TWI538084B - 卡匣轉接器 - Google Patents

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TWI538084B
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幡野隆一
齋藤省吾
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昕芙旎雅股份有限公司
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Description

卡匣轉接器
本發明係關於卡匣轉接器(Adapter)，係使用對應收容300mm晶圓的第1卡匣(Cassette)之載入埠(Load Port)，為了能安裝收容200mm晶圓的第2卡匣，而以可裝卸的方式固定於承載底座。再者，於本說明書中所謂「300mm之晶圓」以及「200mm之晶圓」，其係分別指直徑300mm及直徑200mm之圓形的晶圓。
在以300mm之晶圓之處理為主體的處理裝置中，為對該處理裝置進行晶圓的搬入/搬出，而將用以設置收容多數片晶圓之第1卡匣的載入埠，分別安裝於前述處理裝置外側之進行搬入/搬出的各部分。
如此，在以300mm晶圓之處理為主體的處理裝置中，便產生出進行200mm晶圓之處理的必要。於此種情況下，只要將設置於處理裝置外側的各載入埠，變更為對應收容200mm晶圓的第2卡匣便可解決問題。在此方法中，相較於300mm之晶圓，為了使用頻率較少之200mm晶圓之處理，有必要先製造/準備多數對應第2卡匣的專用之載入埠做為更換用。
於前述方法中，不僅是使用頻率較少之第2卡匣專用的載入埠的製造，亦有必要進行載入埠的更換作業，在極為不符合經濟效益的同時，為交換載入埠，晶圓的處理效率亦降低。
於是，本發明人便獲得一種構想，對對應可收容300mm晶圓的第1卡匣之載入埠，使用可設置收容200mm晶圓之第2卡匣的卡匣轉接器。於此種構想之下，前述卡匣轉接器緊密固定於收容300mm晶圓之第1卡匣載入埠的承載底座，且第2卡匣整體被收容於固定在前述承載底座的卡匣蓋(Cover)內，該卡匣蓋之前側開口係被構成前述卡匣轉接器之板體(Plate)所覆蓋。因此，不大幅改造載入埠側，而偵測出對構成前述卡匣轉接器之轉接器底座而以旋轉軸為中心可旋轉的支撐之轉接器本體的配置位置以及相對於該轉接器本體之第2卡匣之雙方座落位置的座落感測器(Sensor)機構便不可或缺。再者，於本業界中，可收容300mm之第1晶圓的第1卡匣稱為前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod；簡稱FOUP)，可收容200mm之第2晶圓的第2卡匣稱為開放式卡匣(Open Cassette)。
做為達成前述目的之先行技術，專利文獻1、2中雖有所記載，惟皆非為標準之載入埠，而有專用之載入埠係為必要之共通問題。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特許第4388505號公報
專利文獻2：日本特表2003-504887號公報
本發明之課題係以將卡匣轉接器裝配於對應收容300mm晶圓之第1卡匣的載入埠之承載底座，於將收容200晶圓之第2卡匣設置於前述載入埠之際構成前述卡匣轉接器，在第2卡匣之搬入出位置與第2晶圓之進出位置之間旋轉的轉接器本體可鎖定(lock)於前述承載板的同時，可檢測出第2卡匣座落於正確位置。
用以解決前述課題之申請專利範圍第1項的發明係為卡匣轉接器，係裝著於載入埠之承載底座，俾設置能收容200mm之第2晶圓的第2卡匣者；該載入埠之承載底座係設置能收容300mm之第1晶圓的第1卡匣並使該第1晶圓對處理裝置搬入/搬出，並且具備有鎖定構件，而該鎖定構件係以可解除的方式扣合於設在前述第1卡匣之背面部之被鎖定部，俾將該第1卡匣鎖定於前述載入埠之承載底座。前述卡匣轉接器係由轉接器底座與轉接器本體所組成；該轉接器底座係固定於前述承載底座；該轉接器本體係兩片板體以側視呈L字狀之方式正交而一體化，而能以相對於該轉接器底座水平配置之旋轉軸為中心，在(90°-θ)的角度內旋轉而被支撐，前述轉接器本體係由卡匣托架與轉接器板所構成；該卡匣托架係在以前述旋轉軸心之側較低之方式相對於水平面傾斜達些許之角度(θ)之狀態，可容許對前述載入埠之卡匣台(Table)設置及取出第2卡匣，而該轉接器板係能藉由自傾斜姿勢轉移到水平姿勢而使支撐於前述卡匣托架之第2卡匣之姿勢大致反轉，俾在能夠在與前述處理裝置之間使第2晶圓搬入/搬出之姿勢下可載 置該第2卡匣，前述轉接器板之背面一體地裝設有被鎖定構件，該被鎖定構件係於該轉接器板為水平配置之狀態下，對配置於前述轉接器底座之下方的前述鎖定構件可解除地扣合，而可對前述承載底座固定前述轉接器本體，於前述鎖定構件與前述被鎖定構件為扣合之狀態下，因第2卡匣為被收容在固定於前述轉接器底座的卡匣蓋內之狀態，使做為該卡匣蓋前側開口的開口封閉蓋而覆蓋之前述卡匣托架鎖定而無法打開之構成。
