JP2014530496A5 - - Google Patents

Description

ここで図１Ｃを参照すると、単なる例示目的で、（上述のロードステーション１０６０と実質的に同様であってもよい）ツールインターフェースセクション２０１２が、インターフェースセクション２０１２が全体的に搬送チャンバ３０１８の長手軸Ｘの方を（例えば内側を）向くように、しかし、長手軸Ｘからずれるように、搬送チャンバモジュール３０１８に取り付けられている、線形の基板処理システム２０１０の概略平面図が示されている。他の態様において、ツールインターフェースセクション２０１２は、搬送チャンバ３０１８の長手軸Ｘに実質的に合わせられてもよい。すでに参照によって本明細書に含まれている米国特許出願第１１／４４２，５１１号明細書に記載されたように、搬送チャンバモジュール３０１８は、他の搬送チャンバモジュール３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊを接続部２０５０、２０６０、２０７０に接続することにより任意の適切な方向に延ばされてよい。各搬送チャンバモジュール３０１８、３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊは、基板を処理システム２０１０のあらゆる場所に移送するための、また、例えば処理モジュールＰＭへ移送し、処理モジュールＰＭから移送するための、下記でより詳細に説明する基板移送手段２０８０を備えている。理解されるように、各チャンバモジュールは、分離された、または制御された雰囲気（例えば窒素、清浄な空気、真空）を保持可能であってもよい。

