JPS636857A - ウエ−ハ移し替え装置 - Google Patents

ウエ−ハ移し替え装置

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JPS636857A
JPS636857A JP61150323A JP15032386A JPS636857A JP S636857 A JPS636857 A JP S636857A JP 61150323 A JP61150323 A JP 61150323A JP 15032386 A JP15032386 A JP 15032386A JP S636857 A JPS636857 A JP S636857A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 所望のウェーハキャリアの間でウェーハを移し替えるウ
ェーハ移し替え装置において、ウェーハキャリアのウェ
ーハ出し入れ開口を下向きにしてウェーハを出し入れす
ることにより、作動に関する従来の不安定要素を除去し
て、ウェーハの移し変えを安定化させたものである。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、所望のウェーハキャリアの間でウェーハを移
し替えるウェーハ移し替え装置の構成に関す。
半導体装置などの製造においては、通常、製造途上の基
板にウェーハを用い、これに種々の加工を施す。その際
、加工工程、運搬工程、保管工程におけるウェーハの保
持にウェーハキャリア（以下キャリアと略称する）を使
用する。
そしてキャリアは工程により使用が区分けされるので、
前工程で使用したキャリアから次工程で使用するキャリ
アにウェーハの移し替えが必要になるが、この移し替え
に使用する装置は、安定に作動することが重要である。
〔従来の技術〕
キャリアは、第３図の斜視図（ａ）　（ｂ）に示す如く
、外形が略直方体状をなしてその一面がウェーハ（図示
Ｗ）の出し入れ開口となり、複数例えば２５枚のウェー
ハを例えばピッチが４．７６ｔａと言った具合に規格化
された間隔で積層状に並べて収容するものである。
そしてキャリアには、石英ガラスまたはプラスチックス
製で前記開口以外に背面などが開口した枠状をなし加工
工程や運搬工程に使用される図（ａ１図示の一般キャリ
アと、プラスチックス製で前記開口以外が閉塞された箱
状をなし主として保管工程に使用される図（ｂ１図示の
箱型キャリアとがある。
本発明に係るウェーハ移し替え装置は、先に述べた必要
性から所望のキャリアの間でウェーハの移し替えが可能
でなければならない。
第４図は、このウェーハ移し替え装置の従来例の要部構
成を示す側面図である。
同図において、ＣＩはウェーハＷの移し替え元になるキ
ャリア、Ｃ２はウェーハＷの移し替え先になるキャリア
、１はキャリアＣ１およびＣ２を載せ軸１ａを軸にして
回転する回転テーブル、２はキャリアＣ１およびＣ２に
対してウェーハＷを出し入れするウェーハ搬送機構、で
ある。
搬送機構２はアーム２ａを具え、アーム２ａは、キャリ
アＣ１またはＣ２が収容するウェーハＷと同数あって同
ピツチに配列され、それぞれの先端部にウェーハチャッ
ク２ｂを具えている。
ウェーハＷの移し替えは、次の如くに一括して行う。
先ず図示の位置にあるキャリアＣ１に対し搬送機構２が
右方に移動して各アーム２ａを各ウェーハＷの下に挿入
し、各チャック２ｂがそれぞれ直上のウェーハＷをチャ
ックして支持する。次いで搬送機構２が左方に移動して
キャリアＣ１からウェーハＷを一括して取り出す０次い
でテーブルｌが回転してキャリアＣ１とＣ２との位置を
交替する。次いで搬送機構２が右方に移動してキャリア
Ｃ２にウェーハＷを収納し、チャック２ｂがウェーハＷ
を解放する。
次いで搬送機構２が左方に移動してキャリアＣ２から離
れ、移し替えを完了する。
〔発明が解決しようとする問題点〕
この場合、キャリアＣ１に収容されているウェーハＷの