根據申請專利範圍第1項的發明，安裝收容300mm之第1晶圓的第1卡匣之後，則卡匣轉接器會被鎖定於載入埠之承載底座；該載入埠對處理裝置進行第1晶圓之搬入/搬出。亦即，卡匣本體係為轉接器本體透過水平旋轉軸而可相對於轉接器底座在(90°-θ)之角度內旋轉而被支撐之構成；該轉接器本體係由卡匣托架與轉接器板之兩片板體以側視成L字狀之方式正交一體化而成。一體裝設於前述轉接器板之下表面之被鎖定構件，係被鎖定於鎖定構件；該鎖定構件裝設於第1卡匣用之前述載入埠之卡匣台的承載底座，該轉接器板係在水平配置於前述承載板之上方的狀態以不旋轉的方式固定。固定於承載底座的轉接器底座，裝配有用以覆蓋收容200mm之第2晶圓的第2卡匣之卡匣蓋，該卡匣蓋在藉由旋轉而可收容轉接器本體之整體的同時，為使其對處理裝置可晶搬入/搬出晶圓，而在前側以及背部側開有口。
將卡匣轉接器向前側傾倒，從卡匣蓋的前側之開口就會出現該卡匣托架，於旋轉軸之側略低而相對於水平線傾斜達角度(θ)之狀態下，以所收容之第2晶圓為大致垂直之狀態將第2卡匣定位並安裝於前述卡匣托架。因該卡匣托架係以轉接器板之側呈略低的方式傾斜配置，故在定位並安裝於該卡匣托架的第2卡匣中於第2晶圓的搬入/搬出時成為底面之面係抵接於前述轉接器板，並仍舊定位於該轉接器板。換言之，若對相對於水平面略傾斜配置之卡匣托台安裝第2卡匣，則該第2卡匣被定位於該卡匣托架及轉接器板雙方。其後，藉由手動操作將卡匣轉接器旋轉達(90°-θ)，在使轉接器板水平配置的同時，若將卡匣托架垂直配置，則該第2卡匣之整體，將被收容於裝配在轉接器底座的卡匣蓋內，該卡匣蓋之前側開口係藉由構成卡匣轉接器的卡匣托台所覆蓋。
藉由將轉接器本體朝向處理裝置之側旋轉達(90°-θ)，轉接器本體的轉接器板係整體被收容於卡匣蓋內而水平配置於承載底座之上方。於此狀態下，如前所述，固定於該轉接器板之背面的被鎖定構件，被裝設在第1卡匣用的前述載入埠之卡匣台的承載底座之鎖定構件鎖定，該轉接器板係以不旋轉的方式而固定配置於前述承載底座之上方。亦即，使轉接器本體之整體無法旋轉而固定配置於承載板。此結果，使覆蓋收容第2卡匣整體之卡匣蓋前側之開口的卡匣托架，維持在覆蓋該卡匣蓋的前側開口之垂直姿勢下固定配置，不會向前側旋轉而使前述卡匣蓋的前側開口被打開。亦即，就此使用用於將第1卡匣固定於載入埠的的承載底座之鎖定構件，即可將可對該載入埠安裝第2卡匣的卡匣轉接器固定於前述承載底座。
另外，申請專利範圍第2項的發明之特徵係為於申請專利範圍第1項中，前述鎖定構件係以具備連桿(Rod)之氣壓缸(Air Cylinder)所構成；該連桿前端設有鎖定爪並相對於缸體(Cylinder)進行進出同時旋轉，裝設於前述轉接器板之背面的前述被鎖定構件係具備被鎖定部；該被鎖定部係在該轉接器板水平配置之狀態下，與安裝於前述承載底座的第1卡匣之被鎖定部配置於同一位置，而前述氣壓缸之連桿的前端之鎖定爪與前述被鎖定構件之被鎖定部扣合而構成。
根據申請專利範圍第2項的發明，於構成卡匣轉接器之轉接器本體的轉接器板之背面，藉由將與設置於第1卡匣之被鎖部同一構成的被鎖定部予以一體化設置，在以氣壓缸所構成之鎖定構材的連桿進出同時旋轉時，使一體化裝配於該連桿前端之鎖定爪與一體化裝配於轉接器板之背面的被鎖定部相互扣合，可將卡匣轉接器固定配置於第1卡匣之載入埠的承載底座。
另外，申請專利範圍第3項之發明之特徵係為在專利申請範圍第2項的發明之中，身為鎖定構件之前述氣壓缸的連桿，係朝相對於垂直線傾斜之方向進出。
根據申請專利範圍第3項的發明，將收容300mm之第1晶圓的第1卡匣藉由鎖定用之氣壓缸對載入埠的承載底座鎖定之際，在確保該氣壓缸之連桿整體之必要可動長度 後，因能沿上下方向將必要可動長度縮短，故能迴避與第1卡匣之底面的干涉，而可將該第1卡匣鎖定於承載底座。
另外，申請專利範圍第4項的發明係為在申請專利範圍第1項至第3項的任一發明中，前述卡匣托架係以透明體構成。
根據申請專利範圍第4項的發明，第2卡匣之整體收容於卡匣蓋內，而該卡匣蓋的前側開口係為被轉接器本體的卡匣托架所覆蓋之狀態，亦即，藉由配置於處理裝置內的機械臂(Robot)之手(Hand)，將收容於第2卡匣之的2晶圓搬入該處理裝置或將處理完畢之第2晶圓搬入該第2卡匣之狀態可透過透明的卡匣托架視覺辨認。此結果，在由機械臂之手所進行之第2晶圓的搬入/搬出時產生瑕疵之情況時，可馬上偵測出該瑕疵。
另外，申請專利範圍第5項的發明係為卡匣轉接器，係裝著於載入埠之承載底座，俾設置能收容直徑200mm的圓形之第2晶圓的第2卡匣者；該載入埠之承載底座係用以設置能收容直徑300mm的圓形之第1晶圓之第1卡匣並使該第1晶圓對處理裝置搬入/搬出；前述卡匣轉接器係由轉接器底座與轉接器本體所組成；該轉接器底座係固定於前述承載底座；該轉接器本體係兩片板體以側視呈L字狀之方式正交而一體化，而能以相對於該轉接器底座水平配置之旋轉軸為中心，在(90°-θ)的角度內旋轉而被支撐，前述轉接器本體係由卡匣托架與轉接器板所構成；該卡匣托架係在以前述旋轉軸心之側較低之方式相對於水平面傾斜達些許之角度(θ) 之狀態，可容許對前述載入埠之卡匣台設置及取出第2卡匣，而該轉接器板係能藉由自傾斜姿勢轉移到水平姿勢而使支撐於前述卡匣托架之第2卡匣之姿勢大致反轉，俾在能夠在與前述處理裝置之間使第2晶圓搬入/搬出之姿勢下可載置該第2卡匣，前述轉接器本體之背面係分別裝配有用以將該轉接器本體由卡匣托架之傾斜配置位置旋轉達(90°-θ)，而使該轉接器板水平配置之止動構件，以及使裝設於前述承載板之複數個第1卡匣用座落感測器中之特定一個動作而偵測出該轉接器板為水平配置之感測器作動構件，前述轉接器板的上表面裝設有複數個第2卡匣用座落感測器，該第2卡匣用座落感測器係在使除前述複數個第1卡匣用座落感測器中藉由前述感測器作動構件所動作之特定第1卡匣用座落感測器以外之其餘之第1卡匣用座落感測器無效之狀態下，偵測出第2卡匣設定且座落於前述轉接器板的上表面之正確位置。
