CN103811384B - 片盒倾斜及归位装置 - Google Patents

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Abstract

本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种片盒倾斜及归位装置。包括片盒、片盒底板、片盒底托架及运动机构，其中片盒安装在片盒底板上，所述片盒底板的前端与片盒底托架铰接，后端的下方设有定位槽，片盒底板在该定位槽处连接有使片盒底板的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构。本发明通过片盒的倾斜和其后的自动归位的动作，使承载在片盒中的晶圆能有效插入片盒的最内侧，避免了人为因素造成晶圆在片盒中位置的不正确，达到节省人力提高生产效率的目的。

Description

片盒倾斜及归位装置
技术领域
本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种片盒倾斜及归位装置。本发明适用于用片盒进行晶圆取送的设备，尤其适用全自动半导体设备中晶圆在片盒中的归位使用。
背景技术
目前，随着半导体制程的多样化，设备中很多的工艺处理越来越复杂，在制造过程中晶圆的取送的准确性也提出更高的要求，在取送中需保证待处理的晶圆插入片盒的最里端，这样才能使取送晶圆的手指与晶圆保持正确的位置关系，有利于晶圆在半导体设备中在其它单元间的传递，提高生产效率。
目前在用片盒承载侍处理的晶圆时，需将晶圆插入片盒中，且确保晶圆插入片盒最内侧后，再将片盒平稳地安放在设备上，然后由手指取出晶片进行相应半导体制程。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供一种片盒倾斜及归位装置。该片盒倾斜及归位装置通过片盒的倾斜和其后的自动归位的动作，使承载在片盒中的晶圆能有效插入片盒的最内侧，避免了人为因素造成晶圆在片盒中位置的不正确，达到节省人力提高生产效率的目的。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种片盒倾斜及归位装置，包括片盒、片盒底板、片盒底托架及运动机构，其中片盒安装在片盒底板上，所述片盒底板的前端与片盒底托架铰接，后端的下方设有定位槽，片盒底板在该定位槽处连接有使片盒底板的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构。
所述片盒底板后端下方的定位槽沿晶圆插入方向开设、并由浅到深。
所述运动机构包括气缸、导向块及安装支架，其中导向块与气缸的活塞杆连接，所述气缸通过安装支架安装在片盒底托架上、并位于片盒底板的下方，所述导向块与片盒底板后端的定位槽抵接、并通过气缸的驱动在定位槽内水平方向往复移动。所述气缸与用来调节气缸活塞运行速度的调速阀连接。
所述片盒底板的下方连接有衬板。
所述导向块位于定位槽前端时，片盒底板处于归位状态；所述导向块位于定位槽后端时，片盒底板处于倾斜状态。
所述片盒通过四个固定块安装在片盒底板上。
所述片盒底板的前端通过两个铰链与片盒底托架连接。
本发明的优点及有益效果是：
1.本发明利用气缸推动使片盒底板倾斜然后再归位的动作，利用晶圆本身重力，使晶圆在片盒中保持正确位置，结构简单，拆卸方便。
2.本发明为通过机械形式安装在片盒底板下部的装置，在此装置使用时不接触任何化学药剂、具有寿命长、无化学污染、维护方便等优点，特别适用于全自动运转设备、真空、超净等特殊环境中。
3.本发明结构合理性能稳定，可满足多种工艺制程，适用于各种使用片盒的承载晶圆进行相应半导体制程的场合。
附图说明
图1为本发明的立体示意图之一；
图2为本发明的立体示意图之二；
图3为本发明的安装结构示意图；
图4为图3的俯视图；
图5为图3中I处的放大图；
图6为图3的仰视立体示意图；
图7为图6中II处的放大图；
图8为本发明的片盒底板处于倾斜状态的结构示意图；
图9为图8中III处的放大图；
图10为本发明的片盒底板处于倾斜状态的立体示意图；
图11为本发明的片盒底板处于归位状态的结构示意图；
图12为图11中IV处的放大图；
图13为发明的片盒底板处于归位状态的立体示意图。
其中：1为片盒底托架，2为片盒底板，3为片盒，4为晶圆，5为铰链，6为右下固定块，7为左下固定块，8为拉手，9为右上定位块，10为左上定位块，11为调速阀，12为衬板，13为气缸，14为导向块，15为安装支架，16为定位槽前端，17为定位槽后端。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。
如图1-7所示，本发明包括片盒3、片盒底板2、片盒底托架1及运动机构，其中片盒3通过四个固定块安装在片盒底板2上，即片盒的后端两侧分别通过左上定位块10和右上定位块9定位，前端两侧分别通过左下固定块7和右下固定块6固定。片盒底板2的前端通过两个铰链与片盒底托架1铰接，后端的下方沿晶圆插入方向开设有定位槽，该定位槽由浅到深，即定位槽前端16浅，定位槽后端17深。片盒底板2在该定位槽处连接有使片盒底板2的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构。片盒底板2的下方连接有衬板12，上方两侧分别设有拉手，方便操作者使用。
所述运动机构包括气缸13、导向块14及安装支架15，其中导向块14与气缸13的活塞杆连接，气缸14通过安装支架15安装在片盒底托架1上、并位于片盒底板2的下方。导向块14与片盒底板2后端的定位槽抵接、并通过气缸13的驱动在定位槽内水平方向往复移动。气缸13与相应气路及用来调节气缸活塞运行速度的调速阀11连接。导向块14位于定位槽前端16时，片盒底板2处于归位状态；所述导向块14位于定位槽后端17时，片盒底板2处于倾斜状态。
本发明的工作过程是：
如图8-13所示，将片盒平稳地安放在片盒底板上，设备在取送片盒中的晶圆进行相应的半导体制程前，气缸13首先运动，活塞杆伸出，在活塞杆上相应的导向块14与片盒底板2下方的定位槽相接触，因定位槽在气缸活塞运行方向有一定的高度差，而气缸13此时连接到片盒底托架1上，高度上保持不动，片盒底板2及其上的片盒3(含片盒中安放的晶圆4)此时就会绕前端铰链产生一定旋转，整个片盒3向后倾斜一定的角度，此时在片盒3中的晶圆4也一起向后倾斜。在其自身重力的原因下，使其插入到片盒3中最内侧，保证晶圆4与片盒3的正确位置关系，避免人为因素造成的晶圆4未插入片盒3最内侧情况的发生。在略延时后，气缸活塞回缩，同理因导向块14与定位槽的相对位置的改变，片盒底板2及片盒3回到最初的位置(以上通过已知的软件及电控技术就可实现)，此时晶圆4的大平面与设备上取送晶圆4的手指的上平面平行，设备可进行取送晶圆4的动作，完成相应的半导体制程。在加工一整盒晶圆前，只需通过气缸13的伸出及归位的一次动作就可完成片盒3中晶圆4的归位，保证晶圆4在片盒3中的正确位置。
本发明中所用气缸为市购产品，购置于SMC公司，型号为CDJP2B6-25D-M9N；铰链购置于斯科公司，型号为B2204-1250，调速阀购置于CKD公司，型号为SC-M5-L。

