CN113063379B - 一种片盒的位置校准设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中，支撑板组件连接调整机构，支撑板组件用于承载片盒；检测机构用于检测片盒的实际位置；调整机构用于在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒从实际位置运动至预设位置。本申请能够实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。

Description

一种片盒的位置校准设备

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种片盒的位置校准设备。

背景技术

片盒的位置校准设备广泛应用于半导体技术领域，比如进行硅取样时，需要将片盒先放置于位置校准设备上调整好水平度，再操作机械手从片盒中取出硅片。

但是目前的片盒位置校准设备，其校准操作都是在取样之前进行，如果取样过程中片盒的位置发生了偏差，则需要人工暂停重新进行调整，这样将会影响生产效率，如果偏差没有被及时发现，可能造成取片失败或机械手撞片，致使硅片或者机械手损坏。

发明内容

本发明公开一种片盒的位置校准设备，以解决目前的位置校准设备无法实时进行位置调整的问题。

为了解决上述问题，本发明采用下述技术方案：

一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中：所述支撑板组件连接于所述调整机构，所述支撑板组件用于承载所述片盒；所述检测机构用于检测所述片盒的实际位置；所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在所述支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使所述片盒从所述实际位置运动至所述预设位置。

本发明采用的技术方案能够达到以下有益效果：

通过在位置校准设备上设置调整机构和检测机构，能够通过检测机构的检测，以及通过调整机构的调整，将片盒的实际位置调整至预设位置，从而实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为相关技术中采用的位置校准设备结构图；

图2为本发明实施例公开的位置校准设备结构图；

图3为本发明实施例公开的支撑杆组件结构图；

图4为本发明实施例公开的第三驱动机构结构图；

图5为本发明实施例公开的第四驱动机构结构图；

图6为本发明实施例公开的位置校准设备出现偏摆的状态图；

图7为本发明实施例公开的对图6进行偏摆调整之后的状态图；

图8为本发明实施例公开的位置校准设备出现移动的状态图；

图9为本发明实施例公开的对图8进行平移调整之后的状态图。

附图标记说明：

1＇-放置板、2＇-支撑柱、3＇-卡子、4＇-调平螺母、

1-底板、2-第一测距传感器、4-第二测距传感器、3-第三测距传感器、5-角度传感器、

Q-平移调整机构、

100-第一驱动机构、6-第一驱动电机、7-第一丝杠、8-第一滑台、

200-第二驱动机构、9-第二驱动电机、10-第二丝杠、11-第二滑台、

12-支撑杆组件、

12A-第一支撑头、12B-支撑杆、12C-第二支撑头、

P-偏摆调整机构、

300-第三驱动机构、13-第三丝杠、14-第三拉杆、14A-第三拉杆头、15-第三伺服电机、21-第三滑台、

400-第四驱动机构、16-第四丝杠、17-第四拉杆、17A-第四拉杆头、

18-第四伺服电机、22-第四滑台、

19-支撑板组件、19A-承载板、19B-托板、

20-限位件、23-片盒、

O_X-第一轴线、O_Y-第二轴线、O1-第一方向、O2-第二方向、O3-第三方向、X-横向、Y-纵向。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

以下结合附图，详细说明本发明各个实施例公开的技术方案。

首先介绍相关技术中使用的校准装置。

如图1所示，在相关技术中，放置板1＇用于放置片盒23，卡子3＇用于对片盒23进行卡接固定，支撑柱2＇用于支撑放置板1＇，支撑柱2＇上的调平螺母4＇用于调整放置板1＇的水平度，使用时首先将片盒23放置在放置板1＇上，并使其被卡子3＇进行固定，然后通过调平螺母4＇对放置板1＇进行调平，待对片盒23的固定和调平都完毕后，再通过机械手对片盒23中的硅片进行取样。

但是采用上述装置对放置板1＇进行调整，调整方式单一，同时也无法实时知晓所片盒23于放置板1＇上出现的误差，这样可能导致取到的硅片和机械手不同心，进而导致机台报警，从而影响产能，如果该误差过大，更可能造成取片失败或机械手撞片，致使硅片或者机械手损坏。

