JPH04157755A - 縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー装置 - Google Patents
縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー装置Info
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- JPH04157755A JPH04157755A JP2282950A JP28295090A JPH04157755A JP H04157755 A JPH04157755 A JP H04157755A JP 2282950 A JP2282950 A JP 2282950A JP 28295090 A JP28295090 A JP 28295090A JP H04157755 A JPH04157755 A JP H04157755A
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- manufacturing apparatus
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 89
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 2
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェハを水平状態で搬送したり、化学処理し
たりする縦型半導体製造装置において、キャリアステー
ジ装置のキャリアスタンドに載せられたウェハキャリア
内のウェハをウェハボートに移載するために使用される
縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー
装置に関するものである。
たりする縦型半導体製造装置において、キャリアステー
ジ装置のキャリアスタンドに載せられたウェハキャリア
内のウェハをウェハボートに移載するために使用される
縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー
装置に関するものである。
縦型半導体製造装置は、ウェハを水平にして搬送すると
共に、この状態で反応釜に収容して化学処理を行う装置
であって、ウェハを垂直にして上記各操作を行う横型の
ものに比較して空間を有効に利用できて、装置をコンパ
クトに設計できる利点を有している。
共に、この状態で反応釜に収容して化学処理を行う装置
であって、ウェハを垂直にして上記各操作を行う横型の
ものに比較して空間を有効に利用できて、装置をコンパ
クトに設計できる利点を有している。
この縦型の半導体製造装置において、ウェハを装置内に
搬入するには、キャリアステージ装置が使用されている
。このキャリアステージ装置は、第１図に示されるよう
に、キャリア支柱１にキャリア台２を介して複数台のキ
ャリアスタンドＳが円周方向に等間隔をおいて装着され
、多数枚のウェハＷを水平状態で収納したウェハキャリ
アＣを前記キャリアスタンドＳに載せ、駆動手段によっ
て前記キャリア支柱ｌを設定角度ずつ回動させ、多関節
ロボットＲの先端のアーム３の先端部に装着されたペン
ホルダー装置によってウェハキャリアＣ内のウェハＷを
取出して、前記多関節ロボットＲの作動によりウェハボ
ートＢ（第２図参照）に移載している。
搬入するには、キャリアステージ装置が使用されている
。このキャリアステージ装置は、第１図に示されるよう
に、キャリア支柱１にキャリア台２を介して複数台のキ
ャリアスタンドＳが円周方向に等間隔をおいて装着され
、多数枚のウェハＷを水平状態で収納したウェハキャリ
アＣを前記キャリアスタンドＳに載せ、駆動手段によっ
て前記キャリア支柱ｌを設定角度ずつ回動させ、多関節
ロボットＲの先端のアーム３の先端部に装着されたペン
ホルダー装置によってウェハキャリアＣ内のウェハＷを
取出して、前記多関節ロボットＲの作動によりウェハボ
ートＢ（第２図参照）に移載している。
ペンホルダー装置は、ウェハキャリアＣ内のウェハＷの
下面に薄板状のペンホルダーを当てがってこのウェハＷ
を吸着する構造になっている。また、ウェハボートＢに
は、多数の載置棚が上下方向に設けられ、ウェハキャリ
アＣ内から取出された多数枚のウェハＷを前記載置棚に
多段状にして載せ、この状態で反応釜に収容してウェハ
