TW201522983A - 檢查裝置 - Google Patents

Abstract

一種能降低雜訊效應的檢查裝置，根據本發明的一檢查裝置包括設置有一物體的一工作台26、設置在該工作台26上方的一固定體28、支承有一探針觸針38a的一探針組件、支撐在該固定體28上方的一支撐基座構件40、在該工作台26上方支撐該探針組件38的一懸架機構46、以及包括一IC晶片54a於其中的一訊號電路基板54，用於產生提供至該探針觸針38a的一檢查訊號，該訊號電路基板54藉由該懸架機構46而支撐在該懸架機構46的下方，且該訊號電路基板54中的該探針組件38與該支撐基座構件40相互電絕緣。

Description

檢查裝置

本發明相關於一種檢查裝置。

經過製造而產出的顯示面板通常經過一點亮檢查以確定是否存在任何缺陷，例如像素缺陷於該顯示面板中。在該點亮檢查，需提供一驅動訊號至作為待檢查物的一液晶面板。此外，一電路檢查能藉由執行一陣列檢查而被執行。例如，一驅動訊號被提供至尚未被切割成多個部分的一玻璃母基板。因此，檢查裝置具有作為其檢查站的一電檢查裝置，該電檢查裝置包括一檢查基座，該檢查基座上設置有作為待檢查物的一液晶面板，該液晶面板以其電極朝上的狀態而被予以放置，以及支撐在設置於待檢查物上方的一固定框架體上的一探針單元。

作為這種類型的一電檢查裝置，日本未審查專利申請公開第2010-112919號公開了一種用於液晶面板的檢查裝置。在這個檢查裝置中，作為待檢查物的一矩形液晶面板設置在一檢查基座上。具有對應於該矩形液晶面板的各個側邊的側邊的一矩形固定框架體設置在該檢查基座之上。此外，一些探針組件沿著該固定框架體的一對以直角相鄰的側邊而配置。更具體而言，探針台板支撐在該固定框架體的邊緣上。探針單元附接於該探針台板。

每個探針單元包括一支撐基座構件及多個探針組件。該支撐基座構件以可移動的方式固定於該探針台板。該探針組件支撐在該探針台板上。每個探針組件透過它的懸架機構而支撐在該支撐基座構件上，使得它的探針相對於一液晶面板的相應電極。對於每個懸架機構，一訊號電路基板支撐於該懸架機構之下。一驅動訊號透過由設置在每個訊號電路基板中的一IC晶片構成的一液晶驅動IC電路提供至該探針組件的一預定的探針。

因此，在該電檢查裝置，設置在該檢查基座上的一液晶面板的相對位置被予以調整，使得設置在該液晶面板中的每個電極能對齊於支撐在該固定框架體上的該探針單元的各別一個探針。在位置調整後，當設置在每個探針單元的每個探針組件的探針的端部透過該檢查基座朝該固定框架體的移動而接觸於該液晶面板的相應電極，驅動訊號透過IC晶片自預定探針傳送至相應電極。該液晶面板藉由這些驅動訊號被帶入至一點燈狀態並維持在該點燈狀態一段時間，並且該液晶面板受預定檢查。

在上述的檢查裝置，該懸架機構電連接於探針器的殼體。此外，該殼體電連接於地。一探針觸針與一訊號電路基板的一電容耦合可能發生一漏電。亦即，當該殼體連接於地，當地電平因為該探針器或工廠產生的雜訊而波動，部份測試器電路的電流可能透過電容耦合而滲漏。因此，測量變異可能因為這些雜訊而發生。

鑒於上述問題，本發明之目的在於提供能降低雜訊效應的一檢查裝置。

本發明的一第一示例方面為一檢查裝置，包括：一檢查基座，該檢查基座上放置有一待檢查的物體；一固定體，設置於該檢查基座之上；一探針組件，支承有一探測觸針，該探測觸針得以接觸於物體的一電極；一支撐基座構件，支撐在該固定體上；一懸架機構，在該支撐基座構件中而將該探針組件支撐在該檢查基座上，以使該探測觸針接觸於該電極；以及一訊號電路基板，該訊號電路基板中包括一電子電路，該電子電路產生提供至該探測觸針的一檢查訊號，該訊號電路基板藉由該懸架機構而支撐於該懸架機構之下，其中該探針組件與該支撐基座構件相互電絕緣。

