JP5300431B2 - 被検査基板のアライメント装置 - Google Patents

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Description

本発明は、大型のLCD基板等の被検査基板を検査する際に、この被検査基板のプリアライメントを行う被検査基板のアライメント装置に関する。
LCD基板等の被検査基板を検査する場合はプローバ等の検査装置が用いられる。この検査装置においては、その探針と、被検査基板上の電極とを正確に位置合わせする必要がある。
この場合においては、通常、プリアライメントを行った後に、探針と電極とを正確に位置合わせする2段階の調整が行われる。従来のプリアライメントは、図2(A)に示すように、ワークテーブル1に対してガラス基板等の被検査基板2がずれて載置されると、パネルクランプ3が被検査基板2に接触して押し、図2(B)に示すように、設定位置までずらして被検査基板2のプリアライメントを行っていた。
この場合、パネルクランプ3で被検査基板2に直接接触するため、被検査基板2が欠けることがあった。また、被検査基板2の寸法が大きくなると、パネルクランプ3で押し切れない場合もあった。
一方、特許文献1のように、ロボットアームに被検査基板を載せた状態で、プリアライメントを行う例がある。また、特許文献2のように、検出機構でLCD基板の縁を検出してX軸方向の傾きを検出し、その傾きに応じて載置機構を回転させてLCD基板の向きを合わせてプリアライメントを行う例がある。
特開平9−138256号公報 特公平6−27752号公報
ところが、上記特許文献1の被検査基板のアライメント方法では、ロボットアームに載せられる大きさの被検査基板に限られ、大きな寸法の被検査基板のプリアライメントを行うことはできない。
また、特許文献2のLCD基板のアライメント方法では、原理的には大きな寸法の被検査基板のプリアライメントを行うことも可能であるが、特許文献2は原理のみであり、具体的にどのような機構で行うのかは不明である。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、大きな寸法の被検査基板に対して具体的にプリアライメントを行うことができる被検査基板のアライメント装置を提供することを目的とする。
本発明に係るアライメント装置は前記課題を解決するためになされたもので、X軸方向に延ばして構成され被検査基板をX軸方向へ移動可能に且つθ軸方向に回転可能に支持するXθ軸ワークステージと、当該Xθ軸ワークステージと別部材として構成されてこのXθ軸ワークステージの上方にY軸方向に掛け渡して設けられX軸プリアライメントセンサ及びY軸プリアライメントセンサをY軸方向及びZ軸方向へ移動可能に支持するYZ軸コンタクトステージと、前記Xθ軸ワークステージ及びYZ軸コンタクトステージを制御する制御部とを備え、前記Xθ軸ワークステージが、X軸方向に延びる骨組みである架台と、前記被検査基板を支持するワークテーブルと、当該ワークテーブルの下側面に設けられてワークテーブルを回転させるθ軸回転機構と、前記架台に支持されて前記θ軸回転機構を支持し当該θ軸回転機構を介して前記ワークテーブルをX軸方向に移動させるX軸直動機構とを備え、前記YZ軸コンタクトステージが、前記Xθ軸ワークステージの上方にY軸方向に掛け渡して設けられた支持アーム部と、当該支持アーム部に取り付けられて前記Xθ軸ワークステージの上方に位置するY軸直動機構と、当該Y軸直動機構によってY軸方向に移動可能に支持された複数のコンタクトステージ板と、当該複数のコンタクトステージ板のうちの一方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のX軸方向の位置を検出する第1のX軸プリアライメントセンサと、他方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のX軸方向の位置を検出する第2のX軸プリアライメントセンサ及びY軸方向の位置を検出するY軸プリアライメントセンサと、前記各コンタクトステージ板に設けられ前記被検査基板上の電極と接触する探針を有するプローブブロックをZ軸方向に移動可能に支持するZ軸直動機構とを備え、前記制御部が、前記YZ軸コンタクトステージ側の前記Y軸プリアライメントセンサ及び少なくとも2つの前記X軸プリアライメントセンサで検出した前記被検査基板の位置情報を基に、前記Xθ軸ワークステージの前記θ軸回転機構及びX軸直動機構を制御して前記ワークテーブルをX軸方向に移動させると共に適宜回転させて当該被検査基板のプリアライメントを行う機能を備えたことを特徴とするものである。
