-30
Filing date: 1990-07-30
Publication date: 1992-03-19
Anticipated expiration: 2013-12-02
Also published as: JP2831820B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、半導体基板等の基板に対してエツチング等の
処理を施す処理装置における基板の搬送装置に関する。

「従来の技術」周知のように、半導体製造技術においては、生産性を向
上させるため半導体基板の大型化が進行しており、シリ
ンコン単結晶技術の進歩に伴って５インチから８インチ
の大型径のものが出現している。また、液晶デイスプレ
ィも大型なものの需要が高まっており、大型の液晶基板
が増加しつつある。

そして、このように半導体基板や液晶基板（以下、基板
という。）が大型化すると、これら基板に対して例えば
プラズマアッシングやプラズマエツチング等の処理を施
す基板処理装置には、処理速度が均一でかつ高速である
ことが要求される。

このため、近年、この基板処理装置は、従来のバッチ式
のものに代わって、上記のような性能に優れる枚葉式の
ものが主流になってきている。

枚葉式基板処理装置とは、基板を一枚づつ処理する方式
の基板処理装置のことであり、通常、処理が行われるチ
ャンバと基板のロード・アンロード用カセットとを備え
るものである。

そして、この種のプラズマ処理装置は、処理室と両力セ
ットとの間で基板を一枚づつ受は渡すための搬送装置を
必要とするものであるが、従来、この搬送装置としては
、周回するベルトよりなりこのベルト上に基板を載せて
搬送する構造のものが一般的であった。

ところで、このベルトによる基板の搬送装置であると、
ベルトの運動によってベルトから多量にダストが発生し
、このダストが汚染を極度にきらう基板に付着し易いた
め、製品の品質が確保し難く、歩留まりが悪くなるとい
う問題があった。

また、基板はベルトの摩擦力（粘着力）によって搬送す
るため位置決めが不正確になり易く、しばしば基板破損
等の事故が発生するという問題点があった。

そこで、基板を載せるハンドが先端に設けられたアーム
部を有するマニピュレータ（いわゆるロボット）より構
成された搬送装置が、上記問題点を解消したものとして
使用されつつある。

「発明が解決しようとする課題」ところが、このロボットより構成された搬送装置は、従
来、ロボットを一台しか搭載しておらず、例えばチャン
バ内へ次の基板をセットするには、まず、チャンバ内の
処理済の基板を取り出しこれをアンロード用カセットに
収納した後、未処理の基板をロード用カセ・７トから取
り出してチャンバ内にセットするといったように、処理
済み基板と未処理の基板の搬送を順次行わなければなら
ない。

これ故、基板の搬送に要する時間が長く、処理装置のス
ルーブノトク単位時間当たりの基板処理枚数）が低下す
るという問題があった。

ところて、ロボットを２台並べて配設して搬送装置を構
成するということが考えられるが、この場合でもロボッ
ト相互の干渉のためにやはりスルーブツトを向上させる
ことはできず、それどころか基板処理装置が横方向に大
型になり高価なりリーンルーム内において占める面積が
増大するという問題が生じる。

例えば、第７図に示すように、それぞれ駆動部ｌａ、ｌ
ｂの上面に沿って動作しハンド２ａ１２ｂを回転させる
とともに進退させるアーム部３ａ。

３ｂを有するロボット４ａ、４ｂを並べて配置した場合
、ロボット４ａが符号Ａ１で示す方向にノ・ンド２ａを
旋回させてハンド２ａを前進させると、ロボット４ｂの
ハンド２ｂと干渉してしまう。同様なことが符号Ａ２で
示す方向でも発生するのであって、符号Ａで示す範囲は
２台のロボ・ノ）４ａ。

４ｂのハンド２ａ、　　２ｂを両方とも伸ばすことがで
きない死角となる。また、ロボｙ＋”４ｂ側から見た場
合も同様であり、符号Ｂで示す範囲（符号Ｂｌ、Ｂ２で
示す方向の間の範囲）も同様な死角となる。

このため、この死角となる範囲Ａ、Ｂにチャンバが配置
された場合は、２台のロボットを使って基板の出し入れ
を同時に行うことはできないので、１台の場合と同様基
板の搬送時間が長（なる。そして、全体をコンパクトに
するために各機器を高密度配置しなければならない処理
装置においては、このような大きな死角を有する搬送装
置であっては、実用上前記１台のロボットよりなる搬送
装置よりもスルーブツトを向上させることはほとんど期
待できない。