在上述的檢查裝置，該探針組件能藉由在該探針組件與該支撐基座構件之間插入一絕緣構件而電絕緣於該支撐基座構件。

在上述的檢查裝置，該探針組件能透過該探針組件與該懸架機構之間所插入的該絕緣構件而附接於該懸架機構。

在上述的檢查裝置，該懸架機構能包括附接於該支撐基座構件的一懸架基座構件以及透過一滑移機構而可滑動地附接到該懸架基座構件的一滑塊，以及該絕緣構件能插在該滑塊與該懸架基座構件之間。

在上述的檢查裝置，該懸架機構能透過插在該懸架機構與該支撐基座構件之間的該絕緣構件附接於該支撐基座構件附接於該支撐基座構件。

在上述的檢查裝置，更包括一殼體，該殼體容置該檢查基座，並且該支撐基座構件能透過該殼體電連接於地。

根據本發明能提供一種能降低雜訊效應的檢查裝置。

本發明上述的以及其它目的、特徵、以及優點將從以下所給的詳細描述以及附圖更為被充份地理解，該描述以及該附圖僅作為說明，因此不應被認為是限制本發明。

圖1顯示根據本發明的一個方面用於待檢查的一面板（以下稱為「檢查面板」）的一檢查裝置10的一外觀。該檢查裝置10用於，例如，具有從頂部看為一扁平矩形形狀的一檢查面板12的一陣列檢查或一點亮檢查。以下說明用於一點亮檢查的該檢查裝置10的一例子。該檢查裝置10包括一殼體14，該殼體14包括一傾斜前表面14a。在該殼體14的該傾斜前表面14a上形成有用於一點亮檢查的一第一窗口（開口）16a以及相鄰於該第一窗口16a的一第二窗口（開口）16b。該檢查面板12為一待檢查物。例如，該檢查面板12是一顯示面板例如一液晶螢幕以及一有機電致發光（Electro-Luminescence, EL）面板。可替代地，本發明可應用在一X射線平板探測器的一電路檢查等等。

在該殼體14內，用於該檢查面板12的該點亮檢查的一檢查站18設置在對應該第一窗口16a的位置。在該殼體14內，一面板交遞站20也設置在該檢查站18的旁邊。該面板交遞站20依次移交該檢查面板12至該檢查站18/自該檢查站18接收該檢查面板12。習知所熟知的結構可用在該面板交遞站20。該面板交遞站20設置在對應該第二窗口16b的位置。該殼體14電連接地。

許多電極12a（見圖5）配置在該檢查面板12的其中一個表面上。例如，多個該電極12a沿著該矩形檢查面板12的其中一個長邊側緣而配置。另外，多個該電極12a沿著該檢查面板12的其中一個短邊側緣而配置。作為本領域所習知熟知，在該檢查站18中將進行一點亮檢查的該檢查面板12被運送至該面板交遞站20的一面板交遞裝置24上的一位置中。例如，一運輸機器人（圖未示）透過形成在該殼體14的後表面上的一入口/出口22將該檢查面板12運送至該面板交遞裝置24上的一位置。應注意該檢查面板12係於該電極12a朝上的狀態下被運送入該面板交遞裝置24上的一位置。設置在該面板交遞裝置24上的該檢查面板12藉由該面板交遞裝置24的一輸送臂機構24a轉送到該檢查站18。然後，在該檢查站18中執行對於該檢查面板12的一點亮檢查。進一步地，在該檢查站18中經受該點亮檢查的該檢查面板12藉由在本領域所習知熟知的該輸送臂機構24a轉送回到該面板交遞裝置24。然後，該運輸機器人取出從該檢查裝置10轉送到該面板交遞裝置24的該檢查面板12。

如圖1所示，該檢查站18包括一工作台26，該工作台26支承自該面板交遞站20轉送來的一檢查面板12、以特定距離遠離於該工作台26而設置作為一固定板的一矩形固定框架體28、以及支撐於該固定框架體28上的多個探針單元30。

