JPH0461146A - 半導体ウエハ移替装置 - Google Patents
半導体ウエハ移替装置Info
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- JPH0461146A JPH0461146A JP16462090A JP16462090A JPH0461146A JP H0461146 A JPH0461146 A JP H0461146A JP 16462090 A JP16462090 A JP 16462090A JP 16462090 A JP16462090 A JP 16462090A JP H0461146 A JPH0461146 A JP H0461146A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 82
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体ウェハ製造装置における縦形拡散炉
のウェハ収納カセット又は拡散炉用石英ボート等にウェ
ハを移し替える装置に関するものである。
のウェハ収納カセット又は拡散炉用石英ボート等にウェ
ハを移し替える装置に関するものである。
第４図は従来の半導体ウェハ移替装置を示す正面図であ
り、図において（１）は半導体ウェハ、（２は半導体ウ
ェハ（Ｄが水平に収納されるように保持された収納１）
．２５枚のカセッ） 、（３）は半導体ウェハ（１）が
水平に収納されるように保持された石英ボート、（４は
カセット（２と石英ボート（３との間に設置されて′ａ
、数のアームを有する多軸スカヲータイブロボツｈ、（
ａは多軸スカラータイプロボット（４の最終段の軸に半
導体ウェハ（１）を水平に保持できるように取付られた
ウェハ保持アームである。
り、図において（１）は半導体ウェハ、（２は半導体ウ
ェハ（Ｄが水平に収納されるように保持された収納１）
．２５枚のカセッ） 、（３）は半導体ウェハ（１）が
水平に収納されるように保持された石英ボート、（４は
カセット（２と石英ボート（３との間に設置されて′ａ
、数のアームを有する多軸スカヲータイブロボツｈ、（
ａは多軸スカラータイプロボット（４の最終段の軸に半
導体ウェハ（１）を水平に保持できるように取付られた
ウェハ保持アームである。
次に動作について説明する。半導体ウェハ（１）を水平
に収納したカセット（２の底面へ、多軸スカ’７−１’
イア°ロボット（小を回転動作させてつ工／［持アーム
（９を挿入する。次いで、ウェハ保持アーム（５）によ
り最下段の半導体ウェハ（１）を保持し、カセツ）（２
１より取出す。次いで、多軸スカラータイプロボット（
４）を回転動作し、ウェハ保持アーム（９を反転させ、
石英ボート（３の半導体ウェハ（Ｄが未収納のウェハ保
持位置まで移動し、ウェハ保持アーム（５）に保持され
た半導体ウェハ（１）を置載し、保持を解放する。次い
で、多軸スカラータイプロボット（４を回転動作し、つ
エバ保持アーム（９を石英ボート（３より退避させ、反
転し、カセット（ｚへ移動させる。以上の動作を綽返し
、カセット（２１及び石英ボート（３間の半導体ウェハ
（１）の移し筈えを右う。
に収納したカセット（２の底面へ、多軸スカ’７−１’
イア°ロボット（小を回転動作させてつ工／［持アーム
（９を挿入する。次いで、ウェハ保持アーム（５）によ
り最下段の半導体ウェハ（１）を保持し、カセツ）（２
１より取出す。次いで、多軸スカラータイプロボット（
４）を回転動作し、ウェハ保持アーム（９を反転させ、
石英ボート（３の半導体ウェハ（Ｄが未収納のウェハ保
持位置まで移動し、ウェハ保持アーム（５）に保持され
た半導体ウェハ（１）を置載し、保持を解放する。次い
で、多軸スカラータイプロボット（４を回転動作し、つ
エバ保持アーム（９を石英ボート（３より退避させ、反
転し、カセット（ｚへ移動させる。以上の動作を綽返し
、カセット（２１及び石英ボート（３間の半導体ウェハ
（１）の移し筈えを右う。
従来の半導体ウェハ移替装置は以上の様Ｖ構成されてい
るので、半導体ウェハ（１）の移し替えが１枚ずつしか
行えないので、処理に時間がかかった。
るので、半導体ウェハ（１）の移し替えが１枚ずつしか
行えないので、処理に時間がかかった。
この発明は上記のような間順点を解消オるためになされ
たもので、カセットあるいは石英ボートから石英ボート
あるいはカセットへの４１体ウェハの移し替えを短時間
で完了できる半導体ウェハ移替製蓋を得ることを目的と
する。
たもので、カセットあるいは石英ボートから石英ボート
あるいはカセットへの４１体ウェハの移し替えを短時間
で完了できる半導体ウェハ移替製蓋を得ることを目的と
する。
この発明に係る半導体ウェハ移替装置は、ウェハ保持ア
ームを水平に同一軸上、同一間隔で沿直方向にカセット
１個の半導体ウコ゛ハ収納数に整列させて積重ねたもの
である。
ームを水平に同一軸上、同一間隔で沿直方向にカセット
１個の半導体ウコ゛ハ収納数に整列させて積重ねたもの
である。
この発明における半導体ウェハ移替装置は、カセット１
個に収納された半導体ウェハを・−括して収納、取出し
を行う。
個に収納された半導体ウェハを・−括して収納、取出し
を行う。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は正面図、第２図は第１図のウェハ保持アームを示す
平向図、第３図は第２図のウェハ保持アームの斜視図で
あり、前記従来装置と同一または相当部分には同一符号