の化学処理を行うためのウェハ保持具である。
下面に薄板状のペンホルダーを当てがってこのウェハＷ
を吸着する構造になっている。また、ウェハボートＢに
は、多数の載置棚が上下方向に設けられ、ウェハキャリ
アＣ内から取出された多数枚のウェハＷを前記載置棚に
多段状にして載せ、この状態で反応釜に収容してウェハ
の化学処理を行うためのウェハ保持具である。
ところで、従来の前記キャリアステージ装置においては
、そのキャリアスタンドＳにウェハキャリアＣを載せる
場合に、これに収納されているウェハＷが水平となるよ
うにして載せられていた。
、そのキャリアスタンドＳにウェハキャリアＣを載せる
場合に、これに収納されているウェハＷが水平となるよ
うにして載せられていた。
しかし、ウェハＷが水平な状態で、ウェハキャリアＣが
キャリアスタンドＳに載せられると、全てのウェハＷの
芯が出る保証がないので、ウェハボートＢに移載する前
に、ウェハキャリアＣ内の各ウェハＷの芯揃えを行う必
要がある。そこで、この不具合を解消するために、第１
図に示されるように、キャリアスタンドＳを所定角度（
θ）だけ傾斜させてキャリア台２に装着することにより
、キャリアスタンドＳにウェハキャリアＣを載せると、
ウェハキャリアＣ内のウェハＷが自重によってキャリア
支柱ｌに向かって摺動し、各ウェハが収納棚の正規の位
置にセントされて、ウェハＷの芯出しが自然に行われる
ようなキャリアステージ装置が開発されている。
キャリアスタンドＳに載せられると、全てのウェハＷの
芯が出る保証がないので、ウェハボートＢに移載する前
に、ウェハキャリアＣ内の各ウェハＷの芯揃えを行う必
要がある。そこで、この不具合を解消するために、第１
図に示されるように、キャリアスタンドＳを所定角度（
θ）だけ傾斜させてキャリア台２に装着することにより
、キャリアスタンドＳにウェハキャリアＣを載せると、
ウェハキャリアＣ内のウェハＷが自重によってキャリア
支柱ｌに向かって摺動し、各ウェハが収納棚の正規の位
置にセントされて、ウェハＷの芯出しが自然に行われる
ようなキャリアステージ装置が開発されている。
このようなキャリアステージ装置において、ウェハキャ
リアＣ内のウェハＷをペンホルダー装置によって吸着し
て取出すには、ペンホルダーそのものをウェハＷの傾斜
角度（θ）だけ傾斜させてウェハキャリアＣ内に挿入す
る必要がある。これに対し、ウェハキャリアＣから取出
されたウェハＷをウェハボートＢに移載する場合には、
ウェハＷを水平にして行っている。従って、ウェハキャ
リアＣ内に水平に収納されているウェハＷを対象にして
いる従来のペンホルダー装置では、所定角度だけ傾斜し
てウェハキャリアＣ内に収納されているウェハＷを敢出
すことはできない。
リアＣ内のウェハＷをペンホルダー装置によって吸着し
て取出すには、ペンホルダーそのものをウェハＷの傾斜
角度（θ）だけ傾斜させてウェハキャリアＣ内に挿入す
る必要がある。これに対し、ウェハキャリアＣから取出
されたウェハＷをウェハボートＢに移載する場合には、
ウェハＷを水平にして行っている。従って、ウェハキャ
リアＣ内に水平に収納されているウェハＷを対象にして
いる従来のペンホルダー装置では、所定角度だけ傾斜し
てウェハキャリアＣ内に収納されているウェハＷを敢出
すことはできない。
（発明が解決しようとする課題〕
従って、本発明は、傾斜状態でウェハキャリアに収納さ
れているウェハを取出して、ウェハボートに水平にして
移載できるようなペンホルダー装置を提供することを課
題としている。
れているウェハを取出して、ウェハボートに水平にして
移載できるようなペンホルダー装置を提供することを課
題としている。
この課題を解決するために本発明の採用した手段は、多
関節ロボットの先端のアームの先端部に薄板状のペンホ
ルダーを装着して、キャリアステージ装置のキャリアス
タンドに載せられたウェハキャリア内のウェハの下面に
前記ペンホルダーを当てがってこれを吸着することによ
り、該ウェハをウェハキャリア内から取出してウェハボ
ートに移載させるための縦型半導体製造装置におけるウ
ェハ移載用ペンホルダー装置において、前記ペンホルダ
ーが傾動手段を介して水平位置と設定傾斜位置との間を
自在に傾動し得るように構成したことである。
関節ロボットの先端のアームの先端部に薄板状のペンホ
ルダーを装着して、キャリアステージ装置のキャリアス
タンドに載せられたウェハキャリア内のウェハの下面に
前記ペンホルダーを当てがってこれを吸着することによ