該工作台26是一檢查基座，該檢查面板12設置在該工作台26上。該工作台26以該檢查面板12的該電極12a面對該第一窗口16a的方式支承該檢查面板12。設置在該工作台26（檢查基座）上的該檢查面板12對應於該第一窗口16a而支承在該殼體14中的一位置。該工作台26容置於該殼體14內。該工作台26藉由設置在該殼體14內的一XYZθ-支撐機構（未示）而被支撐。該XYZθ-支撐機構可為一個類似一習知的XYZθ-支撐機構。如此，該工作台26上的該檢查面板12的二維位置可與該工作台26一起受到調整。即，該檢查面板12的位置可在XYZ方向上受到調整。應注意X方向與Y方向相互正交在平行於該傾斜前表面14a的平面上。Z方向垂直於XY平面。此外，該檢查面板12繞著Z軸轉，即，它的角度能在θ方向受到調整。

在該工作台26斜上方的一位置，即，當沿著Z軸自該工作台26往該傾斜前表面14a觀視時傾斜地位在該工作台26前方的一位置，該固定框架體28固定於該殼體14。例如，作為一固定體的該固定框架體28以遠離於該工作台26的一特定距離而設置。

如圖2所示的例子，該固定框架體28具有一對沿X方向延伸的長邊部分28a以及一對沿Y方向延伸的短邊部分28b。即，該固定框架體28以一矩形形狀而形成。一探針台板32（32a、32a、32b、32b）設置在每個側邊28a及28b上。用於附接一探針單元30的一凹槽32c形成在每個探針台板32的頂面上。該附接凹槽32c沿著該探針台板32的其中一個縱向邊緣而形成，並具有沿著邊緣的一開放側邊。該附接凹槽32c自該固定框架體28的相應側邊28a或28b朝向該固定框架體28的內部而暴露。每個探針台板32沿著相應側邊28a或28b而設置。該探針台板32的一部分設置在該附接凹槽32c中以及該探針台板32的其餘部分突伸至該固定框架體28的內部。

導向構件34設置在該固定框架體28的該長邊部分28a與該探針台板32a之間。相似地，該導向構件34也設置在該固定框架體28的該短邊部分28b與該探針台板32b之間。該探針台板32a藉由該導向構件34以該探針台板32a在該長邊部分28a的縱向方向得以移動的方式支撐在該固定框架體28上。相似地，該探針台板32b藉由該導向構件34以該探針台板32b在該短邊部分28b的縱向方向得以移動的方式支撐在該固定框架體28上。例如，該探針台板32a在X方向上移動以及該探針台板32b在Y方向上移動。

此外，用於相對於該長邊部分28a移動該探針台板32a的一驅動機構36設置在該長邊部分28a。相似地，用於相對於該短邊部分28b移動該探針台板32b的一驅動機構36設置在該短邊部分28b。每個這些驅動機構36能由，例如，一電動馬達36a以及一進料機構（例如具有一滾珠導螺桿構件36b以及一母螺紋構件36c的一滾珠導螺桿）而構成。該電動馬達36a固定在該固定框架體28。該滾珠導螺桿構件36b可以與該電動馬達36a的輸出軸以一致的方式一起旋轉。該母螺紋構件36c螺合在該滾珠導螺桿構件36b從而固定在該探針台板32。

如圖2所示的例子，該電極12a沿著該檢查面板12的其中一個該長邊邊緣以及其中一個該短邊邊緣而配置。因此，一探針單元30於相應於該電極12a的其中一個該長邊部分28a附接於該探針台板32a。相似地，一探針單元30於相應於該電極12a的一個該短邊部分28b附接於該探針台板32b。在該長邊部分28a的該探針單元30包括以規律間隔配置的五個探針組件38。在該短邊部分28b上的該探針單元30包括以規律間隔配置的三個探針組件38。

