JP2003197712A

JP2003197712A - 基板搬送装置、及び基板収納カセット搬送装置

Info

Publication number: JP2003197712A
Application number: JP2001400392A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Nagai; 利明永井; Yutaka Tsukada; 豊塚田
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2001-12-28
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2003-07-11

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送ハンド、アーム及び支持台の荷重を分散
でき、搬送ハンドの高精度の位置決め及び高速移動がで
きる基板搬送装置、及び基板収納カセット搬送装置を提
供する。【解決手段】水平方向に伸縮するアーム１１先端にて
円盤状の薄型基板を支持して搬送する搬送ハンド１０
と、搬送ハンド１０を支持した鉛直軸周りに回転自在な
支持台２０と、を備える。さらに、共に同一直線に沿っ
て水平方向に移動自在な第１及び第２直動ベース３１、
３２を備える。また、支持台２０と第１直動ベース３１
との双方に、それぞれ第１直動ベース３１の移動方向に
沿う鉛直面に沿って旋回自在に連結された第１リンク３
３と、支持台２０と第２直動ベース３２との双方に、そ
れぞれ第２直動ベース３２の移動方向に沿う鉛直面に沿
って旋回自在に連結された第２リンク３４を含む支持台
２０を水平状態に維持可能な平行リンクとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送装置、及
び基板収納カセット搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、特開平１１−３００６６３号公報
にて公知のように、例えばシリコンウェハや液晶ガラス
基板等の薄型基板（以下、基板と略称する）に所定の処
理を施すことにより半導体を製造する半導体製造ライン
において、基板を一枚単位で搬入出する基板搬送装置が
知られている。この基板搬送装置の要部構成を図４〜図
６に示す。

【０００３】上記従来の基板搬送装置１００は、水平方
向に伸縮する一対のアーム１１１，１１１と、このアー
ム１１１，１１１の先端にて基板を支持して搬送する一
対の搬送ハンド１１０，１１０と、この一対の搬送ハン
ド１１０，１１０及びアーム１１１，１１１を支持した
支持台１２０と、搬送ハンド１１０を鉛直面に沿って旋
回自在な垂直旋回アーム部１３０と、この垂直旋回アー
ム部１３０を前記鉛直面に沿って旋回自在に支持する基
台１４０とを備えて概略構成されている。なお、１５１
は処理前の基板が収納されている搬入カセットキャリ
ア、１５２は処理後の基板が収納される搬出カセットキ
ャリア、１５３〜１５６は例えばプロセスチャンバの基
板がセットされる部分を示している。

【０００４】垂直旋回アーム部１３０は、第１及び第２
垂直旋回アーム１３１、１３２と両垂直旋回アーム１３
１、１３２を独立に駆動する第１及び第２アーム駆動モ
ータ１３３、１３４を備えている。第１及び第２垂直旋
回アーム１３１、１３２は、各々の一端が回動可能に連
結され、第１垂直旋回アーム１３１の他端が基台１４０
に、第２アーム１３２の他端が支持台１２０の下部にそ
れぞれ回動可能に設けられている。支持台１２０は、こ
の上部に回転可能に取り付けられた回転ベース１２１を
備え、当該支持台１２０は常時水平姿勢に保持されてい
る。アーム１１１は、第１及び第２アーム１１２、１１
３とを備えている。第１及び第２アーム１１２、１１３
は、各々の一端が回動可能に連結され、第１アーム１１
２の他端が回転ベース１２１に、第２アーム１１３の他
端が搬送ハンド１１０の基端部にそれぞれ回動可能に設
けられている。また、搬送ハンド１１０は、基板の吸着
保持が可能となっている。