於專利申請範圍第5項的發明之中，只將裝設於載入埠之承載底座的複數個第1卡匣用座落感測器中之藉由前述感測器作動構件所動作的特定之第1卡匣用座落感測器使其有效，而將其他全部之第1卡匣用座落感測器使其無效，使構成轉接器本體的卡匣托架之旋轉軸之一方較低，在相對於水平面傾斜少量角度(θ)的狀態下，將收容有大致垂直的第2晶圓之第1卡匣於定位狀態下安置於前述卡匣托架。於此狀態下，若將轉接器本體旋轉達(90°-θ)而斜置，則裝配於構成該轉接器本體的轉接器板背面側之止動構件抵接於轉接器底座，而安置於卡匣托架之第2卡匣，將被移置於將大致反轉成水平配置之轉接器板。
若將裝設於水平配置的轉接器板之複數個第2卡匣用座落感測器之全部藉由第2卡匣導通(On)，會偵測出第2卡匣以正確姿勢座落於該轉接器板的正確位置。另一方面，若設置於載入埠之承載底座的複數個第1卡匣用座落感測器之中呈有效的特定之第1卡匣用座落感測器藉由裝配於轉接器板背面之感測器作動構件動作而導通，則會偵測出該轉接器板呈水平配置。藉此偵測出第2卡匣以正確姿勢座落於水平配置之轉接器板上表面，猶如於承載底座透過卡匣轉接器偵測出第2卡匣座落於正確位置一樣。
另外，申請專利範圍第6項的發明係在申請專利範圍第5項之中，於藉由前述複數個第1卡匣用座落感測器中藉由前述感測器作動構件而動作之特定的第1卡匣用座落感測器，配置於距離轉接器本體之旋轉軸最遠的位置。
若根據申請專利範圍第6項的發明，在安置了將第2晶圓大致垂直而收容之第2卡匣的狀態下，將轉接器本體旋轉達(90°-θ)，於將構成該轉接器本體之轉接器板水平配置之際，可提高該轉接器板之水平配置的精確度。
另外，申請專利範圍第7項的發明係於申請專利範圍第5項之中，前述止動構件係配置於距離前述轉接器本體之旋轉軸最遠之距離，而沿軸心方向配置一對。
若根據申請專利範圍第7項之發明，將轉接器本體旋轉達(90°-θ)，而使構成轉接器本體的轉接器板水平配置之際，可安定該轉接器板之水平配置狀態。
若根據專利申請範圍第1項的發明，藉由使用收容300mm晶圓的第1卡匣之載入埠，而將用以可設置收容200mm晶圓之第2卡匣的卡匣轉接器固定於承載底座，在安裝於該卡匣轉接器的第2卡匣被卡匣蓋覆蓋的狀態中，構成前述卡匣轉接器，在使封閉該卡匣蓋前側開口無法打開的同時可鎖定。因此，在第2卡匣與處理裝置之間進行搬入與搬出第2晶圓的作業中，能將第2卡匣因人手等由設定位置移動等瑕疵防範於未然。
若根據申請專利範圍第5項之發明，藉由將用以可設置收容200mm晶圓之第2卡匣的卡匣轉接器裝著於對應收容300mm晶圓的第1卡匣之載入埠的承載底座，以高精度偵測出第2卡匣配置於前述卡匣轉接器的正確座落位置，而能使用第1卡匣用之載入埠，對處理裝置進行收容於第2卡匣的第2晶圓之搬入/搬出。
以下，舉出最佳之實施例以更詳細地說明本發明。首先，參考第1圖、第2圖以及第14圖，關於安裝收容300mm第1晶圓的第1卡匣K1，並對處理裝置100進行該300mm晶圓的搬入/搬出之載入埠P，只針對理解本發明的必要部分說明，其後，就關於本發明之具備卡匣蓋C的卡匣轉接器A說明。載入埠P係具備載入埠本體1、蓋體裝卸裝置3與卡匣台4；該載入埠本體1係在相接於處理裝置100特定位置的外壁面狀態下垂直配置，蓋體裝卸裝置3係具備保持該蓋體之蓋體保持板2；該蓋體保持板2係配置於該載入埠本體1之背面側，為了裝卸第1卡匣K1(參考第14圖)的蓋體(未圖示)而保持該蓋體，該卡匣台4係水平裝設於前述載入埠本體1之前側，用以安裝第1卡匣K1。前述蓋體固定板2之前側雖裝設有進行第1卡匣K1的蓋體(未圖示)之鎖定及其解除的鎖定爪，及進行該蓋體固定板2的吸著之吸盤，惟此等皆未圖示。在載入埠本體1之卡匣台4的更上方部分，裝設有對處理裝置100進行晶圓之搬入/搬出的方形之晶圓移置窗口1a。
該卡匣台4在對第1水平方向X與第2水平方向Y之雙方進行定位之狀態下配置有承載底座5，俾安裝前述第1卡匣K1；該第1水平方向X係為對處理裝置100的晶圓之搬入/搬出方向，該第2水平方向Y係為與該第1水平方向X正交之水平方向，該承載底座5係以可沿前述第1水平方向X前進/後退的方式配置。
承載底座5係以承載蓋6覆蓋整體，並在形成於第1卡匣K1背面之3個定位孔7的對應位置分別裝設有定位突起8。前述定位孔7係形成於突出第1卡匣K1背面之下方而一體形成之各凸部9的下表面。另外，於共計3個之各定位突起8附近，分別裝設有由承載底座5的上表面突出之共計3個的第1卡匣用座落感測器S1至S3，在定位於承載底座5的狀態下安裝(座落)第1卡匣K1，藉以將裝設於該第1卡匣K1背面之各凸部9按壓而往下方移動，而偵測出該第1卡匣K1安裝(座落)於前述承載底座5。