を付して説明を省略する。図においで、（ｂＡ）はウェ
ハ保持アーム（■を水平に同一軸上、同一間隔に２５段
積重ねたウェハ保持アームＡ％ （５Ｂ）はつエバ保
持アームＡ （５Ａ）と回ｋｌｆＢついて１８０°対祢
をなす位Ｗに配置されかつウェハ保持アーム（５）を同
一軸上、同一間隔に２５段積重ねたウェハ保持アームＢ
％ （５（りはウェハ保持アームＡ（５Ａ）に対し９
０°反時計同りの位置に１段配置されたウェハ保持アー
・ムＣ１（５Ｄ）はウェハ保持アームＢ （５Ｂ）に対
し９０°反時計回りの位置に１段配置されたウェハ保持
アームＤである。
図は正面図、第２図は第１図のウェハ保持アームを示す
平向図、第３図は第２図のウェハ保持アームの斜視図で
あり、前記従来装置と同一または相当部分には同一符号
を付して説明を省略する。図においで、（ｂＡ）はウェ
ハ保持アーム（■を水平に同一軸上、同一間隔に２５段
積重ねたウェハ保持アームＡ％ （５Ｂ）はつエバ保
持アームＡ （５Ａ）と回ｋｌｆＢついて１８０°対祢
をなす位Ｗに配置されかつウェハ保持アーム（５）を同
一軸上、同一間隔に２５段積重ねたウェハ保持アームＢ
％ （５（りはウェハ保持アームＡ（５Ａ）に対し９
０°反時計同りの位置に１段配置されたウェハ保持アー
・ムＣ１（５Ｄ）はウェハ保持アームＢ （５Ｂ）に対
し９０°反時計回りの位置に１段配置されたウェハ保持
アームＤである。
次に動作について説明する。半導体ウェハ（１）を水平
に２５枚収納したカセット（２に対し、収納された全て
の半導体ウェハ（１）の底面にウニ”ノ＼保持アームＡ
（５Ａ）のウェハ保持面が位置するように多軸スカラー
タイプロボット（４を回転動作させ、ウェハ保持アーム
Ａ（５Ａ）を挿入し、カセット（２）に収納された全２
５枚の半導体ウェハ（１）を同時に保持し、カセット（
２１より取出す。次いで、ウェハ保持アー−＋−Ａ（５
Ａ）を反転させ、石英ボート（３のあらかじめ指定され
た半導体ウェハ（１）が未収納の位置まで移動させ、ウ
ェハ保持アームＡ（５Ａ、）に保持された全ての半導体
ウェハ（１）を置載し、保持を解放する。
に２５枚収納したカセット（２に対し、収納された全て
の半導体ウェハ（１）の底面にウニ”ノ＼保持アームＡ
（５Ａ）のウェハ保持面が位置するように多軸スカラー
タイプロボット（４を回転動作させ、ウェハ保持アーム
Ａ（５Ａ）を挿入し、カセット（２）に収納された全２
５枚の半導体ウェハ（１）を同時に保持し、カセット（
２１より取出す。次いで、ウェハ保持アー−＋−Ａ（５
Ａ）を反転させ、石英ボート（３のあらかじめ指定され
た半導体ウェハ（１）が未収納の位置まで移動させ、ウ
ェハ保持アームＡ（５Ａ、）に保持された全ての半導体
ウェハ（１）を置載し、保持を解放する。
次いで、多軸スカラータイプロボット（４を回転動作さ
せ、ウェハ保持アームＡ （５人）を石英ボート（３）
より退避させる。続いて、半導体ウェハ（１）を枚葉移
替する場合、ウェハ保持アーム（＄全体を９０°時計回
りに回転させ、ウェハ保持アームｃ（５ｏ）をカセット
（２に挿入し、収納された半導体ウェハ（１）を保持し
て取出し、石英ボート（３のあらかじめ指定された位置
へ半導体つＪハ（１）を置載する。さらに興ったプロセ
ス処理を行う場合は、ウェハ保持アーム（５１を１８０
０又は９０°同転させることにより、４種類のウェハ保
持アー・・ム（９のいずれかを選択し、カセット（２１
から石英ボート（３）への半導体ウェハ（ｉｌの移替を
行う。
せ、ウェハ保持アームＡ （５人）を石英ボート（３）
より退避させる。続いて、半導体ウェハ（１）を枚葉移
替する場合、ウェハ保持アーム（＄全体を９０°時計回
りに回転させ、ウェハ保持アームｃ（５ｏ）をカセット
（２に挿入し、収納された半導体ウェハ（１）を保持し
て取出し、石英ボート（３のあらかじめ指定された位置
へ半導体つＪハ（１）を置載する。さらに興ったプロセ
ス処理を行う場合は、ウェハ保持アーム（５１を１８０
０又は９０°同転させることにより、４種類のウェハ保
持アー・・ム（９のいずれかを選択し、カセット（２１
から石英ボート（３）への半導体ウェハ（ｉｌの移替を
行う。
このようにウェハ保持アーム（Ｓを複数積重ねたユニッ
ト（５Ａ） （５Ｂ）と、１段のユニｙ ト（５０
） （５Ｄ）とを組合せることにより、石英ボー）
（３）への半導体ウェハ（１）の配列を任意に設定可能
となるし、さらにこの組合せを２組有することによりク
ロスコンタミネーシ曹ンが可能なものが得られる。
ト（５Ａ） （５Ｂ）と、１段のユニｙ ト（５０
） （５Ｄ）とを組合せることにより、石英ボー）
（３）への半導体ウェハ（１）の配列を任意に設定可能
となるし、さらにこの組合せを２組有することによりク
ロスコンタミネーシ曹ンが可能なものが得られる。
なお、上記実施例ではカセット（２から石英ボート（３
への半導体ウェハ（１）の移替について説明したが、石
英ボート（３１からカセット（２、カセッ）（２からカ
セット（２、石英ボート（３）から石英ボート（３間で
の半導体ウェハ（１）の移替でも上記実施例と同様の効
果を奏する。
への半導体ウェハ（１）の移替について説明したが、石
英ボート（３１からカセット（２、カセッ）（２からカ
セット（２、石英ボート（３）から石英ボート（３間で
の半導体ウェハ（１）の移替でも上記実施例と同様の効
果を奏する。
また、上記実施例ではウェハ保持アー・ム（５）のカセ
ット（２および石英ボー・ト（３）間の移動をスカラー
タイプロボット（小の場合で説明したが、直動型ロボッ