また、搬送時間を短縮できないばかりかロボ、。

トの配置スペースが横に長くなるので、特に置数の処理
室を備えるマルチチャンバ方式の処理装置では、各処理
室等を高密度に配置することができず、結果として処理
装置が大型化する。

本発明は上記従来の事情に鑑みなされたものであって、
設置スペースが小さくしかも基板処理装置における基板
の搬送が短時間で行える基板搬送装置を提供することを
目的としている。

「課題を解決するための手段」本発明の基板搬送装置は、駆動部と該駆動部の一側面に
沿って動作するアーム部とよりなるロボットを備え、前
記アーム部の先端に設けられたハンドに基板を載せて移
動させる基板搬送装置であって、前記一側面が相対向するようにして上下に前記ロボット
が配設されていることを特徴としている。

「作用」本発明の基板搬送装置であると、各ロボットのそれぞれ
のアーム部がどの方向に動作してもアーム部、ハンドあ
るいはハンドに載せた基板が互いに干渉することはなく
、しかも、上下のロボットのハンドを互いに重ねるよう
にして同時に処理室へ挿入することができる。

このため、搬送装置に対してどの方向に処理室あるいは
カセットが配置されていても、上下のロボットを使って
基板の出し入れを略同時に行い、基板の搬送時間を格段
に短縮できる。

しかも、ロボットは上下に配設するので、設置スペース
は少なくとも従来と同様に小さく維持できる。

「実施例」以下、本発明の〜実施例を第１図〜第５図により説明す
る。

第１図は本発明の基板搬送装置を使用して構成されたプ
ラズマ処理装置であり、第２図は第１図における■−■
断面図である。

このプラズマ処理装置は、五角柱状の搬送チャンバ１０
と、この搬送チャンバ１０の各側面から張り出すように
設けられた処理チャンバｌｌａ、　ｌｌｂ。

ｌｉｅ、　ｌｉｄ及び搬入搬出用チャンバ１２とを備え
るもので、基板搬送装置１３は搬送チャンバ１０に設置
されている。

まず、基板搬送装置１３以外の部分について説明する。

各処理チャン／’　ｌｌａ、　ｌｌｂ、　ｌｉｅ、　ｌ
ｉｄ内の底部にはそれぞれステージ１４ａ、　１４ｂ、
　１４ｃ、　１４ｄが設けられ、このステージ１４ａ、
　１４ｂ、　１４ｃ、　１４ｄ上に載置された状態の基
板（半導体基板あるいは液晶基板等）に各種プラズマ処
理（プラズマエツチングあるいはプラズマアッシング等
）が施されるようになっている。

すなわち、第２図に示すように各処理チャンバの底部に
形成された排気通路１５を介して真空ポンプ（図示略）
によって内部を排気し所定処理圧力とした状態で、上部
に設けられた電極１６内から反応ガスを流しつつこの電
極１６に高層１１７４力を印加し前記反応ガスを電離さ
せることにより、ステージ上にプラズマを発生させて基
板表面において工、チング等の処理を行うことができる
ようになっている。

そして、搬入搬出チャンバ１２内に設けられたロート用
カセット１８及びアンロード用カセット１９を介してそ
れぞれ基板の搬入及び搬出が行われるようになっており
、各処理チャンバと各カセットとの間（あるいは各処理
チャンバ相互間）の基板の搬送は、搬送装置１３によっ
て搬送チャンバ１０内を経由して一枚づつ行われるよう
になっている。

例えば、ロード用カセット１８に装填された基板は搬送
チャンバ１ｏ内を経由して処理チャンバ内に入れられ、
処理が済むと再び搬送チャンバ１０を経由してアンロー
ド用カセットＩ９まで移動させられるようになっている
。

また、各ステージには基板を昇降させるプッシャー２０
が設けられており、このブツシャ−２０と搬送装置１１
３との後述する連携動作によって、搬送装置１３から各
ステージへの基板の移載が行われるようになっている。

これは、各カセット１８．１９においても同様であり、
各カセット１８゜１９にも基板を昇降させる機構が設け
られている。

なお、搬送チャンバＩＯと各処理チャンバとの間の連通
口には、それぞれここれら連通口を開閉させるゲートバ
ルブ２１が設けられ、処理時には処理チャンバ内が搬送
チャンバ１ｏ内から隔絶され密封されて処理チャンバ内
のみが処理圧力となるようにされている。

