KR970061464A - 다수 독립 로봇 조립체 및 반도체 웨이퍼 이송과 처리용 장치 - Google Patents

Abstract

다수의 독립적으로 작동 가능한 로봇 조립체를 포함하는 로봇 조립체가 반도체 웨이퍼 처리내에서 사용되기 위하여 제공된다. 로봇 조립체는 다수의 몰체를 운용하기 적절한 독립적인 동축의 상부 및 하부 로봇 조립체를 포함한다. 상부 로봇은 하부 로봇 상에 놓여지고, 두 로봇은 빠른 웨이퍼의 이송을 위해 동심으로 장착된다. 또한 동심 구동 메타니즘은 로봇 조립체를 한쪽으로 이동하도록 또는 인접 챔버내로 뻗을 수 있는 아암 조립체를 뻗도록 회전 운동을 나누어 주기 위하여 제공될 수 있다. 각 로봇은 단일 날개 로봇 또는 이줄 날개 로봇 어느 하나가 될 수 있다. 또한 전/후 처리 이송 챔버, 하우징 및 다수 독립 로못 조립체를 포함하는 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 장치가 제공되고, 복수의 전처리 챔버와 후처리 챔버에 의해 둘러 싸인다. 처리 이송 챔버는 냉각 챔버에 의해 전/후 처리 이송 챔버에 연결되고, 다른 방법으로 복수의 처리 챔버에 둘러 싸인다. 또한 다수 독립 로봇 조립체가 처리 이송 챔버내에 제공된다. 각 처리내에서, 전-처리 및 후-처리 챔버는 복수의 웨이퍼 더미를 운용하기 위한 장치이다. 상기 장치는 챔버 받침대를 둘러싼 수직으로 이동 가능한 복수의 리프트 핀을 나타내는 웨이퍼를 들어 올리고 저장하는 장치를 포함한다. 리프트 핀은 가급적 두 개의 복수의 웨이퍼 더미를 수용하고 유지하도록 형성된다. 복수의 리프트 핀의 각각은 그것의 상부의 끝단에 가까운 하부 웨이퍼 지지면을 드러내는 하부 리프트 핀 세그먼트와 하부 리프트핀 세그먼트에 힌지 연결되고 그것의 상부의 끝단에 가까운 상부 웨이퍼 지지면을 드러내는 상부 리프트 핀 세그먼트 가급적 포함한다.

Description

다수 독립 로봇 조립체 및 반도체 웨이퍼 이송과 처리용 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예의 따른 이중 로봇 조립체의 측면도이다.

제2도는 접힌 위치의 모든 아암 조립체와 함께 제1도의 이중 로봇 조립체를 도시한 평면도이다.

제3도는 제2도의 선3-3을 따른 이종 로봇 조립체의 측면도이다.

제4도는 제1-3도에 도시된 이중 로봇 조립체의 이중 날개 로봇 아암 조립체의 약평면도이다.

제5도는 본 발명이 제2실시예에 따른 이중 로봇 조립체의 평면도이다.

제6도는 제5도의 선 6-6을 따른 이중 로봇 조립체의 측면도이다.

제7도는 뻗은 위치의 하부 로봇 아암 조립체와 함께 제5-6도의 이중 로봇 조립체를 도시한 평면도이다.

제8도는 본 발명의 제3실시예에 따른 이중 로봇 조립체의 평면도이다.

제9도는 제8도의 선 9-9를 따른 이중 로봇 조립체의 측면도이다.

제10도는 제5-9도에 도시된 이중 로봇 조립체의 단일 날개 로봇 아암 조립체의 약평면도이다.

제11도는 본 발명의 제4실시예에 따른 이중 로봇 조립체의 평면도이다.

제12도는 제11도의 이중 로봇 조립체의 부분 측면도이다.

제13도는 제12도에 도시된 이중 로봇 조립체의 한쌍을 사용한 반도체웨이퍼 공정 시스템의 평면도이다.

제14도는 제13도에 도시된 반도체 웨이퍼 공정 시스템의 챔버내의 웨이퍼 리프트 및 지지 장치의 측면도이다.