另外，在第1卡匣K1之裏面靠近前面(蓋體之側)的部分，設置有1具側視呈逆L字狀之被鎖定部11。另一方面，於承載底座5之一方，相對於垂直線傾斜配置有鎖定用氣壓缸14；該鎖定用氣壓缸14具有連桿13；該連桿13之前端裝設有能扣合於第1卡匣K1之被鎖定部11的鎖定爪12，該鎖定爪12係以通過裝設於承載底座5之貫通孔17而自該承載底座5的上表面突出的方式配置。之所以將鎖定用氣壓缸14如前述般傾斜配置，係為不與第1卡匣K1的底面干涉而確保該鎖定用氣壓缸14的連桿13之必要可動長度。鎖定用氣壓缸14的連桿13進行進退與90°範圍內的旋轉，藉以使該鎖定用氣壓缸14的連桿13之前端的鎖定爪12與第1卡匣K1之被鎖定部11以可解除的方式扣合，而使被定位且安裝(座落)於承載底座5的第1卡匣K1在防止其浮出於承載底座5的狀態下被鎖定。於此狀態下，若承載底座5藉由驅動手段(未圖示)而向晶圓移置窗口1a之側移動，則裝設於安裝在該承載底座5的第1卡匣K1之前面的開口周緣之法蘭(Flange)15(參考第13圖)，將密著於載入埠本體1的晶圓移置窗口1a的周緣，即使因前述蓋體裝卸裝置3的蓋體固定板2而解除處理裝置100之側的載入埠本體1之晶圓移置窗口1a的封閉狀態，亦維持晶圓移置窗口1a之部份之氣密，而維持高空氣潔淨(Air Clean)度之處理裝置100內之氣密。另外，於承載底座5形成有螺合於共3隻頂出銷(Knock-Out Pin)之螺絲孔16，該共3隻頂出銷係在利用共計3個的定位突起8，將第1卡匣K1安裝於承載底座5的上表面之際，而第1卡匣K1的位置較正規位置大幅偏移的情況時，用以傳達與該第1卡匣K1底面干涉之訊息。
接著，參考第1圖至第11圖，說明關於本發明之卡匣轉接器A。第1圖係為顯示卡匣轉接器A對載入埠P的卡匣台4之承載底座5的固定位置之關係的斜視圖，第2圖係為顯示卡匣轉接器A固定於承載底座5的狀態之斜視圖，第3圖係為卡匣轉接器A之斜視圖，第4圖係為卡匣轉接器A與卡匣蓋C的分離狀態之斜視圖，第5圖係為由不同方向所見之卡匣轉接器A與卡匣蓋C的分離狀態之斜視圖，第6圖係為將轉接器本體D向前側傾倒，以卡匣托架B承接第2卡匣K2的狀態之斜視圖，第7圖係為同樣之側視圖，第8圖係為在以卡匣托架B承接第2卡匣K2的狀態下，使轉接器本體D旋轉達(90°-θ)，將轉接器本體D配置於轉接器底座V的狀態之側視斷面圖，第9圖係為顯示於同樣之狀態中，以轉接器本體D被鎖定於承載底座5的狀態為主體之側視剖面圖。第10圖(a)、(b)係分別顯示將第1卡匣K1及第2卡匣K2安裝於承載底座5的情況之各座落感測器S1至S5之有效/無效狀態的圖，第11圖(a)係顯示在鎖定及非鎖定時中的鎖定用氣壓缸14之鎖定爪12與裝配於轉接器板E背面的被鎖定構件35之間關係的平面圖，同圖(b)為相同之側視剖面圖。再者，在以下說明中，於構成轉接器本體D的卡匣托架B以及轉接器板E雖有種種之構件透過螺栓(Bolt)固定，惟因該螺栓之固定其自身並無任何特徵，為簡略畫圖式而更容易理解本發明必要之部份，除在本發明中必要之螺栓外，在所有圖中均省略螺栓之圖示。
如同第4圖至第7圖所顯示，卡匣轉接器A係由板狀之轉接器底座V與轉接器本體D所構成；該轉接器底座V係固定於前述承載底座5，該轉接器本體D係兩片板體以側視呈L字狀正交一體化，並相對於該轉接器底座V而以旋轉軸21為中心，在(90°-θ)的角度內藉由手動旋轉。於屬於前述轉接器底座V中沿著第1水平方向X的後端部之該兩端部固定有用以支撐圓盤阻尼器(Disc Dumper)22的左右一對之阻尼器支撐支架(Bracket)23，各阻尼器支撐支架23之外側分別固定有用以支撐前述旋轉軸21的軸支撐支架24。旋轉軸21的兩端部分別貫通阻尼器支撐支架23及圓盤阻尼器22而受軸支撐支架24所支撐，在該旋轉軸21左右之各阻尼器支撐支架23之間，板裝配支架25嵌入其中而於外側形成一體，該旋轉軸21與板裝配支架25成為形成一體而旋轉之構造。
轉接器本體D係由卡匣托架B與轉接器板E所構成；該卡匣托架B係使其前述旋轉軸21之側略低，於傾斜達角度(θ)(參考第7圖)之狀態下，用以進行設置及取出可收容200mm晶圓之第2卡匣K2，該轉接器板E係用於重新載放，藉由自傾斜姿勢轉移到水平姿勢，將以前述卡匣托架B所支撐之第2卡匣K2的姿勢變更大致90°，變更為可在與前述處理裝置100之間搬入/搬出晶圓之姿勢。
使該卡匣托架B及轉接器板E互成正交，而一體化裝配於前述板裝配支架25。卡匣托架B之背面裝設有在藉由手動操作將兩片板體於側視呈L字狀正交一體化的前述轉接器本體D旋轉之際，作業者可以單邊的手抓取之手柄(Grip)20。
另外，前述卡匣托架B與轉接器板E之各內面裝配有用以在以各自不同之姿勢將第2卡匣K2定位之狀態下可支撐之第1及第2之各定位機構F1、F2，該第1及第2之各定位機構F1、F2，係依據於第2卡匣K2之形狀。從而，參考第3圖，第12圖及第13圖，就第2卡匣K2之形狀與第1與第2之各定位機構F1、F2的關係簡單的說明。第12圖係為由第2卡匣K2之下側所見之斜視圖，第13圖係為顯示裝設於轉接器本體D的第1及第2之各定位機構F1、F2與成為第2卡匣K2之被定位部的各加強肋之關係的圖。收容200mm晶圓的第2卡匣K2係由一對的對向側壁部110與上板部111、下板部112及下側連結板部113所連結，於各對向側壁部110的內側面，其上下方向隔固定節距(Pitch)裝配有多數用以插入而支撐晶圓周緣部的晶圓插入溝114，於前述下側連結板部113的下表面之沿一對的對向側壁部110的對向方向裝設有定位突條115。該定位突條115之兩端的形成端形成有一對相互平行的感測器作動加強肋116，與該定位突條115成正交且使其略突出該定位突條115。另一方面，為使插入之晶圓垂直而可支撐，於與晶圓插脫開口117相反之側相互平行而形成有一對的起立板部118且與前述一對的感測器作動加強肋116成正交。另外，於上板部111，設置有用以將該第2托盤K2以手拿起之把手119(參考第6圖)。