针对上述问题，开发了本申请的校准装置，下面进行介绍。

请参考图2～图9，本申请公开了一种位置校准设备，该校准设备可以用于对片盒23进行位置校准，其主要部件包括支撑板组件19、调整机构和检测机构，下面对这些零部件逐一介绍。

支撑板组件19作为中间载体使用，支撑板组件19的外形通常为一个矩形的平板，以便于调整机构的连接和片盒23的放置。检测机构通常设置为传感器，能够用于检测片盒23的实际位置，以便对片盒23的实际位置进行实时监控。调整机构作为整个位置校准设备的核心部件，能够提供驱动力，从而实现片盒23的位置调整。

在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，调整机构可用于驱动片盒23从实际位置运动至预设位置，具体来说调整机构驱动片盒23在支撑板组件19上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒23由实际位置运动至所述预设位置。

其中预设位置为片盒23在取片过程中取片位置。这样在片盒23取样过程中，检测机构提供实时监控，并将监控到的片盒23实际位置偏离预设位置的数据进行反馈，调整机构再根据接收到的数据对片盒23位置实时调整，使片盒23的实际位置复位至预设位置，进而可保证片盒23位置的正确性以及在取样过程中防止撞片。

在更为具体的实施方案中，检测机构包括角度检测设备，比如角度检测设备可以是陀螺仪、角度传感器等。而片盒23的实际位置包括实际角度，片盒23的预设位置包括预设角度，角度检测设备可以用于检测片盒23的实际角度。

其中预设角度可以为平行于地面的水平方位，当片盒23相对于水平方向发生了倾斜时，即代表片盒23的实际角度与预设角度不重合，该异常便被角度检测设备进行监控，并作为异常数据反馈给调整机构。

而调整机构可以包括偏摆调整机构P，偏摆调整机构P与支撑板组件19相连。支撑板组件19具有轴线，轴线为支撑板组件19的转动提供了基础，具体可以通过在支撑板组件19穿设转轴形成轴线，也可以通过其他方式形成轴线。

如图6和图7所示，在实际角度不为预设角度时，即片盒23相对于水平方位出现了偏斜，角度检测设备可将此种情况作为信号反馈至偏摆调整机构P，使偏摆调整机构P驱动支撑板组件19绕轴线转动，在支撑板组件19绕轴线转动时，片盒23可随支撑板组件19进行绕轴线的偏摆运动。这样片盒23就能够通过偏摆运动从实际角度转动至预设角度，即片盒23回复至水平方位。

综上，片盒23可通过绕支撑板组件19轴线进行偏摆运动来改变自身所处的实际角度，进而保证实际角度与预设角度的一致性，从而保证片盒23被正确取样。

更为具体的，轴线包括互为相交的第一轴线OX和第二轴线OY。偏摆调整机构P可驱动支撑板组件19绕第一轴线OX或第二轴线OY进行转动，进而使片盒23可绕第一轴线OX或第二轴线OY进行偏摆运动，这样片盒23就能够从两个不同的轴向调整片盒23的实际角度，以便更加有效准确的回复至预设角度。在更为具体的实施方案中，支撑板组件19可以从两个不同方向穿设转轴的方式来分别形成第一轴线OX和第二轴线OY，并且可以设置第一轴线OX或第二轴线OY相互垂直，以更好的控制片盒23偏摆运动的具体方向。

更进一步的，角度检测设备可以为角度传感器5。角度传感器5可以设置在支撑板组件19上，当角度传感器5检测到实际角度与预设角度不一致时，便可发送相应信号至偏摆调整机构P，以使支撑板组件19绕第一轴线OX或者第二轴线OY转动，相应的，片盒23将随支撑板组件19进行偏摆运动，从而恢复至预设角度。

更为具体的，如图2～图5所示，位置校准设备还包括支撑杆组件12和底板1。其中底板1和支撑板组件19间隔设置，支撑杆组件12位于两者之间，用于将支撑板组件19支撑在底板1上方，具体可以为支撑杆组件12的第二端转动连接于支撑板组件19，以及支撑杆组件12的第一端转动连接于底板1。

