JP2004296646A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】収容器を搬送する基板処理装置において、収容器の搬送速度を向上させても、安定して搬送できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明では、ＦＯＵＰ２０をロードポート１０の載置面１０ａにロードポート１０の載置面１０ａに立設されたピン（ピン１５等）によってＦＯＵＰ２０を支持する。次に、シリンダ５１によってトレー３４の上面位置をＺ１からＺ２まで上昇させ、フックピン４５およびロックピン４２を、それぞれ対応する穴部２５および穴部２６に挿入する。続いて、フックピン移動機構４６によって係合部２５ａとフック部４５ａとを係合させるとともに、穴部２６の内周面にロックピン４２の外周面を押し当てる。これにより、ＦＯＵＰ２０を安定して固定することができるため、ＦＯＵＰ２０を安定して搬送できる。
【選択図】 図４
【解決手段】本発明では、ＦＯＵＰ２０をロードポート１０の載置面１０ａにロードポート１０の載置面１０ａに立設されたピン（ピン１５等）によってＦＯＵＰ２０を支持する。次に、シリンダ５１によってトレー３４の上面位置をＺ１からＺ２まで上昇させ、フックピン４５およびロックピン４２を、それぞれ対応する穴部２５および穴部２６に挿入する。続いて、フックピン移動機構４６によって係合部２５ａとフック部４５ａとを係合させるとともに、穴部２６の内周面にロックピン４２の外周面を押し当てる。これにより、ＦＯＵＰ２０を安定して固定することができるため、ＦＯＵＰ２０を安定して搬送できる。
【選択図】 図４
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収容器を収容するとともに、その収容器からの基板の搬出またはその収容器への基板の搬入を行う基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置において、未処理基板は、キャリア等の収容器に収納された状態で装置外部から基板処理装置に搬入される。キャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ（ｏｐｅｎ ｃａｓｓｅｔｔｅ）と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）が使用される場合、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度を維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−２６０８４８号公報
【特許文献２】
特開２００２−２３１７８５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１のキャリア（ＦＯＵＰに該当）は、当該キャリアの底部を昇降ハンドが支持しつつ搬送することによって、また、特許文献２のＦＯＵＰは、ＦＯＵＰの底部を搬送アームが下方より支持しつつ搬送することによって、それぞれ、基板処理装置の所定の場所に搬送される。すなわち、特許文献１および特許文献２において、ＦＯＵＰ搬送の際、ＦＯＵＰは搬送手段に支持されるのみ（単に載置状態にあるのみ）で固定されていない。そのため、基板処理装置のスループットを向上させるためにＦＯＵＰの搬送速度をさらに向上させると、安定してＦＯＵＰを搬送することができないといった問題が生じる。
【０００６】
そこで、本発明は、基板を収納する収容器を搬送する基板処理装置において、収容器の搬送速度を向上させても、安定して搬送できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置であって、基板に所定の処理を施す第１ユニットと、前記第１ユニットに並設され、基板を収納する収容器を収容する収容部を有し、前記収容器から前記第１ユニットへの基板の搬出または前記第１ユニットから前記収容器への基板の搬入を行う第２ユニットと、前記第２ユニットに並設され、前記収容器を載置する載置部と、前記載置部および前記収容部の間で前記収容器を搬送する搬送手段と、を有する第３ユニットと、を備え、前記搬送手段は、前記収容器を着脱自在に固定する固定機構を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記固定機構は、前記収容器の下部に設けられた第１の穴部に挿入可能な第１のピンと、前記収容器の下部に設けられた第２の穴部に挿入可能で、前記第２の穴部の係合部と係合可能な第２のピンと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１０】
＜１．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置１の全体構成を示す斜視図である。なお、図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００１１】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置である。図１に示すように、基板処理装置１は、主として、ローダ部９１、基板処理部９２、およびアンローダ部９３を有する基板処理ユニット９４と、図示を省略する搬送ロボットや基板処理装置１のオペレータによって載置されるＦＯＵＰ２０を、基板処理ユニット９４のローダ部９１に搬送するロードポート１０とを備えている。
【００１２】
まず、ＦＯＵＰ２０について説明する。図２（ａ）にＦＯＵＰ２０の側面図を、また、図２（ｂ）にＦＯＵＰ２０の裏面図をそれぞれ示す。ＦＯＵＰ２０は、基板処理装置間で基板を搬送する際に使用されるキャリアであり、その内部に複数の基板をＸＹ平面に対して略平行に収納する。また、ＦＯＵＰ２０は、その内部を密閉して、基板を保持しつつ基板を搬送する。そのため、基板処理装置間で基板を搬送する際に周囲の雰囲気にパーティクル等の汚染物質が存在していても基板の洗浄度は維持される。
【００１３】
また、ＦＯＵＰ２０の側面のうちの１つの面には蓋２１が設けられており、蓋２１を開放することによって、その内部に対して基板の搬入・搬出が可能となる。
【００１４】
さらに、ＦＯＵＰ２０の上部にはフランジ２７が形成されている。そのため、フランジ２７を図示を省略する保持機構により把持することによってＦＯＵＰ２０は吊り下げられた状態で保持される。
【００１５】
図２に示すように、ＦＯＵＰ２０の裏面側（底面部）には、放射状に配置した３つの溝部２２〜２４が形成されている。そして、これら溝部２２〜２４に、後述するロードポート１０の載置面１０ａ上に立設されたピン１５〜１７（図４、図５参照）を挿入して嵌め合わせることにより、ＦＯＵＰ２０は載置面１０ａに支持されて載置される。
【００１６】
また、ＦＯＵＰ２０の裏面側には、２つの穴部２５、２６が設けられている。穴部２６は放射状配置した３つの溝部２２〜２４の放射中心付近に存在し、その断面は、図２（ｂ）に示すように、略円形状であり、開口部から穴部２６の上端部までの各部の断面積が略同一となるように形成されている。さらに、穴部２５は、溝部２２および穴部２６の配列延長線上にあって、その断面は、図２（ａ）に示すように、略矩形状であり、穴部２５の開口部から係合部２５ａの断面積は、係合部２５ａから穴部２５の上端部の断面積より小さくなるように形成されている。
【００１７】
そして、これら穴部２５、２６に後述する搬送機構３０のロックピン４２およびフックピン４５をそれぞれ嵌め合わせることにより、ＦＯＵＰ２０は搬送機構３０に対して確実に固定される（図６、図７参照）。
【００１８】
基板処理ユニット９４に含まれる基板処理部９２は、その内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を有するものである。基板処理部９２に搬入された基板は、これら薬液槽や水洗槽に貯留されることによって洗浄処理等の所定の基板処理が施される。
【００１９】
ローダ部９１は、図１に示すように、基板処理部９２の一方側に並設されている。図３は本実施の形態のローダ部９１を示す斜視図である。ローダ部９１は、未処理の基板を収容したＦＯＵＰ２０が基板処理ユニット９４に搬入された際に、ＦＯＵＰ２０を収容する収容部６０と、ＦＯＵＰ２０を開放してその内部から未処理基板を取り出し、ＦＯＵＰ２０から基板処理部９２に向けて基板を搬出するオープナー６４と、収容部６０とオープナー６４との間でＦＯＵＰ２０の搬送を行う搬送ロボット６３とを備えている。
【００２０】
また、ローダ部９１と基板処理部９２とは隔壁６５を挟んで接続されている。このような装置構成を採用することにより、ローダ部９１内部まではある程度清浄度が低下することがあっても、隔壁６５によってローダ部９１内部雰囲気と基板処理部９２の雰囲気とは分離されている。そのため、基板処理部９２においては高い清浄度に維持される。
【００２１】
アンローダ部９３は、図１に示すように、基板処理部９２の他方側に並設されている。アンローダ部９３は、空のＦＯＵＰ２０を収容するとともに、基板処理部９２から当該ＦＯＵＰ２０に処理済の基板を搬入する役割を有するものであり、ローダ部９１とほぼ同様な構成を有している。
【００２２】