前記Y軸プリアライメントセンサ及びX軸プリアライメントセンサで検出した前記被検査基板の位置情報を基に、前記Xθ軸ワークステージの前記θ軸回転機構及びX軸直動機構で前記ワークテーブルを調整して被検査基板のプリアライメントを行うため、大型の被検査基板に対しても確実にプリアライメントを行うことができる。
以下、本発明の実施形態に係るアライメント機構について、添付図面を参照しながら説明する。
[第1実施形態]
アライメント機構11は図1,3,4に示すように主に、Xθ軸ワークステージ12と、YZ軸コンタクトステージ13とから構成されている。
Xθ軸ワークステージ12は、X軸方向に延ばして構成されて、大型のLCD基板等の被検査基板P(図10参照)をX軸方向へ移動可能に且つθ軸方向に回転可能に支持するための装置である。このXθ軸ワークステージ12は主に、架台15と、ワークテーブル16と、θ軸回転機構(図示せず)と、X軸直動機構17とから構成されている。
架台15は、X軸方向に延ばして構成される台座である。この架台15は、後述するYZ軸コンタクトステージ13の2つの架台30と共にベース板(図示せず)に取り付けられて設置スペースの床部に据え付けられている。架台15は、その上側部にX軸方向に平行に延びる3本の支持フレーム19を備えて構成されている。架台15は、例えば横幅2m、高さ1m、長さ5m程度の大型の部材である。
ワークテーブル16は、大型の被検査基板Pを支持するための部材である。ワークテーブル16は、被検査基板Pよりも大きい寸法の四角形板状に形成され、その上側面に被検査基板Pを吸着支持するためのバキューム溝21が設けられている。バキューム溝21は、バキューム装置(図示せず)に接続されて、適宜真空引きされる。
θ軸回転機構は、ワークテーブル16を回転させるための装置である。θ軸回転機構としては公知の技術を用いることができる。例えば、θ軸回転機構は、扇状の駆動機構によって構成されている。具体的には、θ軸回転機構は、Rガイドレール(リング状のガイドレールの一部)を複数箇所(例えば環状の位置に等間隔に4箇所)設けて、ワークテーブル16を回転可能に支持し、ワークテーブル16の縁部を回動機構でずらしてワークテーブル16を回転させている。回動機構は、ステッピングモータ等の角度調整機能を備えた駆動モータと、この駆動モータに連結されたネジ棒と、このネジ棒にねじ込まれた移動ナットとからなり、この移動ナットがワークテーブル16の縁部に固定されている。そして、駆動モータでネジ棒を設定角度だけ回転させてネジ棒を正確に移動させてワークテーブル16を正確に設定角度だけ回転させる。Rガイドレールは、基板(図示せず)に支持された状態でワークテーブル16の下側面に取り付けられて、ワークテーブル16を回転可能に支持している。
X軸直動機構17は、ワークテーブル16をX軸方向に移動させるための装置である。このX軸直動機構17は、2本のガイドレール22と、1本のリニアモータ23とから構成されている。2本のガイドレール22は、架台15の3本の支持フレーム19のうち両端の支持フレーム19にそれぞれ取り付けられている。このガイドレール22には、ガイド(図示せず)がスライド可能に取り付けられている。このガイドに前記θ軸回転機構の基板が取り付けられることによって、θ軸回転機構に支持されたワークテーブル16を、ガイドレール22に沿ってX軸方向に移動可能に支持している。
リニアモータ23は、架台15の3本の支持フレーム19のうち真ん中の支持フレーム19に取り付けられている。このリニアモータ23のスライダはθ軸回転機構の基板に取り付けられている。これにより、ガイドレール22に支持されたθ軸回転機構がリニアモータ23によってX軸方向に移動され、θ軸回転機構に支持されたワークテーブル16が、ガイドレール22に沿ってX軸方向に移動されるようになっている。