図１Ｄを参照すると、例えば線形搬送チャンバ４１６の長手軸Ｘに沿った例示的な処理ツール４１０の概略正面図が示されている。ある態様において、図１Ｄに示すように、（ロードステーション１０６０と実質的に同様であってもよい）ツールインターフェースセクション１２は、典型的に、搬送チャンバ４１６に接続されてよい。この態様において、インターフェースセクション１２はツール搬送チャンバ４１６の一端を規定してもよい。図１Ｄに見られるように、搬送チャンバ４１６は、例えばインタフェースセクション１２の反対側の端に、別のワークピース入出ステーション４１２を有してよい。ある態様において、ワークピース入出ステーション４１２はまた、上述のＥＦＥＭ１０６０と実質的に同様であってもよい。他の態様において、ワークピースを搬送チャンバに挿し入れ、搬送チャンバから取り除くための他の入出ステーションが、例えばツール搬送チャンバ４１６の端部間などに設けられてもよい。本開示の実施形態のある態様において、インターフェースセクション１２および入出ステーション４１２が、ツールからワークピースのロードおよびアンロードをできるようにしてもよい。他の態様において、ワークピースは、一方の端部からツールにロードされてもよいし、他方の端部から取り出されてもよい。ある態様において、搬送チャンバ４１６は１つまたは２つ以上の搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉを有してよい。各チャンバモジュールは、分離された、または制御された雰囲気（例えば窒素、清浄な空気、真空）を保持可能であってよい。前述したように、図１Ｄに示す搬送チャンバ４１６を形成する、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ、ロードロックモジュール５６Ａ、５６Ｂ、およびワークピースステーションの構造／配置は単なる例示で、他の態様において、搬送チャンバは任意の所望のモジュール式装置に配置された、より多いまたはより少ないモジュールを有してもよい。ある態様において、ステーション４１２はロードロックであってもよい。他の態様において、ロードロックモジュールは、（ステーション４１２と同様の）端部入出ステーション間に配置されてもよいし、あるいは（モジュール１８ｉと同様の）隣接する搬送チャンバモジュールがロードロックとして機能するように構成されてもよい。また前述したように、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉは、内部に１つまたは２つ以上の対応する移送装置２６Ｂ、２６ｉを有する。それぞれの搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの移送装置２６Ｂ、２６ｉは、搬送チャンバに、線形に配置されたワークピース移送システム４２０を提供するために協働してよい。ある態様において、移送装置２６Ｂは、本明細書でさらに定義するように一般的なＳＣＡＲＡアーム構造を有してよく（代替的な実施形態において、移送アームは任意の他の所望の装置を有してよいが）、一方で他の態様において、移送装置は、例えば左右対称構造、リープフロッグ（leap-frog）構造、線形スライド構造などの任意の適切なアーム構造を有してもよい。図１Ｄに示すように、ある態様において、移送装置２６Ｂのアームは、下記でより詳細に説明するように、移送手段がピック／プレース場所からウェーハを迅速に交換できるようにする高速交換装置（fast swap arrangement）と称され得るものを提供するために配置されてよい。移送アーム２６Ｂは、従来の駆動システムと比較して簡易化された駆動システムから各アームに３自由度（例えばＺ軸動作と肩および肘関節の周りの独立した回転）をもたらすために適切な駆動部分を有してよい。他の態様において、駆動部分は、アームに３より多いまたは少ない自由度をもたらしてもよい。図１Ｄに見られるように、ある態様において、モジュール５６Ａ、５６、３０ｉは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの間の中間に配置されてよく、適切な処理モジュール、ロードロック、バッファステーション、計測ステーション、または任意の他の所望のステーションを定めてもよい。例えばロードロック５６Ａ、５６、およびワークピースステーション３０ｉなどの中間モジュールのそれぞれは、搬送チャンバの線形軸Ｘに沿って搬送チャンバの全長にわたって移送手段またはワークピースをもたらす（effect）ため、移送アームと連係し得る固定されたワークピース支持部／棚５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有してよい。例として、ワークピースはインターフェースセクション１２によって搬送チャンバ４１６にロードされてもよい。そのワークピースは、インターフェースセクションの移送アームを用いてロードロックモジュール５６Ａの支持部上に配置されてもよい。ロードロックモジュール５６Ａ内のそのワークピースは、ロードロックモジュール５６Ａとロードロックモジュール５６との間をモジュール１８Ｂ内の移送アーム２６Ｂによって移動させられてもよく、同様に連続して、ロードロック５６とワークピースステーション３０ｉとの間を（モジュール１８ｉ内の）アーム２６ｉによって移動させられてもよく、またステーション３０ｉとステーション４１２との間をモジュール１８ｉ内のアーム２６ｉによって移動させられてもよい。このプロセスは、ワークピースを逆方向に移動するために、全体において、または一部において逆にされてよい。したがって、ある態様において、ワークピースはＸ軸に沿った任意の方向に、かつ、搬送チャンバに沿った任意の位置に移動させられてよく、搬送チャンバと連絡している（処理または他の）任意の所望のモジュールにロードされてもよく、また任意の所望のモジュールからアンロードされてもよい。他の態様において、固定されたワークピース支持部または棚を有する中間搬送チャンバモジュールは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの間に設けられなくてもよい。本開示の実施形態のこのような態様において、隣接する搬送チャンバモジュールの移送アームは、１つの移送アームのエンドエフェクタから、ワークピースを直接（またはバッファステーションを用いて）別の移送アームのエンドエフェクタに渡し、ワークピースを搬送チャンバの中で移動させる。処理ステーションモジュールは、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成するために、様々な堆積、エッチング、または他の種類の処理を通して、基板に作用してよい。処理ステーションモジュールは、搬送チャンバから処理ステーションに、またその逆にも基板を渡せるようにするために、搬送チャンバモジュールに接続される。図１Ｄに示した処理装置に類似した一般的な特徴を有する処理ツールの適切な例は、すでに全体を参照することによって含まれている米国特許出願第１１／４４２，５１１号明細書に記載されている。