り、該ウェハをウェハキャリア内から取出してウェハボ
ートに移載させるための縦型半導体製造装置におけるウ
ェハ移載用ペンホルダー装置において、前記ペンホルダ
ーが傾動手段を介して水平位置と設定傾斜位置との間を
自在に傾動し得るように構成したことである。
キャリアスタンドに載せられたうエハキャリア内のウェ
ハを取出す場合には、傾動手段によってペンホルダーを
ウェハの傾斜角度と同一角度だけ傾斜させる。この状態
でロボットを作動させて、ペンホルダーをウェハキャリ
ア内のウェハの下方に挿入して、このウェハをペンホル
ダーに吸着させ、ロボットの作動によりウェハキャリア
内から取出されたウェハをウェハボートまで搬送してこ
れに移載する。ウェハボートへの移載時においては、傾
動手段によってウェハを吸着しているペンホルダーを水
平位置に戻して行う。
ハを取出す場合には、傾動手段によってペンホルダーを
ウェハの傾斜角度と同一角度だけ傾斜させる。この状態
でロボットを作動させて、ペンホルダーをウェハキャリ
ア内のウェハの下方に挿入して、このウェハをペンホル
ダーに吸着させ、ロボットの作動によりウェハキャリア
内から取出されたウェハをウェハボートまで搬送してこ
れに移載する。ウェハボートへの移載時においては、傾
動手段によってウェハを吸着しているペンホルダーを水
平位置に戻して行う。
以下、実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。
最初に、第３図ないし第７図を参照にして、多関節ロボ
ットＲの先端のアーム３の先端部に装着されるペンホル
ダー装置Ｐについて説明する。下板１１の上面に取付け
られた一対のブラケット１２にヒンジビン１３が水平に
支承され、上板１４の下面に取付けられたブラケット１
５と前記ヒンジビン１３とが固着されて、下板１１と上
板１４とがヒンジビン１３によりヒンジ結合されている
。
ットＲの先端のアーム３の先端部に装着されるペンホル
ダー装置Ｐについて説明する。下板１１の上面に取付け
られた一対のブラケット１２にヒンジビン１３が水平に
支承され、上板１４の下面に取付けられたブラケット１
５と前記ヒンジビン１３とが固着されて、下板１１と上
板１４とがヒンジビン１３によりヒンジ結合されている
。
細長い形状をした薄板から成るペンホルダー１６の長平
方向が前記ヒンジビン１３の軸方向と直交するようにし
て、このペンホルダー１６が下板１１に取付けられてい
る。上板１４の下面には、ブ、ラケット１７を介してエ
アーモータ１８が装着され、このエアーモータ１８の回
転輪１８ａにクランク板１９が垂直に取付けられている
。このクランク板１９と、下板１１の上面に取付けられ
たブラケット２１とが、クランクロッド２２及び連結ビ
ン２３．２４を介して連結されている。第５図で実線で
示される状態は、連結ビン２３が上死点に位置して、ペ
ンホルダー１６が水平になっており、この状態において
エアーモータ１８を半回転させると、下板１１はヒンジ
ビン１３を中心にして回動して、ペンホルダー１６は、
その先端部が下がって設定角度（θ）だけ傾斜する。ク
ランクロッド２２は、その長さを調整できるようになっ
ており、これによりペンホルダー１６の傾斜角度（θ）
を調整できると共に、エアーモータ１８の回転角度の調
整によっても、ペンホルダー１６の傾斜角度（θ）を調
整できる。第８図に示されるように、ペンホルダー１６
の先端部には、上面に開口して吸着口２５が設けられ、
この吸着口２５の部分に吸引力を及ぼさせて、ウェハＷ
の下面を吸着する構造になっている。
方向が前記ヒンジビン１３の軸方向と直交するようにし
て、このペンホルダー１６が下板１１に取付けられてい
る。上板１４の下面には、ブ、ラケット１７を介してエ
アーモータ１８が装着され、このエアーモータ１８の回
転輪１８ａにクランク板１９が垂直に取付けられている
。このクランク板１９と、下板１１の上面に取付けられ
たブラケット２１とが、クランクロッド２２及び連結ビ
ン２３．２４を介して連結されている。第５図で実線で
示される状態は、連結ビン２３が上死点に位置して、ペ
ンホルダー１６が水平になっており、この状態において
エアーモータ１８を半回転させると、下板１１はヒンジ
ビン１３を中心にして回動して、ペンホルダー１６は、
その先端部が下がって設定角度（θ）だけ傾斜する。ク
ランクロッド２２は、その長さを調整できるようになっ
ており、これによりペンホルダー１６の傾斜角度（θ）