제15A도는 폐쇄 위치내 제14도는 웨이퍼 리프트 및 지지장치의 리프트 및 조립체부를 도시한 상세 측면도이다.

제15B도는 개방위치내 제14도의 웨이퍼 리프트 및 지지 장치의 리프트 핀 조립체부를 도시한 상세 측면도이다.

Claims (63)

1. 반도체 웨이퍼등의 물체를 이송하기 위한 장치로서, 중심축 주위에서 이동가능한 제1물품 이송 조립체와, 그리고 상기 제1물품 이송조립체와 동심이며 거리를 두고 놓여지고 또한 상기 중심축 주위에서 이동가능한 제2물품 이송 조립체를 포함하고 있으며, 상기 제1물품 이송 조립체는 상기 제2물품 이송 조립체와 독립적으로 상기 중심축 주위에서 이동가능하며, 상기 제1 및 제2물품 이송 조립체내에는 각각 상기 중심축 주위에서 이동 가능한 물체지지부가 포함되어 있는 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1물품 이송 조립체가 한 쌍의 제1뻗을 수 있는 아암 조립체를 포함하고 상기 제2물품 이송 조립체가 한 쌍의 제2뻗을 수 있는 안 조립체를 포함하고 있는 장치.
3. 제2항에 있어서, 한 쌍의 제1 및 제2아암 조립체 각각이, 상기 중심축 주위에서 이동가능한 제2구동 아암과, 상기 중심축 주위에서 이동가능한 제2구동 아암과, 상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 제1스트럿 아암과, 상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 제2스트럿 아암과, 상기 한 쌍의 제1스트럿 아암에 연결된 제1물체 지지부와, 그리고, 사이 한 쌍의 제2스트럿 아암에 연결된 제2물체 지지부를 포함하고 있는 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2물품 이송 조립체가, 중심축에 대하여 제1위치와 제2위치 사이에서 상기 제1물체 지지부를 이동하도록 상기 중심축 주위에서 상기 제1 및 제2구동 아암을 이동하기 위한 제1구동 부재와 중심축에 대하여 제1 및 제2위치 사이에서 상기 제2물체 지지부를 독립적으로 이동하기 위한 제2구동 부재를 더 포함하고 있는 장치.
5. 제4항에 있어서, 허브를 포함하고, 상기 제1 및 제2아암 조립체가 유지되는 환경으로부터 밀봉된 환경에서 상기 제1 및 제2구동 부재가 상기 허브내에 위치한 모터를 포함하고, 그리고 상기 아암 조립체가 유지되는 환경내의 뻗을 수 있는 아암 조립체와 연결되고 허브에 인접하고 운동을 나누어 주도록 제1 및 제2아암 조립체의 하나에 작동가능하게 각각이 연결되 연결기(coupler)를 포함하고 있는 장치.
6. 제5항에 있어서, 각각의 상기 연결기가 아암 조립체의 구동 아암에 연결된 링을 포함하고 각각의 상기모터가 허브를 통하여 상기 링의 하나에 자기식 연결되는 장치.
7. 제2항에 있어서, 한 쌍의 제1 및 제2아암 조립체가 하나 이상의 인접 처리 챔버에 연결된 이송 챔버내에 위치되는 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 제1물품 이송 조립체가 이송 챔버의 상부 구조물에 연결되고 상기 제2물품 이송 조립체가 이송 챔의 바닥 벽에 연결되는 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 허브가 제1물품 이송 조립체를 제2물품 이송 조립체에 연결하는 중심 기둥을 포함하고 있는 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 제1아암 조립체가 이송 챔버내에서 상기 제2아암 조립체 상에 위치되는 장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 이송 챔버가 상응하는 하나 이상의 밸브 조립체에 의해 하나 이상의 인접 처리 챔버에 연결되고, 상기 제2물품 이송 조립체가 이송 챔버의 바닥 벽에 연결되는 장치.
12. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2아암 조립체가 각각, 상기 중심축 주위에서 회전가능한 제1구동 아암과, 상기 중심축 주위에서 회전가능한 제2구동 아암과, 상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 스트럿 아암과, 그리고 상기 한 쌍의 스트럿 아암에 피벗가능하게 연결된 물체 지지 부재를 포함하고 있는 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 제1 및 제2물품 이송 조립체가, 중심축에 대하여 제1위치와 제2위치 사이에서 6상기 물체 지지 부재를 이동하도록 제1구동 아암과 제2구동 아암을 회전시키기 위하여 독립 구동 부재를 더 포함하고 있는 장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 허브가 제1물품 이송 조립체를 제2물품 이송 조립체에 연결하는 중심 기둥을 포함하고 있는 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 제1아암 조립체가 이송 챔버내에서 상기 제2아암 조립체 상에 위치되고, 제1아암 조립체의 구동 부재가 제1물품 이송 조립체의 위에 위치되고, 제2아암 조립체의 구동 부재가 제2물품 이송 조립체의 아래에 위치되는 장치.
16. 제15항에 있어서, 상기 이송 챔버가 상응하는 하나 이상의 밸브 조립체에 의해 하나 이상의 인접 처리 챔버에 연결되고, 상기 제2물품 이송 조립체가 이송 챔버의 바닥 벽에 연결되는 장치.
17. 제13항에 있어서, 상기 구동 수단이, 제1홀로 구동 샤프트 한쌍에 의허 상기 제1아암 조립체에 연결되는 제1물품 이송 조립체 모터와, 상기 제1홀로 구동 샤프트와 동심인 제2홀로 구동 샤프트 한쌍에 의해 상기 제2아암 조립체에 연결된 제2물품 이송 조립체 모터를 포함하고 있는 장치.
18. 제17항에 있어서, 상기 제1아암 조립체가 이송 챔버내에서 상기 제2아암 조립체 상에 위치되고, 상기 제1 및 제2모터는 이송 챔버 아래에 위치되는 장치.
19. 제18항에 있어서, 상기 제1모터가 제2모터 아래에 위치되고 제2모터 샤프트가 제1모터 샤프트를 둘러싸는 장치.
20. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2아암 조립체가, 상기 중심축 주위에 배치된 중심 허브에 활주가능하게 연결된 제1단부를 갖는 제1구동 아암과, 상기 중심 허브에 활주가능하게 연결된 제1단부를 갖는 제2구동 아암과, 그리고 상기 제1구동 아암과 제2구동 아암에 피벗가능하게 연결된 물체 지지 부재를 포함하고 있는 장치.
21. 제20항에 있어서, 상기 중심 허브냉 배치된 모터에 중심 허브를 통하여 구동 아암의 상기 제1단부의 각각을 접속하는 연결을 더 포함하고 있는 장치.
22. 제20항에 있어서, 상기 아암 조립체의 물체 지지 부재가 제2아암 조립체의 물체 지지 부재와 수평으로 동일한 평면에 위치되어 있는 장치.
23. 인클로저(enclosure)내의 다수의 위치 사이에서 물체를 이송하기 위한 장치에 있어서, 인클로저내에 위치된 제1물품 이송 조립체와, 인클로저내에 위치된 제2물품 이송 조립체와, 상기 제1물품 이송 조립체와 제2물품 이송 조립체로 그리고 인클로저로 접근가능한 적어도 한 개의 물체 안정 장소와, 그리고 제2물품 이송 조립체에 대하여 제1물품 이송 조립체의 독립적인 이동이 가능하도록 제1물품 이송 조립체와 제2물품 이송 조립체에 작동가능하게 연결된 구동 부재를 포함하고 있는 장치.
24. 제23항에 있어서, 상기 구동 부재가 인클로저의 내부로 연장되고 인클로저의 환경으로부터 분리된 부피를 한정하는 적어도 한 개의 원통 벽부를 포함하고 있는 장치.
25. 제24항에 있어서, 상기 부패내에 적어도 부분적으로 위치되고 제1물품 이송 조립체에 작동가능하게 연결된 제1구동 조립체와 상기 부피내에 적어도 부분적으로 위치되고 제2물품 이송 조립체에 작동가능하게 연결된제2구동 조립체를 더 포함하고 있는 장치.