其中，支撑杆组件12可以包括支撑杆12B、第一支撑头12A和第二支撑头12C，支撑杆12B的两端分别设置第一支撑头12A和第二支撑头12C。其中第一支撑头12A位于支撑杆组件12的第二端，第二支撑头12C位于支撑杆组件12的第一端。第一支撑头12A和第二支撑头12C可以均为万向节结构，第一支撑头12A转动连接支撑板组件19，第二支撑头12C转动连接于底板1。

偏摆调整机构P可以包括第三驱动机构300和第四驱动机构400。第三驱动机构300的第一端连接底板1，第三驱动机构300的第二端转动连接支撑板组件19，具体可以为将第三驱动机构300的第二端设置为第三拉杆头14A，第三驱动机构300通过第三拉杆头14A转动连接支撑板组件19，这样第一支撑头12A和第三拉杆头14A的连线将构成第二轴线OY。

第四驱动机构400的第一端连接底板1，第四驱动机构400的第二端转动连接支撑板组件19，具体可以为将第四驱动机构400的第二端设置为第四拉杆头17A，第四驱动机构400通过第四拉杆头17A转动连接支撑板组件19，这样第一支撑头12A和第四拉杆头17A的连线将构成第一轴线OX。

第三驱动机构300和第四驱动机构400均可进行伸缩运动，具体为将第三驱动机构300和第四驱动机构400均沿垂直底板1的第三方向O3进行设置，这样第三驱动机构300和第四驱动机构400均可相对于底板1进行沿第三方向O3的伸缩运动。

当第三驱动机构300进行伸缩运动时，其上的第三拉杆头14A将改变与底板1的间距，进而使第二轴线OY可绕第一轴线OX转动，以及使支撑板组件19可随第三驱动机构300的伸缩运动绕第一轴线OX进行转动，进而使片盒23进行绕第一轴线OX的偏摆运动，从而调整实际角度。

而当第四驱动机构400进行伸缩运动时，其上的第四拉杆头17A将改变与底板1的间距，进而使第一轴线OX可绕第二轴线OY转动，以及使支撑板组件19可随第四驱动机构400的伸缩运动绕第二轴线OY进行转动，进而使片盒23进行绕第二轴线OY的偏摆运动，从而调整实际角度。

综上，通过第三驱动机构300和第四驱动机构400的伸缩运动，能够使片盒23在不同轴向进行实际角度调整，并使片盒23由不同的轴向回复至预设角度，即片盒23回复至水平方位。

请参考图2和图4，对于第三驱动机构300的具体结构来说，第三驱动机构300可以包括沿自身伸出方向，即第三方向O3依次连接的第三伺服电机15、第三丝杠13、第三滑台21和第三拉杆14。

第三伺服电机15提供第三驱动机构300进行伸缩所需的动力，第三伺服电机15设于第三驱动机构300的第一端，这样第三驱动机构300的第一端可以通过第三伺服电机15连接底板1。第三拉杆头14A设于第三驱动机构300的第二端并位于第三拉杆14上，这样第三驱动机构300的第二端可以通过第三拉杆14转动连接支撑板组件19。第三丝杠13的两端分别转动连接第三伺服电机15和螺旋配合于第三滑台21。

这样启动第三伺服电机15时，第三伺服电机15将带动第三丝杠13进行转动，进而使第三滑台21通过螺旋配合进行相对于第三丝杠13的伸缩，以改变第三驱动机构300的整体长度，即达到使第三驱动机构300进行伸缩运动的目的。

请参考图2和图5，对于第四驱动机构400的具体结构来说，第四驱动机构400包括沿自身伸出方向，即第三方向O3依次连接的第四伺服电机18、第四丝杠16、第四滑台22和第四拉杆17。

第四伺服电机18提供第四驱动机构400进行伸缩所需的动力，第四伺服电机18可以设于第四驱动机构400的第一端，这样第四驱动机构400的第一端通过第四伺服电机18连接底板1。第四拉杆头17A可以设于第四驱动机构400的第二端并位于第四拉杆17上，这样第四驱动机构400的第二端通过第四拉杆17转动连接支撑板组件19，第四丝杠16两端分别转动连接第四伺服电机18和螺旋配合于第四滑台22。