を調整できると共に、エアーモータ１８の回転角度の調
整によっても、ペンホルダー１６の傾斜角度（θ）を調
整できる。第８図に示されるように、ペンホルダー１６
の先端部には、上面に開口して吸着口２５が設けられ、
この吸着口２５の部分に吸引力を及ぼさせて、ウェハＷ
の下面を吸着する構造になっている。
ペンホルダー装置Ｐを構成している上板１４が多関節ロ
ボットＲの先端のアーム３の先端部に水平に固定される
。
ボットＲの先端のアーム３の先端部に水平に固定される
。
よって、ウェハキャリアＣ内に傾斜して収納されている
ウェハＷを取出すには、第１図に示されるように、エア
ーモータ１８を作動させてペンホルダー１６をウェハＷ
の傾斜角度（θ）だけ傾斜させ、この状態でロボットＲ
を作動させて、ペンホルダー１６をウェハキャリアＣ内
のウェハＷの下方に挿入してこれをペンホルダー１６に
吸着させ、ロボットＲの作動により、ペンホルダー１６
の傾斜角度（θ）を維持したままで、ウェハキャリアＣ
内からこれを引き抜けばよい、このようにして、ウェハ
ＷがウェハキャリアＣ内から完全に取出された後に、再
度エアーモータ１８を作動させて、ペンホルダー１６を
水平位置に復帰させ、第２図に示されるように、水平に
なっているウェハＷをウェハボートＢの載置棚に挿入し
て移載する。
ウェハＷを取出すには、第１図に示されるように、エア
ーモータ１８を作動させてペンホルダー１６をウェハＷ
の傾斜角度（θ）だけ傾斜させ、この状態でロボットＲ
を作動させて、ペンホルダー１６をウェハキャリアＣ内
のウェハＷの下方に挿入してこれをペンホルダー１６に
吸着させ、ロボットＲの作動により、ペンホルダー１６
の傾斜角度（θ）を維持したままで、ウェハキャリアＣ
内からこれを引き抜けばよい、このようにして、ウェハ
ＷがウェハキャリアＣ内から完全に取出された後に、再
度エアーモータ１８を作動させて、ペンホルダー１６を
水平位置に復帰させ、第２図に示されるように、水平に
なっているウェハＷをウェハボートＢの載置棚に挿入し
て移載する。
なお、上記実施例において、上板１４に対して下板１１
を回動させてペンホルダー１６を傾斜させたり、水平に
戻したりする他のロークリアクチュエータとしては、電
気式のモータなどがある。
を回動させてペンホルダー１６を傾斜させたり、水平に
戻したりする他のロークリアクチュエータとしては、電
気式のモータなどがある。
また、第９図及び第１０図に、本発明の別のペンホルダ
ー装置Ｐ゛が示されている。この実施例は、空気圧によ
りベローズを伸縮させて、ペンホルダー１６を水平位置
と設定傾斜位置との間を傾動させる構成である。即ち、
水平に固定される上板３１と、傾動可能な下板３２との
一端部がヒンジビン３３でヒンジ結合され、画板３１．
３２の他端部がベローズ３４で連結され、このベローズ
３４を空気圧により伸縮させて、下板３２に取付けられ
たペンホルダー１６を水平位置と、設定傾斜位置との間
において傾動させるものである。ぺンホルダー１６の水
平位置、及び傾斜位置は、それぞれストッパービン３５
．３６により定められる。
ー装置Ｐ゛が示されている。この実施例は、空気圧によ
りベローズを伸縮させて、ペンホルダー１６を水平位置
と設定傾斜位置との間を傾動させる構成である。即ち、
水平に固定される上板３１と、傾動可能な下板３２との
一端部がヒンジビン３３でヒンジ結合され、画板３１．
３２の他端部がベローズ３４で連結され、このベローズ
３４を空気圧により伸縮させて、下板３２に取付けられ
たペンホルダー１６を水平位置と、設定傾斜位置との間
において傾動させるものである。ぺンホルダー１６の水
平位置、及び傾斜位置は、それぞれストッパービン３５
．３６により定められる。
このように、本発明は、多関節ロボットの先端のアーム
の先端部に装着されたペンホルダーが傾動手段を介して
水平位置と設定傾斜位置との間を自在に傾動するように
構成されているので、傾斜状態でウェハキャリアに収納
されているウェハを取出して、ウェハボートに水平にし
て移載することが可能となる。従って、ウェハキャリア
に傾斜して収納されているウェハの移載をスムーズに行
＾る。
の先端部に装着されたペンホルダーが傾動手段を介して
水平位置と設定傾斜位置との間を自在に傾動するように
構成されているので、傾斜状態でウェハキャリアに収納
されているウェハを取出して、ウェハボートに水平にし
て移載することが可能となる。従って、ウェハキャリア
に傾斜して収納されているウェハの移載をスムーズに行
