JPH06329208A - 半導体製造装置のウェーハ搬送装置 - Google Patents
半導体製造装置のウェーハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH06329208A JPH06329208A JP14159893A JP14159893A JPH06329208A JP H06329208 A JPH06329208 A JP H06329208A JP 14159893 A JP14159893 A JP 14159893A JP 14159893 A JP14159893 A JP 14159893A JP H06329208 A JPH06329208 A JP H06329208A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- stocker
- shelf
- chucking head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造装置に於けるウェーハの搬送時間を
短縮する。 【構成】複数列の棚を有するカセットストッカ１６と、
該カセットストッカに対峙して設けられ、鉛直な軸心を
中心に回転可能且前記カセットストッカに対して進退可
能なチャッキングヘッド１１を有し、前記カセットスト
ッカにウェーハカセット６を介して収納されたウェーハ
１５を搬送するウェーハ搬送装置に於いて、前記カセッ
トストッカの棚列が前記チャッキングヘッドと正対する
様、前記棚列の少なくとも１つを回転可能とし、チャッ
キングヘッドは前記カセットストッカの全ての列に対し
てウェーハのハンドリングを可能とし、待ち時間を解消
して搬送時間を短縮する。
短縮する。 【構成】複数列の棚を有するカセットストッカ１６と、
該カセットストッカに対峙して設けられ、鉛直な軸心を
中心に回転可能且前記カセットストッカに対して進退可
能なチャッキングヘッド１１を有し、前記カセットスト
ッカにウェーハカセット６を介して収納されたウェーハ
１５を搬送するウェーハ搬送装置に於いて、前記カセッ
トストッカの棚列が前記チャッキングヘッドと正対する
様、前記棚列の少なくとも１つを回転可能とし、チャッ
キングヘッドは前記カセットストッカの全ての列に対し
てウェーハのハンドリングを可能とし、待ち時間を解消
して搬送時間を短縮する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置に於ける
ウェーハ搬送装置に関するものである。
ウェーハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に於いて半導体製造装置に於ける従
来のウェーハ搬送装置を説明する。
来のウェーハ搬送装置を説明する。
【０００３】図中、１はウェーハカセット授受装置、２
はカセットストッカ、３はウェーハ移載機、４はボート
エレベータを示す。
はカセットストッカ、３はウェーハ移載機、４はボート
エレベータを示す。
【０００４】前記ウェーハカセット授受装置１は昇降可
能なカセット受台５を有し、該カセット受台５は２個の
ウェーハカセット６を並列に受載可能であり、受載した
ウェーハカセット６を前記カセットストッカ２に対して
進退可能である。
能なカセット受台５を有し、該カセット受台５は２個の
ウェーハカセット６を並列に受載可能であり、受載した
ウェーハカセット６を前記カセットストッカ２に対して
進退可能である。
【０００５】前記カセットストッカ２は２列複段（図で
は４段を示す）のカセット棚７を有し、該カセット棚７
はスライドステージ上に横行可能に設けられている。
は４段を示す）のカセット棚７を有し、該カセット棚７
はスライドステージ上に横行可能に設けられている。
【０００６】前記ウェーハ移載機３は昇降可能な昇降ス
テージ８を有し、該昇降ステージ８には回転座９が回転
自在に設けられ、該回転座９には複数のウェーハチャッ
ク１０を有するチャッキングヘッド１１が水平方向に移
動自在に設けられている。
テージ８を有し、該昇降ステージ８には回転座９が回転
自在に設けられ、該回転座９には複数のウェーハチャッ
ク１０を有するチャッキングヘッド１１が水平方向に移
動自在に設けられている。
【０００７】前記ボートエレベータ４は昇降可能な昇降
アーム１２を有し、該昇降アーム１２にはボート受座１
３が設けられ、該ボート受座１３にはボート１４が乗載
可能となっている。該ボート１４にはウェーハ１５が水
平姿勢で多段に保持される。
アーム１２を有し、該昇降アーム１２にはボート受座１
３が設けられ、該ボート受座１３にはボート１４が乗載
可能となっている。該ボート１４にはウェーハ１５が水
平姿勢で多段に保持される。
【０００８】半導体製造装置の外部と内部間のウェーハ
１５の搬送は、ウェーハ１５をウェーハカセット６に装
填した状態で行われる。
１５の搬送は、ウェーハ１５をウェーハカセット６に装
填した状態で行われる。
【０００９】ウェーハ１５を装填したウェーハカセット
６を前記カセット受台５に乗置する。前記ウェーハカセ
ット授受装置１は前記カセット受台５を昇降させ、カセ
ット受台５を前記カセット棚７の空棚に対峙させ、前記
