CN114717537A - 一种pecvd石墨舟存储与下料方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法，石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时，冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0，1有，0无；根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。

Description

一种PECVD石墨舟存储与下料方法

技术领域

本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。

背景技术

PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积PECVD。

PECVD作为晶硅电池制造的关键工艺设备，已广泛应用于PERC电池、N型高效电池领域。PECVD设备的组成包括工艺片反应装置、工艺片的存储装置。其中工艺片的存储装置直接关系PECVD设备实际的产出，现有PECVD设备工艺片的存储装置，其设计逻辑因考虑工艺片的散热而采用顺序存储，容易造成无用的时间消耗。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：如何提供一种适合PECVD石墨舟存储与下料的方法，解决现有技术中采用顺序存造成无用的时间消耗。

本发明所采用的技术方案是：一种PECVD石墨舟存储与下料方法， PECVD石墨舟的搬运区域包括上下料存储区域和进出炉管存储区域，其中，上下料存储区域从上至下有7个位置，依次编号为N1、N2、N3、N4、N5、N6、N7，编号N1和N2为冷却存储位，编号N3和N4为下料存储位，编号N5、N6、N7为上料存储位，进出炉管存储区域从上至下有4个位置，依次编号为M1、M2、M3、M4，石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时，冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0，1有，0无；根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。

根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和对应石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料包括两部分，第一部分为根据进出炉管存储区域中石墨舟的冷却时间将进出炉管存储区域中的石墨舟移动到上下料存储区域，第二部分为根据上下料存储区域中的石墨舟的冷却时间将上下料存储区域中的石墨舟进行移动及下料。

根据进出炉管存储区域中石墨舟的冷却时间将进出炉管存储区域中的石墨舟移动到上下料存储区域包括以下内容

当进出炉管存储区域中存在石墨舟的冷却时间大于10min时，如果下料存储位N3和/或N4的位置状态为1，则将进出炉管存储区域的冷却时间大于10min石墨舟置于下料存储位N3和/或N4，如果下料存储位N3和 N4的位置状态都为0，则维持当前位置不变；

当进出炉管存储区域中存在石墨舟的冷却时间大于5min且小于等于10min时，如果冷却存储位N2的位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的冷却时间大于5min且小于等于10min的石墨舟置于冷却存储位N2，如果冷却存储位N2的位置状态为0且冷却存储位N1的位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的冷却时间大于5min且小于等于10min的石墨舟置于冷却存储位N1，如果冷却存储位N1和冷却存储位N2的位置状态都为0，则维持当前位置不变； 当进出炉管存储区域中存在石墨舟的冷却时间小于5min时，如果冷却存储位N1的位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的冷却时间小于5min的石墨舟置于冷却存储位N1，如果冷却存储位N1的位置状态为0，则维持当前位置不变。

根据上下料存储区域中的石墨舟的冷却时间将上下料存储区域中的石墨舟进行移动及下料包括以下内容 当冷却存储位N1的石墨舟的冷却时间大于12min时，如果下料存储位N3、N4任一位置状态为1，则将冷却存储位N1的石墨舟置于下料存储位N3、N4任一位置，如果下料存储位N3、N4任一位置状态都为0，保持冷却存储位N1的石墨舟位置不变；当冷却存储位N1的石墨舟的冷却时间小于等于12min大于等于5min时，如果冷却存储位N2位置状态为1，则将冷却存储位N1的石墨舟置于冷却存储位N2，如果冷却存储位N2位置状态为0，保持冷却存储位N1的石墨舟位置不变；当冷却存储位N1的石墨舟的冷却时间小于5min时，保持冷却存储位N1的石墨舟位置不变；

当冷却存储位N2的石墨舟的冷却时间大于5min时，如果下料存储位N3、N4任一位置状态为1，则将冷却存储位N2的石墨舟置于下料存储位N3、N4任一位置，如果下料存储位N3、N4任一位置状态都为0，保持冷却存储位N2的石墨舟位置不变。