这样启动第四伺服电机18时，第四伺服电机18将带动第四丝杠16进行转动，进而使第四滑台22通过螺旋配合进行相对于第四丝杠16的伸缩，以改变第四驱动机构400的整体长度，即达到使第四驱动机构400进行伸缩运动的目的。

当然第三驱动机构300和第四驱动机构400也可以是其他能够进行伸缩的机构，比如气缸机构、活塞机构等，这里不再详述。

在另一些可选的实施方案中，检测机构还可以包括距离检测设备。距离检测设备可以是距离传感器，距离传感器可以包括第一测距传感器2、第二测距传感器4和第三测距传感器3，第一测距传感器2、第二测距传感器4、第三测距传感器3均设于支撑板组件19上固定。具体来说如图8和图9所示，第一测距传感器2和第二测距传感器4的连线设置位于支撑板组件19的横向X上，第三测距传感器3位于横向X的一侧，片盒23处于第一测距传感器2和第二测距传感器4之间，第三测距传感器3位于片盒23的一侧。

片盒23的预设位置还可以包括预设距离，预设距离为片盒23处于取片位置时，第一测距传感器2、第二测距传感器4和第三测距传感器3中分别设置的与片盒23之间的预设距离值。片盒23的实际位置还可以包括实际距离，实际距离为第一测距传感器2、第二测距传感器4和第三测距传感器3分别与片盒23的实际距离值。距离检测设备用于检测片盒23的实际距离，即距离检测设备检测片盒23与第一测距传感器2、第二测距传感器4和第三测距传感器3之间实际距离值是否与预设距离值一致。

如图2所示，调整机构可以包括平移调整机构Q，片盒23通过平移调整机构Q与支撑板组件19活动连接。平移调整机构Q可提供片盒23在支撑板组件19上进行移动所需的动力。

这样，在片盒23的实际距离不在预设距离的情况下，平移调整机构Q可驱动片盒23在支撑板组件19上进行平移运动，以使片盒23移动至预设距离，具体参考图8和图9所示，比如片盒23在横向X上相对预设距离进行了偏移，此时片盒23与第一测距传感器2和第二测距传感器4之间的实际距离值将和预设距离值不一致，第一测距传感器2和第二测距传感器4便将此异常数据转化为信号传递至平移调整机构Q，再由平移调整机构Q驱动片盒23沿横向X进行位移，调整片盒23与第一测距传感器2和第二测距传感器4之间的实际距离值，直至片盒23便复位至预设距离。类似地，如果片盒23在纵向Y上相对预设距离进行了偏移，平移调整机构Q也能对片盒23在纵向Y上进行位置调整，使片盒23在纵向Y上进行位移，从而恢复至预设距离。

更为具体的，如图2所示，支撑板组件19可以包括托板19B和承载板19A。托板19B可以是设于承载板19A上并可相对于承载板19A进行运动的活动板，具体的，托板19B可以通过平移调整机构Q活动连接于承载板19A上。片盒23位于托板19B背离承载板19A的一侧，即平移调整机构Q可通过驱动托板19B带动片盒23进行平移运动，具体为平移调整机构Q启动时，托板19B将跟随平移调整机构Q并相对于承载板19A进行运动，而片盒23将跟随托板19B实现平移运动。

对于支撑板组件19的一种可选结构来说，承载板19A可以是一个实心的平板结构，托板19B和支撑杆组件12分别设置在承载板19A两侧，并且支撑杆组件12对承载板19A进行支撑，第一支撑头12A转动连接于承载板19A。

在更具体的支撑板组件19结构设计中，如图2所示，承载板19A也可以是一个框架结构，并且承载板19A中心区域为贯通的容纳孔，托板19B悬设于支撑板组件19中，支撑杆组件12支撑于托板19B朝向偏摆调整机构P的一侧，并且支撑杆组件12的第二端，即第一支撑头12A转动连接于托板19B。而片盒23设置于托板19B背离偏摆调整机构P的一侧，同时第三驱动机构300和第四驱动机构400均连接于承载板19A，这样当托板19B受平移调整机构Q的驱动进行移动时，第一支撑头12A将跟随托板19B进行移动，而第三拉杆头14A和第四拉杆头17A将相对承载板19A保持固定，这样可以使第一轴线OX和第二轴线OY的夹角跟随第一支撑头12A的位置移动而变化，进而能够使片盒23的平移运动和偏摆运动产生关联，更容易使片盒23由实际位置恢复至预设位置。