ウェーハカセット６をカセット棚７に挿入載置する。
６を前記カセット受台５に乗置する。前記ウェーハカセ
ット授受装置１は前記カセット受台５を昇降させ、カセ
ット受台５を前記カセット棚７の空棚に対峙させ、前記
ウェーハカセット６をカセット棚７に挿入載置する。
【００１０】カセットストッカ２はウェーハ１５の移載
の対象となるウェーハカセット６が決定するとカセット
棚７を横行させ、対称となるウェーハカセット６を前記
チャッキングヘッド１１に対応させる。
の対象となるウェーハカセット６が決定するとカセット
棚７を横行させ、対称となるウェーハカセット６を前記
チャッキングヘッド１１に対応させる。
【００１１】前記ウェーハ移載機３は前記昇降ステージ
８の昇降、回転座９の回転、チャッキングヘッド１１の
水平移動の組合わせで、ウェーハ１５を前記ウェーハカ
セット６から前記ボート１４に移載する。ボート１４へ
のウェーハ１５の移載が完了すると、前記ボートエレベ
ータ４は昇降アーム１２を上昇させ、ボート１４を図示
しない反応炉に装入し、ウェーハ１５の処理を行う。
８の昇降、回転座９の回転、チャッキングヘッド１１の
水平移動の組合わせで、ウェーハ１５を前記ウェーハカ
セット６から前記ボート１４に移載する。ボート１４へ
のウェーハ１５の移載が完了すると、前記ボートエレベ
ータ４は昇降アーム１２を上昇させ、ボート１４を図示
しない反応炉に装入し、ウェーハ１５の処理を行う。
【００１２】処理完了後、前記昇降アーム１２を下降さ
せ、次に前記ウェーハ１５のボート１４への移載手順と
逆を行い、ウェーハ１５をカセットストッカ２のウェー
ハカセット６へ搬送する。
せ、次に前記ウェーハ１５のボート１４への移載手順と
逆を行い、ウェーハ１５をカセットストッカ２のウェー
ハカセット６へ搬送する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】前記カセット棚７は複
列の棚を有し、ウェーハカセット６の収納数を増加させ
ているが、複列の棚を有する場合のウェーハの搬送手順
について考察すると、一般には同一高さの段のウェーハ
カセットについて列を変えウェーハの搬送を行い、次に
上段、或は下段に移行していく。従って、図４に示す様
に各段のウェーハの搬送毎に前記カセット棚７の横行動
作を伴う。
列の棚を有し、ウェーハカセット６の収納数を増加させ
ているが、複列の棚を有する場合のウェーハの搬送手順
について考察すると、一般には同一高さの段のウェーハ
カセットについて列を変えウェーハの搬送を行い、次に
上段、或は下段に移行していく。従って、図４に示す様
に各段のウェーハの搬送毎に前記カセット棚７の横行動
作を伴う。
【００１４】カセット棚７の横行動作中は、ウェーハの
搬送は休止しており、この休止時間がウェーハの搬送時
間を増大させるという問題を生じており、生産効率にも
影響していた。
搬送は休止しており、この休止時間がウェーハの搬送時
間を増大させるという問題を生じており、生産効率にも
影響していた。
【００１５】本発明は斯かる実情に鑑み、ウェーハ搬送
時の待ち時間を解消し、ウェーハ搬送時間の短縮を図る
ものである。
時の待ち時間を解消し、ウェーハ搬送時間の短縮を図る
ものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数列の棚を
有するカセットストッカと、該カセットストッカに対峙
して設けられ、鉛直な軸心を中心に回転可能且前記カセ
ットストッカに対して進退可能なチャッキングヘッドを
有し、前記カセットストッカにウェーハカセットを介し
て収納されたウェーハを搬送する半導体製造装置のウェ
ーハ搬送装置に於いて、前記カセットストッカの棚列が
前記チャッキングヘッドと正対する様、前記棚列の少な
くとも１つを回転可能としたことを特徴とするものであ
る。
有するカセットストッカと、該カセットストッカに対峙
して設けられ、鉛直な軸心を中心に回転可能且前記カセ
ットストッカに対して進退可能なチャッキングヘッドを
有し、前記カセットストッカにウェーハカセットを介し
て収納されたウェーハを搬送する半導体製造装置のウェ
ーハ搬送装置に於いて、前記カセットストッカの棚列が
前記チャッキングヘッドと正対する様、前記棚列の少な
くとも１つを回転可能としたことを特徴とするものであ
る。
【００１７】
【作用】チャッキングヘッドは前記カセットストッカの
全ての列に対してウェーハのハンドリングが可能とな
り、ウェーハの搬送にカセットストッカの移動動作を伴
わないので待ち時間がなくなり、搬送時間が短縮する。
全ての列に対してウェーハのハンドリングが可能とな
り、ウェーハの搬送にカセットストッカの移動動作を伴
わないので待ち時間がなくなり、搬送時間が短縮する。
【００１８】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１９】図１中、図３中で示したものと同一のもの
には同符号を付しその説明を省略する。
には同符号を付しその説明を省略する。
【００２０】ウェーハカセット授受装置１とウェーハ移
載機３との間に位置するカセットストッカ１６を以下の
構成とする。
載機３との間に位置するカセットストッカ１６を以下の
構成とする。