ロードポート１０は、図１に示すように、ローダ部９１との間でＦＯＵＰ２０を受け渡すユニットであり、ローダ部９１に並設されている。また、ロードポート１００は、アンローダ部９３との間でＦＯＵＰ２０を受け渡すユニットであり、アンローダ部９３に並設されている。このように、ロードポート１０およびロードポート１００は、基板処理ユニット９４のローダ部９１とアンローダ部９３との間で、基板を収容したＦＯＵＰ２０の受渡を行うことができる。そのため、ロードポート１０およびロードポート１００は、基板受渡ユニットとして使用される。
【００２３】
なお、ロードポート１０およびロードポート１００は、同様な構成を有するため、以下ではロードポート１０について説明する。
【００２４】
＜２．ロードポートの構成＞
図４に本実施の形態のロードポート１０の側面図を示す。また、図５に本実施形態のロードポート１０の上面図を示す。ロードポート１０は、図示を省略する搬送ロボットによってＦＯＵＰ２０をその上面の載置面１０ａに載置するとともに、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａと基板処理ユニット９４のローダ部９１との間で搬送するユニットであり、図５に示すように、２つのＦＯＵＰ２０（図５の点線部）を同時に載置面１０ａに載置できるように構成されている。
【００２５】
ロードポート１０には、ＦＯＵＰ２０をローダ部９１に搬送する搬送機構３０と、搬送機構３０を上下方向に昇降させる上昇機構５０とが（図４参照）、２組設けられている。また、ロードポート１０の載置面１０ａ上には３つのピン１５〜１７が立設されている。
【００２６】
なお、ロードポート１０の２組のピン１５〜１７と搬送機構３０と上昇機構５０とは、それぞれ同様な構成を有する。そのため、以下では、２組のピン１５〜１７と搬送機構３０と上昇機構５０のうち、一方について説明する。
【００２７】
図４、図５に示すように、載置面１０ａ上に立設された各ピン１５〜１７は、各ピンの上端位置が略同一高さとなるように設計されている。各ピン１５〜１７を、それぞれ対応するＦＯＵＰ２０の溝部２２〜２４に挿入して嵌め合わせて、ピン１５〜１７によって決定される位置および姿勢でＦＯＵＰ２０は支持される。
【００２８】
図４に示すように、上昇機構５０は、主としてシリンダ５１と可動部５２と備えている。シリンダ５１は、可動部５２を略鉛直方向に２段階に昇降することができるいわゆる２段シリンダによって構成されている。また、可動部５２の上端は、搬送機構３０のベース部３５の下面と接続されている。そのため、シリンダ５１を伸張または収縮させることによって、搬送機構３０のトレー３４の上面位置は、Ｚ＝Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３となるように調整される（図４、図６、図１０参照）。
【００２９】
搬送機構３０は、ＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定しつつ、ＦＯＵＰ２０をローダ部９１の収容部６０に搬送する機構である。図４に示すように、搬送機構３０は、Ｙ軸方向と略平行な方向に進退可能な３つのトレー３２〜３４と、トレー３４上に立設されてＦＯＵＰ２０を支持するピン４１、４３、４４と、トレー３４上に立設され、ＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定するロックピン４２およびフックピン４５とを備えている。
【００３０】
図４および図５に示すように、複数のピン（図示例では３本のピン）４１、４３、４４は、トレー３４上に立設された略柱状（図示例では略円柱状）のピンであり、各ピン４１、４３、４４の上端位置が略同一高さとなるように設計されている。また、図４および図５に示すように、上昇機構５０によってトレー３４の上面位置がＺ１となるように設定した場合、各ピン４１、４３、４４の上端位置は、載置面１０ａに設けられた切欠部１８ｂの鉛直下方となるように設計されている。さらに、上昇機構５０によって搬送機構３０をトレー３４の上面位置をＺ１からＺ２まで上昇させた場合、ピン４１の上端位置は載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｂを、ピン４３の上端位置は載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｃを、また、ピン４４の上端位置は載置面１０ａ上に設けられた載置面１０ａをそれぞれ通過する。そして、各ピン４１、４３、４４の上端位置のＺ軸座標が載置面１０ａより高くなり、ピン１５〜１７の上端位置と略同一高さとなる。
【００３１】
さらに、ＦＯＵＰ２０が載置面１０ａに載置されており、上昇機構５０によってトレー３４の上面位置をＺ２とした場合に、ピン１５およびピン４１の上端位置を結ぶ線分と溝部２２の中心線とが略平行に、ピン１６およびピン４４の上端位置を結ぶ線分と溝部２３とが略平行に、また、ピン１７およびピン４３の上端位置を結ぶ線分と溝部２４の中心線とが略平行となるように、各ピン４１、４３、４４は、トレー３４に立設されている。
【００３２】
そのため、上昇機構５０によってトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２まで上昇させた場合、ＦＯＵＰ２０は、その位置・姿勢を変えることなく、ピン１５〜１７と、ピン４１、４３、４４とによって支持されることとなる。その結果、３つのピン４１、４３、４４にてＦＯＵＰ２０を支持する場合、３つのピン１５〜１７による場合と略同一位置および略同一姿勢でＦＯＵＰ２０は支持される。
【００３３】
また、図４および図５に示すように、トレー３４上にはＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定するロックピン４２およびフックピン４５が立設されている。
【００３４】
フックピン４５は、穴部２５の係合部２５ａと係合することによってＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定する逆Ｌ字型のピンである。フックピン４５は、図４〜図６に示すように、トレー３４の上端位置がＺ１の場合、切欠部１８ｂの鉛直下方となるように（図４、図５参照）トレー３４上に立設されている。また、載置面１０ａにＦＯＵＰ２０を載置した状態にてトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２まで上昇機構５０によって上昇させた場合、フックピン４５の上端位置は、載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｂおよび穴部２５の開口部を通過することとなる。そして、トレー３４の上端位置がＺ２となると、フックピン４５上端の鉤部分に相当するフック部４５ａの下面位置が穴部２５の係合部２５ａの上面位置以上（好ましくは、フック部４５ａの下面位置と係合部２５ａの上面位置とが略同一高さ）となるようにフックピン４５の鉛直方向の高さが設定されている。
【００３５】
また、フックピン４５は、トレー３４に配設されたフックピン移動機構４６と連動接続されている。フックピン移動機構４６はシリンダ４６ａおよびリニアガイド４６ｂによって構成されており（図１２参照）、フックピン４５をＹ軸方向に進退可能に設けられている。したがって、上昇機構５０によってトレー３４の上端位置をＺ２とした場合、フックピン移動機構４６を動作させてフックピン４５をＹ軸の負方向に移動させることにより、フックピン４５のフック部４５ａと、穴部２５の底に形成した横穴部分に相当する係合部２５ａとが係合する。そのため、ＦＯＵＰ２０は、トレー３４に対して確実に固定される（図７参照）。
【００３６】
すなわち、フックピン４５とフックピン移動機構４６とはトレー３４にＦＯＵＰ２０を着脱可能に固定する固定機構として使用される。この固定は、水平方向の固定と鉛直方向の固定との双方を含んでいる。その結果、後述するように３つのトレー３２〜３４をＹ軸と略平行に進退させることによって、ＦＯＵＰ２０はロードポート１０とローダ部９１の収容部６０との間で搬送される。
【００３７】
ロックピン４２は、ＦＯＵＰ２０の裏面側に設けられた穴部２６に挿入して嵌め合わせるピンであり、フックピン４５とともに使用することによってＦＯＵＰ２０はさらに安定に固定される。ロックピン４２は、図４〜図６に示すように、トレー３４の上端位置がＺ１の場合、切欠部１８ｂの鉛直下方となるように（図４、図５参照）トレー３４上に立設されている。また、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａに載置した状態にてトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２まで上昇機構５０によって上昇させた場合、ロックピン４２の上端位置は、載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｂおよび穴部２６の開口部を通過する。その結果、ロックピン４２は穴部２６に挿入されて嵌め合わされることとなる。
【００３８】
そして、トレー３４の上端位置がＺ２となる位置で、フックピン４５をフックピン移動機構４６によってＹ軸の負方向に移動させてフック部４５ａと係合部２５ａとを係合させると、ＦＯＵＰ２０はＹ軸負方向に向かう力を受けることにより、図７中のＡ部拡大図に示すように、穴部２６の内周側面のうち穴部２５側の部分２６ｔが、ロックピン４２の外周面のうち穴部２５側の部分４２ｔに押し当てられて接触し、この接触する部分に摩擦力が生じることとなる。
【００３９】