每個探針單元30具有實質相同的結構。然而，設置在該短邊部分28b中的探針單元中的該探針組件38的數目能不同於設置在該長邊部分28a的數量。此外，設置在該短邊部分28b中的該探針單元30中的對準相機以及對準標記的數量（將在之後描述）也能不同於設置在該長邊部分28a中的該探針單元30中的數量。設置在該固定框架體28的該短邊部分28b中的該探針單元30的例子於以下說明。應當注意的是在該長邊部分28a中的該探針單元30具有相似的配置。

如圖2、3及4所示，該探針單元30包括一支撐基座構件40以及一探針基板44，該支撐基座構件40為一大致上的矩形板狀，該探針基板44以其能繞著樞轉機構42的一對水平軸42a旋轉的方式附接於該支撐基座構件40。該探針組件38透過它們各自的懸架機構46支撐在該探針基板44之上。

其中一個長邊與其中一對短邊之間形成有一倒角（以下稱為倒角部40a）。一切口部40b形成在長邊兩端所形成的該倒角部40a之間。該切口部40b以該探針基板44可繞著該水平軸42a旋轉的方式承接該矩形探針基板44。如圖3所示，沿著該支撐基座構件40的另一長邊的邊緣嵌合於該附接凹槽32c。在這樣的狀態下，該支撐基座構件40以可拆卸的方式固定於該探針台板32。該支撐基座構件40藉由使用螺紋構件48例如螺栓而固定於該探針台板32。每個螺紋構件48通過形成在該支撐基座構件40中的一通孔40c以及它的前端旋入形成在該探針台板32中的一螺紋孔32d。藉由這樣的結構，該探針基板44可繞著該水平軸42a旋轉。

如圖3及4所示，三個探針組件38透過其各自的懸架機構46而支撐在該探針基板44之上。三個探針組件38沿著該探針基板44的縱向方向以固定的間隔排列。如圖所示的例子中，一對對準相機50設置在一連串該探針組件38的兩側上。此外，能藉由該對準相機50而被拍攝的一對半透明對準標記52設置在該對準相機50之下。這些成對的照相機以及標記藉由該探針基板44以一連串該探針組件38設置在其之間的方式而受到支撐。該對準相機50所拍攝的影像中，形成在設置在該工作台26上的該檢查面板12的對準標記（未示）與藉由該探針基板44支撐的該半透明對準標記52相互對齊。

該懸架機構46經設置而用以對應該探針組件38。如圖5所示，每個懸架機構46包括固定在該探針基板44上的一懸架基座構件46a以及藉由該懸架基座構件46a支撐的一滑塊46b。該滑塊46b可藉由設置在該滑塊46b與該懸架基座構件46a之間的一線形滑移機構46c而垂直移動。藉由使用一彈簧機構，該滑塊46b受到該懸架基座構件46a以適當的方式彈性地支撐而不受該探針基板44干擾。請注意能使用能整合入該滑塊46b內部的習知的熟知結構的彈簧機構（未示）。

用於附接該探針組件38的一附接滑塊46d固定在該滑塊46b的底部上。從該探針組件38的頂端突出的探針端部（觸針）38a附接至該探針組件38。該探針組件38在該探針端部38a往下對準的狀態，亦即，朝向設置在該工作台26上的該檢查面板12，附接於該附接滑塊46d。如此，該探針端部38a接觸到該檢查面板12的相應電極12a。該探針組件38作為支承多個探針觸針的支承架。

另外，一附接板46e固定在該附接滑塊46d的底部上。以例如捲帶承載封裝（Tape Carrier Package, TCP）製成的一電路基板54係支撐在該附接板46e的底面上。該電路基板54安裝有用以對該檢查面板12產生驅動訊號（檢查訊號）的一驅動訊號產生IC晶片54a，以及形成有包括有該IC晶片54a的一IC電路。該探針組件38附接於該懸架機構46的該附接滑塊46d。然後，探針觸針的後端從下方被壓到該電路基板54的相應導電路徑之上以使該探針組件38的探針觸針接收驅動訊號。如此，該探針組件38的探針觸針電連接於該電路基板54。