而後，為可將第2卡匣K2定位而安裝於旋轉軸21之一方略低而傾斜配置的卡匣托架B及水平配置的轉接器板E，於卡匣托架B及轉接器板E分別裝設有第1與第2之各定位機構F1、F2。
裝設於卡匣托架B的第1定位機構F1係由細長塊狀之一對的第1定位構件26與細長塊狀的第2定位構件27所構成；該第1定位構件26係用以自外側限制第2卡匣K2的一對之起立板部118之各位置，該第2定位構件27係用以在第2卡匣K2的一對之感測器作動加強肋116抵接於轉接器板E之上表面的狀態下，限制在前述一對的起立板部118中，遠離轉接器板E之側的端面。另一方面，用以將第2卡匣K2定位於轉接器板E的第2定位機構F2係如同前述一般，在第2卡匣K2被第1定位機構F1定位於卡匣托架B的狀態中，由用以形成該第2卡匣K2的定位突條115所插入之定位插入溝28的細長塊狀之一對的第3定位構件29所構成。藉此，對旋轉軸之側呈略低而配置之卡匣托架B，在所收容之晶圓成為大致垂直姿勢之狀態下，將第2卡匣K2安置於卡匣托架B，若就此使其向轉接器板E之側略為滑動(Slide)，則在第2卡匣K2的一對之起立板部118進入卡匣托架B的一對之第1定位構件26與第2定位構件27之間的同時，第2卡匣K2的定位突條115插入於一對的第3定位構件29之間的定位插入溝28，則第2卡匣K2定位於卡匣托架B及轉接器板E雙方。因此，在第2卡匣K2安置於卡匣托架B之狀態下，即使在將轉接器本體D旋轉達(90°-θ)，而使轉接器板E成水平之狀態中，被反轉大致90°的第2卡匣K2也能對該轉接器板E維持在定位於第1及第2之各水平方向X、Y的雙方向之狀態。再者，在第3圖、第13圖等之中，31係顯示平行配置於一對的第3定位構件29之各自外側，而具有較該第3定位構件29更大的厚度，並在第2卡匣K2的定位引導及定位於第2位置定位機構F2之狀態中，防止第2卡匣K2向第1水平方向X移動之引導/限制構件。
另外，第2卡匣K2亦復如此，有必要偵測該第2卡匣K2以正確的平行姿勢安裝(座落)於轉接器板E，如同第3圖及第4圖所示，在第2卡匣K2藉由第2位置定位機構F2定位而安裝於轉接器板E之狀態下，使該第2卡匣K2的下板部112抵接而偵測出前述水平姿勢的第2卡匣用座落感測器S4、S5係可沿著該轉接器板E的一方之對角線方向進出而配置。第2卡匣用座落感測器S4、S5係因將第2卡匣K2定位安裝於轉接器板E，而被由下板部112之背面向更下方突出之感測器作動加強肋116所動作。再者，在第4圖中，32係顯示用於以可進出的方式支撐之第2卡匣用座落感測器S4、S5的感測器支持器(Holder)。
另外，即使第2卡匣用座落感測器S4、S5之任一皆動作而第2卡匣K2正確水平的設置於構成轉接器本體D的轉接器板E，於該轉接器板E未水平的設置之情況時，就結果而言，安置於該轉接器板E的第2卡匣K2並未被水平的設置，例如在處理前由該第2卡匣K2取出晶圓，或於處理後將該晶圓收容於該第2卡匣K2時就會產生故障。因此，如同第4圖及第8圖所示，在轉接器板E之背面中靠近自由端側之兩角落(Corner)部之部分，分別裝設有在前述轉接器板E水平的狀態下抵接於轉接器底座V的左右一對之止動螺栓33的同時，在轉接器底座V水平的狀態下，用以動作配置於該轉接器底座V的下方之前述第1卡匣用座落感測器S1之感測器作動螺栓34，裝配於前述轉接器板E的背面之第1卡匣用座落感測器S1之配置位置的對應位置。藉由此構成，便可偵測出第2卡匣K2正確水平的設置於轉接器板E及該轉接器板E為水平的設置。另外，在轉接器板E為水平配置之狀態中，於裝設於該轉接器板E之背面的第1卡匣K1的被鎖定部11的對應位置，同樣裝配有上下方向較長的L字形之被鎖定構件35，如同第9圖及第11圖所示，該被鎖定構件35前端之被鎖定部35a與鎖定用氣壓缸14的連桿13之前端的鎖定爪12扣合，成為轉接器本體D鎖定於承載底座5之構成。再者，在第4圖及第8圖之中，36係顯示用以回避鎖定用氣壓缸14的連桿13之前端的鎖定爪12及前述被鎖定構件35與轉接器底座V之間的干涉之逃逸孔，37係顯示為避免裝設於承載底座5的第1卡匣用座落感測器S1至S5與轉接器底座V之間的干涉而裝設於該轉接器底座V之逃逸孔。
另外，於轉接器底座V形成共計3個安裝孔38，用以將裝設於第1卡匣K1的載入埠P之承載底座5的共計3個之定位突起8分別嵌合，而將轉接器底座V定位而安裝於承載底座5。
接著，參考第2圖至第5圖，說明關於卡匣蓋C；該卡匣蓋C係在安裝於轉接器本體D的轉接器板E之狀態下，為了收容該轉接器本體D及第2卡匣K2之雙方而裝配於轉接器底座V。第2卡匣K2係在定位於第1及第2之各水平方向X、Y的狀態下，只安置於轉接器本體D之轉接器板E而未鎖定。因此，在對處理裝置100之第2晶圓W2搬入/搬出時，亦即，在配置於處理裝置100內的晶圓移置用之機械臂的動作中及其前後，為使在定位狀態下而安置於轉接器板E的第2卡匣K2不受接觸而由周圍保護，而以卡匣蓋C覆蓋該第2卡匣K2之整體。卡匣蓋C係為可透視內部而以透明樹脂形成，由操作第2卡匣K2之作業者的方向來看，前側面、背側面及底面共計3面有開口，各自成為前側開口41、背側開口42、及底面開口43，整體呈大致立方體狀。於卡匣蓋C的各側板部44的前端面係如同與天板部45的前端面成為同一面般，各自由外側一體化裝設有法蘭部46，在第2卡匣K2前進至前進端而位於第2晶圓的搬入/出位置之狀態時，抵接於載入埠P的晶圓移置窗口1a之周緣，而成為可封閉晶圓移置窗口1a。此法蘭部46，於法蘭板部46a之周緣部嵌入框體部46b，成為左右的各框體部46b抵接在晶圓移置窗口的兩側緣部之構成。再者，於各側板部44之下端部的前側大致一半的部分，朝側方突出而設置有用以覆蓋固定在轉接器底座V的圓盤阻尼器22、阻尼器支撐及軸支撐之各支架23、24的突出蓋部47。天板部45係使其可收容立起之卡匣托架B，而以前側較高之段差狀形成。前述卡匣蓋C，其水平承接裝配於各側板部44下端外側的裝配法蘭部44a及前述突出蓋部47之側板部47a，分別透過數隻螺絲48，而以可裝卸的方式分別裝配於轉接器底座V之上表面周緣部及側端面。