このように、フックピン４５およびロックピン４２を使用すると、フックピン４５によって係合することに加えてロックピン４２と穴部２６との摩擦力によってＦＯＵＰ２０をトレー３４上にさらに安定して確実に固定することができる。そのため、後述する３つのトレー３２〜３４によってＦＯＵＰ２０をロードポート１０およびローダ部９１の間でさらに安定して搬送できる。
【００４０】
トレー３２〜３４は、フックピン４５およびロックピン４２によってトレー３４に固定されたＦＯＵＰ２０をロードポート１０の載置面１０ａとローダ部９１の収容部６０との間で搬送するのに使用される移動トレーであり、下からトレー３２、トレー３３、トレー３４の順に鉛直方向に重ねて配置されている。
【００４１】
ここでは、図８および図９を使用してトレー３２〜３４の移動機構について説明する。図８は、トレー３２〜３４が互いに重なって縮んだ状態（例えば、図４参照）にしたときのトレー３２およびトレー３３に関するトレー移動機構を示す図である。また、図９は、トレー３２〜３４の重なりを解いて伸張させた状態（例えば、図１１参照）にしたときのトレー３２に関するトレー移動機構を示す図である。
【００４２】
図８に示すように、トレー３２のトレー移動機構は、主として、ベース部３５付近に配設されたモータ３１と、ローラ７６ａ、７７ａと、ベルト７５ａと、固定部材７１ａと、トレー３２付近に配設されたリニアガイド７８ｂとを備えている。
【００４３】
トレー３２は、ベース部３５の上部に配置されており、Ｙ軸と略平行に設けられたリニアガイド７８ｂに沿って進退可能に設けられている。ベース部３５の側面のうち、Ｘ軸と略垂直に交わる側面の一方には、ローラ７６ａ、７７ａが設けられている。
【００４４】
ローラ７７ａは、その中心付近にモータ３１の回転軸（図示省略）が接続された回転体であり、軸Ｊ１２を回転中心として回転可能に設けられている。また、ローラ７６ａは、軸Ｊ１１を回転中心として回転可能に設けられた回転体であり、ベルト７５ａを介してローラ７７ａと連動接続されている。そのため、モータ３１の回転駆動力がローラ７７ａに伝達されてローラ７７ａが回転すると、ローラ７６ａは、７７ａの回転方向と同一の方向に回転する。
【００４５】
固定部材７１ａは、逆Ｌ字型を有する部材であり、その底面がベルト７５ａの外周部と接続されている。そのため、モータ３１の回転量を制御することによって、固定部材７１ａはＹ軸と略平行な方向である矢印ＡＲ２方向またはその逆方向に略水平移動する。また、図８に示すように、固定部材７１ａの上面の一部はトレー３２の底面と接続されている。
【００４６】
したがって、ベース部３５を基準とした場合、固定部材７１ａが矢印ＡＲ２方向またはその逆方向に進退すると、固定部材７１ａと接続されたトレー３２は、リニアガイド７８ｂに沿って固定部材７１ａと略同一方向に相対移動する。例えば、モータ３１を回転させ、ローラ７７ａを軸Ｊ１２を中心として矢印ＡＲ１方向に回転させると、固定部材７１ａは矢印ＡＲ２方向に移動する。そして、トレー３２は、ベース部３５を基準とした場合、矢印ＡＲ２方向に相対移動する（図９参照）。
【００４７】
このように、モータ３１の回転駆動力は、ローラ７７ａ、ベルト７５ａおよび固定部材７１ａを介してトレー３２に伝達されて、トレー３２を略水平移動させる力となる。そのため、トレー３２はベース部３５に対して相対的に移動する。
【００４８】
次に、トレー３３に関するトレー移動機構について説明する。図８に示すように、トレー３３の移動機構は、主として、トレー３２付近に配設されたローラ７６ｂ、７７ｂと、ベルト７５ｂと、固定部材７１ｂとを備えている。
【００４９】
図８に示すように、トレー３２のＸ軸と略垂直に交わる側面のうち、ベース部３５に配設されたローラ７６ａ、７７ａとの反対側の面には、ローラ７６ｂ、７７ｂが設けられている。
【００５０】
ローラ７６ｂは、軸Ｊ２１を回転中心として回転可能に設けられた回転体である。また、ローラ７７ｂは、軸Ｊ２２を回転中心として回転可能に設けられた回転体であり、ベルト７５ｂを介してローラ７６ｂと連動接続されている。したがって、ローラ７６ｂ、７７ｂは、それぞれ軸Ｊ２１、Ｊ２２を回転中心として同一方向に回転することができる。
【００５１】
固定部材７２ｂは、Ｌ字型を有する部材であり、その上面がベルト７５ｂの外周部と、また、その下面の一部がベース部３５の上面と、それぞれ接続されている。これにより、モータ３１が回転することによってローラ７７ａが軸Ｊ１２を回転中心として矢印ＡＲ１方向に回転すると、トレー３２が矢印ＡＲ２方向に移動する。また、このとき、ベース部３５の上面に接続された固定部材７２ｂは、トレー３２を基準とした場合、矢印ＡＲ３方向に相対的に移動する。そのため、ローラ７７ｂは、軸Ｊ２２を回転中心として矢印ＡＲ４方向に回転することとなり、ローラ７７ａとローラ７７ｂとは同一方向に回転することとなる。その結果、固定部材７１ｂの移動方向は、ベース部３５を基準とした場合、固定部材７１ａの移動方向ＡＲ２と略同一な矢印ＡＲ４方向に進退することとなる。
【００５２】
また、図８に示すように、固定部材７１ｂの上面の一部はトレー３２の上方に配置されたトレー３３の底面部と接続されるとともに、トレー３３は、Ｙ軸と略平行に設けられたリニアガイド（図示省略）に沿って進退可能に設けられている。したがって、固定部材７１ｂが矢印ＡＲ４方向またはその逆方向に進退すると、固定部材７１ｂと接続されたトレー３３は、当該リニアガイドに沿って固定部材７１ｂと略同一方向に略水平移動する。
【００５３】
このように、モータ３１の回転駆動力は、トレー３２、固定部材７２ｂ、ベルト７５ｂおよび固定部材７１ｂを介してトレー３３に伝達されて、トレー３３を略水平移動させる力となる。そのため、ローラ７６ｂまたはローラ７７ｂにモータ３１以外の回転機構を設けることなく、トレー３３をトレー３２に対して相対的に移動することができる。
【００５４】
さらに、トレー３２について設けられたローラ７６ｂ、７７ｂ、固定部材７１ｂ、７２ｂ、およびベルト７５ｂと同様なものをトレー３３に設けるとともに、トレー３３に設けられたリニアガイド（図示省略）と同様なものをトレー３４に設けることにより、モータ３１の回転駆動力はトレー３４に伝達される。そのため、トレー３４はトレー３３に対して相対的に移動する。この場合、トレー３４の移動方向は、ベース部３５を基準にした場合、トレー３２およびトレー３３と同一方向となる。
【００５５】
このように、モータ３１によってベース部３５付近のローラ７７ａを回転させると、トレー３２〜３４はすべて同一方向（例えば、Ｙ軸の正方向と略平行な方向）に進退することになる。したがって、シリンダ５１によってトレー３４の上面位置をＺ３に設定するとともに、モータ３１の回転方向、回転量を制御することによって、トレー３４に固定されたＦＯＵＰ２０を、ロードポート１０の載置面１０ａ（例えば図１０参照）とローダ部９１の収容部６０に設けられた収容棚６１（例えば図１１参照）との間で搬送することができる。
【００５６】
図１に示すように、制御ユニット８０は、プログラムや変数等を格納するメモリ８１と、メモリ８１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ８２とを備えている。ＣＰＵ８２は、メモリ８１に格納されているプログラムに従って、モータ３１の回転制御、シリンダ５１の昇降制御や、フックピン移動機構４６によるＦＯＵＰ２０の固定または固定解除の制御等を所定のタイミングで行う。
【００５７】
＜３．ロードポートによるＦＯＵＰの搬送手順＞
ここでは、ロードポート１０によって、ロードポート１０の載置面１０ａとローダ部９１の収容部６０との間でＦＯＵＰ２０を搬送する手順について説明する。なお、収容部６０から載置面１０ａにＦＯＵＰ２０を搬送する手順は、載置面１０ａから収容部６０へＦＯＵＰ２０を搬送する手順を逆に行うことになる。そのため、ここでは、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａから収容部６０へ搬送する手順について説明する。
【００５８】
載置面１０ａから収容部６０にＦＯＵＰ２０が搬送される処理が行われる前の時点において、トレー３４の上端位置はＺ１となるように上昇機構５０によって調整されており、また、搬送機構３０の各トレー３２〜３４はＹ軸の負方向に移動して縮んだ状態になっている。
【００５９】
まず、図示を省略する搬送ロボットやオペレータによってＦＯＵＰ２０が載置面１０ａに載置されると、載置面１０ａ上に立設された３つのピン１５〜１７のそれぞれは、対応する溝部２２〜２４に嵌め合わされる。そのため、ＦＯＵＰ２０は３つのピン１５〜１７によって決定される位置および姿勢にて支持される（図４参照）。
【００６０】
次に、シリンダ５１によってトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２に上昇させる。これにより、トレー３４上に立設されたピン４１、４３、４４のそれぞれは、対応する溝部２２、２３、２４に挿入される。そして、トレー３４の上端位置がＺ２となると、ピン４１の上端位置はピン１５の上端位置と略同一に、ピン４４の上端位置はピン１７の上端位置と略同一に、また、ピン１６の上端位置はピン４４の上端位置と略同一になる。そのため、ＦＯＵＰ２０は、ピン１５〜１７およびピン４１、４３、４４の計６本のピンによって支持されることとなる。
【００６１】
また、トレー３４の上端位置がＺ１からＺ２まで上昇する際に、ロックピン４２およびフックピン４５のそれぞれは、対応する穴部２６、穴部２５に挿入される（図６参照）。