26. 제25항에 있어서, 구동 조립체의 이송 조립체에 대한 작동가능한 연결은 상기 벽을 통과하는 자기식 연결인 장치.
27. 제26항에 있어서, 적어도 한 개의 물품 이송 조립체가 상기 벽을 통해 구동 조립체에 연결된 제1단부와 물체 지지 부재를 지지하는 제2단부를 갖는 프로그-레그 메카니즘을 포함하고, 상기 구동 조리 가 프로그-레그 메타니즘의 제1단부에 자기식 연결을 제공하는 제1자기 구동 요소와 제2자기 구도 요소를 포함하고, 그것에 의하여 상기 중심축에 대한 보통 방향의 자기 구동 메타니즘의 이동에 의해 프로그-레그 조립체의 제1단부와 제2단부 사이에서 일정한 거리를 갖는 물품 이송 조립체의 운동이 가능하고, 상기 중심축에 대한 대항의 자기 구동 메타니즘의 이동에 의해 프로그-레그 조립체의 제1단부와 제2단부 사이에서 거리의 변화가 가능하게 구성되어 있는 장치.
28. 제27항에 있어서, 적어도 한 개의 물품 이송 조립체가, 구동부재에 연결된 제1단부와 물체 지지 부재에 피벗가능하게 연결된 제2단부를 갖는 구동 아암과, 그것의 제1 및 제2단부의 중간 위치에서, 구동 부재에 연결된 제1단부와 구동 아암에 피벗가능하게 연결된 제2단부를 갖는 제2아암과, 그리고 그것의 제1 및 제2당부의 중간 위치에서, 제2아암에 피벗가능하게 연결된 물체 지지 부재를 포함하고 있는 장치.
29. 제28항에 있어서, 상기 구동 부재가, 구동 아암의 제1단부에 연결된 제1구동 요소와 제2아암의 제1단부에 연결된 제2구동 요소를 포함하고, 그것에 의해 상기 벽에 대하여 동일 방향에서의 구동 아암과 제2아암의 제1단부의 이동은 상기 벽의 일정한 거리에서 물체 지지 부재의 이동을 가능하게 하고, 대향에서의 구동 아암과 제2아암의 제1단부의 이동에 의해 상기 벽에 대한 물체 지지 부재의 위치의 변화가 가능하게 구성되어 있는 장치.
30. 제29항에 있어서, 축의 주위에 연장되고 부피를 한정하는 허브와, 상기 부피내에서 적어도 부분적으로 수용되고 허브를 통해 인클로저내에서 제1피구동 부재에 연결된 제1구동 부재와 상기 부피내에서 적어도 부분적으로 수용되고 허브를 통해 제2피구동 부재에연결된 제1구동 부재와 동축으로 배치된 제2구동 부재와, 그리고 인클로저내의 제1이송 조립체에 연결된 제1피구동 부재와 제2피구동 부재를 더 포함하고 있는 장치.
31. 제30항에 있어서, 제1이송 조립체가, 제1피구동 부재에연결된 제1부분과 제2부분을 갖는 제3∼1아암과, 제1아의 제2부분에 연결된 제1 부분과 제2 부분을 갖는 제2아암과, 그리고 제 2아암의제 2부분에 연결된 물체 수용 부재를 포함하고 있는 장치.
32. 제31항에 있어서, 제1이송 조립체가, 제2피구동 부재에 연결된 제1부분과 제2부분을 갖는 제3아암과, 그리고 제1아암의 제2부분에 연결된 제1 부분과 물체 수용 부재에 연결된 제2부분을 갖는 제4아암을 더 포함하고 있는 장치.
33. 제32항에 있어서, 제1 및 제2피구동 부재가 허브 주위에 배치된 환상 링이고, 그리고 대향으로 피구동 부재의 이동은 축에 대하여 제1이송 조립체의 물체 수용 부재의 뻗음 및 움추림을 가능하게 하고 동일한 방향의 피구동 부재의 이동에 의해 적어도 축주위 궤도의 한 부분에서 제1이송 조립체의 물체 수용 부재의 이동이 가능하게 구성되어 잇는 장치.
34. 제33항에 있어서, 인클로저내의 제3피구동 부재에 연결된 제3구동 부재와 인클로저내의 제4피구동 부재에 연결된 제4구동 부재를 더 포함하고 있고, 상기 제2이송 조립체가, 제3피구동 부재에 연결된 제1부분과 제2부분을 갖는 제1아암과, 제4피구동 부재에 연결된 제1부분과 제2부분을 갖는 제3아암과, 제1아암의 제2붑에 연결된 제1부분과 제2부분을 갖는 제4 아암과, 그리고 제2 및 제4 아암의 제2 부분에 연결될 물체 수용 부재를 포함하고 있는 장치.