另外，如同第6圖及第7圖所示，在將收容有大致垂直之第2晶圓W2的第2卡匣K2安裝於卡匣托架B的情況時，該卡匣托架B為使旋轉軸21之側呈略低而傾斜配置，於轉接器底座V中配置有前述旋轉軸21之側，裝配有用以抵接嵌合於該旋轉軸21之外側之板裝配支架25的左右一對之抵接體39。卡匣托架B之傾斜角度(θ)係為5至10°。再者，在第3圖至第5圖中，S6係顯示在由第2卡匣內第2晶圓W2的搬出(取出)之開始時，用以偵測由該第2卡匣超出一定量而突出之之第2晶圓W2之一對一組的晶圓飛出偵測感測器之一方，於轉接器板E的前端部中央的背面透過支架以突出狀態而設置。
而後，在對第1卡匣K1的載入埠P之承載底座5裝配卡匣轉接器A時，如第1圖所示，使用形成於該承載底座5之頂出銷(圖示)的複數個螺絲孔16與同數量之固定螺栓52，將未裝配有卡匣蓋C之狀態的轉接器底座V固定於前述承載底座5。於轉接器底座V之前述複數個螺絲孔16之對應部份，分別貫通有插通孔53(參考第1圖及第9圖)，將卡匣轉接器A的轉接器底座V配置於承載板5正上方再使其下降，將裝設於承載底座5的各定位突起8嵌合於相對該轉接器底座V的複數個安裝孔38，於此狀態中，若將插通於轉接器底座V之螺栓插通孔53的各固定螺栓52螺合於承載底座5的各螺絲孔16，則在轉接器底座V於相對該承載底座5於各自定位於第1及第2的各水平方向X、Y的狀態下，轉接器底座V被固定於該承載底座5(參考第9圖)。藉此，於第1卡匣K1的載入埠P之承載底座5構成卡匣轉接器A的轉接器本體D係以旋轉軸21為中心，以可在(90°-θ)的角度內旋轉的方式而裝著。於此狀態下，若使用複數隻的螺絲48將卡匣蓋C裝配於轉接器底座V，則卡匣托架B在成為垂直的姿勢下，轉接器本體D之整體被卡匣蓋C所覆蓋(參考第2圖)。
接著，參考第6圖至第11圖，依序說明關於下述到鎖定於載入埠P的承載底座5為止步驟之作用，在將收容有第2晶圓W2的第2卡匣K2安裝於傾斜配置的卡匣托架B之後，將轉接器本體D旋轉達(90°-θ)，在整體受卡匣蓋C所覆蓋的狀態中，將該轉接器本體D的轉接器板E，鎖定於載入埠P的承載底座5。將卡匣轉接器A裝著於第1卡匣K1的載入埠P之承載底座5，要使用可用以安裝第2卡匣K2的卡匣轉接器A，需要在裝設於載入埠P的承載底座5之第1卡匣K1用座落感應器S1至S3之中，只將第1卡匣K1用座落感應器S1使其有效，而將其餘之第1卡匣K1用座落感應器S2及S3使其無效，同時將裝配於卡匣轉接器A的轉接器板E之第2卡匣用座落感應器S4及S5使其無效(參考第10圖)。再者，在第10圖中，61係顯示控制卡匣轉換器A之動作的控制面板，62、63係分別顯示座落感測器S1至S5的配線、連接器(Connector)。
首先，如同第6圖及第7圖所示，若將轉接器本體D藉由手動向前側傾倒，則板裝配支架25的兩端支架將抵接於裝配在轉接器底座V的左右一對之抵接體39，該轉接器本體D之卡匣托架B係使其轉軸21之側較低，相對於水平面傾斜達角度(θ)而配置。如此，於藉由手動旋轉轉接器本體D之際，因配置於旋轉軸21兩端部之各圓盤阻尼器將抵抗旋轉，而防止因自體重量導致之快速旋轉，而緩慢旋轉之原因，在於轉接器本體D停止旋轉之際，防止支撐於第2卡匣K2的第2晶圓W2由晶圓插入溝114突出。此種狀態中，若將使收容之第2晶圓W2大致垂直之第2卡匣K2的左右一對的起立板部118插入構成第1定位機構F1的左右一對之第1定位構件26與另外之第2定位構件27之間，因卡匣托架B呈傾斜配置，故該第2卡匣K2被推壓至立起姿勢的轉接器板E之側，而裝設於下側連結板部背面之定位突條115，則插入形成於構成第2位機構F2的2個第3定位構件29之間的定位插入溝28。藉此，將轉接器本體D旋轉達(90°-θ)，如第8圖及第9圖所示，在大致反轉之該第2卡匣K2被安置於轉接器板E上的狀態中，該第2卡匣K2相對第1及第2之各水平方向X、Y而定位。
若由於轉接器本體D的(90°-θ)之旋轉，而藉由自傾斜配置的卡匣托台B被轉放至轉接器板E的第2卡匣K2之各感測器作動加強肋116導通(ON)設置於該轉接器板E之第2卡匣用座落感測器S4、S5，將偵測出第2卡匣K2以正確姿勢安裝(座落)於該轉接器板E。另外，藉由轉接器本體D的(90°-θ)之旋轉，裝設於轉接器板E背面之左右一對的止動螺栓33將抵接於轉接器底座V，若該轉接器板E呈水平配置，則裝配於該轉接器板E之背面的感測器作動螺栓34一但通過該轉接器板E的逃逸孔37而導通裝配於承載底座5的第1卡匣用座落感測器S1時，則將偵測出該轉接器板E呈水平配置。
如此，第1卡匣用座落感測器S1及第2卡匣用座落感測器S4、S5全部開啟，即等同確認第2卡匣K2以正確姿勢座落於轉接器板E以及該轉接器板E呈水平配置，表示第2卡匣K2座落於水平配置的轉接器板E之上表面之正確位置。另外，因左右一對之止動螺栓33選擇在距離轉接器本體D之旋轉軸21的最遠位置，而感測器作動螺栓34選擇大幅遠離旋轉軸21之第1卡匣用座落感測器S1、S2之一方(S1)，可提高轉接器板E的水平配置之精確度。