【００６２】
続いて、フックピン移動機構４６によってフックピン４５をリニアガイド４６ｂに沿ってＹ軸の負方向に移動させる。これにより、フックピン４５のフック部４５ａと穴部２５の係合部２５ａとが係合してＦＯＵＰ２０がＹ軸負方向に向かう力を受けるとともに、穴部２６の内周側面のうち穴部２５側の部分に、ロックピン４２の外周面のうち穴部２５側の部分が押し当てられて接触するため、このロックピン４２および穴部２６が接触する部分とフックピン４５および穴部２５が係合する部分とに摩擦力が生じることとなる。その結果、フック部４５ａおよび係合部２５ａが係合する部分と、穴部２６およびロックピン４２が接触する部分によってＦＯＵＰ２０は安定して固定される（図７参照）。
【００６３】
続いて、シリンダ５１によってトレー３４の上端位置をＺ２からＺ３に上昇させる。これにより、ピン４１、４３、４４の上端位置は、ピン１５〜１７の上端位置より高くなる。そのため、ＦＯＵＰ２０は、ピン４１、４３、４４によって載置面１０ａから持ち上げられた状態になる。また、トレー３４の上端位置がＺ２からＺ３に上昇する際に、ローダ部９１のシャッター１１が開放される。これにより、ＦＯＵＰ２０の載置された基板処理ユニット９４外の空間とローダ部９１の空間とが開口部１１ａにより連通される（図１０参照）。
【００６４】
続いて、トレー３４の上端位置をＺ３に保持した状態で、モータ３１を回転させてトレー３２〜３４が互いに重なって縮んだ状態からＹ軸正方向に相対移動させることによってそれぞれの重なりを解いて伸張させることにより、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａの直上から収容棚６１の直上まで開口部１１ａを介して移動させる（図１１）。この移動の際、ＦＯＵＰ２０はフックピン４５およびロックピン４２によってトレー３４に固定されている。
【００６５】
これにより、重心位置の高いＦＯＵＰ２０を搬送する場合であっても、安定して搬送することができる。そのため、ＦＯＵＰ２０搬送時において、従来の基板処理装置と比較してＦＯＵＰ２０を急加速または急減速することが可能となり、ＦＯＵＰ２０搬送時間を減少できる。
【００６６】
すなわち、従来と比較してＦＯＵＰ２０の搬送時間を減少させるためには、短時間で所望の搬送速度まで到達する必要があり、トレー３２〜３４による正の加速度を増す必要がある。また、ＦＯＵＰ２０の搬送時間を減少させるためには、当該所望の搬送速度でＦＯＵＰ２０を移動させる時間を長く確保する必要があり、トレー３２〜３４による負の加速度を増す必要がある。
【００６７】
しかし、従来の基板処理装置において、ＦＯＵＰ２０はトレー３４に支持されているのみでトレー３４に対して固定されていないか、または、フランジ２７を把持することによって搬送されていた。そのため、重心位置の高いＦＯＵＰ２０の搬送を開始するために当該ＦＯＵＰ２０を急加速したり、ＦＯＵＰ２０の所望の位置で停止するために急減速することができなかった。
【００６８】
一方、本実施の形態の基板処理装置１では、上述のフックピン４５およびロックピン４２によってＦＯＵＰ２０はトレー３４に固定されている。そのため、重心位置の高いＦＯＵＰ２０であっても、急加速したり急減速することが可能となり、その結果、基板処理のスループットを向上できる。
【００６９】
ここで、ＦＯＵＰ２０を収容棚６１の直上まで移動させた場合における収容棚６１とトレー３４との位置関係について説明する。図１２は、本実施の形態の収容棚６１とトレー３４との位置関係を示す上面図である。図１２に示すように収容棚６１は、トレー３４の先端部３４ａと略同一形状を有する切欠部６２を有している。また、トレー３４の上端位置は、図１１に示すように、Ｚ３に保持されている。そのため、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａから収容部６０の収容棚６１まで移動させる際、トレー３４の下面位置は収容棚６１の上面位置より上方に位置することになる。そのため、ＦＯＵＰ２０を収容棚６１まで移動させても、収容棚６１とトレー３４とは干渉せず、ＦＯＵＰ２０を収容棚６１の直上に配置できる。
【００７０】
そして、ＦＯＵＰ２０が収容棚６１の直上に配置されると、シャッター１１が閉鎖される（図１１参照）。
【００７１】
続いて、ＦＯＵＰ２０が収容棚６１の直上に配置された状態で、フックピン移動機構４６によってフックピン４５がＹ軸の正方向に移動される。これにより、ＦＯＵＰ２０はトレー３４に対して固定状態から固定解除状態に遷移するため、ＦＯＵＰ２０は、ピン４１、４３、４４によって支持されるのみとなる。そして、シリンダ５１によってトレー３４の上面位置をＺ３からＺ１に下降させると、トレー３４の先端部３４ａは、収容棚６１と干渉することなく切欠部６２を通過して収容棚６１の下方に移動するため、ＦＯＵＰ２０は収容棚６１に載置される（図１３）。
【００７２】
そして、モータ３１によってトレー３２〜３４をＹ軸の負方向に移動させることにより、ロードポート１０は、次に載置面１０ａに載置される別のＦＯＵＰ２０を搬送可能な待ち状態となる。
【００７３】
＜４．基板処理装置の利点＞
以上のように、本実施の形態の基板処理装置１では、ＦＯＵＰ２０の裏面側に設けられた穴部２６にロックピン４２を挿入するとともに、穴部２５にフックピン４５を挿入して係合部２５ａとフック部４５ａとを係合させることによってＦＯＵＰ２０をトレー３４に対して安定に固定できる。そのため、ＦＯＵＰ２０をロードポート１０の載置面１０ａからローダ部９１の収容部６０の収容棚６１に搬送する際、従来の基板処理装置と比較して、ＦＯＵＰ２０を急加速または急減速することが可能となり、ＦＯＵＰ２０搬送時間を減少することができる。その結果、基板処理に要する時間を減少することができ、基板処理のスループットを向上できる。
【００７４】
【発明の効果】
請求項１および請求項２に記載の発明によれば、固定機構によって収容器を搬送手段に固定することにより、第３ユニットの載置台と第２ユニットの収容部との間で収容器を安定して高速に搬送できる。そのため、収容器を搬送するための時間を短縮でき、基板処理のスループットを向上できる。
【００７５】
特に、請求項２に記載の発明によれば、固定機構の第１のピンを収容器の下部に設けられた第１の穴部に挿入するとともに、固定機構の第２のピンを収容器の下部に設けられた第２の穴部に挿入して当該第２の穴部の係合部と第２のピントを係合する。これにより、収容器を搬送手段に対して確実に固定できる。そのため、基板受渡ユニットの載置台と基板処理ユニットの収容部との間で収容器をさらに安定して搬送することができ、基板処理のスループットをさらに向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における基板処理装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態のＦＯＵＰの構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態のローダ部を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態のロードポートの側面図である。
【図５】本発明の実施の形態のロードポートの上面図である。
【図６】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図７】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図８】本発明の実施の形態のトレーの移動機構を説明するための図である。
【図９】本発明の実施の形態のトレーの移動機構を説明するための図である。
【図１０】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図１２】本発明の実施の形態の収容棚とトレーとの位置関係を示す上面図である。
【図１３】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図１４】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１０ ロードポート
１１ シャッター
１５、１６、１７、４１、４３、４４ ピン
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ 切欠部
２０ ＦＯＵＰ
２１ 蓋
２２、２３ 溝部
２５、２６ 穴部
２５ａ 係合部
２７ フランジ
３０ 搬送機構
３１ モータ
３２、３３、３４ トレー
３５ ベース部
４２ ロックピン
４５ フックピン
４６ ロック機構
６１ 収容棚
９１ ローダ部
９２ 基板処理部
９３ アンローダ部
９４ 基板処理ユニット
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収容器を収容するとともに、その収容器からの基板の搬出またはその収容器への基板の搬入を行う基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置において、未処理基板は、キャリア等の収容器に収納された状態で装置外部から基板処理装置に搬入される。キャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ（ｏｐｅｎ ｃａｓｓｅｔｔｅ）と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）が使用される場合、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度を維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−２６０８４８号公報