Claims (6)

1.一种片盒倾斜及归位装置，其特征在于：包括片盒(3)、片盒底板(2)、片盒底托架(1)及运动机构，其中片盒(3)安装在片盒底板(2)上，所述片盒底板(2)的前端与片盒底托架(1)铰接，后端的下方设有定位槽，片盒底板(2)在该定位槽处连接有使片盒底板(2)的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构；
所述片盒底板(2)后端下方的定位槽沿晶圆插入方向开设、并由浅到深；
所述运动机构包括气缸(13)、导向块(14)及安装支架(15)，其中导向块(14)与气缸(13)的活塞杆连接，所述气缸(14)通过安装支架(15)安装在片盒底托架(1)上、并位于片盒底板(2)的下方，所述导向块(14)与片盒底板(2)后端的定位槽抵接、并通过气缸(13)的驱动在定位槽内水平方向往复移动。
2.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述气缸(13)与用来调节气缸活塞运行速度的调速阀(11)连接。
3.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒底板(2)的下方连接有衬板(12)。
4.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述导向块(14)位于定位槽前端(16)时，片盒底板(2)处于归位状态；所述导向块(14)位于定位槽后端(17)时，片盒底板(2)处于倾斜状态。
5.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒(3)通过四个固定块安装在片盒底板(2)上。
6.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒底板(2)的前端通过两个铰链与片盒底托架(1)连接。
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