さらに図２Ａ〜２Ｃ、および４Ｂを参照すると、各棚は異なるサイズの基板カセットＣ１、Ｃ２、Ｃ３を交換可能に支持するように構成されてよい。単なる例示目的で、基板カセットＣ１は直径１００ｍｍの基板を保持するように構成されてよく、基板カセットＣ２は直径１５０ｍｍの基板を保持するように構成されてよく、基板カセットＣ３は２００ｍｍの基板を保持するように構成されてよい。他の態様において、各棚は任意の適切なサイズおよび／または形状の基板を保持するように構成された基板カセットを支持するように構成されてもよいことを理解すべきである。再度、単なる例示目的で、基板カセットＣ１に関して、各棚４００は、略４つの基板カセットＣ１を保持するように構成されてよく、それによってロードステーション１０６０の各階層Ｌ１、Ｌ２が略８つの基板カセットＣ１を保持し、合計略１６の基板カセットを保持する。理解されるように、２つより多いまたは少ない基板カセット保持階層Ｌ１、Ｌ２があってもよく、それによって略１６より多いまたは少ない基板カセットＣ１がロードステーション１０６０内に配置され、搬送ロボット１０１３がそれぞれの基板カセットＣ１にアクセスできるように位置付けされる。さらに単なる例示目的で、基板カセットＣ２に関して、各棚４００は略３つの基板カセットＣ２を保持するように構成されてよく、それによってロードステーション１０６０の各階層Ｌ１、Ｌ２が略６つの基板カセットＣ２を保持し、合計略１２の基板カセットを保持する。理解されるように、２つより多いまたは少ない基板カセット保持階層Ｌ１、Ｌ２があってもよく、それによって略１２より多いまたは少ない基板カセットＣ２がロードステーション１０６０内に配置され、搬送ロボット１０１３がそれぞれの基板カセットＣ２にアクセスできるように位置付けされる。またさらに単なる例示目的で、基板カセットＣ３に関して、各棚４００は略２つの基板カセットＣ３を保持するように構成されてよく、それによってロードステーション１０６０の各階層Ｌ１、Ｌ２が略４つの基板カセットＣ３を保持し、合計略８つの基板カセットを保持する。理解されるように、２つより多いまたは少ない基板カセット保持階層Ｌ１、Ｌ２があってもよく、それによって略８つより多いまたは少ない基板カセットＣ３がロードステーション１０６０内に配置され、搬送ロボット１０１３がそれぞれの基板カセットＣ３にアクセスできるように位置付けされる。理解されるように、本開示の実施形態の態様によれば、ロードステーション１０６０は任意の適切な数の基板カセットを保持するように構成されてもよく、各基板カセットは任意の適切なサイズの基板を保持できる。

本開示の実施形態の第３の態様において、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、制御された環境を保持するように構成されたチャンバを形成するフレームを有する基板ロードステーションおよび基板カセットホルダーを備える。基板カセットホルダーは、１つまたは２つ以上の基板カセットと基板処理装置の搬送ロボットとの間の基板搬送の、１つまたは並置の２つ以上の基板カセットを保持するように構成される。基板カセットホルダーは、基板ロードステーションのカセット保持能力が、選択可能な機構の選択で選択可能であるように、選択可能な機構により基板カセット保持能力を定める。

Claims (20)