該電路基板54電連接於透過插在一繼電器基板58與該探針基板44之間的一間隔物56而支撐在該探針基板44的底部的該繼電器基板58。該繼電器基板58透過線60電連接於一控制訊號產生器62。因此，該IC晶片54a透過該繼電器基板58的傳導路徑以及該電路基板54自該控制訊號產生器62接收控制訊號，以及透過各自的探針提供驅動訊號至該檢查面板12的相應電極12a以回應控制訊號。該IC晶片54a將透過該繼電器基板58傳輸而來的數位控制訊號轉換成類比驅動訊號，並輸出所產生的類比驅動訊號。

多個該探針組件38透過各自的懸架機構46附接至該探針基板44。如圖5所示，該探針基板44藉由接合構件64固定在該支撐基座構件40。該探針基板44具有該探針基板44的表面與該支撐基座構件40的表面呈齊平這樣的形態。

該接合構件64包括一螺栓64a、一接合板64b、及一螺栓64d。接合板64b藉由該螺栓64a固定在該探針基板44的底面。該螺栓64d旋入形成在該接合板64b中的一螺紋孔64c。與該螺紋孔64c對齊的一通孔40d形成在該支撐基座構件40中。因此，該螺栓64d通過該通孔40d並旋入該螺紋孔64c。該螺栓64d自該支撐基座構件40的頂面通過該通孔40d。然後，該接合板64b緊固至該支撐基座構件40使得該螺栓64d的頂端旋入該螺紋孔64c中。該螺栓64d的緊固防止該探針基板44繞著該水平軸42a旋轉。因此，該探針基板44以先前所述的圖5所示的形態受到支承。

可替代地，其它結構能用以取代使用上述提到的有該螺紋孔64c形成於其中的該接合板64b藉由該螺栓64a固定在該探針基板44的結構。例如，雖然在圖式中省略了它的繪示，與該探針基板44一體成型且自該探針基板44往下延伸的一延伸構件能用以取代具有該螺紋孔64c形成於其中的接合構件的使用。

此外，絕緣構件71、72設置在該接合構件64。因此，該接合構件64將該懸架機構46固定在該探針基板44而使該懸架機構46與該支撐基座構件40相互電絕緣。請注意此結構的細節描述於後。

根據本發明的一個方面的檢查裝置10，符合於作為待檢查物的該檢查面板12的規格的一探針單元30被予以選用。即，使用具有對應於用以配置該檢查面板12的該電極12a的間隔的適當探針間隔的一（多個）探針組件38。此外，使用包括多個以預定間隔配置的探針組件38的一探針單元。此外，一適當的探針單元30附接至該探針台板32。

之後，一檢查面板12自該面板交遞站20轉送至該檢查站18的該工作台26上。然後，一XYZθ支撐機構根據該半透明對準標記52與從藉由該對準相機50所拍攝的一影像上觀察到的該檢查面板12上的對準標記之間的偏差使該電極12a對齊於該探針組件38的該對應探針端部38a。即，該工作台26的位置適當地受到調整。此外，各個探針單元30所附接的每個探針台板32的位置最後藉由該驅動機構36而細調整。

在這些調整之後，藉由操作該XYZθ支撐機構而使該工作台26朝向該固定框架體28移動。透過這樣的做法，該檢查面板12的該電極12a電連接於該探針組件38的該探針端部38a。在這樣的連接狀態下，驅動訊號透過相應探針自該IC晶片54a提供至該檢查面板12。因此，該檢查面板12係根據這些驅動訊號而被點亮。一工作者或一操作者透過該第一窗口16a觀察點亮狀態進而執行一點亮檢查。

在根據本發明的一個方面的該檢查裝置10中所設置的該電路基板54的一維護檢查中，旋入該接合構件64的該接合板64b的該螺紋孔64c中的該螺栓64d如圖5所示被鬆開。然後，如圖6所示，該螺栓64d自該接合板64b被拉出。透過這樣的做法，該接合構件64係為脫離。

藉由該接合構件64的脫離，該探針基板44相對於該支撐基座構件40繞著該水平軸42a旋轉。因此，透過該懸架機構46支撐在該探針基板44之上的該探針組件38以及該對準相機50等等也被旋轉。設置在該懸架機構46之下的該電路基板54轉向該第一窗口16a。