YZ軸コンタクトステージ13は、後述するX軸プリアライメントセンサ38及びY軸プリアライメントセンサ40等をY軸方向及びZ軸方向へ移動可能に支持するための装置である。YZ軸コンタクトステージ13は、Xθ軸ワークステージ12と別部材として構成されている。YZ軸コンタクトステージ13は、X軸方向に配設されたXθ軸ワークステージ12の上側を跨ぐようにしてY軸方向に配設されている。YZ軸コンタクトステージ13は主に、支持アーム部25と、Y軸直動機構26と、第1Z軸ステージ部27と、第2Z軸ステージ部28とから構成されている。
支持アーム部25は、Xθ軸ワークステージ12の上側を跨ぐように掛け渡される部材である。この支持アーム部25は、2つの架台30と、梁材31とから構成されている。架台30は、YZ軸コンタクトステージ13の両側の脚部を構成する部材である。架台30は、Xθ軸ワークステージ12の両側位置でベース板(図示せず)に取り付けられて設置スペースの床部に据え付けられている。梁材31は、ワークテーブル16の上側位置で水平方向に掛け渡される部材である。梁材31は、その両端部が2つの架台30に固定されている。これにより、支持アーム部25は、ワークテーブル16の上側位置でY軸方向にアーチ状に掛け渡されている。
Y軸直動機構26は、第1Z軸ステージ部27及び第2Z軸ステージ部28をY軸方向に移動させるための装置である。このY軸直動機構26は、ガイドレール33と、リニアモータ34とから構成されている。ガイドレール33は、Y軸方向へ延びる梁材31の縦壁に取り付けられている。リニアモータ34は、ガイドレール33と平行にかつ一体的に、梁材31に取り付けられている。ガイドレール33には、リニアモータ34のスライダ35がスライド可能に取り付けられている。スライダ35は、リニアモータ34に2つ設けられている。各スライダ35に、第1Z軸ステージ部27及び第2Z軸ステージ部28がそれぞれ取り付けられている。各スライダ35は、リニアモータ34によって、個別に独立して移動制御されるようになっている。
第1Z軸ステージ部27は、ワークテーブル16上に載置された被検査基板PのX軸方向の大まかな位置合わせと、その後の被検査基板Pの正確な位置合わせと、被検査基板P上の試験回路E(図4参照)の電極への電気的接触を行うための装置である。第1Z軸ステージ部27は、図5,6に示すように、コンタクトステージ板37と、X軸プリアライメントセンサ38と、Z軸直動機構39と、検索用カメラ40と、アライメントカメラ41と、プローブブロック42とから構成されている。
コンタクトステージ板37は、Y軸直動機構26のスライダ35に直接取り付けられる板材である。コンタクトステージ板37によってZ軸直動機構39等が支持される。
X軸プリアライメントセンサ38は、ワークテーブル16上の被検査基板PのX軸方向の大まかな位置調整をするためにワークテーブル16の縁部を検出する第1のX軸プリアライメントセンサである。X軸プリアライメントセンサ38は、図5〜8に示すように、検査光Cを発する発光素子(図7中の投光部で示す部分)と、この発光素子から発せられて被検査基板Pの表面で反射した検査光Cを受光する受光素子(図7中の受光部で示す部分)とを備えて構成されている。これらの発光素子及び受光素子は、その検査光Cが被検査基板Pの縁部に平行になるように配設されている。これは以下の理由による。図8(A)(B)に示すように、検査光Cが被検査基板Pの縁部に直交するように配設すると、被検査基板Pの厚さによって位置がずれてしまう。図8(A)は薄い被検査基板Pの例であり、図8(B)は厚い被検査基板Pの例である。図8(A)の薄い被検査基板Pに比べて、図8(B)の厚い被検査基板Pの場合は、検査光Cが発光素子に近い位置で反射して、薄い被検査基板Pよりも早く検出してしまう。これに対して、検査光Cを被検査基板Pの縁部に平行に向けると、被検査基板Pの厚さは無関係になる。このため、発光素子及び受光素子を、その検査光Cが被検査基板Pの縁部に平行になるように配設している。