【０００５】この基板搬送装置１００は、基板搬入の際
に、垂直旋回アーム部１３０を旋回すると共に回転ベー
ス１２１を回転して、搬送ハンド１１０を搬入カセット
キャリア１５１の正面に移動する。そして、アーム１１
１を水平方向に伸長し搬入カセットキャリア１５１内に
搬送ハンド１１０を挿入して、この搬送ハンド１１０上
に基板を保持する。次いで、アーム１１１を収縮すると
共に回転ベース１２１を略１／２回転する一方で、垂直
旋回アーム部１３０を旋回して例えば処理装置１５３の
正面且つ搬送ハンド１１０を挿入可能な高さに移動す
る。そして、アーム１１１を水平方向に伸長し搬送ハン
ド１１０を処理装置１５３内に挿入して、この処理装置
１５３に基板を受け渡して、基板の搬入を終了する。そ
の後、基板搬送装置１００は、基板搬出の際に、上述し
た基板搬入の際と同様の動作を行って、処理済基板を搬
出カセットキャリア１５２に受け渡して、基板の搬出を
終了する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板搬
送装置は、支持台が第２垂直旋回アームの他端に設けら
れているため、垂直旋回アーム部には大きな負荷がかか
る。特に、第１垂直旋回アームには、搬送ハンド、アー
ム及び支持台の荷重に加えて第２垂直旋回アームの荷重
もかかるため、搬送ハンドの位置決めの際に、誤差が生
じ易くなるといった問題がある。そのため、第１及び第
２垂直旋回アームに高い剛性が求められ、両アームの質
量が大きなものとなっている。その結果、両アームを駆
動する第１及び第２アーム駆動モータに高いトルクが要
求され、両駆動モータの質量、外形を大きなものとする
必要がある。加えて、搬送ハンドの垂直方向への移動を
第１及び第２垂直旋回アームを旋回させることにより行
うため、所定位置への移動に関しての演算が複雑なもの
となってしまう。その結果、演算に時間がかかり、搬送
ハンドの所定位置への移動速度が遅くなるといった問題
もある。

【０００７】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
で、搬送ハンド、アーム及び支持台の荷重を分散でき、
搬送ハンドの高精度の位置決め及び高速移動ができる基
板搬送装置、及び基板収納カセット搬送装置を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明の基板搬送装置（１）は、例え
ば図１〜図３に示すように、水平方向に伸縮するアーム
（１１）先端にて円盤状の薄型基板を支持して搬送する
搬送ハンド（１０）と、前記搬送ハンドを支持した鉛直
軸周りに回転自在な支持台（２０）と、共に同一直線に
沿って水平方向に移動自在な第１及び第２移動基台（例
えば、第１及び第２直動ベース３１、３２）と、前記支
持台と前記第１移動基台との双方に、それぞれ前記第１
移動基台の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回自在に連
結された第１リンク（３３）と、前記支持台と前記第２
移動基台との双方に、それぞれ前記第２移動基台の移動
方向に沿う鉛直面に沿って旋回自在に連結された第２リ
ンク（３４）を含む前記支持台を水平状態に維持可能な
姿勢維持手段（例えば、第２リンク３４）と、を備える
ことを特徴としている。

【０００９】ここで、円盤状の薄型基板としては、例え
ば、シリコンウェハや液晶ガラス基板やＣＤ−ＲＯＭ
（Compact Disc Read Only Memory）基板等が挙げられ
る。姿勢維持手段としては、例えば第２リンクを含んで
構成される平行リンクが挙げられる。

【００１０】請求項１記載の発明によれば、第１及び第
２移動基台を同一直線に沿って同一方向に移動させるこ
とにより搬送ハンドを所定の高さで水平移動させること
ができ、第１及び第２移動基台を相対的に近づける或い
は遠ざけるように移動させることにより搬送ハンドを上
方或いは下方に移動させることができる。つまり、第１
及び第２移動基台を共に同一直線に沿って水平方向に移
動させることに伴って、第１及び第２移動基台の移動方
向に沿う鉛直面に沿って搬送ハンドを移動させることが
できる。従って、搬送ハンドの所定位置への移動に関し
て複雑な演算を行う必要がなく、搬送ハンドを高速で移
動させることができる。また、支持台と第１移動基台の
双方にそれぞれ連結された第１リンクと、支持台と第２
移動基台の双方にそれぞれ連結された第２リンクとを備
えるので、搬送ハンド及び支持台の荷重を第１移動基台
と第２移動基台とに分散することができ、この荷重を受
けるために第１及び第２リンクの剛性を高める必要がな
くなる。すなわち、第１及び第２リンクの剛性を高めな
くとも、搬送ハンドの位置決めの誤差を生じ難くして、
高精度の位置決めを行うことができる。さらに、鉛直軸
周りに回転自在な支持台を備えているので、支持台を回
転させることにより搬送ハンドを所定の向きに移動させ
ることができる。加えて、支持台を水平状態に維持可能
な姿勢維持手段を備えているので、支持台を常時水平姿
勢に維持することができる。

