JP6184301B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
また、プローブステージ板32aを長辺部28aに関して移動させるための駆動機構36が長辺部28aに設けられている。同様に、プローブステージ板32bを短辺部28bに関して移動させるための駆動機構36が短辺部28bに設けられている。この駆動機構36は、例えば、電気モータ36aと、ボールねじ部材36bと、雌ねじ部材36cを有するボールねじのような送り機構とで構成することができる。電気モータ36aは、固定枠体28に固定されている。ボールねじ部材36bは電気モータ36aの出力シャフトと一体的に回転可能になっている。雌ねじ部材36cは、ボールねじ部材36bに螺合して、プローブステージ板32に固定されている。
さらに、結合手段64には、絶縁部材71、72が設けられている。したがって、結合手段64は、懸架機構46とサポートベース部材40とを絶縁した状態で、懸架機構46をプローブベース板44に固定する。なお、この構成については、後述する。
図10は変形例1を模式的に示す図である。なお、図10では、懸架機構46等の構成を一部簡略化して図示している。変形例1では、リニアスライド機構46cに絶縁部材73を設けている。スライドブロック46bとサスペンションベース46aとの間に、絶縁部材73が介在している。リニアスライド機構46cが絶縁部材73を介して、サスペンションベース46aに取り付けられている。スライドブロック46bが絶縁部材73を介して、リニアスライド機構46cに取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体38をサポートベース部材40から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。
図11は変形例2を模式的に示す図である。なお、図11では、懸架機構46の構成を一部簡略化して図示している。変形例2では、プローブベース板44とサポートベース部材40との間に、絶縁部材74が介在している。すなわち、プローブベース板44が絶縁部材74を介して、サポートベース部材40に取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体38をサポートベース部材40から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。
図12は変形例3を模式的に示す図である。なお、図12では、懸架機構46の構成を一部簡略化して図示している。変形例3では、プローブベース板44と懸架機構46との間に、絶縁部材75が介在している。すなわち、懸架機構46が絶縁部材75を介して、プローブベース板44に取り付けられている。この構成によっても、プローブ組立体38をサポートベース部材40から絶縁することができるため、上記と同様の効果を得ることができる。
図13は変形例4を模式的に示す図である。なお、図13では、懸架機構46の構成を一部簡略化して図示している。また、変形例2では、回路基板54の上下に、放熱板79が配置されている。スライドブロック46bとサスペンションベース部材46aとの間には、バネ機構46fが設けられている。よって、上述したように、スライドブロック46bは、プローブベース板44の干渉を受けることなく、サスペンションベース部材46aに好適に弾性支持されている。
12 検査パネル
12a 電極
14 筐体
16a 第1の窓
16b 第2の窓
18 検査ステーション
20 パネル受け渡しステーション
24 パネル受け渡し装置
26 ワークテーブル(検査台)
28 固定枠体(固定板)
30 プローブユニット
32 各プローブステージ板
38 プローブ組立体
38a プローブ先端
40 サポートベース部材
40d 貫通穴
42 枢軸機構
42a 水平軸
44 プローブベース板
46 懸架機構
48 ねじ部材
50 アライメントカメラ
54 回路基板
64 結合手段
64b 結合板
64c ねじ穴
64d ボルト(締結具)
71 絶縁部材
72 絶縁部材
Claims (6)
- 被検査体が載置される検査台と、
前記検査台の上方に配置された固定体と、
前記被検査体の電極に接触可能のプローブ針を保持するプローブ組立体と、
前記固定体に支持されるサポートベース部材と、
前記プローブ針を前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、
前記プローブ針に供給される検査信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持された信号回路基板と、を備えた検査装置であって、
前記懸架機構が、
前記サポートベース部材に取り付けられたサスペンションベース部材と、
スライド機構を介して、前記サスペンションベース部材にスライド可能に取り付けられたスライドブロックと、を備え、
前記スライドブロックと前記サスペンションベース部材との間に絶縁部材が介在することで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されている検査装置。 - 被検査体が載置される検査台と、
前記検査台の上方に配置された固定体と、
前記被検査体の電極に接触可能のプローブ針を保持するプローブ組立体と、
前記固定体に支持されるサポートベース部材と、
前記プローブ針を前記電極に接触させるべく前記検査台の上方で前記プローブ組立体を前記サポートベース部材に支持する懸架機構と、
前記プローブ針に供給される検査信号を生成する電気回路が組み込まれ、前記懸架機構の下方で該懸架機構に支持された信号回路基板と、を備えた検査装置であって、
前記懸架機構が絶縁部材を介して前記サポートベース部材に取り付けられることで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されている検査装置。 - 前記懸架機構が、
前記サポートベース部材に取り付けられたサスペンションベース部材と、
スライド機構を介して、前記サスペンションベース部材にスライド可能に取り付けられたスライドブロックと、を備え、
前記スライドブロックと前記サスペンションベース部材との間に絶縁部材が介在することで、前記プローブ組立体が前記サポートベース部材から絶縁されている請求項2に記載の検査装置。 - 前記プローブ組立体と前記懸架機構の間に設けられた絶縁部材を介して、前記プローブ組立体が前記懸架機構に取り付けられている請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記絶縁部材が2か所以上に設けられている請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記検査台を収容する筐体がさらに設けられ、
前記サポートベース部材が前記筐体を介して接地されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の検査装置。
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