図5,6に示すZ軸直動機構39は、検索用カメラ40等を支持してZ軸方向に移動させるための装置である。Z軸直動機構39は、Z軸移動機構部39Aと、Z軸ステージ板39Bと、Z軸モータ39Cとから構成されている。Z軸移動機構部39Aは、Z軸ステージ板39BをZ軸方向にスライド可能に支持するための部材である。Z軸移動機構部39Aは、ガイドレール等で構成されている。Z軸ステージ板39Bは、検索用カメラ40等を支持するための部材である。Z軸ステージ板39Bは、水平に延びた2本の腕を有するブラケット39Dを備え、このブラケット39Dに検索用カメラ40等が取り付けられている。Z軸モータ39Cは、Z軸ステージ板39BをZ軸方向に移動させるためのモータである。Z軸モータ39Cには、ネジ棒と移動ナット(いずれも図示せず)を備え、移動ナットがZ軸ステージ板39Bに固定されて、Z軸ステージ板39BをZ軸方向に移動させるようになっている。
検索用カメラ40は、被検査基板Pの位置決め用マークを広い視野で検索するためのカメラである。アライメントカメラ41は、検索用カメラ40で特定された位置決め用マークを正確に認識して、被検査基板Pの正確な位置合わせを行うためのカメラである。アライメントカメラ41は、狭い視野で被検査基板Pを撮影する。検索用カメラ40及びアライメントカメラ41は、ブラケット39Dの2本の腕にそれぞれ支持されている。プローブブロック42は、被検査基板Pの試験回路Eの電極に電気的に接触して検査を行うための部材である。
第2Z軸ステージ部28は、ワークテーブル16上に載置された被検査基板PのX軸方向及びY軸方向の大まかな位置合わせと、その後の被検査基板Pの正確な位置合わせと、被検査基板P上の電極への電気的接触を行うための装置である。この第2Z軸ステージ部28は、全体的には前記第1Z軸ステージ部27と同様である。第2Z軸ステージ部28では、図9に示すように、第1Z軸ステージ部27に加えて、Y軸プリアライメントセンサ43を備えている。このY軸プリアライメントセンサ43は、ワークテーブル16上の被検査基板PのY軸方向の大まかな位置調整をするためにワークテーブル16の縁部を検出するセンサである。Y軸プリアライメントセンサ43は、第1Z軸ステージ部27の第1のX軸プリアライメントセンサ38と同様に、発光素子と受光素子とを備えて構成されている。これらの発光素子及び受光素子は、その検査光Cが被検査基板Pの縁部に平行になるように配設されている。これにより、第2Z軸ステージ部28の第2のX軸プリアライメントセンサ38の検査光CとY軸プリアライメントセンサ43の検査光Cとが直交する位置関係になるように、第2のX軸プリアライメントセンサ38とY軸プリアライメントセンサ43が配設されている。
以上のように構成された被検査基板Pのアライメント機構11は次のように動作する。図10〜14に基づいて説明する。
まず、図10に示すように、被検査基板Pは、Xθ軸ワークステージ12のワークテーブル16に載置されて、このXθ軸ワークステージ12でYZ軸コンタクトステージ13側へ移送される。このとき、被検査基板Pがずれていると、図11に示すように、2つのX軸プリアライメントセンサ38のうちの一方が、先に被検査基板Pの縁部を検出する。次いで、図12に示すように、他方のX軸プリアライメントセンサ38が被検査基板Pの縁部を検出する。この2つのX軸プリアライメントセンサ38の検出のずれを基に、被検査基板Pの傾きを制御部45で座標に取り込んで計算する。そして、制御部45で、Xθ軸ワークステージ12のθ軸回転機構を制御して、図13に示すように、前記被検査基板Pの傾きの分だけワークテーブル16を回転させて補正する。
次いで、第2Z軸ステージ部28がY軸直動機構26でY軸方向に移動されて、Y軸プリアライメントセンサ43で被検査基板Pの縁部を検出する。
これにより、被検査基板PのX軸方向及びY軸方向の位置と、被検査基板Pの角度が特定されて、被検査基板Pの大まかな位置合わせが行われる。
次いで、検索用カメラ40によって、被検査基板Pが広い視野で撮影されて被検査基板Pの位置決め用マークが特定される。次いで、アライメントカメラ41によって、被検査基板Pの位置決め用マークが狭い視野で撮影されて被検査基板Pの位置が正確に調整される。次いで、プローブブロック42の探針が試験回路Eの電極に接触させて検査が行われる。
以上により、大型の被検査基板Pに対しても、確実にプリアライメントを行うことができる。
制御部45で補正するため、Xθ軸ワークステージ12とYZ軸コンタクトステージ13とを別部材とする場合でも、被検査基板Pのずれを補正して、確実にプリアライメントを行うことができる。