35. 제34항에 있어서, 돌다 동시에 독립적으로 제1이송 조립체와 제2이송 조립체의 물체 수용 부재에 접근가능한 적어도 한 개의 물체 안정 장소를 인클로저 내에서 포함하고 있는 장치.
36. 제34항에 있어서, 제1이송 조립체가, 제1아암의 제2단부에연결된 제1부분과 제2부분을 갖는 제5아암과, 제3아암의 제2단부와 제2부분에 연결된 제6아암과, 그리고 제5 및 제6아암의 제2부분에 연결된 제2물체 수용 부재를 더 포함하고 있는 장치.
37. 제34항에 있어서, 상기 구동 부재가 구동 모터에 연결되고 각각의 모터는 인클로저에 매달리게 구성되어 있는 장치.
38. 제34항에 있어서, 상기 구동부재가 구동 모터에 연결되고 제1 및 제2구동 부재를 구동하기 위한 상기 구동 모터가 인클로저에 걸쳐 지지되고 제3 및 제4구동 부재를 구동하기 위한 상기구동모터가 인클로저에 매달리게 구성되어 있는 장치.
39. 제34항에 있어서, 인클로저가 상부 및 하부 벽을 포함하고, 상기 구동모터가 인클로저에 걸쳐 연장된 허브내에 적어도 부분적으로 수용되고 있는 장치.
40. 제39항에 있어서, 상기 구동 부재가 구동 모터에 연결되고 상기 허브가 상부 및 하부 벽 사이의 공간에 걸쳐 있는 장치.
41. 제29항에 있어서, 인클로저가 반도체 처리 시스템의 처리 챔버인 장치.
42. 제34항에 있어서, 물품 수용 부재가 반도체 웨이퍼를 수용하기 위한 단부 효과기인 장치.
43. 인클로저내의 위치 사이에서 물체를 이송하기 위한 방법에 있어서, 축 주위의 다수의 위치에 위치될 수 있는 물체 지지부를 갖는 제2물체 이송 조립체를 제공하는 단계와, 축 주위의 제1 및 제2물체 이송 조립체를 동축상에 위치시키는 단계, 그리고 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부의 위치에 독립적으로 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부를 이동시키는 단계를 포함하고 있는 방법.
44. 제43항에 있어서, 인클로저에 접근가능한 적어도 하나의 물체 저장 장소를 제공하는 단계와, 그리고 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 독립적으로 위치시키는 동안 상기 저장 장소에 접근가능한 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부를 이동하는 단계를 더 포함하고 있는 방법.
45. 제44항에 있어서, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 위치시키는 단계가, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 이동을 포함하고 있는 방법.
46. 제44항에 있어서, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 위치시키는 단계가, 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부가 이동하는 동안 고정 위치 내에 제2 물체 이송 조림체의 물체 지지부의 유지를 포함하고 있는 방법.
47. 제44항에 있어서, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 위치시키는 단계가, 축 주위의 아치형 경로내에서 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부가 이동하는 동안 고정 위치내의 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부의 유지를 포함하고 있는 방법.
48. 제44항에 있어서, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 위치시키는 단계가, 직선 경로내에서 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부가 이동하는 동안 고정 위치내의 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부의 유지를 포함하고 있는 방법.