また、搬入搬出チャンバ１２の外部への開口部及び搬送
チャンバ１０への連通口にも、それぞれゲートバルブ２
２ａ、２２ｂが設けられて、搬送チャンバ１０内のベー
ス圧力が保持できるようになっている。

すなわち、この搬入搬出チャンバＩ２内も図示してイナ
イ排気系により排気できるようにされており、ゲートバ
ルブ２２ａのみを開けて外部との間で基板の搬入搬出が
行われた後に、搬送装置によるカセットからの搬送が行
われる際には、まず両方のゲートバルブ２２ａ、２２ｂ
を閉めた状態で内部の圧力をベース圧力まで下げてから
ゲートバルブ２２ｂのみを開けるようにすれば、ベース
圧力を保持できる。

つぎに、搬送装置１３について説明する。

搬送装置１３は、第１図、第２図に示すように、駆動部
３０とこの駆動部３０の一側面３０ａに沿って動作する
アーム部３１とを備えたロポ、ト３２．３３より構成さ
れるもので、これらロホ、ト３２．３３は前記一側面３
０ａを相対向させるように上下に配置されている。そし
て、各アーム部３１の旋回中心すなわち駆動部３０の軸
中心は搬送チャンバ１０の中心に一致させられ、アーム
部３１が搬送チャンバ１０内に位置し、駆動部３０が搬
送チャンバ１０から上下に張り出すように搬送チャンバ
１０に取り付けられて、各アーム部３１の先端に設けら
れたハンド３４に基板を載せて移動させるものである。

以下、この搬送装置１３（すなわち、ロポ、ト３２．３
３）の各部の構成を説明する。

まず、駆動部３０は、第３図に示すように、フランジ部
４０ａを有するケース４０と、このケース４０内のフラ
ンジ部４０ａの中心線上に配設された第２モータ４２と
、ケース４０内に第２モータ４２と並んで配設された第
１モータ４１と、フランジ部４０ａの中心線上に基端か
第２モータの上方に位置し先端かフランジ部４０ａから
突出した状態に配設された第１駆動軸４３と、基端が第
２モータ４２の出力軸に固定され先端が第１駆動軸４３
内を貫通して伸ひるように設ｊすられた第２駆動軸４４
と、第１駆動軸４３とフランジ部４０ａとの間に設けら
れた磁気シール４５とより主構成をなすものである。

そして、ケース４０内の第２モータ４２の上方位置には
、軸受４６ａによって回転自在に支持され第１駆動軸４
３の基端外周に固定されたプーリ４７が設けられ、この
プーリ４７と第１モータ４１の出力軸に固定されたプー
リ４８とに巻回された歯付きベルト４９を介して、第１
駆動軸４３は第１モータ４１によって駆動されるように
なっている。

ここて、ケース４０は、前述のようにその軸線（すなわ
ち、フランジ部４０ａの中心線）を搬送チャンバ１０の
中心線に一致させて搬送チャンバ１０の土壁あるいは下
壁に取り付けられており、第２図に示すように、フラン
ジ部４０ａに取り付けられた○リング３９により、この
フランジ部４０ａと搬送チャンバ１０との接合部がシー
ルされている。なお、このフランジ部４０ａの接合面か
前記一側面３０ａである。

モータ４１，４２は、例えばパルスモータであって、教
示された動作プログラムに基づき、図示していないパル
スエンコーダ（回転位置検出器）やコントローラによっ
てサーボ制御されるようになっている。

第１駆動軸４３は、軸受４６ｂによってケースに支持さ
れ、その先端外周には後述する第１アーム５０のボス部
５０ａが嵌合固定させられている。

第２駆動軸４４は、軸受４６ｃによってその先端部が第
１駆動軸４３の内面に対して回転自在に支持されており
、その先端面には後述するプーリ５６の平爪５９が嵌合
する穴が形成され、この嵌合によって第２駆動軸４４は
後述するプーリ５６の軸部５６ａに連結されている。

また、磁気／−ル４５は、磁性流体を使用して良好な密
封性能と摺動抵抗特性とを有する軸封部品である。

つぎに、アーム部３１は、前記第１駆動軸４３の先端に
固定されて前記一側面３０ａに沿って伸びる箱状の第１
アーム５０と、この第１アーム５０の先端部上面に回転
自在に連結されて第１アーム５０と同方向に伸びる箱状
の第２アーム５１とを備えるものである。