【００１１】請求項２記載の発明の基板収納カセット搬
送装置は、水平方向に伸縮するアーム先端にて円盤状の
薄型基板を複数枚収納可能な基板収納カセットを支持し
て搬送する搬送ハンドと、前記搬送ハンドを支持した支
持台と、共に同一直線に沿って水平方向に移動自在な第
１及び第２移動基台と、前記支持台と前記第１移動基台
との双方に、それぞれ前記第１移動基台の移動方向に沿
う鉛直面に沿って旋回自在に連結された第１リンクと、
前記支持台と前記第２移動基台との双方に、それぞれ前
記第２移動基台の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回自
在に連結された第２リンクと、を備えることを特徴とし
ている。

【００１２】請求項２記載の発明によれば、基板収納カ
セットの搬送において請求項１記載の発明と同等の効果
を得ることができる。さらに、基板収納カセットの搬送
を容易に行うことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について詳細に説明する。

【００１４】図１に示すように、基板搬送装置１は、例
えばシリコンウェハや液晶ガラス基板等の円盤状の薄型
基板（以下、基板と略称する；図示略）に所定の処理を
施すことにより半導体を製造する半導体製造ラインにお
いて、例えばロードロックやプロセスチャンバ（共に、
図示略）等の処理装置と基板収納カセット（図示略）と
の相互間で基板を一枚単位で搬入出するものである。

【００１５】基板搬送装置１は、水平方向に伸縮する一
対のアーム１１，１１と、このアーム１１，１１の各々
の先端にて基板を支持して搬送する搬送ハンド１０，１
０と、この搬送ハンド１０，１０及びアーム１１，１１
を支持した支持台２０と、この支持台２０を鉛直面に沿
って移動自在な支持台移動部３０とを備えて概略構成さ
れている。

【００１６】このうち、支持台移動部３０は、共に同一
直線に沿って水平方向に移動自在な第１直動ベース（第
１移動基台）３１及び第２直動ベース（第２移動基台）
３２と、支持台２０と第１直動ベース３１との双方に連
結された第１リンク３３と、支持台２０と第２直動ベー
ス３２との双方に連結された第２リンク３４と、第１及
び第２直動ベース３１、３２を前記水平方向に移動させ
る直動ユニット４０とを備えて概略構成されている。

【００１７】直動ユニット４０は、例えば矩形状の底盤
部４０１を有し、この底盤部４０１には第１及び第２直
動ベース３１、３２の各々を同一直線に沿って水平方向
に移動させる第１及び第２直動ベース駆動部４１、４２
が設けられている。この第１及び第２直動ベース駆動部
４１、４２は、例えば図２に示すように、駆動モータ４
１１、４２１と、駆動プーリ４１２、４２２と、従動プ
ーリ４１３、４２３と、タイミングベルト４１４、４２
４と、ボールスクリュー４１５、４２５と、スライダ４
１６、４２６とをそれぞれ備えている。