更进一步的，平移调整机构Q可以包括第一驱动机构100和第二驱动机构200。第一驱动机构100沿第二方向O2设置，第二驱动机构200沿第一方向O1设置，第二方向O2和第一方向O1相交。更为具体的，第一方向O1、第二方向O2和第三方向O3可以组成一个两两正交的坐标系，以便更有效的控制片盒23的平移运动和偏摆运动。

第一驱动机构100的第一端连接于支撑板组件19，第一驱动机构100的第二端通过第二驱动机构200连接于片盒23，具体可以是第一驱动机构100设于承载板19A上，而第二驱动机构200的第一端连接第一驱动机构100，第二驱动机构200的第二端通过托板19B连接片盒23。

第二驱动机构200可沿第一方向O1进行伸缩运动，以带动片盒23沿第一方向运动，具体为第二驱动机构200沿第一方向O1进行伸缩运动时，托板19B将随第二驱动机构200进行移动，同时片盒23将随托板19B进行第一方向O1的移动，以使片盒23的实际距离可沿第一方向O1回复至预设距离。

更进一步的，第一方向O1可以和横向X保持平行，即第二驱动机构200的设置方向与第一测距传感器2和第二测距传感器4的连线方向平行，这样更利于第二驱动机构200对片盒23的实际距离进行调整。

第一驱动机构100可沿第二方向O2进行伸缩运动，以通过第二驱动机构200带动片盒23沿第二方向O2运动。具体为第一驱动机构100沿第二方向O2进行伸缩时，第二驱动机构200将跟随第一驱动机构100进行运动，进而使托板19B、片盒23跟随第一驱动机构100进行运动，以使片盒23的实际距离可沿第二方向O2回复至预设距离。

这样，通过第一驱动机构100和第二驱动机构200的设置，可使片盒23能够在第一方向O1和第二方向O2均进行平移运动，更加利于控制片盒23回复至预设距离。

更进一步的，第二方向O2可以和纵向Y保持平行，其中第一驱动机构100的设置方向沿第二方向O2，而第三测距传感器3和片盒23沿纵向Y依次设置，即第一驱动机构100的设置方向与第三测距传感器3和片盒23的布局方向一致，这样便于第一驱动机构100对片盒23的实际距离进行调整。

在更为具体的实施方案中，第一驱动机构100可以包括沿第二方向O2依次连接的第一驱动电机6、第一丝杠7和第一滑台8。第一驱动电机6设于第一驱动机构100的第一端，这样第一驱动机构100的第一端可以通过第一驱动电机6连接支撑板组件19。第一滑台8可以设置在第一驱动机构100的第二端，这样第一驱动机构100的第二端通过第一滑台8连接第二驱动机构200。第一丝杠7的两端分别转动连接第一驱动电机6和螺旋配合于第一滑台8。更进一步的，第一驱动电机6、第一丝杠7和第一滑台8可以均设于承载板19A上。

这样当启动第一驱动电机6时，第一驱动电机6将驱动第一丝杠7进行转动，第一滑台8通过螺旋配合而进行沿第一丝杠7的移动，从而改变与第一驱动电机6的间距，从而使第一驱动机构100进行伸缩，而片盒23可随第一驱动机构100进行沿第二方向O2的平移运动。

更为具体的，第二驱动机构200可以包括沿第一方向O1方向依次连接的第二驱动电机9、第二丝杠10和第二滑台11。第二驱动电机9可以设置在第二驱动机构200的第一端，这样第二驱动机构200的第一端通过第二驱动电机9连接第一驱动机构100。第二滑台11可以设置于第二驱动机构200的第二端，这样第二驱动机构200的第二端可以通过第二滑台11连接片盒23，第二丝杠10的两端分别转动连接第二驱动电机9和螺旋配合于第二滑台11。

更进一步的，第二驱动电机9、第二丝杠10和第二滑台11可以均设于承载板19A上，并且第二滑台11在螺旋配合第二丝杠10的同时，第二滑台11将与托板19B进行连接。