YZ軸コンタクトステージ13のZ軸直動機構39に、被検査基板Pの位置決め用マークを検索するために広い視野で被検査基板Pを撮影する検索用カメラ40と、被検査基板Pの正確な位置決めをするために狭い視野で被検査基板Pを撮影するアライメントカメラ41とを備えたので、X軸プリアライメントセンサ38及びY軸プリアライメントセンサ43と相まって、大型の被検査基板Pを短時間で容易にかつ正確に位置合わせすることができる。この結果、被検査基板Pの検査の作業性が向上する。
X軸プリアライメントセンサ38及びY軸プリアライメントセンサ43を、検査光Cを発する発光素子と、当該発光素子から発せられて前記被検査基板の表面で反射した検査光Cを受光する受光素子とから構成し、前記検査光Cが被検査基板Pの縁部に平行になるように、前記発光素子と受光素子を配設したので、被検査基板Pの縁部を正確に検出することができる。この結果、大型の被検査基板Pを短時間で容易にかつ正確に位置合わせすることができ、被検査基板Pの検査の作業性が向上する。
また、制御部45が、別部材であるXθ軸ワークステージ12とYZ軸コンタクトステージ13との設置時等のずれを吸収する補正機能を備えたので、Xθ軸ワークステージ12とYZ軸コンタクトステージ13とが諸般に事情によってずれても、大型の被検査基板Pを正確に位置合わせすることができるようになる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について図15を基に説明する。
本実施形態のアライメント機構51の全体構成は、前記第1実施形態に係るアライメント機構11とほぼ同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。本実施形態のアライメント機構51は、第1実施形態に係るアライメント機構11に、第3Z軸ステージ部52と、第4Z軸ステージ部53を追加したものである。
第3Z軸ステージ部52は、図5,6に示す前記第1実施形態の第1Z軸ステージ部27の各装置のうち、X軸プリアライメントセンサ38、検索用カメラ40、アライメントカメラ41を除いて、プローブブロック42だけにしたものである。コンタクトステージ板37に取り付けられたZ軸直動機構39のZ軸ステージ板39Bにプローブブロック42が取り付けられている。この第3Z軸ステージ部52は、制御部45で制御されたY軸直動機構26によってY軸方向に適宜移動されて、プローブブロック42の探針と被検査基板Pの試験回路Eの電極とが互いに整合される。そして、Z軸直動機構39でプローブブロック42が上下動されて探針が被検査基板Pの試験回路Eの電極に電気的に接触される。
第4Z軸ステージ部53は第3Z軸ステージ部52と同様の装置である。本実施形態では、第3Z軸ステージ部52と第4Z軸ステージ部53の2つの装置を追加して4つのZ軸ステージ部としている。4つのZ軸ステージ部としたのは、被検査基板P上の試験回路Eが4列に配設されているためである。即ち、本実施形態の被検査基板Pでは、試験回路Eが4行4列に配設されているため、第1Z軸ステージ部27、第2Z軸ステージ部28、第3Z軸ステージ部52及び第4Z軸ステージ部53をそれぞれ試験回路Eの列に合わせて配設し、一度に4つの試験回路Eに4つのプローブブロック42の探針をそれぞれ接触させて、4回の接触で1枚の被検査基板Pの試験を完了させるようにした。
具体的には、第1Z軸ステージ部27及び第2Z軸ステージ部28をY軸直動機構26でY軸方向に適宜移動させて、X軸プリアライメントセンサ38及びY軸プリアライメントセンサ43で被検査基板Pの縁部を検出して、被検査基板PのX軸方向及びY軸方向の位置と、被検査基板Pの角度が特定されて、被検査基板Pの大まかな位置合わせを行う。次いで、検索用カメラ40で被検査基板Pの位置決め用マークを検索し、アライメントカメラ41で被検査基板Pの位置を正確に調整する。
次いで、制御部45が、正確に位置決めされた被検査基板Pを基に、被検査基板P上の各試験回路Eの位置を計算し、Y軸直動機構26を制御して、第1Z軸ステージ部27及び第2Z軸ステージ部28と共に、第3Z軸ステージ部52及び第4Z軸ステージ部53をそれぞれ移動させて、1行目の各試験回路Eの位置に整合させる。次いで、Z軸直動機構39でプローブブロック42の各探針を各試験回路Eの電極に接触させて、検査する。