49. 제44항에 있어서, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 위치시키는 단계가, 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부가 축으로부터 떨어져서 이동하는 동안 고정 위치내의 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부의 유지를 포함하고 있는 방법.
50. 제44항에 있어서, 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 위치시키는 단계가, 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부가 축쪽으로 이동하는 동안 고정 위치내의 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부의 유지를 포함하고 있는 방법.
51. 제44항에 있어서, 축 주위의 반시계 방향으로 제2물체 이송 조립체의 물체 지지부를 동시에 이동하는 한편, 축 주위의 시계 방향으로 제1물체 이송 조립체의 물체 지지부를 이동하는 추가 단계를 포함하고 있는 방법.
52. 제51항에 있어서, 제1 및 제2물체 지지부의 다른 하나에 제1 및 제2물체 지지부의 하나가 지나가는 추가 단계를 포함하고 있는 방법.
53. 제44항에 있어서, 제1 및 제2물체 지지부와 함께 저장 장소에 동시에 접근가능한 또 다른 단계를 포함하고 있는 방법.
54. 제51항에 있어서, 물체 이송 조립체에 접근가능한 다수의물체 안정 장소를 제공하고, 제1 및 제2물체 지지 부재와 함께 상이한 물체 안정 장소에 동시에 접근하는 추가 단계를 포함하고 있는 방법.
55. 이송 챔버에 인접한 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송하기 위한 장치에 있어서, (1) 1) ① 중심축 주위에 이동할 수 있는 제1구동 아암과, ② 중심축 주위에 이동할 수 있는 제2구동 아암과, ③ 상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 스트럿 아암과, ④ 상기 한 쌍의 스트럿 아암에 피벗가능하게 여결된 웨이퍼 고정 날개를 포함하고 있으며, 상기 이송 챔버내에 위치되어 있는, 제1뻗을 수 있는 아암 조립체와, 2) 제1뻗을 수 있는 아암 조립체 아래에 위치되고 접힌 위치와 뻗은 위치 사이에서 웨이퍼 날개의 직선 운동을 가능하게 하도록 축 주위 궤도 경로내의 단부에 운동을 나누어주기 위하여 제1구동 아암의 단부와 제2구동 아암의 단부에 연결되는 구동 모터를 포함하는, 중심축에 대하여 이동가능하고 상기 이송 챔버의 바닥 벽에 연결된 하부 웨이퍼 이송 로봇과, (2) 1) ①중심축 주위에 이동할 수 있는 제1구동 아암과, ②중심축 주위에 이동할 수 있는 제2구동 아암과, ③ 상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 스트럿 아암과, ④ 상기 한 쌍의 스트럿 아암에 피벗가능하게 연결된 웨이퍼 고정 날개를 포함하고 있으며, 상기 제1뻗을 수 있는 아암 조립체 위의 이송 챔버내에 위치되어 있는 제2뻗을 수 있는 아암 조립체와, 2) 제1뻗을 수 있는 아아 조립체 아래에 위치되고 접힌 위치와 뻗은 위치 사이에서 웨이퍼 날개의 직선 운동을 가능하게 하도록 축 주위 궤도 경로내의 운동을 나누어주기 위하여 제1구동 아암의 단부와 제2구동 아암의 단부에 연결되는 구동 모터를 포함하는, 상기 하부 웨이퍼 이송 로봇에 대하여 독립적으로 이동가능하고 동축으로 정렬된 상부 웨이퍼 이송 로봇과, (3) 제2 웨이퍼 이송 로봇에 제1웨이퍼 이송 로봇을 연결하는 중심 기둥을 포함하는 있는 장치.