第１アーム５０にはその基端部下面に位置してボス部５
０ａが形成されており、このホス部５０ａが第１駆動軸
４３の先端部外周に嵌合固定させられることによって、
第１アーム５０は第１駆動軸に固定されて第１駆動軸の
回転によって前記一側面３０ａに沿って回転するように
なっている。

また、第２アーム５１にもその基端部下面から伸ヒルホ
ス１５１　ａが形成されており、このボス部５１ａが第
１アーム５０の先端部内に伸びてこの先端部底面に立設
固定された軸５２の外周に軸受５３．ｓ４を介して取り
付けられることによって、第２アーム５１は第１アーム
５０に連結されてやはり前記一側面３０Ｈに沿って回転
できるようになっている。

前記ボス部５１ａの外周には歯付きベルト用のプーリ５
５が形成されており、このプーリ５５と第１アーム５０
の基端部内に配設されたプーリ５６とには歯付きベルト
５７が巻回されている。

ここで、プーリ５６は、前記ボス部５０ａと同軸上に配
置されたもので、その軸部５６ａがボス部り０ａ内に軸
受け５８を介して取り付けられることにより、第１アー
ム５０に回転自在に取り付けられている。また、このプ
ーリ５６の軸部５６ａの先端には平爪５９が形成され、
前述したようにこの平爪５９が第２駆動軸４４の先端に
嵌合することによって、このプーリ５６は第２駆動軸４
４に連結され駆動されるようになっている。また、プー
リ５６の歯数はプーリ５５の歯数に対して２倍になって
いる。

また、第２アーム５１内まで伸びる前記軸５２の先端に
は歯付きベルト用のプーリ６０が固定ており、このプー
リ６０と第２アーム５１の先端内部に配設されたプーリ
６１とには歯付きベルト６２か巻回されている。

ここで、プーリ６１は、第２アーム５１の底面に軸受け
６３を介して取り付けられたもので、その回転軸は前記
軸５２と平行である。また、プーリ６１の歯数はプーリ
６０の歯数に対して２倍になっている。

そして、前記プーリ６１の上面には軸部６１ａが形成さ
れ、その先端は第２アーム５１の上方外部にわずかに突
出するようになっている。

なお、第３図において符号６４．６５で示すものは、磁
気シール４５と同様の部品であり、それぞれ、ボス部５
１ａの第１アーム５０内への挿入部、あるいは、前記軸
部６１Ｈの第２アーム５１からの突出部の隙間を密封し
ている。

つぎに、ハンド３４は、第４図に示すように、先端に基
板載置部（この場合半導体ウェハ用）７０が形成された
もので、その基端が前記軸部６１ａの上面に固定される
ことによって、やはり前記一側面３０ａに沿って回転す
るようになっている。

このハンド３４の基板載置部７０は、周囲にガイド７１
ａ、７１ｂ、７１ｃが形成されたコ字状の載置面７０ａ
を有するものであり、これらガイド部間に基板が載せら
れると、基板はその中央部下面がこのハンド３４の裏側
に望んだ状態で支持されるようになっている。

なお、このハンド３４は、上側のロボット３２において
は前記載置面７０ａが駆動部３０側に向くような向きで
取り付けられ、また下側のロボット３３においては前記
載置面７０ａが駆動部３０と反対側に向くような同きで
取り付けられており、どちらも載置面７０ａが上方に向
（ようになっている。

また、これらロボット３２．３３において、各アーム５
０．５１とハンド３４の連結部の距離り、。

Ｌ！は等距離とされており、また、少なくともこれら各
アーム５０．５１とハンド３４を一直線上に伸ばせば、
ハンド３４の載置部７０が各処理チャンバ内のステージ
あるいは搬入搬出用チャンバＩ２内のカセット１８．１
９に十分届くように前記路ｊｆ！　Ｌ　＋、Ｌ　ｚ及び
ハンド３４の長さが設定されている。

またなお、第２図に示すように、上下のロボノ）３２．
３３の配置距離Ｈは、二つのハンド３４３４の高さ方向
の距離りが十分小さくなり、各ハンドを各チャンバ内に
同時に挿入することができるとともに、どちらのハンド
３４．３４も各チャンバにおける昇降機構（例えばブツ
シャ−２０）の可動範囲に位置できるように設定されて
いる。