＾る。
第１図は、ウェハキャリアＣに傾斜して収納されている
ウェハＷを多関節ロボットＲにより取出している状態の
図、第２図は、ウェハキャリアＣから取出されたウェハ
Ｗを水平にしてウェハボートＢに移載している状態の図
、第３図は、ペンホルダー装ｊｌＰの平面断面図、第４
図及び第５図は、それぞれ第３図のＬｌ−Ｕ線、及びＶ
−Ｙ線断面図、第６図及び第７図は、第５図のＸ−Ｘ線
、及びＹ−Ｙ線断面図、第８図は、第３図の２−２線拡
大断面図、第９図及び第１０図は、別のペンホルダー装
置Ｐ°におけるペンホルダー１６が水平位置、及び傾斜
位置にそれぞれ位置している状態の断面図である。 本発明を構成している主要部分の符号の説明は以下の通
りである。 Ｂ：ウェハボート Ｃ：ウエハキャリアＰ：ペンホ
ルダー装置 Ｒ：多関節ロボットＳ：キャリアスタンド
Ｗ：ウェハ ３：アーム １１．３１下板
ウェハＷを多関節ロボットＲにより取出している状態の
図、第２図は、ウェハキャリアＣから取出されたウェハ
Ｗを水平にしてウェハボートＢに移載している状態の図
、第３図は、ペンホルダー装ｊｌＰの平面断面図、第４
図及び第５図は、それぞれ第３図のＬｌ−Ｕ線、及びＶ
−Ｙ線断面図、第６図及び第７図は、第５図のＸ−Ｘ線
、及びＹ−Ｙ線断面図、第８図は、第３図の２−２線拡
大断面図、第９図及び第１０図は、別のペンホルダー装
置Ｐ°におけるペンホルダー１６が水平位置、及び傾斜
位置にそれぞれ位置している状態の断面図である。 本発明を構成している主要部分の符号の説明は以下の通
りである。 Ｂ：ウェハボート Ｃ：ウエハキャリアＰ：ペンホ
ルダー装置 Ｒ：多関節ロボットＳ：キャリアスタンド
Ｗ：ウェハ ３：アーム １１．３１下板
Claims (3)
- （１）多関節ロボットの先端のアームの先端部に薄板状
のペンホルダーを装着して、キャリアステージ装置のキ
ャリアスタンドに載せられたウェハキャリア内のウェハ
の下面に前記ペンホルダーを当てがってこれを吸着する
ことにより、該ウェハをウェハキャリア内から取出して
ウェハボートに移載させるための縦型半導体製造装置に
おけるウェハ移載用ペンホルダー装置であって、 前記ペンホルダーが傾動手段を介して水平位置と設定傾
斜位置との間を自在に傾動し得るように構成されている
ことを特徴とする縦型半導体製造装置におけるウェハ移
載用ペンホルダー装置。 - （２）前記傾動手段が、 固定された上板に対して回動可能にヒンジ結合された下
板にペンホルダーが取付けられ、前記上板及び下板のい
ずれか一方に装着されたロータリアクチュエータの回転
軸にクランク板が取付けられていると共に、その他方と
前記クランク板とがクランクロッドで連結された構成で
あることを特徴とする請求項１に記載の縦型半導体製造
装置におけるウェハ移載用ペンホルダー装置。 - （３）前記傾動手段が、 固定された上板に対して回動可能にヒンジ結合された下
板にペンホルダーが取付けられ、上板と下板とがベロー
ズで連結された構成であることを特徴とする請求項１に
記載の縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホ
ルダー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282950A JPH04157755A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282950A JPH04157755A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04157755A true JPH04157755A (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=17659224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2282950A Pending JPH04157755A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 縦型半導体製造装置におけるウェハ移載用ペンホルダー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04157755A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5664926A (en) * | 1995-07-11 | 1997-09-09 | Progressive System Technologies, Inc. | Stage assembly for a substrate processing system |