【００１８】駆動モータ４１１、４２１は、底盤部４０
１の上面側にて該底盤部４０１の長手方向の一方の端部
に設けられた駆動モータ収納部４０２に収納されてい
る。駆動モータ４１１、４２１の回転軸には駆動プーリ
４１２、４２２が固定されており、この駆動プーリ４１
２、４２２と従動プーリ４１３、４２３とにタイミング
ベルト４１４、４２４がそれぞれ巻き掛けられている。
なお、従動プーリ４１３、４２３は、ボールスクリュー
４１５、４２５の一端に固定されている。このボールス
クリュー４１５、４２５は、底盤部４０１の下側にて該
底盤部４０１の長手方向に互いに平行に延在している。
一方、スライダ４１６、４２６は、例えば直方体状に形
成されており、互いの長手方向が平行となるように底盤
部４０１の長手方向に並んでいる。このスライダ４１
６、４２６の各々は、当該スライダ４１６、４２６を貫
通したねじ孔４１７、４２７と貫通孔４１８、４２８と
が長手方向に並んで形成されている。ねじ孔４１７、４
２７は、その内周部にボールスクリュー４１５、４２５
の外周部と螺合可能な雌ねじ部を有している。一方、貫
通孔４１８、４２８は、その内径がボールスクリュー４
１５、４２５の外径よりも大きい寸法に設定されてい
る。そして、スライダ４１６、４１７には、一方のスラ
イダ４１６（スライダ４２６）のねじ孔４１７（ねじ孔
４２７）に螺入し、且つ他方のスライダ４２６（スライ
ダ４１６）の貫通孔４２８（貫通孔４１８）を貫通した
状態でボールスクリュー４１５（ボールスクリュー４２
５）が取り付けられている。

【００１９】また、スライダ４１６、４２６は、その両
端の下面が底盤部４０１の長手方向に互いに平行に配設
された一対の直動ガイド４０３，４０３に沿って案内さ
れている。さらに、スライダ４１６（スライダ４２６）
は、その上面に第１直動ベース３１（第２直動ベース３
２）と接続可能な脚部４０４が（例えば複数個）設けら
れている。一方、底盤部４０１は、例えば長手方向に長
尺な開口部４０５を有しており、この開口部４０５に挿
入された脚部４０４を長手方向に案内可能となってい
る。なお、脚部４０４の上端部に直動ベースの下面が固
定されている。

【００２０】直動ユニット４０は、このように構成され
ているので、駆動モータ４１１、４２１の回転に伴って
ボールスクリュー４１５、４２５が回転して、この回転
に伴い第１及び第２直動ベース３１、３２が同一直線に
沿って水平方向に移動する。すなわち、駆動モータ４１
１（駆動モータ４２１）を所定方向（例えば、時計回
り）に回転させることにより第１直動ベース３１（第２
直動ベース３２）が駆動モータ収納部４０２に近づく方
向（以下、右という）に移動する一方で、所定方向と逆
（例えば、反時計回り）に回転させることにより第１直
動ベース３１（第２直動ベース３２）が駆動モータ収納
部４０２から遠ざかる方向（以下、左という）に移動す
る。

【００２１】第１及び第２直動ベース３１、３２は、例
えば長尺な平板状の部材であり、第２直動ベース３２
は、例えば第１直動ベース３１よりも駆動モータ収納部
４０２側に設けられている。また、第１直動ベース３１
の上面には、第１リンク３３を取り付け可能な一対の第
１リンク取付部３１１，３１１が設けられている。一
方、第２直動ベース３２の上面には、第２リンク３４を
構成する上側第２リンク３４１及び下側第２リンク３４
２（後述）を取り付け可能な上側第２リンク取付部３２
１１及び下側第２リンク取付部３２１２が設けられてい
る。

【００２２】第１リンク３３は、例えば棒状の部材であ
る。この第１リンク３３は、その下端が第１リンク取付
部３１１に、その上端が支持台２０下部に設けられた第
１リンク取付部位２１１に、それぞれ第１及び第２直動
ベース３１、３２の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回
自在に連結されている。第２リンク３４は、例えば、互
いに平行且つ長さが等しい棒状の上側及び下側第２リン
ク３４１、３４２とから構成されている。この上側及び
下側第２リンク３４１、３４２は、各々の下端が上側及
び下側第２リンク取付部３２１１、３２１２に、各々の
上端が支持台２０下部に設けられた上側及び下側第２リ
ンク取付部位２２１、２２２に、それぞれ前記鉛直面に
沿って旋回自在に連結されている。これら第１及び第２
リンク３３、３４は、支持台２０の上面が略水平となる
ように取り付けられている。さらに、上側及び下側第２
リンク３４１、３４２と、上側及び下側第２リンク取付
部３２１１、３２１２と、上側及び下側第２リンク取付
部位２２１、２２２とが平行リンクを構成しているの
で、支持台２０の上面を常時略水平に維持可能となって
いる。また、支持台２０の第１リンク取付部位２１１
は、第２リンク取付部位２２１、２２２よりも支持台２
０下部の駆動モータ収納部４０２側に取り付けられてい
る。従って、第１リンク３３と第２リンク３４とが交差
した状態となっている。