つぎに、以上のように構成された基板処理装置における
搬送装置１３の動作を説明する。

まず、ロボット３２あるいは３３において、第１モータ
４１（すなわち第１駆動軸４３）のみを作動させると、
第１アーム５０と第２アーム５１とはパンタグラフのよ
うに伸縮して、ハンド３４が第１図において符号Ｘで示
すように水平に進退する。

すなわち、例えば、第１図の方向（上方）がら見て第１
駆動軸４３が時計方向に３０度回転すると、これにとも
なって第１アーム５０も同方向に３０度回転するわけで
あるが、この時プーリ５６は固定状態にあるためプーリ
５５は第１アーム５０に対して相対的に反対方向く第１
図において反時計方向）に回転する。しかも、歯数の違
いによってプーリ５５すなわち第２アーム５Ｉは第１ア
ーム５０に対して６０度回転するので、結果的に第１図
において第１アーム５０基端の連結中心Ａ（第１駆動軸
４３の回転中心）とハンド３４基端の連結中心Ｂ（プー
リ６１の回転中心）とを結ぶ線分の方向は変化せずその
長さだけが増加オる。

また、同様に、この時ハンド３４はプーリ６０６１の作
用によって第２アーム５０に対して第１図において反時
計方向に３０度回転するので、ハンド５０の方向も変化
せず常に前記線分の方向に向いていることになり、ハン
ド３４は前記中心Ａ。

Ｂを結ぶ一直線上をその先端方向（載置部７０の開いて
いる方向）に前進することになる。

また、第１モータ４１及び第２モータ４２を同時に作動
させ、第１駆動軸４３と第２駆動軸４４とを同方向に回
転させれば、各アーム５０．５１及びハンド３４は、互
いの相対位置を変えないで第１駆動軸４３を中心として
前記一側面３０ａに沿って回転する。

つまり、以上の説明から明らかなように、ロボ、ト３２
，３３のそれぞれのハンド３４は、モータ４１，４２の
動作によって前記一側面３０ａ（すなわち、水平面）に
沿って旋回及び進退させて二次元的に動かすことができ
、予め動作プログラムを作成しておけば、この動作プロ
グラムのンーケンスに従ってハンド３４は各チャンバ内
のあらゆる位置に任意の方向に向けて順次移動させるこ
とができる。

そして・本実施例の搬送装置Ｉ３は、上記のようなロボ
ット３２．３３が上下に相対向させて配設されているた
め、従来よりも格段に短い時間で各チャンバ間の基板の
搬送が行える。

すなわち、各ロボノ１−３２．３３をそれぞれどのよう
に動かしても、各アーム５０，５１．ハンド３４あるい
はハンド３４に載せた基板が互いに干渉することはなく
、しかも、上下のロボットのハンド３４．３４を互いに
重ねるようにして同時に各処理室へ挿入できるので、基
板の処理室内への出し入れを同時に行って基板の搬送時
間を格段に短縮できる。

以下、この作用・効果を実例を挙げて説明する。

今、例えば処理チャンバｌｌａ内において処理が終了し
次の基板の処理を開始しようとする場合には、下記ステ
ップＳＯ〜ステップＳ３の動作により短時間で搬！作業
を行うことができる。

［ステップＳｏ］予め（前の処理が行われている時に）次に処理しようと
する基板に０を、例えば上側のロボット３２によってロ
ード用カセット１８から取り出し、そのハンド３４に載
置しておく。また、各ロポッ）３２．３３のアーム部３
１は待機姿勢にしておく。なお、このステップは準備動
作であり、基板の移載に要する時間に比べ処理時間は十
分に長いので余裕をもって行うことができる。

ここで、待機姿勢とは、第１図において符号Ｒて示すよ
うに、ハンド３４を駆動部３ｏ側にｖｉ退させた状態で
あり、各アーム５０．５１とハンド３４によって三角形
が作られるような姿勢のことで、このような姿勢を基準
に常にロボットを動かせば干渉等を確実に防止でき安全
である。（以下、ロボットがこの待機姿勢にある時のハ
ンドの位置を待機位置という。）［ステップＳｌ］第２図に示すように、処理チャンバ１４ａのプッシャー
２０を符号Ｐ、で示す高さまで上昇させて、処理済みの
基板に、を下側のハンド３４の載置面７０ａよりも若干
上方の位置まで持ち上げる・そして上下のロボット３２
．３３を同時に勤がして、それぞれのハンド３４，３４
ｔ−処！チャンバ１１ａ内に挿入し載置部７ｏをステー
ジ１４ａの上方に位置させる。