藉由該探針基板44的此種旋轉形態，該電路基板54以及其IC晶片54a朝向該第一窗口16a而暴露。因此，一工作者或一操作者不需將他/她的手插入穿過該工作台26與該固定框架體28之間的空隙而能夠透過該第一窗口16a執行例如該IC晶片54a的檢查或置換的作業。此外，工作者或操作者不需將重探針單元30從各自的探針台板32移除或隔離而能夠執行檢查或置換。因此，工作者或操作者能以相較於當他們以習知方式執行這些作業時較為舒適的姿態輕易地執行檢查以及置換。

可以想像的是，該電路基板54可設置在該探針基板44的上面或該支撐基座構件40的頂面，使得該電路基板54的維護檢查可輕易地執行。因此，然而，該IC晶片54a與該探針組件38的探針之間的連接路徑的長度增加。因此，於雜訊方面考慮高頻訊號流經這些連接路徑的情況下，這樣的配置是不理想的。

與此相反，根據依照本發明的一個方面的該檢查裝置10，由於該電路基板54能支承在靠近在該懸架機構46下方的該探針組件38，而避免該IC晶片54a與該探針組件38之間的連接距離的增加。因此，能在不造成上述雜訊問題下輕易地執行用於該電路基板54的維護檢查作業。

以下參照圖7說明憑藉該接合構件64的接合機構。圖7為示意性地顯示該接合構件64與該探針基板44之間的接合部分的剖視圖。該絕緣構件72設置在該接合板64b之上而該絕緣構件71設置在該接合板64b之下。

該絕緣構件72插在該探針基板44與該接合板64b之間。該絕緣構件72為具有一通孔形成於其中的一絕緣板。該螺栓64a穿過通孔。此外，該螺栓64a也穿過該接合板64b的該通孔64f。該絕緣構件71設置在該螺栓64a的頭部64g與該接合板64b之間。該絕緣構件71為藉由該螺栓64a固定在該頭部64g與該接合板64b之間的一絕緣墊圈。該螺栓64a通過該絕緣構件71、該接合板64b、以及該絕緣構件72，並且旋入形成在該探針基板44中的螺紋孔。每個絕緣構件71、72由一絕緣材料形成，例如塑膠、丙烯酸樹脂、氟碳樹脂、鐵氟龍（Teflon （註冊商標））、氯乙烯、橡膠、玻璃環氧樹脂、酚樹脂、陶瓷、及玻璃。螺栓64a不與該接合板64b相接觸。

藉由如上所示設置該絕緣構件71、72，該探針基板44能固定在該支撐基座構件40而使該接合板64b與該探針基板44相互電絕緣。應注意上述說明中雖然該絕緣構件71、72被用在該螺栓64a，一類似的絕緣構件可設置用在該螺栓64d。在這樣的配置中，該懸架機構46也可受到固定而使該接合板64b與該支撐基座構件40相互電絕緣。

藉由在該探針組件38與該支撐基座構件40之間夾置該絕緣構件71、72，該探針組件38可電絕緣於該支撐基座構件40。因此，即使該探針基板44連接於該殼體14並藉此連接於地，雜訊效應可受到抑制。例如，有可能防止工廠所造成的雜訊透過該殼體14影響測試器電路。

以下參照圖8及9說明雜訊效應。圖8為顯示在本示例性實施例中一懸架機構46電絕緣於該支撐基座構件40的配置的情況的一假想電路圖。圖9為示意性地顯示該懸架機構46未電絕緣於該支撐基座構件40的一比較例的一電路圖。

如圖8所示，一量測電流自一電源81提供至一測試器電路83。應注意該測試器電路83為包括一探針端部（探針觸針）38a、一電路基板54、以及一IC晶片54a等等的一電路。一安培計82測量流過該測試器電路83的一電阻器R的一量測電流。如此，一檢查面板12a被檢查。

應注意該測試器電路83為電容耦合於該懸架機構46。即，一雜散電容C藉由該測試器電路83以及該懸架機構46而形成。具體地，一雜散電容C在當該探針端部（探針觸針）38a或該電路基板54的佈線設置在靠近於傳導該懸架機構46時產生。