【００２３】支持台移動部３０は、このように構成され
ているので、第１及び第２直動ベース３１、３２を水平
方向に移動させることに伴って、両直動ベース３１、３
２の移動方向に沿う鉛直面に沿って支持台２０を移動さ
せることができる。この際の動作について図３を参照し
て具体的に説明する。

【００２４】先ず、図３（ａ）に示すように、第１及び
第２直動ベース３１、３２が所定の間隔を空けて底盤部
４０１上で停止した状態（以下、停止状態と略称する）
となっている。次に、停止状態から、駆動モータ４１
１、４２１が反時計回りに等速度で回転すると、例えば
図３（ｂ）に示すように、第１及び第２直動ベース３
１、３２が等間隔を保ちながら左に移動し、それに伴い
支持台２０が上下動せずに左に移動する。また、停止状
態から、駆動モータ４１１、４２１が時計回りに等速度
で回転すると、例えば図３（ｃ）に示すように、第１及
び第２直動ベース３１、３２が等間隔を保ちながら右に
移動し、それに伴い支持台２０が上下動せずに右に移動
する。さらに、停止状態から、駆動モータ４１１が反時
計回りに駆動モータ４２１が時計回りに等速度で回転す
ると、例えば図３（ｄ）に示すように、第１直動ベース
３１が左に第２直動ベース３２が右に移動、すなわち第
１及び第２直動ベース３１、３２が相対的に遠ざかるよ
うに移動し、それに伴い支持台２０が左右に移動せずに
下方に移動する。そして、停止状態から、駆動モータ４
１１が時計回りに駆動モータ４２１が反時計回りに等速
度で回転すると、例えば図３（ｅ）に示すように、第１
直動ベース３１が右に第２直動ベース３２が左に移動、
すなわち第１及び第２直動ベース３１、３２が相対的に
近づくように移動し、それに伴い支持台２０が左右に移
動せずに上方に移動する。

【００２５】また、支持台２０は、例えば略円筒状に形
成されており、支持台移動部３０に接続される支持台下
部２１と、この支持台下部２１上に鉛直方向の回転軸
（図示略）を有する支持台上部２２とから構成されてい
る。また、支持台下部２１は、前記回転軸を回転駆動す
る回転軸駆動部（図示略）を有して形成されている。さ
らに、支持台上部２２は、その上面に一対の搬送ハンド
１０を有するアーム１１が水平方向に旋回可能に設けら
れている。

【００２６】搬送ハンド１０及びアーム１１は、従来の
搬送ハンド及びアーム（例えば図１参照）と同様の構成
であり、例えば２リンク式のアーム１１と、このアーム
１１の先端に取り付けられた搬送ハンド１０とからな
り、水平方向に伸縮自在な構成となっている。

【００２７】次に、この基板搬送装置１による基板を搬
送する動作について説明する。

【００２８】先ず、基板搬送装置１は、プロセスチャン
バ等の処理装置に基板を搬入する際には、上述のように
第１及び第２直動ベース３１、３２を水平方向に移動す
ることにより、支持台２０に設けられた搬送ハンド１０
を搬入カセットキャリアの正面、且つ搬入カセットキャ
リア内に搬送ハンド１０を挿入可能な高さに移動しつ
つ、搬送ハンド１０が基板を取り出せる向きに支持台２
０を回転する。そして、アーム１１を水平方向に伸長
し、搬送ハンド１０を搬入カセットキャリア内に挿入
し、さらに第１及び第２直動ベース３１、３２が互いに
近づく方向に同じ速度で移動することにより搬送ハンド
１０を上方に移動させ、この搬送ハンド１０上に基板を
保持する。次いで、アーム１１を収縮すると共に支持台
２０を略１／２回転する一方、上述のように第１及び第
２直動ベース３１、３２を水平方向に移動して、処理装
置の正面且つ搬送ハンド１０を挿入可能な高さに移動す
る。そして、アーム１１を水平方向に伸長し搬送ハンド
１０を処理装置内に挿入し、さらに第１及び第２直動ベ
ース３１、３２が互いに遠ざかる方向に同じ速度で移動
することにより搬送ハンド１０を下方に移動させ、この
処理装置に基板を受け渡して、基板の搬入を終了する。
その後、基板搬送装置１は、処理装置から基板を搬出す
る際には、上述した基板を搬入する際と同様の動作を行
って、処理済基板を搬出カセットキャリアに受け渡し
て、基板の搬出を終了する。