【特許文献２】
特開２００２−２３１７８５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１のキャリア（ＦＯＵＰに該当）は、当該キャリアの底部を昇降ハンドが支持しつつ搬送することによって、また、特許文献２のＦＯＵＰは、ＦＯＵＰの底部を搬送アームが下方より支持しつつ搬送することによって、それぞれ、基板処理装置の所定の場所に搬送される。すなわち、特許文献１および特許文献２において、ＦＯＵＰ搬送の際、ＦＯＵＰは搬送手段に支持されるのみ（単に載置状態にあるのみ）で固定されていない。そのため、基板処理装置のスループットを向上させるためにＦＯＵＰの搬送速度をさらに向上させると、安定してＦＯＵＰを搬送することができないといった問題が生じる。
【０００６】
そこで、本発明は、基板を収納する収容器を搬送する基板処理装置において、収容器の搬送速度を向上させても、安定して搬送できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置であって、基板に所定の処理を施す第１ユニットと、前記第１ユニットに並設され、基板を収納する収容器を収容する収容部を有し、前記収容器から前記第１ユニットへの基板の搬出または前記第１ユニットから前記収容器への基板の搬入を行う第２ユニットと、前記第２ユニットに並設され、前記収容器を載置する載置部と、前記載置部および前記収容部の間で前記収容器を搬送する搬送手段と、を有する第３ユニットと、を備え、前記搬送手段は、前記収容器を着脱自在に固定する固定機構を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記固定機構は、前記収容器の下部に設けられた第１の穴部に挿入可能な第１のピンと、前記収容器の下部に設けられた第２の穴部に挿入可能で、前記第２の穴部の係合部と係合可能な第２のピンと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１０】
＜１．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置１の全体構成を示す斜視図である。なお、図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００１１】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置である。図１に示すように、基板処理装置１は、主として、ローダ部９１、基板処理部９２、およびアンローダ部９３を有する基板処理ユニット９４と、図示を省略する搬送ロボットや基板処理装置１のオペレータによって載置されるＦＯＵＰ２０を、基板処理ユニット９４のローダ部９１に搬送するロードポート１０とを備えている。
【００１２】
まず、ＦＯＵＰ２０について説明する。図２（ａ）にＦＯＵＰ２０の側面図を、また、図２（ｂ）にＦＯＵＰ２０の裏面図をそれぞれ示す。ＦＯＵＰ２０は、基板処理装置間で基板を搬送する際に使用されるキャリアであり、その内部に複数の基板をＸＹ平面に対して略平行に収納する。また、ＦＯＵＰ２０は、その内部を密閉して、基板を保持しつつ基板を搬送する。そのため、基板処理装置間で基板を搬送する際に周囲の雰囲気にパーティクル等の汚染物質が存在していても基板の洗浄度は維持される。
【００１３】
また、ＦＯＵＰ２０の側面のうちの１つの面には蓋２１が設けられており、蓋２１を開放することによって、その内部に対して基板の搬入・搬出が可能となる。
【００１４】
さらに、ＦＯＵＰ２０の上部にはフランジ２７が形成されている。そのため、フランジ２７を図示を省略する保持機構により把持することによってＦＯＵＰ２０は吊り下げられた状態で保持される。
【００１５】
図２に示すように、ＦＯＵＰ２０の裏面側（底面部）には、放射状に配置した３つの溝部２２〜２４が形成されている。そして、これら溝部２２〜２４に、後述するロードポート１０の載置面１０ａ上に立設されたピン１５〜１７（図４、図５参照）を挿入して嵌め合わせることにより、ＦＯＵＰ２０は載置面１０ａに支持されて載置される。
【００１６】
また、ＦＯＵＰ２０の裏面側には、２つの穴部２５、２６が設けられている。穴部２６は放射状配置した３つの溝部２２〜２４の放射中心付近に存在し、その断面は、図２（ｂ）に示すように、略円形状であり、開口部から穴部２６の上端部までの各部の断面積が略同一となるように形成されている。さらに、穴部２５は、溝部２２および穴部２６の配列延長線上にあって、その断面は、図２（ａ）に示すように、略矩形状であり、穴部２５の開口部から係合部２５ａの断面積は、係合部２５ａから穴部２５の上端部の断面積より小さくなるように形成されている。
【００１７】
そして、これら穴部２５、２６に後述する搬送機構３０のロックピン４２およびフックピン４５をそれぞれ嵌め合わせることにより、ＦＯＵＰ２０は搬送機構３０に対して確実に固定される（図６、図７参照）。
【００１８】
基板処理ユニット９４に含まれる基板処理部９２は、その内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を有するものである。基板処理部９２に搬入された基板は、これら薬液槽や水洗槽に貯留されることによって洗浄処理等の所定の基板処理が施される。
【００１９】
ローダ部９１は、図１に示すように、基板処理部９２の一方側に並設されている。図３は本実施の形態のローダ部９１を示す斜視図である。ローダ部９１は、未処理の基板を収容したＦＯＵＰ２０が基板処理ユニット９４に搬入された際に、ＦＯＵＰ２０を収容する収容部６０と、ＦＯＵＰ２０を開放してその内部から未処理基板を取り出し、ＦＯＵＰ２０から基板処理部９２に向けて基板を搬出するオープナー６４と、収容部６０とオープナー６４との間でＦＯＵＰ２０の搬送を行う搬送ロボット６３とを備えている。
【００２０】
また、ローダ部９１と基板処理部９２とは隔壁６５を挟んで接続されている。このような装置構成を採用することにより、ローダ部９１内部まではある程度清浄度が低下することがあっても、隔壁６５によってローダ部９１内部雰囲気と基板処理部９２の雰囲気とは分離されている。そのため、基板処理部９２においては高い清浄度に維持される。
【００２１】
アンローダ部９３は、図１に示すように、基板処理部９２の他方側に並設されている。アンローダ部９３は、空のＦＯＵＰ２０を収容するとともに、基板処理部９２から当該ＦＯＵＰ２０に処理済の基板を搬入する役割を有するものであり、ローダ部９１とほぼ同様な構成を有している。
【００２２】
ロードポート１０は、図１に示すように、ローダ部９１との間でＦＯＵＰ２０を受け渡すユニットであり、ローダ部９１に並設されている。また、ロードポート１００は、アンローダ部９３との間でＦＯＵＰ２０を受け渡すユニットであり、アンローダ部９３に並設されている。このように、ロードポート１０およびロードポート１００は、基板処理ユニット９４のローダ部９１とアンローダ部９３との間で、基板を収容したＦＯＵＰ２０の受渡を行うことができる。そのため、ロードポート１０およびロードポート１００は、基板受渡ユニットとして使用される。
【００２３】
なお、ロードポート１０およびロードポート１００は、同様な構成を有するため、以下ではロードポート１０について説明する。
【００２４】
＜２．ロードポートの構成＞
図４に本実施の形態のロードポート１０の側面図を示す。また、図５に本実施形態のロードポート１０の上面図を示す。ロードポート１０は、図示を省略する搬送ロボットによってＦＯＵＰ２０をその上面の載置面１０ａに載置するとともに、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａと基板処理ユニット９４のローダ部９１との間で搬送するユニットであり、図５に示すように、２つのＦＯＵＰ２０（図５の点線部）を同時に載置面１０ａに載置できるように構成されている。
【００２５】
ロードポート１０には、ＦＯＵＰ２０をローダ部９１に搬送する搬送機構３０と、搬送機構３０を上下方向に昇降させる上昇機構５０とが（図４参照）、２組設けられている。また、ロードポート１０の載置面１０ａ上には３つのピン１５〜１７が立設されている。
【００２６】
なお、ロードポート１０の２組のピン１５〜１７と搬送機構３０と上昇機構５０とは、それぞれ同様な構成を有する。そのため、以下では、２組のピン１５〜１７と搬送機構３０と上昇機構５０のうち、一方について説明する。
【００２７】
図４、図５に示すように、載置面１０ａ上に立設された各ピン１５〜１７は、各ピンの上端位置が略同一高さとなるように設計されている。各ピン１５〜１７を、それぞれ対応するＦＯＵＰ２０の溝部２２〜２４に挿入して嵌め合わせて、ピン１５〜１７によって決定される位置および姿勢でＦＯＵＰ２０は支持される。
【００２８】
図４に示すように、上昇機構５０は、主としてシリンダ５１と可動部５２と備えている。シリンダ５１は、可動部５２を略鉛直方向に２段階に昇降することができるいわゆる２段シリンダによって構成されている。また、可動部５２の上端は、搬送機構３０のベース部３５の下面と接続されている。そのため、シリンダ５１を伸張または収縮させることによって、搬送機構３０のトレー３４の上面位置は、Ｚ＝Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３となるように調整される（図４、図６、図１０参照）。