这样，在启动第二驱动电机9时，第二驱动电机9将带动第二丝杠10进行转动，进而使第二滑台11通过螺旋配合沿第二丝杠10进行移动，进而改变与第二驱动电机9之间的距离，从而完成第二驱动机构200的伸缩，而第二滑台11在移动过程中将带动托板19B一起运动，进而带动片盒23在第一方向O1进行平移运动。

更进一步的，位置校准设备还可以包括限位件20。限位件20设于托板19B上并与片盒23进行限位配合，限位件20对片盒23的位置有限位作用，能够使片盒23相对于托板19B有固定的位置，从而提高每次放置片盒23于托板19B时的位置一致性，保证片盒23于位置校准设备上的装夹效率，比如限位件20可以是固定设置于托板19B上的挡板，片盒23放置于托板19B上时应当紧贴挡板进行放置，以通过挡板的止挡实现对片盒23限位配合。这样通过挡板的设置，每次放置片盒23时，片盒23都能够相对于托板19B有一固定位置，当然限位件20的结构和形态不定，也可以是挡销，只要能够满足对片盒23快速定位即可。

本发明上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。

以上所述仅为本发明的实施例而已，并不用于限制本发明。对于本领域技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的权利要求范围之内。

Claims (9)

1.一种片盒(23)的位置校准设备，其特征在于：包括支撑板组件(19)、调整机构和检测机构，其中：

所述支撑板组件(19)连接所述调整机构，所述支撑板组件(19)用于承载所述片盒(23)；

所述支撑板组件(19)具有轴线，所述轴线包括互为相交的第一轴线(OX)和第二轴线(OY)，所述支撑板组件(19)可绕所述第一轴线(OX)或所述第二轴线(OY)进行转动；

所述检测机构用于检测所述片盒(23)的实际位置；

所述调整机构用于在所述检测机构检测到所述实际位置不在预设位置的情况下，驱动所述片盒(23)在所述支撑板组件(19)上进行偏摆运动和/或平移运动，以使所述片盒(23)从所述实际位置运动至所述预设位置；

所述位置校准设备还包括支撑杆组件(12)和底板(1)，所述底板(1)和所述支撑板组件(19)间隔设置，所述支撑杆组件(12)的第一端通过万向节结构转动连接于所述底板(1)；

所述支撑板组件(19)包括托板(19B)和承载板(19A)，所述托板(19B)设于所述承载板(19A)上并相对于所述承载板(19A)可平移，所述支撑杆组件(12)的第二端通过万向节转动连接于所述托板(19B)。

2.根据权利要求1所述的位置校准设备，其特征在于，所述检测机构包括角度检测设备，所述角度检测设备用于检测所述片盒(23)的实际角度，所述实际位置包括所述实际角度，所述预设位置包括预设角度；

所述调整机构包括偏摆调整机构(P)，所述偏摆调整机构(P)与所述支撑板组件(19)相连；

所述偏摆调整机构(P)用于在所述实际角度不为所述预设角度时，驱动所述支撑板组件(19)绕所述轴线转动，以使所述片盒(23)随所述支撑板组件(19)进行所述偏摆运动，并使所述片盒(23)从所述实际角度摆动至所述预设角度。

3.根据权利要求2所述的位置校准设备，其特征在于：所述偏摆调整机构(P)包括第三驱动机构(300)和第四驱动机构(400)，所述第三驱动机构(300)的第一端连接所述底板(1)，所述第三驱动机构(300)的第二端转动连接所述支撑板组件(19)；所述第四驱动机构(400)的第一端连接所述底板(1)，所述第四驱动机构(400)的第二端转动连接所述支撑板组件(19)，第三驱动机构(300)和第四驱动机构(400)均可进行伸缩运动，

所述第三驱动机构(300)的第二端与所述支撑杆组件(12)的第二端的连线构成所述第二轴线(OY)；所述第四驱动机构(400)的第二端与所述支撑杆组件(12)的第二端的连线构成所述第一轴线(OX)；