【００２９】以上のように、この実施の形態の基板搬送
装置１によれば、第１及び第２直動ベース３１、３２を
共に同一直線に沿って水平方向に移動させることに伴っ
て、第１及び第２直動ベース３１、３２の移動方向に沿
う鉛直面に沿って搬送ハンド１０を移動させることがで
きる。従って、搬送ハンド１０の所定位置への移動に関
して複雑な演算を行う必要がなく、搬送ハンド１０を高
速で移動させることができる。また、支持台２０と第１
直動ベース３１の双方にそれぞれ連結された第１リンク
３３と、支持台２０と第２直動ベース３２の双方にそれ
ぞれ連結された第２リンク３４とを備えるので、搬送ハ
ンド１０、アーム１１及び支持台２０の荷重を第１直動
ベース３１と第２直動ベース３２とに分散することがで
き、この荷重を受けるために第１及び第２リンク３１、
３２の剛性を高める必要がなくなる。すなわち、第１及
び第２リンク３１、３２の剛性を高めなくとも、搬送ハ
ンド１０の位置決めの誤差を生じ難くして、高精度の位
置決めを行うことができる。さらに、上側及び下側第２
リンク３４１、３４２と、上側及び下側第２リンク取付
部３２１１、３２１２と、上側及び下側第２リンク取付
部位２２１、２２２とが平行リンクを構成しているの
で、支持台２０の上面を常時略水平に維持することがで
きる。加えて、支持台２０は、鉛直軸周りに回転自在と
なっているので、支持台２０を回転させることにより搬
送ハンド１０を所定の向きに移動させることができる。

【００３０】なお、本発明は本実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意の変形
が可能である。例えば、この実施の形態では、基板を一
枚単位で支持して搬送する搬送ハンド１０を設けるよう
にしたが、例えば、基板を複数枚収納可能な基板収納カ
セット（図示略）を支持して搬送する搬送ハンドを設け
るようにしても良い。さらに、この搬送ハンドを備えて
基板収納カセット搬送装置（図示略）を構成することに
より、基板収納カセットの搬送を容易に行うことができ
る。また、ボールスクリューの長さを延長するだけで、
搬送距離を延長させることもできる。また、この実施の
形態では、支持台２０の移動において、駆動モータ４１
１、４２１を等速度で回転させるようにしたが、これに
限られるものではなく、例えば、両駆動モータ４１１、
４２１を異なる回転速度に制御することにより、支持台
２０を垂直方向及び水平方向に同時に移動、すなわち斜
めに移動させることができる。さらに、この実施の形態
では、駆動モータ４１１、４２１を回転させこの回転に
伴いボールスクリュー４１５、４２５を回転させること
によって、スライダ４１６、４２６を移動させる構成と
したが、これに限られるものではなく、スライダ４１
６、４２６を移動可能であれば如何なる構成であっても
良い。例えば、リニアモータ等を用いる構成でも良い。
加えて、この実施の形態では、第１及び第２リンク３
３、３４を交差させた構成としたが、これに限られるも
のではなく、支持台２０を鉛直面に沿って移動自在な構
成であれば如何なる構成であっても良い。例えば、第１
及び第２リンク３３、３４を交差させずに略「八」字状
に設けた構成であっても良い。