【００２１】該カセットストッカ１６は２列の棚１６ａ
と棚１６ｂとを有し、該棚１６ａは固定して設けられ、
前記棚１６ｂは前記棚１６ａに対して回転可能に設けら
れる。
と棚１６ｂとを有し、該棚１６ａは固定して設けられ、
前記棚１６ｂは前記棚１６ａに対して回転可能に設けら
れる。
【００２２】以下作動を説明する。
【００２３】棚１６ｂを図２の２点鎖線で示す様に、棚
１６ａと直線的に位置させる。この状態では、カセット
ストッカ１６とチャッキングヘッド１１との位置関係
は、図３で示したウェーハカセット授受装置１とカセッ
トストッカ２との位置関係に等しく、ウェーハカセット
授受装置１により２個のウェーハカセット６を同時にカ
セットストッカ１６に装入することができる。
１６ａと直線的に位置させる。この状態では、カセット
ストッカ１６とチャッキングヘッド１１との位置関係
は、図３で示したウェーハカセット授受装置１とカセッ
トストッカ２との位置関係に等しく、ウェーハカセット
授受装置１により２個のウェーハカセット６を同時にカ
セットストッカ１６に装入することができる。
【００２４】又、前記カセットストッカ１６とボート１
４間のウェーハ１５の移載を行う場合は、前記棚１６ｂ
を図２の様に回転させ、更に回転座９を回転させてチャ
ッキングヘッド１１を棚１６ｂに正対させる。該棚１６
ｂを前記チャッキングヘッド１１に正対させることで、
前記チャッキングヘッド１１は前記回転座９の回転だけ
で棚１６ａ、棚１６ｂのいずれに対してもウェーハの移
載作業を行うことができる。
４間のウェーハ１５の移載を行う場合は、前記棚１６ｂ
を図２の様に回転させ、更に回転座９を回転させてチャ
ッキングヘッド１１を棚１６ｂに正対させる。該棚１６
ｂを前記チャッキングヘッド１１に正対させることで、
前記チャッキングヘッド１１は前記回転座９の回転だけ
で棚１６ａ、棚１６ｂのいずれに対してもウェーハの移
載作業を行うことができる。
【００２５】而して、棚１６ａから棚１６ｂへ移載作業
を移行する際に、カセットストッカ１６の移動を伴わ
ず、移行は直ちに行える。
を移行する際に、カセットストッカ１６の移動を伴わ
ず、移行は直ちに行える。
【００２６】又、棚１６ａは固定しているので、前記棚
１６ｂが回転しても前記カセット受台５とは適正に対峙
しており、ウェーハカセット授受装置１によるカセット
ストッカ１６へのウェーハカセット６の授受動作は支障
なく行える。
１６ｂが回転しても前記カセット受台５とは適正に対峙
しており、ウェーハカセット授受装置１によるカセット
ストッカ１６へのウェーハカセット６の授受動作は支障
なく行える。
【００２７】尚、上記実施例では棚１６ｂのみを回転さ
せたが、棚１６ａ、棚１６ｂの両方を回転させ、それぞ
れの棚をチャッキングヘッド１１に正対させる様にして
もよく、或はカセットストッカ１６を３列の棚にし、中
央の棚を固定し、左右の棚を対称的に回転させる様にし
てもよい。更に、３以上の列を有する場合は、前記ウェ
ーハ１５の回転中心に円弧を描く様に、移動若しくは回
転させていもよい。
せたが、棚１６ａ、棚１６ｂの両方を回転させ、それぞ
れの棚をチャッキングヘッド１１に正対させる様にして
もよく、或はカセットストッカ１６を３列の棚にし、中
央の棚を固定し、左右の棚を対称的に回転させる様にし
てもよい。更に、３以上の列を有する場合は、前記ウェ
ーハ１５の回転中心に円弧を描く様に、移動若しくは回
転させていもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、カセッ
トストッカの移動動作を伴うことなく、複数の棚にある
ウェーハカセットに対して併行してウェーハの移載作業
を行えるのでウェーハの搬送作業に待ち時間がなくな
り、搬送作業性の大幅な向上が図れ、カセットストッカ
には水平駆動機構が不要になるので構造が簡単となり製
作費が低減し、棚の列数が増えても搬送作業の効率は低
下しないのでカセットストッカのカセット収納容量を大
きくできる等の優れた効果を発揮する。
トストッカの移動動作を伴うことなく、複数の棚にある
ウェーハカセットに対して併行してウェーハの移載作業
を行えるのでウェーハの搬送作業に待ち時間がなくな
り、搬送作業性の大幅な向上が図れ、カセットストッカ
には水平駆動機構が不要になるので構造が簡単となり製
作費が低減し、棚の列数が増えても搬送作業の効率は低
下しないのでカセットストッカのカセット収納容量を大
きくできる等の優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視説明図である。
【図２】該実施例の作動説明図である。
【図３】従来例を示す斜視説明図である。
【図４】従来例の作動説明図である。
１ ウェーハカセット授受装置 ３ ウェーハ移載機 ４ ボートエレベータ ６ ウェーハカセット ９ 回転座 １１ チャッキングヘッド １４ ボート １５ ウェーハ １６ カセットストッカ １６ａ 棚 １６ｂ 棚