Xθ軸ワークステージ12で被検査基板PをX軸方向に移動させながら、2〜4行目の各試験回路Eの電極にプローブブロック42の各探針を接触させて、検査する。そして、この4回の接触で1枚の被検査基板Pの試験を完了させる。
これにより、前記第1実施形態と同様の効果を奏すると共に、4つのZ軸ステージ部で平行して検査するため、検査作業の効率化を図ることができる。特に、大型の被検査基板Pでは、Z軸ステージ部の数が少ないと、このZ軸ステージ部の移動量が多くなり、検査作業に時間がかかることになるが、本実施形態のように4つのZ軸ステージ部で平行して検査することで、検査作業の効率化を図ることができる。
[変形例]
前記第1実施形態では、当該Y軸直動機構によってY軸方向に移動可能に支持されるZ軸ステージ部を、第1Z軸ステージ部27と第2Z軸ステージ部28との2つ設けたが、3つ以上設けても良い。被検査基板Pが大型になると、その縁部も正確な寸法に維持されるとは限らないため、複数箇所で被検査基板Pの縁部を検出して、座標上でその各位置を確認する。このとき、互いにずれている場合は、それが誤差の範囲ないか否かを判断する。そして、誤差の範囲内であれば無視し、誤差の範囲を超えていれば、各点の平均値に基づいて座標を特定する。
前記第2実施形態では、第1実施形態に対して、2つのZ軸ステージ部52,53を追加して4つのZ軸ステージ部(第1〜第4Z軸ステージ部27、28,52,53)としたが、第1実施形態に対して、1つ又は3つ以上のZ軸ステージ部を追加して、3つのZ軸ステージ部又は5つ以上のZ軸ステージ部としてもよい。被検査基板Pの寸法や、試験回路Eの個数等の諸条件に応じて、Z軸ステージ部の設置個数を設定する。
また、複数のZ軸ステージ部を設ける場合、Y軸プリアライメントセンサ43は複数のZ軸ステージ部のうち端部のZ軸ステージ部に設けることが望ましいが、X軸プリアライメントセンサ38は各Z軸ステージ部に設けてもよい。ある程度離れた2箇所の位置で被検査基板Pの縁部を検出できればよいため、複数のZ軸ステージ部のうちのある程度離れた2つのZ軸ステージ部に設ければよい。また、全てのZ軸ステージ部にX軸プリアライメントセンサ38を設けて、ある程度離れた2つのZ軸ステージ部のX軸プリアライメントセンサ38を適宜選択して被検査基板Pの縁部を検出してもよい。
これらによっても、前記第1及び第2実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
本発明の第1実施形態に係るアライメント機構を示す斜視図である。 従来の被検査基板の調整方法を示す模式図である。 本発明の第1実施形態に係るアライメント機構を示す平面図である。 本発明の第1実施形態に係るアライメント機構を示す平面図である。 本発明の第1実施形態に係る第1Z軸ステージ部を示す斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る第1Z軸ステージ部を示す正面図である。 本発明の第1実施形態に係るX軸プリアライメントセンサを示す模式図である。 本発明の第1実施形態に係るX軸プリアライメントセンサで厚さの異なる被検査基板を検出する状態を示す模式図である。 本発明の第1実施形態に係る第2Z軸ステージ部を示す正面図である。 本発明の第1実施形態に係るアライメント機構での被検査基板のアライメントを示す模式図である。 図10の状態から被検査基板の縁を第1のX軸プリアライメントセンサが検出した状態を示す模式図である。 図11の状態から被検査基板の縁を第2のX軸プリアライメントセンサが検出した状態を示す模式図である。 図12の状態から被検査基板を回転させて補正した状態を示す模式図である。 図13の状態からY軸プリアライメントセンサを移動させて被検査基板の縁を検出した状態を示す模式図である。 本発明の第2実施形態に係るアライメント機構を示す平面図である。
符号の説明