間隔寸法が前述の如く小さいため、ウェーハＷの下に挿
入するアーム２ａは、厚さが薄くなって機械的に十分な
強度を有するものにすることが困難である。
このため上記構成のウェーハ移し替え装置では、ウェー
ハＷを支持するアーム２ａ先端部の位置が不安定になり
、ウェーハＷの出し入れが滑らかに行われない場合が発
生する。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点は、キャリアＣ１またはＣ２に収容されたウ
ェーハＷの下に挿入するアーム２ａの如き不安定な部材
を必要としない本発明の下記ウェーハ移し替え装置によ
って解決される。
それは、ウェーハキャリアのウェーハ出し入れ開口を下
向きにさせるキャリア回転機構と、該キャリア回転機構
によりウェーハ出し入れ開口が下向きになるウェーハキ
ャリアからウェーハが滑落するのを適時防止するウェー
ハ押え機構と、ウェーハ保持部を有し、酸ウェーハ保持
部をウェーハ出し入れ開口が下向きになっている第一の
ウェーハキャリアの下に位置させて、該第一のウェーハ
キャリアからウェーハをその自重を利用して該ウェーハ
保持部に取り込み、且つ酸ウェーハ保持部をウェーハ出
し入れ開口が下向きになっている第二のウェーハキャリ
アの下に位置させて、該ウェーハ保持部からウェーハを
押し上げて該第二のウェーハキャリアに収納するウェー
ハ搬送機構とを具えるウェーハ移し替え装置である。
〔作用〕 第４図で説明した従来例装置では、ウェーハの出し入れ
の移動が水平方向であった。このためウェーハ搬送機構
２に問題のアーム２ａを具えることが必要であった。
これに対し本発明の装置は、ウェーハの出し入れの移動
を垂直方向に変えているので、ウェーハの出し入れにそ
の自重を利用することが出来る。
即ち、本装置のウェーハ搬送機構では、ウェーハの下端
部で自重を受ける単純構成のウェーハ支持台によりウェ
ーハを支持し、その上下動によってキャリアに対するウ
ェーハの出し入れを行うこハの側部を適宜ガイドすれば
良い。
このことから、本装置のウェーハ搬送機構は、従来例の
アーム２ａの如き不安定な部材を必要としないで、ウェ
ーハに対する所望の搬送を行うことが出来る。
なお上記ウェーハ押え機構は、上記キャリア回転機構が
キャリアを下向きにさせる時から上記つ工−ハ支持台が
ウェーハを支持するまでの間につ工−ハが滑落するのを
防止するものである。
〔実施例〕
以下、本発明のウェーハ移し変え装置実施例についてそ
の要部構成を示す第１図の斜視図および第２図の動作説
明図（ａ）〜ｆｄ）を用い説明する。企図を通じ同一符
号は同一対象物を示す。
同図において、１０はウェーハＷを水平にする方向で載
置されたキャリアＣ１およびＣ２を固定しウェーハ出し
入れ開口を下向きにさせるキャリア回転機構、２０はウ
ェーハ出し入れ開口が下向きになるキャリアＣ１または
Ｃ２からウェーハＷが滑落するのを適時防止するウェー
ハ押え機構、３０はウェーハ出し入れ開口が下向きにな
っているキャリアＣ１およびＣ２を対象にウェーハＷを
キャリアＣ１から取り出しキャリアＣ２に収納するウェ
ーハ搬送機構、である。
キャリア回転機構１０は、キャリアＣ１と０２とを横並
びに固定するテーブル１１を具え、テーブル１１は軸１
２を軸にして回転する。キャリアＣＩおよびＣ２は、ウ
ェーハ出し入れ開口を共に軸１２側に向けて固定される
。
ウェーハ押え機構２０は、軸１２を軸にして回転するア
ーム２１を具え、アーム２１には軟質プラスチックス製
のひれ伏抑え坂２２が取付けられており、アーム２１が
キャリアＣ１またはＣ２の方に回転した際に、押え板２
２がキャリアＣ１またはＣ２に収容されているウェーハ
Ｗを出て来ないように押さえる。
ウェーハ搬送機構３０は、キャリアＣ１から一括して取
り出したウェーハＷをそのままの間隔に保つ平行溝のウ
ェーハガイド３１を有するウェーハ保持部３２と、ウェ
ーバ保持部３２の中央部にあってウェーハＷの下端部で
自重を受けることによりウェーハＷを支持し且つ上下動