【００２９】
搬送機構３０は、ＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定しつつ、ＦＯＵＰ２０をローダ部９１の収容部６０に搬送する機構である。図４に示すように、搬送機構３０は、Ｙ軸方向と略平行な方向に進退可能な３つのトレー３２〜３４と、トレー３４上に立設されてＦＯＵＰ２０を支持するピン４１、４３、４４と、トレー３４上に立設され、ＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定するロックピン４２およびフックピン４５とを備えている。
【００３０】
図４および図５に示すように、複数のピン（図示例では３本のピン）４１、４３、４４は、トレー３４上に立設された略柱状（図示例では略円柱状）のピンであり、各ピン４１、４３、４４の上端位置が略同一高さとなるように設計されている。また、図４および図５に示すように、上昇機構５０によってトレー３４の上面位置がＺ１となるように設定した場合、各ピン４１、４３、４４の上端位置は、載置面１０ａに設けられた切欠部１８ｂの鉛直下方となるように設計されている。さらに、上昇機構５０によって搬送機構３０をトレー３４の上面位置をＺ１からＺ２まで上昇させた場合、ピン４１の上端位置は載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｂを、ピン４３の上端位置は載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｃを、また、ピン４４の上端位置は載置面１０ａ上に設けられた載置面１０ａをそれぞれ通過する。そして、各ピン４１、４３、４４の上端位置のＺ軸座標が載置面１０ａより高くなり、ピン１５〜１７の上端位置と略同一高さとなる。
【００３１】
さらに、ＦＯＵＰ２０が載置面１０ａに載置されており、上昇機構５０によってトレー３４の上面位置をＺ２とした場合に、ピン１５およびピン４１の上端位置を結ぶ線分と溝部２２の中心線とが略平行に、ピン１６およびピン４４の上端位置を結ぶ線分と溝部２３とが略平行に、また、ピン１７およびピン４３の上端位置を結ぶ線分と溝部２４の中心線とが略平行となるように、各ピン４１、４３、４４は、トレー３４に立設されている。
【００３２】
そのため、上昇機構５０によってトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２まで上昇させた場合、ＦＯＵＰ２０は、その位置・姿勢を変えることなく、ピン１５〜１７と、ピン４１、４３、４４とによって支持されることとなる。その結果、３つのピン４１、４３、４４にてＦＯＵＰ２０を支持する場合、３つのピン１５〜１７による場合と略同一位置および略同一姿勢でＦＯＵＰ２０は支持される。
【００３３】
また、図４および図５に示すように、トレー３４上にはＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定するロックピン４２およびフックピン４５が立設されている。
【００３４】
フックピン４５は、穴部２５の係合部２５ａと係合することによってＦＯＵＰ２０を搬送機構３０に固定する逆Ｌ字型のピンである。フックピン４５は、図４〜図６に示すように、トレー３４の上端位置がＺ１の場合、切欠部１８ｂの鉛直下方となるように（図４、図５参照）トレー３４上に立設されている。また、載置面１０ａにＦＯＵＰ２０を載置した状態にてトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２まで上昇機構５０によって上昇させた場合、フックピン４５の上端位置は、載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｂおよび穴部２５の開口部を通過することとなる。そして、トレー３４の上端位置がＺ２となると、フックピン４５上端の鉤部分に相当するフック部４５ａの下面位置が穴部２５の係合部２５ａの上面位置以上（好ましくは、フック部４５ａの下面位置と係合部２５ａの上面位置とが略同一高さ）となるようにフックピン４５の鉛直方向の高さが設定されている。
【００３５】
また、フックピン４５は、トレー３４に配設されたフックピン移動機構４６と連動接続されている。フックピン移動機構４６はシリンダ４６ａおよびリニアガイド４６ｂによって構成されており（図１２参照）、フックピン４５をＹ軸方向に進退可能に設けられている。したがって、上昇機構５０によってトレー３４の上端位置をＺ２とした場合、フックピン移動機構４６を動作させてフックピン４５をＹ軸の負方向に移動させることにより、フックピン４５のフック部４５ａと、穴部２５の底に形成した横穴部分に相当する係合部２５ａとが係合する。そのため、ＦＯＵＰ２０は、トレー３４に対して確実に固定される（図７参照）。
【００３６】
すなわち、フックピン４５とフックピン移動機構４６とはトレー３４にＦＯＵＰ２０を着脱可能に固定する固定機構として使用される。この固定は、水平方向の固定と鉛直方向の固定との双方を含んでいる。その結果、後述するように３つのトレー３２〜３４をＹ軸と略平行に進退させることによって、ＦＯＵＰ２０はロードポート１０とローダ部９１の収容部６０との間で搬送される。
【００３７】
ロックピン４２は、ＦＯＵＰ２０の裏面側に設けられた穴部２６に挿入して嵌め合わせるピンであり、フックピン４５とともに使用することによってＦＯＵＰ２０はさらに安定に固定される。ロックピン４２は、図４〜図６に示すように、トレー３４の上端位置がＺ１の場合、切欠部１８ｂの鉛直下方となるように（図４、図５参照）トレー３４上に立設されている。また、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａに載置した状態にてトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２まで上昇機構５０によって上昇させた場合、ロックピン４２の上端位置は、載置面１０ａ上に設けられた切欠部１８ｂおよび穴部２６の開口部を通過する。その結果、ロックピン４２は穴部２６に挿入されて嵌め合わされることとなる。
【００３８】
そして、トレー３４の上端位置がＺ２となる位置で、フックピン４５をフックピン移動機構４６によってＹ軸の負方向に移動させてフック部４５ａと係合部２５ａとを係合させると、ＦＯＵＰ２０はＹ軸負方向に向かう力を受けることにより、図７中のＡ部拡大図に示すように、穴部２６の内周側面のうち穴部２５側の部分２６ｔが、ロックピン４２の外周面のうち穴部２５側の部分４２ｔに押し当てられて接触し、この接触する部分に摩擦力が生じることとなる。
【００３９】
このように、フックピン４５およびロックピン４２を使用すると、フックピン４５によって係合することに加えてロックピン４２と穴部２６との摩擦力によってＦＯＵＰ２０をトレー３４上にさらに安定して確実に固定することができる。そのため、後述する３つのトレー３２〜３４によってＦＯＵＰ２０をロードポート１０およびローダ部９１の間でさらに安定して搬送できる。
【００４０】
トレー３２〜３４は、フックピン４５およびロックピン４２によってトレー３４に固定されたＦＯＵＰ２０をロードポート１０の載置面１０ａとローダ部９１の収容部６０との間で搬送するのに使用される移動トレーであり、下からトレー３２、トレー３３、トレー３４の順に鉛直方向に重ねて配置されている。
【００４１】
ここでは、図８および図９を使用してトレー３２〜３４の移動機構について説明する。図８は、トレー３２〜３４が互いに重なって縮んだ状態（例えば、図４参照）にしたときのトレー３２およびトレー３３に関するトレー移動機構を示す図である。また、図９は、トレー３２〜３４の重なりを解いて伸張させた状態（例えば、図１１参照）にしたときのトレー３２に関するトレー移動機構を示す図である。
【００４２】
図８に示すように、トレー３２のトレー移動機構は、主として、ベース部３５付近に配設されたモータ３１と、ローラ７６ａ、７７ａと、ベルト７５ａと、固定部材７１ａと、トレー３２付近に配設されたリニアガイド７８ｂとを備えている。
【００４３】
トレー３２は、ベース部３５の上部に配置されており、Ｙ軸と略平行に設けられたリニアガイド７８ｂに沿って進退可能に設けられている。ベース部３５の側面のうち、Ｘ軸と略垂直に交わる側面の一方には、ローラ７６ａ、７７ａが設けられている。
【００４４】
ローラ７７ａは、その中心付近にモータ３１の回転軸（図示省略）が接続された回転体であり、軸Ｊ１２を回転中心として回転可能に設けられている。また、ローラ７６ａは、軸Ｊ１１を回転中心として回転可能に設けられた回転体であり、ベルト７５ａを介してローラ７７ａと連動接続されている。そのため、モータ３１の回転駆動力がローラ７７ａに伝達されてローラ７７ａが回転すると、ローラ７６ａは、７７ａの回転方向と同一の方向に回転する。
【００４５】
固定部材７１ａは、逆Ｌ字型を有する部材であり、その底面がベルト７５ａの外周部と接続されている。そのため、モータ３１の回転量を制御することによって、固定部材７１ａはＹ軸と略平行な方向である矢印ＡＲ２方向またはその逆方向に略水平移動する。また、図８に示すように、固定部材７１ａの上面の一部はトレー３２の底面と接続されている。
【００４６】