コｃｖ　時、ハフ　Ｆ　３４　ノ載Ｋ　Ｒ７０は前述の
ようにフ字状になっているので、下側のハンド３４の載
置部７０はブツシャ−２０との干渉をさけるようにして
基板に１の下側に挿入される。

［ステップＳ２］ブ、ンヤー２０を第２図において符号Ｐ１で示す最下位
置まで下降させることにより、基板Ｋを下側のノ・ンド
３４の載置部７０上に載せる。そして下側のロボット３
３を動作させノ・ント３４を後退させて待機位置に戻す
。

［ステップＳ３］ブノンヤ−２０を第２図において符号Ｐ、で示す位置ま
で上昇させて、基板Ｋ。を持ち上げ上側のハンド３４か
ら浮き上がらせる。そして、上側のロボット３２を動作
させてこのノ＼ンド３４を後退させ待機位置に戻すとと
もに、プ・ノシャー２０を最下位置Ｐ、まで下降させて
基板に０をステージ１４ａ上にセットする。

すなわち、これらたった三つのステップ８１〜Ｓ３の動
作により処理チャンＲ１１ａにおける基板の出し入れが
終了し、あとはゲートバルブ２１を閉じれば、次の基板
に０を処理するためのプロセスを開始することができる
。

一方、従来の搬送装置であると（ロボットを２台並べる
構成であっても）、同様の作業を１台のロボットで行わ
なければならないので、第６図に示すように、前記各ス
テップ８１〜Ｓ３と同距離のハンドの移動を伴う８ステ
、プを実行しなければ次の処理を開始することはできな
い。

したがって、プッシャー２０等の動作に要する時間は同
様であるので、この場合本実施例の搬送装置１３によれ
ば搬送時間が半分以下に低減される。

なお、第６図に示す従来のロボット（すなわち、ハンド
）の動作のなかで、ステップ１〜３は処理チャンバ内の
処理済みの基板を取り出してアンロード用カセットに入
れるための動作であり、ステ７プ５〜７はロード用カセ
・７トから未処理の基板を取り出して処理チャンバ内に
セットするための動作であり、またステップ８はゲート
バルブを閉めるために当然必要な動作である。

またなお、本実施例の上記３ステツプ５１〜Ｓ３が実行
されても、未だ下側のハンド３４に処理済みの基板に、
が載置された状態であるが、基板に１をアンロード用カ
セット１９に入れる動作は次の処理中に十分余裕をもっ
て実行できるのであり、基板の出し入れのための搬送時
間には全く影響がない。

以上の説明から明らかなように、本実施例の基板搬送装
置１３によれば、基板処理装置における基板の搬送時間
は従来よりも大幅に低減され、基板処理装置のスルーブ
ツトを格段に向上できるという効果を奏し、しかも、ロ
ボットは上下に配設するので横方向の大きさは少なくと
も従来と同じであり、基板処理装置のクリーンルーム内
に占める面積は従来よりも太き（ならないという効果が
ある。

なお、上記実施例においては、一つの処理チャンバのみ
を使用する場合について具体的な搬送装置の動作を説明
したが、上記の基板処理装置は上述のように多数の処理
チャンバを有するものであるので、一つの基板に施すべ
き多種の処理を順次行うことができる。そして、この場
合基板は各処理チャンバ間を搬送させる必要があるが、
この搬送も上下２台のロボットを使用して従来よりも大
幅に短時間で行うことができるのは同様である。

また、上下２台のロボットは同軸上に配置するようにし
ているが、これはティーチング（動作プログラムの教示
）作業の容易性、上下のロボットにおけるプログラムデ
ータの互換性等のために必要な条件であり、特に本発明
の効果を得るにあたっては必須でな（、例えば他の機器
等の配置の関係で若干ずれていてもよい。

また、上下に１台づつロボットを配設することに限られ
ず、例えば、処理チャンバの数がさらに多い処理装置で
ある場合等に上下に２台づつ配設してもよい。この場合
も、上下のロボット相互間においては動作範囲の死角は
なく、４台並べて配置するのに比べ格段に小型でスルー
ブツトの高い処理装置が得られる。

また、本発明におけるロボットの駆動部の一側面は、上
記実施例の一側面３０ａのように実体的に駆動部に形成
されている必要はなく、アーム部の運動方向に平行な基
準平面であって仮想的なものであってももちろんよい。