所述支撑板组件(19)可随所述第三驱动机构(300)的伸缩运动绕所述第一轴线(OX)进行转动，以及可随所述第四驱动机构(400)的伸缩运动绕所述第二轴线(OY)进行转动。

4.根据权利要求3所述的位置校准设备，其特征在于：所述第三驱动机构(300)包括沿自身伸出方向依次连接的第三伺服电机(15)、第三丝杠(13)、第三滑台(21)和第三拉杆(14)；

所述第三驱动机构(300)的第一端通过所述第三伺服电机(15)连接所述底板(1)，所述第三驱动机构(300)的第二端通过所述第三拉杆(14)转动连接所述支撑板组件(19)，所述第三丝杠(13)的两端分别转动连接所述第三伺服电机(15)和螺旋配合于所述第三滑台(21)。

5.根据权利要求3所述的位置校准设备，其特征在于：所述第四驱动机构(400)包括沿自身伸出方向依次连接的第四伺服电机(18)、第四丝杠(16)、第四滑台(22)和第四拉杆(17)；

所述第四驱动机构(400)的第一端通过所述第四伺服电机(18)连接所述底板(1)，所述第四驱动机构(400)的第二端通过所述第四拉杆(17)转动连接所述支撑板组件(19)，所述第四丝杠(16)两端分别转动连接所述第四伺服电机(18)和螺旋配合于所述第四滑台(22)。

6.根据权利要求1所述的位置校准设备，其特征在于：所述检测机构包括距离检测设备，所述距离检测设备用于检测所述片盒(23)的实际距离，所述实际位置包括所述实际距离，所述预设位置包括预设距离；

所述调整机构包括平移调整机构(Q)，所述片盒(23)通过所述平移调整机构(Q)与所述支撑板组件(19)活动连接；

在所述实际距离不在所述预设距离时，所述平移调整机构(Q)可驱动所述片盒(23)在所述支撑板组件(19)上进行所述平移运动，以使所述片盒(23)移动至所述预设距离。

7.根据权利要求6所述的位置校准设备，其特征在于：所述平移调整机构(Q)包括第一驱动机构(100)和第二驱动机构(200)；所述第一驱动机构(100)沿第二方向(O2)设置，所述第二驱动机构(200)沿第一方向(O1)设置，所述第二方向(O2)和所述第一方向(O1)相交；

所述第一驱动机构(100)的第一端连接于所述支撑板组件(19)，所述第一驱动机构(100)的第二端通过所述第二驱动机构(200)连接于所述片盒(23)，

所述第二驱动机构(200)可沿第一方向(O1)进行伸缩运动，以带动所述片盒(23)沿所述第一方向运动，

所述第一驱动机构(100)可沿第二方向(O2)进行伸缩运动，以通过所述第二驱动机构(200)带动所述片盒(23)沿所述第二方向运动。

8.根据权利要求6所述的位置校准设备，其特征在于：所述托板(19B)通过所述平移调整机构(Q)活动连接于所述承载板(19A)上，所述片盒(23)位于所述托板(19B)背离所述承载板(19A)的一侧，

所述平移调整机构(Q)用于通过驱动所述托板(19B)带动所述片盒(23)进行所述平移运动。

9.根据权利要求7所述的位置校准设备，其特征在于：所述第一驱动机构(100)包括沿所述第二方向(O2)依次连接的第一驱动电机(6)、第一丝杠(7)和第一滑台(8)；

所述第一驱动机构(100)的第一端通过所述第一驱动电机(6)连接所述支撑板组件(19)，所述第一驱动机构(100)的第二端通过所述第一滑台(8)连接所述第二驱动机构(200)，所述第一丝杠(7)的两端分别转动连接所述第一驱动电机(6)和螺旋配合于所述第一滑台(8)；

所述第二驱动机构(200)包括沿所述第一方向(O1)方向依次连接的第二驱动电机(9)、第二丝杠(10)和第二滑台(11)；

所述第二驱动机构(200)的第一端通过所述第二驱动电机(9)连接所述第一驱动机构(100)，所述第二驱动机构(200)的第二端通过所述第二滑台(11)连接所述片盒(23)，所述第二丝杠(10)的两端分别转动连接所述第二驱动电机(9)和螺旋配合于所述第二滑台(11)。