其後，使鎖定用氣壓缸14之連桿13突出至突出端，如第11圖(a)所示，在該連桿13的前端之鎖定爪12沿第2水平方向Y配置之狀態下，若使該連桿13回轉達90°之後縮回，如第9圖及第11圖(b)所示，進入轉接器底座V之逃逸孔37的轉接器板E背面之被鎖定構件35的被鎖定部35 a，將被前述鎖定爪12鎖定。藉此，轉接器本體D被鎖定於載入埠P的承載底座5而無法旋轉。如此，利用裝設於第1卡匣K1的載入埠P的承載底座5之鎖定構件，亦即鎖定用氣壓缸14，可將用以操作第2卡匣K2的卡匣轉接器A鎖定於前述承載底座5。
而後，若使承載底座5前進至藉由處理裝置100內部之機械臂的手部所進行之第2卡匣K2內之第2晶圓W2之搬出/搬入的可能位置，則覆蓋著第2卡匣K2整體之包含卡匣蓋C前端之左右一對的法蘭部之該卡匣蓋C的前端面，藉由密著於載入埠P的晶圓移置窗口1a之周緣，即使拆下由處理裝置100之側覆蓋該晶圓移置窗口1a的蓋體保持板2，使其處於可移置第2晶圓W2的狀態下，仍維持該晶圓移置窗口1a的氣密，亦維持處理裝置100內之空氣潔淨度。
另外，第2卡匣K2係在被定位於第1及第2的各水平方向X、Y之雙方定位之狀態下，雖只安裝於水平配置的轉接器板E而未固定，惟因該第2卡匣K2的整體受卡匣蓋C所覆蓋，且該卡匣蓋C的前側開口41因受立起姿勢的卡匣托架B所覆蓋之故，並無因誤而人手碰觸第2卡匣K2而使該第2卡匣K2由位置偏移之虞。另外，因卡匣托架B係以透明體構成，故可透視該卡匣托架B而目視第2晶圓的搬入/搬出之狀態，當關於第2晶圓之搬入/搬出發生任何瑕疵之時，當場即可得知。
再者，當處理終了之第2晶圓W2回歸於第2卡匣K2之各晶圓插入溝114之後，使轉接器本體D向卡匣蓋C之外部旋轉達(90°-θ)(考第6圖及第7圖)，於此狀態下，自轉接器本體D取出第2卡匣K2，搬送至下個步驟。
1．．．載入埠本體
1a．．．晶圓移置窗口
2．．．蓋體保持板
3．．．蓋體裝卸裝置
4．．．卡匣台
5．．．承載底座
6．．．承載蓋
7．．．定位孔
8．．．定位突起
9．．．凸部
11．．．被鎖定部
12．．．鎖定爪
13．．．連桿
14．．．鎖定用氣壓缸
15．．．法蘭
16．．．螺絲孔
17．．．貫通孔
20．．．手柄
21．．．旋轉軸
22．．．圓盤阻尼器
23．．．阻尼器支撐支架
24．．．軸支撐支架
25．．．板裝配支架
26．．．第1定位構件
27．．．第2定位構件
28．．．定位插入溝
29．．．第3定位構件
31．．．引導/限制構件
32．．．感測器支持器
33．．．止動螺栓
34．．．感測器作動螺栓
35．．．被鎖定構件
35a．．．被鎖定部
36．．．逃逸孔(鎖定)
37．．．逃逸孔(感測器)
38．．．安裝孔
39．．．抵接體
41．．．前側開口
42．．．背側開口
43．．．底面開口
44．．．側板部
44a．．．裝配法蘭部
45．．．天板部
46．．．法蘭部
46a．．．法蘭板部
46b．．．框體部
47．．．突出蓋部
47a．．．側板部
48．．．螺絲
51．．．支架
52．．．固定螺栓
53．．．螺栓插通孔
61．．．控制面板
62．．．配線
63．．．連接器
100．．．處理裝置
110．．．對向側壁部
111．．．上板部
112．．．下板部
113．．．下側連結板部
114．．．晶圓插入溝
115．．．定位突條
116．．．感測器作動加強肋
117．．．晶圓插脫開口
118．．．起立板部
119．．．把手
A．．．卡匣轉接器
B．．．卡匣托架
C．．．卡匣蓋
D．．．轉接器本體
E．．．轉接器板
F1(F2)．．．第1(2)定位機構
K1(K2)．．．第1(2)卡匣
P．．．載入埠
S1至S1．．．第1卡匣用座落感測器
S4、S5．．．第2卡匣用座落感測器
S6．．．晶圓飛出偵測感測器
V．．．轉接器底座
W2．．．第2晶圓
X．．．第1水平方向
Y．．．第2水平方向
θ．．．卡匣托架之傾斜配置角度
第1圖係為顯示卡匣轉接器A對載入埠P的卡匣台4之承載底座5的固定位置之關係之斜視圖。
第2圖係為顯示卡匣轉接器A固定於承載底座5之狀態的斜視圖。
第3圖係為卡匣轉接器A之斜視圖。
第4圖係為卡匣轉接器A與卡匣蓋C之分離狀態的斜視圖。
第5圖係為由不同方向所見之卡匣轉接器A與卡匣蓋C之分離狀態的斜視圖。
第6圖係為將轉接器本體D向前側傾倒，以卡匣托架B承接第2卡匣K2的狀態之斜視圖。
第7圖係為同樣之側視圖。
第8圖係為在以卡匣托架B承接第2卡匣K2的狀態下，使轉接器本體D旋轉達(90°-θ)，而將轉接器本體D配置於承載底座V上之狀態的側視剖面圖。
第9圖係為顯示於同樣之狀態中，以轉接器本體D被鎖定於承載底座5的狀態為主體之側視剖面圖。
第10圖(a)及(b)，係分別顯示於承載底座5安裝第1卡匣K1及第2卡匣K2之情況的各座落感測器S1至S5之有效/無效狀態之圖。
第11圖(a)係為顯示在鎖定及非鎖定時之中，鎖定用氣壓缸14之鎖定爪12與裝配於轉接器板E背面之被鎖定構件35之間關係的平面圖，第11圖(b)為相同之側視剖面圖。
第12圖係為由第2卡匣K2下側所見之斜視圖。
第13圖係為顯示裝設於第1及第2之各定位機構F1/F2，與成為第2卡匣K2的被定位部之各加強肋(Rib)之關係圖。