したがって、ベース部３５を基準とした場合、固定部材７１ａが矢印ＡＲ２方向またはその逆方向に進退すると、固定部材７１ａと接続されたトレー３２は、リニアガイド７８ｂに沿って固定部材７１ａと略同一方向に相対移動する。例えば、モータ３１を回転させ、ローラ７７ａを軸Ｊ１２を中心として矢印ＡＲ１方向に回転させると、固定部材７１ａは矢印ＡＲ２方向に移動する。そして、トレー３２は、ベース部３５を基準とした場合、矢印ＡＲ２方向に相対移動する（図９参照）。
【００４７】
このように、モータ３１の回転駆動力は、ローラ７７ａ、ベルト７５ａおよび固定部材７１ａを介してトレー３２に伝達されて、トレー３２を略水平移動させる力となる。そのため、トレー３２はベース部３５に対して相対的に移動する。
【００４８】
次に、トレー３３に関するトレー移動機構について説明する。図８に示すように、トレー３３の移動機構は、主として、トレー３２付近に配設されたローラ７６ｂ、７７ｂと、ベルト７５ｂと、固定部材７１ｂとを備えている。
【００４９】
図８に示すように、トレー３２のＸ軸と略垂直に交わる側面のうち、ベース部３５に配設されたローラ７６ａ、７７ａとの反対側の面には、ローラ７６ｂ、７７ｂが設けられている。
【００５０】
ローラ７６ｂは、軸Ｊ２１を回転中心として回転可能に設けられた回転体である。また、ローラ７７ｂは、軸Ｊ２２を回転中心として回転可能に設けられた回転体であり、ベルト７５ｂを介してローラ７６ｂと連動接続されている。したがって、ローラ７６ｂ、７７ｂは、それぞれ軸Ｊ２１、Ｊ２２を回転中心として同一方向に回転することができる。
【００５１】
固定部材７２ｂは、Ｌ字型を有する部材であり、その上面がベルト７５ｂの外周部と、また、その下面の一部がベース部３５の上面と、それぞれ接続されている。これにより、モータ３１が回転することによってローラ７７ａが軸Ｊ１２を回転中心として矢印ＡＲ１方向に回転すると、トレー３２が矢印ＡＲ２方向に移動する。また、このとき、ベース部３５の上面に接続された固定部材７２ｂは、トレー３２を基準とした場合、矢印ＡＲ３方向に相対的に移動する。そのため、ローラ７７ｂは、軸Ｊ２２を回転中心として矢印ＡＲ４方向に回転することとなり、ローラ７７ａとローラ７７ｂとは同一方向に回転することとなる。その結果、固定部材７１ｂの移動方向は、ベース部３５を基準とした場合、固定部材７１ａの移動方向ＡＲ２と略同一な矢印ＡＲ４方向に進退することとなる。
【００５２】
また、図８に示すように、固定部材７１ｂの上面の一部はトレー３２の上方に配置されたトレー３３の底面部と接続されるとともに、トレー３３は、Ｙ軸と略平行に設けられたリニアガイド（図示省略）に沿って進退可能に設けられている。したがって、固定部材７１ｂが矢印ＡＲ４方向またはその逆方向に進退すると、固定部材７１ｂと接続されたトレー３３は、当該リニアガイドに沿って固定部材７１ｂと略同一方向に略水平移動する。
【００５３】
このように、モータ３１の回転駆動力は、トレー３２、固定部材７２ｂ、ベルト７５ｂおよび固定部材７１ｂを介してトレー３３に伝達されて、トレー３３を略水平移動させる力となる。そのため、ローラ７６ｂまたはローラ７７ｂにモータ３１以外の回転機構を設けることなく、トレー３３をトレー３２に対して相対的に移動することができる。
【００５４】
さらに、トレー３２について設けられたローラ７６ｂ、７７ｂ、固定部材７１ｂ、７２ｂ、およびベルト７５ｂと同様なものをトレー３３に設けるとともに、トレー３３に設けられたリニアガイド（図示省略）と同様なものをトレー３４に設けることにより、モータ３１の回転駆動力はトレー３４に伝達される。そのため、トレー３４はトレー３３に対して相対的に移動する。この場合、トレー３４の移動方向は、ベース部３５を基準にした場合、トレー３２およびトレー３３と同一方向となる。
【００５５】
このように、モータ３１によってベース部３５付近のローラ７７ａを回転させると、トレー３２〜３４はすべて同一方向（例えば、Ｙ軸の正方向と略平行な方向）に進退することになる。したがって、シリンダ５１によってトレー３４の上面位置をＺ３に設定するとともに、モータ３１の回転方向、回転量を制御することによって、トレー３４に固定されたＦＯＵＰ２０を、ロードポート１０の載置面１０ａ（例えば図１０参照）とローダ部９１の収容部６０に設けられた収容棚６１（例えば図１１参照）との間で搬送することができる。
【００５６】
図１に示すように、制御ユニット８０は、プログラムや変数等を格納するメモリ８１と、メモリ８１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ８２とを備えている。ＣＰＵ８２は、メモリ８１に格納されているプログラムに従って、モータ３１の回転制御、シリンダ５１の昇降制御や、フックピン移動機構４６によるＦＯＵＰ２０の固定または固定解除の制御等を所定のタイミングで行う。
【００５７】
＜３．ロードポートによるＦＯＵＰの搬送手順＞
ここでは、ロードポート１０によって、ロードポート１０の載置面１０ａとローダ部９１の収容部６０との間でＦＯＵＰ２０を搬送する手順について説明する。なお、収容部６０から載置面１０ａにＦＯＵＰ２０を搬送する手順は、載置面１０ａから収容部６０へＦＯＵＰ２０を搬送する手順を逆に行うことになる。そのため、ここでは、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａから収容部６０へ搬送する手順について説明する。
【００５８】
載置面１０ａから収容部６０にＦＯＵＰ２０が搬送される処理が行われる前の時点において、トレー３４の上端位置はＺ１となるように上昇機構５０によって調整されており、また、搬送機構３０の各トレー３２〜３４はＹ軸の負方向に移動して縮んだ状態になっている。
【００５９】
まず、図示を省略する搬送ロボットやオペレータによってＦＯＵＰ２０が載置面１０ａに載置されると、載置面１０ａ上に立設された３つのピン１５〜１７のそれぞれは、対応する溝部２２〜２４に嵌め合わされる。そのため、ＦＯＵＰ２０は３つのピン１５〜１７によって決定される位置および姿勢にて支持される（図４参照）。
【００６０】
次に、シリンダ５１によってトレー３４の上端位置をＺ１からＺ２に上昇させる。これにより、トレー３４上に立設されたピン４１、４３、４４のそれぞれは、対応する溝部２２、２３、２４に挿入される。そして、トレー３４の上端位置がＺ２となると、ピン４１の上端位置はピン１５の上端位置と略同一に、ピン４４の上端位置はピン１７の上端位置と略同一に、また、ピン１６の上端位置はピン４４の上端位置と略同一になる。そのため、ＦＯＵＰ２０は、ピン１５〜１７およびピン４１、４３、４４の計６本のピンによって支持されることとなる。
【００６１】
また、トレー３４の上端位置がＺ１からＺ２まで上昇する際に、ロックピン４２およびフックピン４５のそれぞれは、対応する穴部２６、穴部２５に挿入される（図６参照）。
【００６２】
続いて、フックピン移動機構４６によってフックピン４５をリニアガイド４６ｂに沿ってＹ軸の負方向に移動させる。これにより、フックピン４５のフック部４５ａと穴部２５の係合部２５ａとが係合してＦＯＵＰ２０がＹ軸負方向に向かう力を受けるとともに、穴部２６の内周側面のうち穴部２５側の部分に、ロックピン４２の外周面のうち穴部２５側の部分が押し当てられて接触するため、このロックピン４２および穴部２６が接触する部分とフックピン４５および穴部２５が係合する部分とに摩擦力が生じることとなる。その結果、フック部４５ａおよび係合部２５ａが係合する部分と、穴部２６およびロックピン４２が接触する部分によってＦＯＵＰ２０は安定して固定される（図７参照）。
【００６３】
続いて、シリンダ５１によってトレー３４の上端位置をＺ２からＺ３に上昇させる。これにより、ピン４１、４３、４４の上端位置は、ピン１５〜１７の上端位置より高くなる。そのため、ＦＯＵＰ２０は、ピン４１、４３、４４によって載置面１０ａから持ち上げられた状態になる。また、トレー３４の上端位置がＺ２からＺ３に上昇する際に、ローダ部９１のシャッター１１が開放される。これにより、ＦＯＵＰ２０の載置された基板処理ユニット９４外の空間とローダ部９１の空間とが開口部１１ａにより連通される（図１０参照）。
【００６４】
続いて、トレー３４の上端位置をＺ３に保持した状態で、モータ３１を回転させてトレー３２〜３４が互いに重なって縮んだ状態からＹ軸正方向に相対移動させることによってそれぞれの重なりを解いて伸張させることにより、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａの直上から収容棚６１の直上まで開口部１１ａを介して移動させる（図１１）。この移動の際、ＦＯＵＰ２０はフックピン４５およびロックピン４２によってトレー３４に固定されている。
【００６５】
これにより、重心位置の高いＦＯＵＰ２０を搬送する場合であっても、安定して搬送することができる。そのため、ＦＯＵＰ２０搬送時において、従来の基板処理装置と比較してＦＯＵＰ２０を急加速または急減速することが可能となり、ＦＯＵＰ２０搬送時間を減少できる。
【００６６】
すなわち、従来と比較してＦＯＵＰ２０の搬送時間を減少させるためには、短時間で所望の搬送速度まで到達する必要があり、トレー３２〜３４による正の加速度を増す必要がある。また、ＦＯＵＰ２０の搬送時間を減少させるためには、当該所望の搬送速度でＦＯＵＰ２０を移動させる時間を長く確保する必要があり、トレー３２〜３４による負の加速度を増す必要がある。
【００６７】