在這個示例性實施例中，如圖5及7所示，該懸架機構46以及該支撐基座構件40藉由該絕緣構件71及72而受到電絕緣。因此，即使一雜訊N產生在該殼體14的接地，可能透過該殼體14以及該支撐基座構件40從該測試器電路83洩漏的漏電流可被抑制。因此，根據本示例性實施例的配置，可以減少產生在類比訊號的雜訊效應。

該IC晶片54a將自該控制訊號產生器62所產生的數位訊號轉換成類比訊號，並將所產生的類比訊號輸出至該探針端部38a。在這個過程中，如果雜訊產生在該IC晶片54a與該探針端部38a之間，這些雜訊將對量測數據產生很大的影響。此外，如果有部分該電路基板54的佈線或該探針端部38a設置在非常接近於該懸架機構46的金屬部分，該雜散電容C變得更大。藉由使設置在靠近該電路基板54的部分或該探針端部38a電絕緣於該殼體14，雜訊效應可有效地受到抑制。特別地，較佳的是將設置在靠近該電路基板54的該探針組件38、該附接板46e、以及該附接滑塊46d等等電絕緣於該支撐基座構件40。

另一方面，如圖9所示的比較例，當該探針組件38與該殼體14未相互電絕緣時，流動在該測試器電路83中的部份量測電流透過電容耦合流向接地端。因此，當一雜訊N發生在該殼體14的接地上，一漏電流從該測試器電路83洩漏出。

如上所述，雜訊N造成的漏電流能在這示例性實施例中受到抑制。如此，一檢查能在低雜訊的環境下被執行。因此，一檢查可在不增加需要用於平均雜訊效應的測定採樣數下被執行。因此，測定可在短時間內被執行。此外，能避免大於容許標準的雜訊發生而阻止得到所期望的量測數值的情況，進而實現一精準的檢查。

在上述說明中，雖然該絕緣構件71及72設置在該接合構件64中以用於使該探針基板44接合於該支撐基座構件40，該探針單元38的其它部分能實現電絕緣。亦即，電絕緣的位置不侷限在該接合板64b與該探針基板44之間的位置。改變自上述例子的電絕緣位置的變形例於以下進行說明。請注意以下變形例中的說明省略掉與上述示例性實施例相同的部份。

第一變形例 圖10示意性地顯示一第一變形例。注意該懸架機構46的部分配置以及其它以簡化的方式顯示於圖10。在一第一變形例中，一絕緣構件73設置在該線形滑移機構46c中。該絕緣構件73夾置在該滑塊46b與該懸架基座構件46a之間。該線形滑移機構46c透過夾置在該線形滑移機構46c與該懸架基座構件46a之間的該絕緣構件73附接於該懸架基座構件46a。在此配置中，該探針組件38也電絕緣於該支撐基座構件40。因此，能達到類似於上述的有益效果的一有益效果。

第二變形例 圖11示意性地顯示一第二變形例。應注意該懸架機構46等等的部分配置以簡化的方式顯示於圖11。亦即，該探針基板44透過夾置在該探針基板44與該支撐基座構件40之間的該絕緣構件74而附接於該支撐基座構件40。在此配置中，該探針組件38也電絕緣於該支撐基座構件40。因此，能類達到似於上述的有益效果的一有益效果。

第三變形例 圖12示意性地顯示一第三變形例。應注意該懸架機構46等等的部分配置以簡化的方式顯示於圖12。在第三變形例中，一絕緣構件75設置在該探針基板44與該懸架機構46之間。亦即，該探針基板44透過夾置在該探針基板44與該基座構件40之間的該絕緣構件75而附接於該支撐基板構件40。在此配置中，該探針組件38也電絕緣該支撐基座構件40。因此，能達到類似於上述的有益效果的一有益效果。

第四變形例 圖13示意性地顯示一第四變形例。應注意該懸架機構46等等的部分配置以簡化的方式顯示於圖13。另外，在第四變形例中，散熱板79設置在該電路基板54之上以及之下。一彈簧機構46f設置在該滑塊46b與該懸架基座構件46a之間。因此，如先前所述，該滑塊46b受到該懸架基座構件46a以一適當的方式彈性地支撐而不受該探針基板44干擾。