第14圖(a)及(b)各自為安裝於載入埠P之承載板5的第1卡匣K1之不同部分的剖面圖。
1．．．載入埠本體
1a．．．晶圓移置窗口
2．．．蓋體保持板
3．．．蓋體裝卸裝置
4．．．卡匣台
5．．．承載底座
8．．．定位突起
12．．．鎖定爪
13．．．連桿
14．．．鎖定用氣壓缸
20．．．手柄
21．．．旋轉軸
25．．．板裝配支架
26．．．第1定位構件
27．．．第2定位構件
28．．．定位插入溝
29．．．第3定位構件
33．．．止動螺栓
34．．．感測器作動螺栓
35．．．被鎖定構件
35a．．．被鎖定部
52．．．固定螺栓
53．．．螺栓插通孔
115．．．定位突條
B．．．卡匣托架
C．．．卡匣蓋
D．．．轉接器本體
E．．．轉接器板
F2．．．第2定位機構
K2．．．第2卡匣
P．．．載入埠
W2．．．第2晶圓

Claims (7)

  1. 一種卡匣轉接器，係裝著於載入埠之承載底座，俾設置能收容直徑200mm的圓形之第2晶圓之第2卡匣者；該載入埠之承載底座係用以設置能收容直徑300mm的圓形之第1晶圓之第1卡匣並使該第1晶圓對處理裝置搬入/搬出，並且具備有鎖定構件，而該鎖定構件係以可解除之方式扣合於設在前述第1卡匣之背面部之被鎖定部，俾將該第1卡匣鎖定於前述載入埠之承載底座者，前述卡匣轉接器係由轉接器底座與轉接器本體所組成；該轉接器底座係固定於前述承載底座；該轉接器本體係兩片板體以側視呈L字狀之方式正交而一體化，而能以相對於該轉接器底座水平配置之旋轉軸為中心，在(90°-θ)的角度內旋轉而被支撐，前述轉接器本體係由卡匣托架與轉接器板所構成；該卡匣托架係在以前述旋轉軸心之側較低之方式相對於水平面傾斜達角度(θ)之狀態，可容許對前述載入埠之卡匣台設置及取出第2卡匣，而該轉接器板係能藉由自傾斜姿勢轉移到水平姿勢而使支撐於前述卡匣托架之第2卡匣之姿勢大致反轉，俾在能夠在與前述處理裝置之間使第2晶圓搬入/搬出之姿勢下可載置該第2卡匣，前述轉接器板之背面一體地裝設有被鎖定構件，該被鎖定構件係於該轉接器板為水平配置之狀態下，對配 置於前述轉接器底座之下方的前述鎖定構件可解除地扣合，而可對前述承載底座固定前述轉接器本體，於前述鎖定構件與前述被鎖定構件為扣合之狀態下，因第2卡匣為被收容在固定於前述轉接器底座的卡匣蓋內之狀態，使做為該卡匣蓋前側開口的開口封閉蓋而覆蓋之前述卡匣托架鎖定而無法打開之構成。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之卡匣轉接器，其中，前述鎖定構件係以具備在前端裝設有鎖定爪而相對於缸體進出同時進行旋轉之連桿的氣壓缸所構成，裝設於前述轉接器板背面的前述被鎖定構件係具備於該轉接板水平配置之狀態下與設定於前述承載底座之第1卡匣的被鎖定部配置於同一位置之被鎖定部，前述氣壓缸之連桿前端的鎖定爪與前述被鎖定構件的被鎖定部扣合而構成。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之卡匣轉接器，其中，為做為鎖定構件之前述氣壓缸之連桿係朝相對於垂直線呈傾斜之方向進出。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所述之卡匣轉接器，其中，前述卡匣托架係以透明體構成。
  5. 一種卡匣轉接器，係裝著於載入埠之承載底座，俾設置能收容直徑200mm的圓形之第2晶圓的第2卡匣者；該載入埠之承載底座係用以設置能收容直徑300mm的圓形之第1晶圓之第1卡匣並使該第1晶圓對處理裝置搬入/搬出；該載入埠之承載底座具備複數個第1卡匣用 座落感測器以偵測該第1卡匣是否座落於對該承載底座為正確之位置；前述卡匣轉接器係由轉接器底座與轉接器本體所組成；該轉接器底座係固定於前述承載底座；該轉接器本體係兩片板體以側視呈L字狀之方式正交而一體化，而能以相對於該轉接器底座水平配置之旋轉軸為中心，在(90°-θ)的角度內旋轉而被支撐，前述轉接器本體係由卡匣托架與轉接器板所構成；該卡匣托架係在以前述旋轉軸心之側較低之方式相對於水平面傾斜達角度(θ)之狀態，可容許對前述載入埠之卡匣台設置及取出第2卡匣，而該轉接器板係能藉由自傾斜姿勢轉移到水平姿勢而使支撐於前述卡匣托架之第2卡匣之姿勢大致反轉，俾在能夠在與前述處理裝置之間可使第2晶圓搬入/搬出之姿勢下可載置該第2卡匣，前述轉接器本體之背面係分別裝配有用以將該轉接器本體由卡匣托架之傾斜配置位置旋轉達(90°-θ)，而使該轉接器板水平配置之止動構件，以及使裝設於前述承載板之複數個第1卡匣用座落感測器中之特定一個動作而偵測出該轉接器板為水平配置之感測器作動構件；前述轉接器板的上表面裝設有複數個第2卡匣用座落感測器，該第2卡匣用座落感測器係在使除前述複數個第1卡匣用座落感測器中藉由前述感測器作動構 件所動作之特定第1卡匣用座落感測器以外之其餘之第1卡匣用座落感測器無效之狀態下，偵測出第2卡匣設定且座落於前述轉接器板的上表面之正確位置。
  6. 如申請專利範圍第5項所記載之卡匣轉接器，其中，前述複數個第1卡匣用座落感測器中藉由前述感測器作動構件所動作之特定第1卡匣用座落感測器係配置於距轉接器本體的旋轉軸之最遠位置。
  7. 如申請專利範圍第5項所記載之卡匣轉接器，其中，前述止動構件係於距前述轉接器本體之旋轉軸最遠位置，沿該旋轉軸之軸心方向配置一對。
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