しかし、従来の基板処理装置において、ＦＯＵＰ２０はトレー３４に支持されているのみでトレー３４に対して固定されていないか、または、フランジ２７を把持することによって搬送されていた。そのため、重心位置の高いＦＯＵＰ２０の搬送を開始するために当該ＦＯＵＰ２０を急加速したり、ＦＯＵＰ２０の所望の位置で停止するために急減速することができなかった。
【００６８】
一方、本実施の形態の基板処理装置１では、上述のフックピン４５およびロックピン４２によってＦＯＵＰ２０はトレー３４に固定されている。そのため、重心位置の高いＦＯＵＰ２０であっても、急加速したり急減速することが可能となり、その結果、基板処理のスループットを向上できる。
【００６９】
ここで、ＦＯＵＰ２０を収容棚６１の直上まで移動させた場合における収容棚６１とトレー３４との位置関係について説明する。図１２は、本実施の形態の収容棚６１とトレー３４との位置関係を示す上面図である。図１２に示すように収容棚６１は、トレー３４の先端部３４ａと略同一形状を有する切欠部６２を有している。また、トレー３４の上端位置は、図１１に示すように、Ｚ３に保持されている。そのため、ＦＯＵＰ２０を載置面１０ａから収容部６０の収容棚６１まで移動させる際、トレー３４の下面位置は収容棚６１の上面位置より上方に位置することになる。そのため、ＦＯＵＰ２０を収容棚６１まで移動させても、収容棚６１とトレー３４とは干渉せず、ＦＯＵＰ２０を収容棚６１の直上に配置できる。
【００７０】
そして、ＦＯＵＰ２０が収容棚６１の直上に配置されると、シャッター１１が閉鎖される（図１１参照）。
【００７１】
続いて、ＦＯＵＰ２０が収容棚６１の直上に配置された状態で、フックピン移動機構４６によってフックピン４５がＹ軸の正方向に移動される。これにより、ＦＯＵＰ２０はトレー３４に対して固定状態から固定解除状態に遷移するため、ＦＯＵＰ２０は、ピン４１、４３、４４によって支持されるのみとなる。そして、シリンダ５１によってトレー３４の上面位置をＺ３からＺ１に下降させると、トレー３４の先端部３４ａは、収容棚６１と干渉することなく切欠部６２を通過して収容棚６１の下方に移動するため、ＦＯＵＰ２０は収容棚６１に載置される（図１３）。
【００７２】
そして、モータ３１によってトレー３２〜３４をＹ軸の負方向に移動させることにより、ロードポート１０は、次に載置面１０ａに載置される別のＦＯＵＰ２０を搬送可能な待ち状態となる。
【００７３】
＜４．基板処理装置の利点＞
以上のように、本実施の形態の基板処理装置１では、ＦＯＵＰ２０の裏面側に設けられた穴部２６にロックピン４２を挿入するとともに、穴部２５にフックピン４５を挿入して係合部２５ａとフック部４５ａとを係合させることによってＦＯＵＰ２０をトレー３４に対して安定に固定できる。そのため、ＦＯＵＰ２０をロードポート１０の載置面１０ａからローダ部９１の収容部６０の収容棚６１に搬送する際、従来の基板処理装置と比較して、ＦＯＵＰ２０を急加速または急減速することが可能となり、ＦＯＵＰ２０搬送時間を減少することができる。その結果、基板処理に要する時間を減少することができ、基板処理のスループットを向上できる。
【００７４】
【発明の効果】
請求項１および請求項２に記載の発明によれば、固定機構によって収容器を搬送手段に固定することにより、第３ユニットの載置台と第２ユニットの収容部との間で収容器を安定して高速に搬送できる。そのため、収容器を搬送するための時間を短縮でき、基板処理のスループットを向上できる。
【００７５】
特に、請求項２に記載の発明によれば、固定機構の第１のピンを収容器の下部に設けられた第１の穴部に挿入するとともに、固定機構の第２のピンを収容器の下部に設けられた第２の穴部に挿入して当該第２の穴部の係合部と第２のピントを係合する。これにより、収容器を搬送手段に対して確実に固定できる。そのため、基板受渡ユニットの載置台と基板処理ユニットの収容部との間で収容器をさらに安定して搬送することができ、基板処理のスループットをさらに向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における基板処理装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態のＦＯＵＰの構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態のローダ部を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態のロードポートの側面図である。
【図５】本発明の実施の形態のロードポートの上面図である。
【図６】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図７】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図８】本発明の実施の形態のトレーの移動機構を説明するための図である。
【図９】本発明の実施の形態のトレーの移動機構を説明するための図である。
【図１０】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図１２】本発明の実施の形態の収容棚とトレーとの位置関係を示す上面図である。
【図１３】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【図１４】本発明の実施の形態のＦＯＵＰとロードポートとの位置関係を示す側面図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１０ ロードポート
１１ シャッター
１５、１６、１７、４１、４３、４４ ピン
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ 切欠部
２０ ＦＯＵＰ
２１ 蓋
２２、２３ 溝部
２５、２６ 穴部
２５ａ 係合部
２７ フランジ
３０ 搬送機構
３１ モータ
３２、３３、３４ トレー
３５ ベース部
４２ ロックピン
４５ フックピン
４６ ロック機構
６１ 収容棚
９１ ローダ部
９２ 基板処理部
９３ アンローダ部
９４ 基板処理ユニット
Claims (2)
- 基板処理装置であって、
基板に所定の処理を施す第１ユニットと、
前記第１ユニットに並設され、基板を収納する収容器を収容する収容部を有し、前記収容器から前記第１ユニットへの基板の搬出または前記第１ユニットから前記収容器への基板の搬入を行う第２ユニットと、
前記第２ユニットに並設され、
前記収容器を載置する載置部と、
前記載置部および前記収容部の間で前記収容器を搬送する搬送手段と、
を有する第３ユニットと、
を備え、
前記搬送手段は、前記収容器を着脱自在に固定する固定機構を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記固定機構は、
前記収容器の下部に設けられた第１の穴部に挿入可能な第１のピンと、
前記収容器の下部に設けられた第２の穴部に挿入可能で、前記第２の穴部の係合部と係合可能な第２のピンと、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007291591A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Toray Ind Inc | 気相反応方法及び装置 |
| JP2008091597A (ja) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Shinko Electric Co Ltd | クランプ機構 |
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| CN109969594A (zh) * | 2017-12-28 | 2019-07-05 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法 |
-
2003
- 2003-03-26 JP JP2003085203A patent/JP4261951B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007291591A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Toray Ind Inc | 気相反応方法及び装置 |
| US7927058B2 (en) | 2006-03-29 | 2011-04-19 | Tdk Corporation | Pod clamping unit load port equipped with pod clamping unit and mini environment system including pod and load port |
| JP2008091597A (ja) * | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Shinko Electric Co Ltd | クランプ機構 |
| KR101386618B1 (ko) | 2008-03-28 | 2014-04-18 | 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 | 클램프 기구 |
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