【００３１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、第１及び
第２移動基台を同一直線に沿って同一方向に移動させる
ことにより搬送ハンドを所定の高さで水平移動させるこ
とができ、第１及び第２移動基台を相対的に近づける或
いは遠ざけるように移動させることにより搬送ハンドを
上方或いは下方に移動させることができる。つまり、第
１及び第２移動基台を共に同一直線に沿って水平方向に
移動させることに伴って、第１及び第２移動基台の移動
方向に沿う鉛直面に沿って搬送ハンドを移動させること
ができる。従って、搬送ハンドの所定位置への移動に関
して複雑な演算を行う必要がなく、搬送ハンドを高速で
移動させることができる。また、支持台と第１移動基台
の双方にそれぞれ連結された第１リンクと、支持台と第
２移動基台の双方にそれぞれ連結された第２リンクとを
備えるので、搬送ハンド及び支持台の荷重を第１移動基
台と第２移動基台とに分散することができ、この荷重を
受けるために第１及び第２リンクの剛性を高める必要が
なくなる。すなわち、第１及び第２リンクの剛性を高め
なくとも、搬送ハンドの位置決めの誤差を生じ難くし
て、高精度の位置決めを行うことができる。さらに、鉛
直軸周りに回転自在な支持台を備えているので、支持台
を回転させることにより搬送ハンドを所定の向きに移動
させることができる。加えて、支持台を水平状態に維持
可能な姿勢維持手段を備えているので、支持台を常時水
平姿勢に維持することができる

【００３２】請求項２記載の発明によれば、基板収納カ
セットの搬送において請求項１記載の発明と同等の効果
を得ることができる。さらに、基板収納カセットの搬送
を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一実施の形態として例示する
基板搬送装置の要部斜視図である。

【図２】図１の基板搬送装置に備わる直動ベース駆動部
を示す要部斜視図である。

【図３】図１の基板搬送装置の基板を搬送する動作を説
明するための図面である。

【図４】従来の基板搬送装置を示す要部平面図である。

【図５】従来の基板搬送装置を示す要部斜視図である。

【図６】従来の基板搬送装置を示す要部側面図である。

【符号の説明】

１基板搬送装置１０搬送ハンド１１アーム２０支持台３１第１直動ベース（第１移動基台）３２第２直動ベース（第２移動基台）３３第１リンク３４第２リンク（姿勢維持手段）３４１上側第２リンク（姿勢維持手段）３４２下側第２リンク（姿勢維持手段）３２１１上側第２リンク取付部（姿勢維持手段）３２１２下側第２リンク取付部（姿勢維持手段）２２１上側第２リンク取付部位（姿勢維持手段）２２２下側第２リンク取付部位（姿勢維持手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 ＬＦターム(参考） 3C007 AS24 BS15 CS04 CT04 CT05 CT07 CY00 HS27 HT02 HT12 HT20 5F031 CA02 CA05 DA01 FA01 FA03 FA07 GA02 GA43 GA47 GA48 GA49 GA50 LA08 LA12 LA13

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水平方向に伸縮するアーム先端にて円盤
状の薄型基板を支持して搬送する搬送ハンドと、前記搬送ハンドを支持した鉛直軸周りに回転自在な支持
台と、共に同一直線に沿って水平方向に移動自在な第１及び第
２移動基台と、前記支持台と前記第１移動基台との双方に、それぞれ前
記第１移動基台の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回自
在に連結された第１リンクと、前記支持台と前記第２移動基台との双方に、それぞれ前
記第２移動基台の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回自
在に連結された第２リンクを含む前記支持台を水平状態
に維持可能な姿勢維持手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】水平方向に伸縮するアーム先端にて円盤
状の薄型基板を複数枚収納可能な基板収納カセットを支
持して搬送する搬送ハンドと、前記搬送ハンドを支持した支持台と、共に同一直線に沿って水平方向に移動自在な第１及び第
２移動基台と、前記支持台と前記第１移動基台との双方に、それぞれ前
記第１移動基台の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回自
在に連結された第１リンクと、前記支持台と前記第２移動基台との双方に、それぞれ前
記第２移動基台の移動方向に沿う鉛直面に沿って旋回自
在に連結された第２リンクと、を備えることを特徴とする基板収納カセット搬送装置。