56. 이송 챔버에 인접한 챔버 사이에서 반도체웨이퍼를 이송하기 위한 장치에 있어서, (1) 1) ① 중심축 주위에 이동할 수있는 제1구동 아암과, ② 중심축 주위에 이동할 수 있는 제2구동 아암과, ③ 상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 스터럿 아암과, ④ 상기 한 쌍의 스트럿 아암에 피벗가능하게 연결된 웨이퍼 고정 날개를 포함하고 있으며, 상기 이송 챔버내에 위치되어 있는, 제1뻗을 수 있는 아암 조립체와, 2) 상기 이송 챔버 아래에 위치되고 접힌 위치와 뻗은 위치 사이에서 웨이퍼 날개의 직선 운동을 가능하게 하도록 축 주위 궤도 경로내에 운동을 나누어주기 위하여 제1홀로 구동 샤프트에 의하여 제1뻗을 수 있는 아암 조립체의 단부에 연결되는 구동을 모터를 포함하는, 중심축에 대하여 이동가능한 제1웨이퍼 이송 로봇과, (2) 1) ① 중심축 주위에 이동할 수 있는 제1구동 아암과, ② 중심축 주위에 이동할 수 있는 제2구동 아암과, ③상기 제1 및 제2구동 아암에 관절 연결된 한 쌍의 스트럿 아암과, ④ 상기 한 쌍의 스트럿 아암에 피벗가능하게 연결된 웨이퍼 고정 날개를 포함하고 있으며, 상기 제1뻗을 수 있는 아암 조립체 아래 이송 챔버내에 위치되어 있는, 제2뻗을 수 있는 아암 조립체와, 2) 상기 이송 챔버 아래에 위치되고 접힌 위치와 뻗은 위치 사이에서 웨이퍼 날개의 직선 이동에 운동으로 나누어주기 위하여 상기 제1홀로 구동샤프트를 둘러싸고 그와 동심인 제2홀로 구동 샤프트에 의하여 상기 제2뻗을 수 있는 아암 조립체에연결되는 구동 모터를 포함하고, 상기 제1웨이퍼 이송 로봇에 대하여 독립적으로 이동가능하고 동축인 제2웨이퍼 이송 로봇을 포함하고 있는 장치.
57. 반도체 웨이퍼등의복수의 물푸을 수용하기 위한 장치에 있어서, 상기 물품을 수용하기 위한 챔버 공동을 갖는 챔버와, 챔버 공동내에 수직으로 이동할 수 있고 중앙에 위치한 받침대와, 상기 받침대의 물품 수용면에 대하여 뻗은 위치와 접힌 위치 사이에서 연장될 수 있는, 복수의 물품 더미를 수용하고 고정하도록 형성된 복수의 수직 이동가능한 리프트 핀을 포함하고 있는 장치.
58. 제55항에 있어서, 상기 리프트 핀이 두 개의 물품 더미를 수용하도록 형성된 장치.
59. 제56항에 있어서, 각각의 사이 복수의 리프트 핀이 , 상부의 끝단에 가까운 하부 물품 지지면을 드러내는 하부 리프트 핀 세그먼트와, 하부 리프트 핀 세그먼트에 힌지 연결되고 상부의 끝단에 가까운 상부 물품 지지면을 드러내느 상부 리프트 핀 세그먼트를 포함하고 있는 장치.
60. 제57항에 있어서, 물품에 상부 리프트 핀 세그먼트를 이동하고 하부리프트 핀 세그먼트를 접촉하도록 작동 부재를 더 포함하고 있는 장치.
61. 제57항에 있어서, 상기 리프트 핀 세그먼트에 대하여 받침대의위치가 변경될 때 상부 리프트 핀 세그먼트를 접촉하고, 페쇄 위치에서 개방 위치로 상부 리프트 핀 세그먼틀르 이동하도록 받침대에서 바깥 방향으로 연장된 적어도 하나의 받침대 핀을 더 포함하고 있는 장치.
62. 제59항에 있어서, 개방 위치내에서 상부 리프트 핀 세그먼트를 접촉하고 폐쇄된 위치로 상부 리프트 핀 세그먼트를 이동하도록 형성된, 상기 챔버의 면에서 상기 리프트 핀쪽인 안쪽으로 연장된 복수의 폐쇄 핀을 더 포함하고 있는 장치.
63. 반도체 웨이퍼 처리를 위한 장치에 있어서, 웨이퍼 안정 위치를 갖는 복수의챔버에의해 둘러싸여진 이송 챔버와, 중시축 주위에 이동가능하고 적어도 하나의 보통 웨이퍼 안정 위체에 접근할 수 있는 제1웨이퍼 이송 조체와 상기 제1웨이퍼 이송 조림체에 독립적으로 중심축 주위에 이동가능하고 상기 웨이퍼 안정 위치에 접근할 수 있는 제2웨이퍼 이송 조립체를 포함하는 상기 이송 챔버내에위치된 처리 이송 로봇을 포함하고 있는 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.