1. 制御された環境を保持するように構成されたチャンバを形成するフレームと、
   前記フレームに接続された搬送ロボットと、
   前記フレーム内に配置された基板カセットホルダーをそれぞれが有することができる１つまたは２つ以上の基板カセット保持場所
   とを備えた基板ロードステーションであって、
   前記１つまたは２つ以上の基板カセット保持場所のそれぞれは、各カセットと前記搬送ロボットとの間で基板搬送をもたらすために、前記搬送ロボットとの連絡のために各基板カセットを取り外し可能に所定の位置で支持するように構成され、前記１つまたは２つ以上の基板カセット保持場所は、前記基板ロードステーションの基板カセット保持能力を変えるために１つまたは２つ以上の基板カセットホルダーと他の基板カセットホルダーとの互換性をもたらすように構成される基板ロードステーション。
2. 前記基板カセット保持場所のそれぞれは、前記フレーム内に配置され、前記基板カセットが前記搬送ロボットの中心旋回軸と径方向に向かい合うようにそれぞれの基板カセットを保持するように構成される請求項１記載の基板ロードステーション。
3. 前記１つまたは２つ以上の基板カセットホルダーのそれぞれは、内部に第１のサイズの基板を有する基板カセットを保持するように構成され、他の前記基板カセットホルダーのそれぞれは、内部に第２のサイズの基板を有する基板カセットを保持するように構成され、前記第１のサイズの基板は前記第２のサイズの基板と異なるサイズを有する請求項１記載の基板ロードステーション。
4. 前記基板ロードステーションは基板カセット保持場所の１つまたは２つ以上の階層を備える請求項１記載の基板ロードステーション。
5. 前記１つまたは２つ以上の階層は垂直方向に積み重ねられた階層である請求項４記載の基板ロードステーション。
6. 前記搬送ロボットは、それぞれの前記階層上の前記基板保持場所のそれぞれにアクセスするように構成される請求項４記載の基板ロードステーション。
7. 前記フレームは前記基板カセット保持場所のそれぞれに対応する１つまたは２つ以上のドアを備え、前記基板保持場所は、それぞれのドアの位置に依存するロード位置と搬送ロボットアクセス位置との間を移動するように構成される請求項１記載の基板ロードステーション。
8. 前記基板ロードステーションは、２ワイド装置フロントエンドモジュールに対するＳＥＭＩ規格に規定された空間的な寸法の範囲内に適合するサイズにされる請求項１記載の基板ロードステーション。
9. 各基板カセットは少なくとも１つの基板を保持するように構成され、前記少なくとも１つの基板は、発光ダイオードの形成、有機発光ダイオードの形成、および液晶ディスプレイの形成のうちの少なくとも１つのためのものである請求項１記載の基板ロードステーション。
10. 基板処理セクションと、
    前記基板処理セクションに連絡可能に接続された基板ロードステーション
    とを備えた基板処理ツールであって、
    前記基板ロードステーションは、
    チャンバを形成するフレームと、
    前記フレームに接続された搬送ロボットと、
    前記フレーム内に配置された基板カセットホルダーをそれぞれが有することができる１つまたは２つ以上の基板カセット保持場所
    とを備え、
    前記１つまたは２つ以上の基板カセット保持場所のそれぞれは、各カセットと前記搬送ロボットとの間で基板搬送をもたらすために、前記搬送ロボットとの連絡のために各基板カセットを取り外し可能に所定の位置で支持するように構成され、前記１つまたは２つ以上の基板カセット保持場所は、前記基板ロードステーションの基板カセット保持能力を変えるために１つまたは２つ以上の基板カセットホルダーと他の基板カセットホルダーとの互換性をもたらすように構成される基板処理ツール。
11. 各基板カセットホルダーは基板保持カセットを自動材料ハンドリングシステムから受け取るように構成される請求項１０記載の基板処理ツール。
12. １つまたは２つ以上の基板カセットホルダーのそれぞれは、内部に第１のサイズの基板を有する基板カセットを保持するように構成され、他の前記基板カセットホルダーのそれぞれは、内部に第２のサイズの基板を有する基板カセットを保持するように構成され、前記第１のサイズの基板は前記第２のサイズの基板と異なるサイズを有する請求項１０記載の基板処理ツール。
13. 前記基板ロードステーションは搬送ロボットおよび前記１つまたは２つ以上の基板カセットホルダーのそれぞれを備え、前記１つまたは２つ以上の他のカセットホルダーのそれぞれは、前記搬送ロボットの径方向の伸長および収縮の軸と径方向に並べられるように前記フレーム内に配置される請求項１０記載の基板処理ツール。
14. 前記基板ロードステーションは、基板カセット保持場所の１つまたは２つ以上の階層を備える請求項１０記載の基板処理ツール。
15. 前記１つまたは２つ以上の階層は垂直方向に積み重ねられた階層である請求項１４記載の基板処理ツール。
16. 前記搬送ロボットは、それぞれの前記階層上の前記基板保持場所のそれぞれにアクセスするように構成される請求項１４記載の基板処理ツール。
17. 各基板カセットは少なくとも１つの基板を保持するように構成され、前記少なくとも１つの基板は、発光ダイオードの形成、有機発光ダイオードの形成、および液晶ディスプレイの形成のうちの少なくとも１つのためのものである請求項１０記載の基板処理ツール。
18. 制御された環境を保持するように構成されたチャンバを形成するフレームを有する基板ロードステーションと、
    基板カセットホルダー
    とを備えた基板処理装置であって、
    前記基板カセットホルダーは、基板搬送ロボットによる１つまたは２つ以上の基板カセットからの基板の搬送のために１つまたは並置の２つ以上の基板カセットを保持するように構成され、前記基板カセットホルダーは、基板ロードステーションのカセット保持能力が、選択可能な機構の選択で選択可能であるように、前記選択可能な機構により基板カセット保持能力を定める基板処理装置。
19. 前記選択可能な機構は、前記基板カセットホルダーの取り外し可能な取り付けのために構成された１つまたは２つ以上の基板カセットホルダーモジュール、内部に第１のサイズの基板を有する基板カセットを保持するように構成された少なくとも１つの前記基板カセットホルダーモジュール、および内部に第２のサイズの基板を有する基板カセットを保持するように構成された少なくとも１つの他の前記基板カセットホルダーモジュールを備え、前記第１のサイズの基板は前記第２のサイズの基板とは異なるサイズを有する請求項１８記載の基板処理装置。
20. 各基板カセットは少なくとも１つの基板を保持するように構成され、前記少なくとも１つの基板は、発光ダイオードの形成、有機発光ダイオードの形成、および液晶ディスプレイの形成のうちの少なくとも１つのためのものである請求項１８記載の基板処理装置。

Images