11:アライメント機構、12:Xθ軸ワークステージ、13:YZ軸コンタクトステージ、15:架台、16:ワークテーブル、17:X軸直動機構、19:支持フレーム、21:バキューム溝、22:ガイドレール、23:リニアモータ、25:支持アーム部、26:Y軸直動機構、27:第1Z軸ステージ部、28:第2Z軸ステージ部、30:架台、31:梁材、33:ガイドレール、34:リニアモータ、35:スライダ、37:コンタクトステージ板、38:X軸プリアライメントセンサ、39:Z軸直動機構、40:検索用カメラ、41:アライメントカメラ、42:プローブブロック、43:Y軸プリアライメントセンサ、45:制御部、51:アライメント機構、52:第3Z軸ステージ部、53:第4Z軸ステージ部。

Claims (3)

  1. X軸方向に延ばして構成され被検査基板をX軸方向へ移動可能に且つθ軸方向に回転可能に支持するXθ軸ワークステージと、
    当該Xθ軸ワークステージと別部材として構成されてこのXθ軸ワークステージの上方にY軸方向に掛け渡して設けられX軸プリアライメントセンサ及びY軸プリアライメントセンサをY軸方向及びZ軸方向へ移動可能に支持するYZ軸コンタクトステージと、
    前記Xθ軸ワークステージ及びYZ軸コンタクトステージを制御する制御部とを備え、
    前記Xθ軸ワークステージが、X軸方向に延びる骨組みである架台と、前記被検査基板を支持するワークテーブルと、当該ワークテーブルの下側面に設けられてワークテーブルを回転させるθ軸回転機構と、前記架台に支持されて前記θ軸回転機構を支持し当該θ軸回転機構を介して前記ワークテーブルをX軸方向に移動させるX軸直動機構とを備え、
    前記YZ軸コンタクトステージが、前記Xθ軸ワークステージの上方にY軸方向に掛け渡して設けられた支持アーム部と、当該支持アーム部に取り付けられて前記Xθ軸ワークステージの上方に位置するY軸直動機構と、当該Y軸直動機構によってY軸方向に移動可能に支持された複数のコンタクトステージ板と、当該複数のコンタクトステージ板のうちの一方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のX軸方向の位置を検出する第1のX軸プリアライメントセンサと、他方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のX軸方向の位置を検出する第2のX軸プリアライメントセンサ及びY軸方向の位置を検出するY軸プリアライメントセンサと、前記各コンタクトステージ板に設けられ前記被検査基板上の電極と接触する探針を有するプローブブロックをZ軸方向に移動可能に支持するZ軸直動機構とを備え、
    前記制御部が、前記YZ軸コンタクトステージ側の前記Y軸プリアライメントセンサ及び少なくとも2つの前記X軸プリアライメントセンサで検出した前記被検査基板の位置情報を基に、前記Xθ軸ワークステージの前記θ軸回転機構及びX軸直動機構を制御して前記ワークテーブルをX軸方向に移動させると共に適宜回転させて当該被検査基板のプリアライメントを行う機能を備えたことを特徴とする被検査基板のアライメント機構。
  2. 請求項1に記載の被検査基板のアライメント機構において、
    複数のコンタクトステージ板のうちの両方の端部側のコンタクトステージ板にのみ前記X軸プリアライメントセンサ又は前記X軸プリアライメントセンサ及びY軸プリアライメントセンサを備えると共に、前記両方の端部側のコンタクトステージ板の各Z軸直動機構に、被検査基板の位置決め用マークを検索するために広い視野で被検査基板を撮影する検索用カメラと、被検査基板の正確な位置決めをするために狭い視野で被検査基板を撮影するアライメントカメラとをそれぞれ備え、
    前記複数のコンタクトステージ板のうちの中間のコンタクトステージ板には前記プローブブロックのみを備えたことを特徴とする被検査基板のアライメント機構。
  3. 請求項1または2に記載の被検査基板のアライメント機構において、
    前記Y軸プリアライメントセンサ及びX軸プリアライメントセンサが、検査光を発する発光素子と、当該発光素子から発せられて前記被検査基板の表面で反射した検査光を受光する受光素子とを備え、
    前記被検査基板の表面に垂直な方向から見た、前記発光素子から前記受光素子への前記検査光の経路が前記被検査基板の縁部に平行になるように、前記発光素子と受光素子を配設したことを特徴とする被検査基板のアライメント機構。
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