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 開発 秀樹 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際電 気株式会社内 (72)発明者 狩野 利一 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際電 気株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 複数列の棚を有するカセットストッカ
と、該カセットストッカに対峙して設けられ、鉛直な軸
心を中心に回転可能且前記カセットストッカに対して進
退可能なチャッキングヘッドを有し、前記カセットスト
ッカにウェーハカセットを介して収納されたウェーハを
搬送する半導体製造装置のウェーハ搬送装置に於いて、
前記カセットストッカの列の少なくとも１列を前記チャ
ッキングヘッドと正対可能に回転させ得る様にしたこと
を特徴とする半導体製造装置のウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159893A JPH06329208A (ja) | 1993-05-20 | 1993-05-20 | 半導体製造装置のウェーハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159893A JPH06329208A (ja) | 1993-05-20 | 1993-05-20 | 半導体製造装置のウェーハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06329208A true JPH06329208A (ja) | 1994-11-29 |
Family
ID=15295739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14159893A Pending JPH06329208A (ja) | 1993-05-20 | 1993-05-20 | 半導体製造装置のウェーハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06329208A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008120716A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ可読記憶媒体 |
| US8731712B2 (en) | 2009-05-15 | 2014-05-20 | Gen-Probe Incorporated | Method and apparatus for effecting transfer of reaction receptacles in an instrument for multi-step analytical procedures |
| JP2017165513A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | 村田機械株式会社 | ピッキングシステム |
-
1993
- 1993-05-20 JP JP14159893A patent/JPH06329208A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008120716A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ可読記憶媒体 |
| JP2008258188A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
| KR101024530B1 (ko) * | 2007-03-30 | 2011-03-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및, 컴퓨터 판독 가능 기억 매체 |
| US8382088B2 (en) | 2007-03-30 | 2013-02-26 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
| US8731712B2 (en) | 2009-05-15 | 2014-05-20 | Gen-Probe Incorporated | Method and apparatus for effecting transfer of reaction receptacles in an instrument for multi-step analytical procedures |
| US9446911B2 (en) | 2009-05-15 | 2016-09-20 | Gen-Probe Incorporated | Apparatus for transferring reaction receptacles between a plurality of receptacle-receiving structures |
| JP2017165513A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | 村田機械株式会社 | ピッキングシステム |
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