当下料存储位N3、N4位置状态只有存储位置状态为1时，选择该存储位置状态为1的存储位下料，当下料存储位N3、N4位置状态的存储位置状态都为1时，选择冷却时间长的存储位下料，当下料存储位N3、N4位置状态的存储位置状态都为0时，如果冷却存储位N2的存储位置状态为1，则选择将冷却存储位N2的石墨舟置于下料存储位N3、N4任一位置，然后进行下料。

本发明的有益效果是：通过将石墨舟存储位设定成不同功能性区域，从而实现石墨舟存储的分区控制、顺序响应，提高石墨舟存储效率。

附图说明

图1是本发明上下料存储区域和进出炉管存储区域位置示意图。

具体实施方式

一种PECVD石墨舟存储与下料方法，通过最佳的程序控制，通过机械手实现位置搬运和下料，可节省反应后石墨舟搬运时间，具体的技术方案如下：

如图1所示，石墨舟搬运区域包括上下料存储区域（共7个位置）、进出炉管存储区域（共4个位置）。将石墨舟上下料存储区域由上到下存储位置依次编号为N1、N2、N3、N4、N5、N6、N7，并划分为冷却存储位（N1、N2）、下料存储位(N3、N4)、上料存储区（N5、N6、N7）；进出炉管存储区域由上到下存储位置依次编号为M1、M2、M3、M4；将石墨舟冷却时间定义为T，其中石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完放置于进出炉管停放区域开始计时，冷却时间Tx代表X存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管停放区域存储位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0（1有，0无）；

进出炉管存储区域上石墨舟的处理。判定M1、M2、M3、M4存储位置状态，如果为1，则将M1、M2、M3、M4存储位置上对应的石墨舟冷却时间Tm(包括Tm1、Tm2、Tm3、Tm4)按照时间长短进行区间判定。

如果Tm大于10min，首先判定下料存储位N3、N4的位置状态，如果为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的石墨舟放置于下料存储位N3、N4；如果为0，则判定冷却存储位N2位置状态，如果N2位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的石墨舟放置于冷却存储位N2；如果N2位置状态为0，则维持当前位置不变。

如果5min<Tm≤10min，首先判定冷却存储位N2的位置状态，如果为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的石墨舟放置于冷却存储位N2；如果为0，则判定冷却存储位N1位置状态，如果N1位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的石墨舟放置于冷却存储位N1；如果N1位置状态为0，则维持当前位置不变。

如果Tm≤5min，则判定冷却存储位N1位置状态，如果N1位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的石墨舟放置于冷却存储位N1；如果N1位置状态为0，则维持当前位置不变。

冷却存储位N1上石墨舟的处理。判定N1存储位置状态，如果为1，则将冷却存储位上石墨舟冷却时间Tn1进行区间判定。

如果5min<Tn1≤12min时，则判定冷却存储位N2位置状态，如果N2位置状态为1，则将N存储位置上的石墨舟移至N2存储位置；如果N2位置状态，为0，则维持当前存储位置不变。

如果Tn1>12min，则判定下料存储位N3、N4任一位置状态，如果N3、N4位置状态为1，则将N1存储位置上的石墨舟移至N3、N4存储位置；如果N3、N4位置状态为0,维持当前存储位置不变。

冷却存储位N2上石墨舟的处理。判定N2存储位置状态，如果为1，则将冷却存储位上石墨舟冷却时间Tn2进行区间判定。如果Tn2>12min，则判定下料存储位N3、N4任一位置状态，如果N3、N4位置状态为1，则将N存储位置上的石墨舟移至N3、N4存储位置；如果N3、N4位置状态为0,维持当前存储位置不变。

下料存储位N3、N4石墨舟的处理。判定N3、N4存储位置状态,如果为0，则按照存储位上石墨舟冷却时间Tn3、Tn4时间较长优先的原则，将存储位N3、N4上的石墨舟进行下料处理。

Claims (4)