| WO1997048126A1 (en) * | 1996-06-13 | 1997-12-18 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
| US6091498A (en) * | 1996-07-15 | 2000-07-18 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US6234738B1 (en) * | 1998-04-24 | 2001-05-22 | Mecs Corporation | Thin substrate transferring apparatus |
| JP2012223880A (ja) * | 1996-03-22 | 2012-11-15 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、ワークピース処理システム及び製品製造方法 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2282950A patent/JPH04157755A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5664926A (en) * | 1995-07-11 | 1997-09-09 | Progressive System Technologies, Inc. | Stage assembly for a substrate processing system |
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| WO1997048126A1 (en) * | 1996-06-13 | 1997-12-18 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
| EP0904597A1 (en) * | 1996-06-13 | 1999-03-31 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
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| JP2000512082A (ja) * | 1996-06-13 | 2000-09-12 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | マルチレベル基板処理装置 |
| JP2008258650A (ja) * | 1996-06-13 | 2008-10-23 | Brooks Autom Inc | マルチレベル基板処理装置 |
| US6261048B1 (en) | 1996-06-13 | 2001-07-17 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
| EP0904597A4 (en) * | 1996-06-13 | 2007-07-04 | Brooks Automation Inc | MULTI-LEVEL DEVICE FOR TREATING A SUBSTRATE |
| US7002698B2 (en) | 1996-07-15 | 2006-02-21 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US6654122B1 (en) | 1996-07-15 | 2003-11-25 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
| US6091498A (en) * | 1996-07-15 | 2000-07-18 | Semitool, Inc. | Semiconductor processing apparatus having lift and tilt mechanism |
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