そして、本発明におけるロボ・ノドの構成も、二次元的
に動作して基板を搬送するアームを有するものであれば
、上記実施例に限られるものでなく、例えば第５図に示
すような構成のロボ・ノド７９であってもよい。以下、
このロボ、ドア９について説明する。

ロボ、ドア９は、前記ロボット３２．３３と同様に、駆
動部８０のケース８２に形成されたフランジ８３の接合
面（一側面８０ａ）に沿って二次元的に動作する第１ア
ーム８４．第２アーム８５とよりなるアーム部８１を有
し、第２アーム８５の先端に前記ハンド３４と同様なノ
＼ンド８６が連結されたものである。

しかし、第５図に示すように、ケース８２内には図示し
ていない軸受によって回転ケース８７が回転自在に設け
られ、ノ＼ンド８６を進退させる第１モータ８８がこの
回転ケース８７内に固定されており、ハンド８６及び各
アーム８４．８５がケース８２に固定された第２モータ
８９によって前記回転ケース８７ととも旋回するように
構成された点等において、前記ロボット３２，３３と異
なる。

なお、第５図において符号９ｏて示すものは回転ケース
８７の下端に形成されたブーりてあり、このプーリ９０
と第２モータ８９の出力軸に固定されたプーリ９１とに
巻回されたヘルド９２を介シテ回転ケース８７がすなわ
ち前記旋回か駆動されるようになっている。

また、符号９３，９４，９５．９６及び９７９８て示す
ものは、それぞれ、前記実施例のプーリ５５，５６，６
０．６１及びベルト５７．６２と同様の機能を果たすプ
ーリ及びベルトである。

ここで、プーリ５５は前記回転ケース８７の上端に形成
されており、プーリ９３は第１アーム８４を貫通して回
転自在に支持される軸９９によって第２アーム８５に固
定され、また、プーリ９６は第２アーム８５を貫通して
回転自在に支持される軸１００によってノ・ント８６に
固定されている。

また、符号１０１で示すものは、回転ケース８７のケー
ス８２からの突出部の隙間を７−ルする磁気シールであ
る。

このロボット８０によれば、第１モータ８８のみを作動
させることによりハンド８６を進退させ、第２モータ８
９のみを作動させることによりノ１ンド８６を各アーム
８４．８５とともに旋回させることができるので、前記
ロボット３２．３３と同様に上下に配置することによっ
て本発明の搬送装置を構成して同様の効果を奏すること
ができる。

また、本発明のロボットはハンドが二次元的にしかｌ１
作できないものに限られず、例えば、ハンドがアーム部
に対して昇降する機能を有していたり、アーム部及びハ
ンド全体が昇降する機能を有する構成とされ、さらに多
自白度なハンドの動きが可能なロボットでもよい。この
場合でも、駆動部の一側面に沿うノ＼ンドの動作につい
ては全く干渉あるいは死角等が発生せず同様な効果が発
揮される。

「発明の効果」本発明の基板搬送装置によれば、基板処理装置における
基板の搬送時間は従来よりも大幅に低減され、基板処理
装置のスループットを格段に向上できるという効果が奏
される。

しかも、ロボットは上下に配設するので横方向の大きさ
は少なくとも従来と同じであり、基板処理装置のクリー
ンルーム内に占める面積は従来よりも大きくならないと
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本発明の一実施例を説明するための図
であって、第１図は基板処理装置の平面図、第２図は第
１図の■−■断面図、第３図はロボットの断面図、第４
図はハンドの平面図である。また、第５図は本発明の変形実施例を説明するための図
であって、ロボットの断面図である。また、第６図は従来の基板搬送装置と本発明の基板搬送
装置との搬送時間の差を説明するための−比較例である
。また、第７図は従来の基板搬送装置の問題点を説明する
ための図である。３０．８０・・・・・・駆動部、３０ａ８０　ａ・一側面、 ■ アーム部、３２゜３３゜８６・０ポツト、ト、Ｋ　ｏ−・・・基板。

Claims

【特許請求の範囲】　駆動部と該駆動部の一側面に沿って動作するアーム部
とよりなるロボットを備え、前記アーム部の先端に設け
られたハンドに基板を載せて移動させる基板搬送装置で
あって、前記一側面が相対向するようにして上下に前記ロボット
が配設されていることを特徴とする基板搬送装置。