するウェーハ支持台３３とを具え、ウェーハ出し入れ開
口が下向きになったキャリアＣＩおよびＣ２の下側に位
置して両キャリア間の間を移動する。
ウェーハＷの移し変えは、第２図の動作説明図（ａｌ〜
（ｄ）に示す如くに一括して行う。
即ち先ず図ｔａ＋に示す如く、テーブル１１上にキャリ
アＣ１およびＣ２を上記した横並びに固定する。
次いで図（ｂ）に示す如く、キャリアＣ１内のアーム２
１を回転して押え板２２がウェーハＷを押さえる。
なおアーム２１の定位置は破線で示す位置である。
次いで図（Ｃ）に示す如く、テーブル１１とアーム２１
とを一緒に回転してキャリアＣＩおよびＣ２を倒しウェ
ーハ出し入れ開口を下向きにし、ウェーハ保持部３２を
キャリアＣ１の下に位置させた後、ウェーハ支持台３３
を上方に移動してキャリアＣ１内のウェーハＷを支持す
る。この間は、押え板２２がウェーハＷの滑落を防止し
ている。
次いで図（ｄｌに示す如く、アーム２１を定位置に戻し
、ウェーハ支持台３３を下方に移動してキャリアＣ１内
のウェーハＷを一括してウェーハ保持部３２に取り込む
。
次いでウェーハ保持部３２をキャリアＣ２の下に移動し
た後、上記と逆の手順を経て、即ち、ウェーハ支持台３
３を上方に移動しウェーハＷを押し上げてキャリアＣ２
に収納し、キャリア０２側の押え板２２でウェーハを押
えながらテーブル１１を先と＋ｆ方向に回転してキャリ
アＣ２およびＣ１を起こし、押え板２２を定位置に戻し
て、所望の移し変えを完了する。
上記の動作を行う本発明のウェーハ移し変え装置におい
ては、従来例の如き不安定な要素が無いので、ウェーハ
Ｗの移し変えが滑らかに行われる。
然もキャリアＣＩおよびＣ２に所望のキャリアを使用し
てそのように作動する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明の構成によれば、所望のウェ
ーハキャリアの間でウェーハを移し替えるウェーハ移し
替え装置において、作動に関する不安定要素が除去され
て、ウェーハの移し変えが安定している当該装置の提供
を可能にさせる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明実施例の要部構成を示す斜視図、第２図
は実施例の動作説明図（ａ）〜（ｄｌ、第３図はウェー
ハキャリアの斜視図（ａ）　（ｂｌ、第４図は従来例の
要部構成を示す側面図、である。 図において、 １０はキャリア回転機構、 １１はテーブル、 ２０はウェーハ押え機構、 ２１はアーム、 ２２は押え板、 ３０はウェーハ搬送機構、 ３２はウェーハ保持部、 ３３はウェーハ支持台、 Ｃ１、Ｃ２はウェーハキャリア、 Ｗはウェーハ、 である。 単　１　図 革　２　図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ウェーハキャリアのウェーハ出し入れ開口を下向きにさ
    せるキャリア回転機構と、該キャリア回転機構によりウ
    ェーハ出し入れ開口が下向きになるウェーハキャリアか
    らウェーハが滑落するのを適時防止するウェーハ押え機
    構と、ウェーハ保持部を有し、該ウェーハ保持部をウェ
    ーハ出し入れ開口が下向きになっている第一のウェーハ
    キャリアの下に位置させて、該第一のウェーハキャリア
    からウェーハをその自重を利用して該ウェーハ保持部に
    取り込み、且つ該ウェーハ保持部をウェーハ出し入れ開
    口が下向きになっている第二のウェーハキャリアの下に
    位置させて、該ウェーハ保持部からウェーハを押し上げ
    て該第二のウェーハキャリアに収納するウェーハ搬送機
    構とを具えることを特徴とするウェーハ移し替え装置。
JP61150323A 1986-06-26 1986-06-26 ウエ−ハ移し替え装置 Granted JPS636857A (ja)

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