トと同転テーブルの組合せによる移動機構であってもよ
く、同様の効果を奏する。
ット（２および石英ボー・ト（３）間の移動をスカラー
タイプロボット（小の場合で説明したが、直動型ロボッ
トと同転テーブルの組合せによる移動機構であってもよ
く、同様の効果を奏する。
以上のように、この発明によればウェハ保持アームを半
導体ウユハ収納カセットの収給数と同数有するため、−
括し、で、カセットから取ｄ）し収納できるので、移替
時間が短縮できる＠！がある。
導体ウユハ収納カセットの収給数と同数有するため、−
括し、で、カセットから取ｄ）し収納できるので、移替
時間が短縮できる＠！がある。
第１図はこの発明の一実旅例による正面図、第２図は第
１図のウェハ保持アームの平面図、第３図は第２図のウ
ェハ保持アームの斜視図、第４図は従来装置を示す正面
図、第５図は第４図の線■−■の際面図である。 図において、（１）は半導体ウェハ、（２はカセット、
（３）は石英ボー） 、（４１は多軸スカラータイプロ
ボット、（９はウェハ保持アームを示す。 なお、各図中同一符号は同−ｊたは相当部分を示す。
１図のウェハ保持アームの平面図、第３図は第２図のウ
ェハ保持アームの斜視図、第４図は従来装置を示す正面
図、第５図は第４図の線■−■の際面図である。 図において、（１）は半導体ウェハ、（２はカセット、
（３）は石英ボー） 、（４１は多軸スカラータイプロ
ボット、（９はウェハ保持アームを示す。 なお、各図中同一符号は同−ｊたは相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）半導体ウェハを水平状態にしてカセットあるいは
石英ボートと石英ボートあるいはカセットとの間で移し
替える装置において、ウェハ保持アームを同一軸上に同
一間隔で沿直方向に複数整列させたことを特徴とする半
導体ウェハ移替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16462090A JPH0461146A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 半導体ウエハ移替装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16462090A JPH0461146A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 半導体ウエハ移替装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0461146A true JPH0461146A (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=15796661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16462090A Pending JPH0461146A (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | 半導体ウエハ移替装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0461146A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0611344U (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-10 | 日新電機株式会社 | 半導体薄膜気相成長装置 |
| WO1997002199A1 (en) * | 1995-07-06 | 1997-01-23 | Brooks Automation, Inc. | Door drive mechanisms for substrate carrier and load lock |
| US5607276A (en) * | 1995-07-06 | 1997-03-04 | Brooks Automation, Inc. | Batchloader for substrate carrier on load lock |
| US5609459A (en) * | 1995-07-06 | 1997-03-11 | Brooks Automation, Inc. | Door drive mechanisms for substrate carrier and load lock |
| US5613821A (en) * | 1995-07-06 | 1997-03-25 | Brooks Automation, Inc. | Cluster tool batchloader of substrate carrier |
| US5664925A (en) * | 1995-07-06 | 1997-09-09 | Brooks Automation, Inc. | Batchloader for load lock |
| WO2000002803A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | Pri Automation, Inc | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
| US6120229A (en) * | 1999-02-01 | 2000-09-19 | Brooks Automation Inc. | Substrate carrier as batchloader |