1.一种PECVD石墨舟存储与下料方法，其特征在于：PECVD石墨舟的搬运区域包括上下料存储区域和进出炉管存储区域，其中，上下料存储区域从上至下有7个位置，依次编号为N1、N2、N3、N4、N5、N6、N7，编号N1和N2为冷却存储位，编号N3和N4为下料存储位，编号N5、N6、N7为上料存储位，进出炉管存储区域从上至下有4个位置，依次编号为M1、M2、M3、M4，石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时，冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0，1有，0无；根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD石墨舟存储与下料方法，其特征在于：根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和对应石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料包括两部分，第一部分为根据进出炉管存储区域中石墨舟的冷却时间将进出炉管存储区域中的石墨舟移动到上下料存储区域，第二部分为根据上下料存储区域中的石墨舟的冷却时间将上下料存储区域中的石墨舟进行移动及下料。

3.根据权利要求2所述的一种PECVD石墨舟存储与下料方法，其特征在于：根据进出炉管存储区域中石墨舟的冷却时间将进出炉管存储区域中的石墨舟移动到上下料存储区域包括以下内容

当进出炉管存储区域中存在石墨舟的冷却时间大于10min时，如果下料存储位N3和/或N4的位置状态为1，则将进出炉管存储区域的冷却时间大于10min石墨舟置于下料存储位N3和/或N4，如果下料存储位N3和 N4的位置状态都为0，则维持当前位置不变；

当进出炉管存储区域中存在石墨舟的冷却时间大于5min且小于等于10min时，如果冷却存储位N2的位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的冷却时间大于5min且小于等于10min的石墨舟置于冷却存储位N2，如果冷却存储位N2的位置状态为0且冷却存储位N1的位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的冷却时间大于5min且小于等于10min的石墨舟置于冷却存储位N1，如果冷却存储位N1和冷却存储位N2的位置状态都为0，则维持当前位置不变； 当进出炉管存储区域中存在石墨舟的冷却时间小于5min时，如果冷却存储位N1的位置状态为1，则将对应M1、M2、M3、M4存储位上的冷却时间小于5min的石墨舟置于冷却存储位N1，如果冷却存储位N1的位置状态为0，则维持当前位置不变。

4.根据权利要求2所述的一种PECVD石墨舟存储与下料方法，其特征在于：根据上下料存储区域中的石墨舟的冷却时间将上下料存储区域中的石墨舟进行移动及下料包括以下内容 当冷却存储位N1的石墨舟的冷却时间大于12min时，如果下料存储位N3、N4任一位置状态为1，则将冷却存储位N1的石墨舟置于下料存储位N3、N4任一位置，如果下料存储位N3、N4任一位置状态都为0，保持冷却存储位N1的石墨舟位置不变；当冷却存储位N1的石墨舟的冷却时间小于等于12min大于等于5min时，如果冷却存储位N2位置状态为1，则将冷却存储位N1的石墨舟置于冷却存储位N2，如果冷却存储位N2位置状态为0，保持冷却存储位N1的石墨舟位置不变；当冷却存储位N1的石墨舟的冷却时间小于5min时，保持冷却存储位N1的石墨舟位置不变；

当冷却存储位N2的石墨舟的冷却时间大于5min时，如果下料存储位N3、N4任一位置状态为1，则将冷却存储位N2的石墨舟置于下料存储位N3、N4任一位置，如果下料存储位N3、N4任一位置状态都为0，保持冷却存储位N2的石墨舟位置不变；

当下料存储位N3、N4位置状态只有存储位置状态为1时，选择该存储位置状态为1的存储位下料，当下料存储位N3、N4位置状态的存储位置状态都为1时，选择冷却时间长的存储位下料，当下料存储位N3、N4位置状态的存储位置状态都为0时，如果冷却存储位N2的存储位置状态为1，则选择将冷却存储位N2的石墨舟置于下料存储位N3、N4任一位置，然后进行下料。

Images