| EP1094921A1 (en) * | 1998-03-20 | 2001-05-02 | Brooks Automation, Inc. | Transferring substrates with different holding end effectors |
| CN114717537A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-07-08 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 | 一种pecvd石墨舟存储与下料方法 |
-
1990
- 1990-06-22 JP JP16462090A patent/JPH0461146A/ja active Pending
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0611344U (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-10 | 日新電機株式会社 | 半導体薄膜気相成長装置 |
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| US5664925A (en) * | 1995-07-06 | 1997-09-09 | Brooks Automation, Inc. | Batchloader for load lock |
| US6481956B1 (en) * | 1995-10-27 | 2002-11-19 | Brooks Automation Inc. | Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors |
| EP1094921A1 (en) * | 1998-03-20 | 2001-05-02 | Brooks Automation, Inc. | Transferring substrates with different holding end effectors |
| JP2002507846A (ja) * | 1998-03-20 | 2002-03-12 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 異なる保持エンドエフェクタによる基板搬送方法 |
| EP1094921A4 (en) * | 1998-03-20 | 2007-11-07 | Brooks Automation Inc | TRANSPORTATION OF SUBSTRATES WITH VARIOUS GRAPHIC GOALS |
| JP2002520830A (ja) * | 1998-07-10 | 2002-07-09 | ピーアールアイ オートメーション インコーポレイテッド | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| US6450755B1 (en) * | 1998-07-10 | 2002-09-17 | Equipe Technologies | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
| WO2000002803A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | Pri Automation, Inc | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
| US6632065B1 (en) | 1998-07-10 | 2003-10-14 | Equipe Technologies | Substrate handling robot with a batch loader and individual vacuum control at batch loader paddles |
| US7179044B2 (en) | 1998-07-10 | 2007-02-20 | Brooks Automation, Inc. | Method of removing substrates from a storage site and a multiple substrate batch loader |
| US6120229A (en) * | 1999-02-01 | 2000-09-19 | Brooks Automation Inc. | Substrate carrier as batchloader |
| CN114717537A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-07-08 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 | 一种pecvd石墨舟存储与下料方法 |
| CN114717537B (zh) * | 2022-03-23 | 2023-08-22 | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 | 一种pecvd石墨舟存储与下料方法 |
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