在第四變形例中，一絕緣構件76設置在該探針組件38與該滑塊46b之間。即，該探針組件38透過夾置在該探針組件38與該懸架機構46之間的該絕緣構件76附接於該懸架機構46。在這樣的配置中，該探針組件38亦為電絕緣於該支撐基座構件40。因此，能達到類似於上述的有益效果的一有益效果。

如上所述，在第一至第四變形例的配置下，該探針組件38也可電絕緣於該殼體14。類似於圖7所示的一結構能用在第一至第四變形例中的絕緣構件的固定。不用說，螺釘或螺栓本身能以絕緣材質構成。

此外，第一示例性實施例以及第一至第四變形例中的至少二個能相組合。即，二個或更多絕緣的地方經設置而使該探針組件38與該支撐基座構件40相互電絕緣。在這種情況下，絕緣構件設置在二個或更多的位置。此外，絕緣構件較佳地位在靠近於探針組件。例如，在第四變形例配置下的降噪效果優於在第二變形例配置下的降噪效果。

雖然在上述的說明中係為說明用於對該檢查面板12例如一液晶面板執行一點亮檢查的該檢查裝置10，這樣的示例性實施例也能應用在執行點亮檢查以外檢查的檢查裝置。例如，一陣列檢查能執行在一液晶面板的一薄膜電晶體（TFT）基板。藉由執行一陣列檢查，能檢查設置在該檢查面板12中的電路。例如，在陣列檢查中，一檢查裝置在一母玻璃基板尚未被切割成多個部分前透過該探針38a提供驅動訊號至母玻璃基板。此外，用於電路的一陣列檢查也能藉由使用類似於上述技術執行於一檢測器面板例如一X-Ray平板檢測器。

僅管根據本發明的示例性實施例已說明於上，但本發明也包括各種於實質上不損害本發明的目的以及優點的各種修改。此外，上述示例性實施例不應被用來限制本發明的範圍。

從所述的本發明，很顯然地本發明的實施例能以多種方式變化。這些變化不被視為脫離於本發明的精神及範圍，且旨在將所有對本領域技術人員而言為明顯的這樣的修改包含在以下申請專利範圍內。

10‧‧‧檢查裝置
12‧‧‧檢查面板
12a‧‧‧電極
14‧‧‧殼體
14a‧‧‧前表面
16a‧‧‧第一窗口
16b‧‧‧第二窗口
18‧‧‧檢查站
20‧‧‧面板交遞站
22‧‧‧入口/出口
24‧‧‧面板交遞裝置
24a‧‧‧輸送臂機構
26‧‧‧工作台
28‧‧‧固定框架體
28a‧‧‧長邊部分
28b‧‧‧短邊部分
30‧‧‧探針單元
32、32a、32b‧‧‧探針台板
32c‧‧‧凹槽
34‧‧‧導向構件
36‧‧‧驅動機構
36a‧‧‧電動馬達
36b‧‧‧滾珠導螺桿構件
36c‧‧‧母螺紋構件
38‧‧‧探針組件
38a‧‧‧探針端部
40‧‧‧支撐基座構件
40a‧‧‧倒角部
40b‧‧‧切口部
40c、40d、64f‧‧‧通孔
42‧‧‧樞轉機構
42a‧‧‧水平軸
44‧‧‧探針基板
46‧‧‧懸架機構
46a‧‧‧懸架基座構件
46b‧‧‧滑塊
46c‧‧‧線性滑移機構
46d‧‧‧附接滑塊
46e‧‧‧附接板
46f‧‧‧彈簧機構
48‧‧‧螺紋構件
50‧‧‧對準相機
52‧‧‧半透明對準標記
54‧‧‧電路基板
54a‧‧‧IC晶片
56‧‧‧間隔物
58‧‧‧繼電器基板
60‧‧‧線
62‧‧‧控制訊號產生器
64‧‧‧接合構件
64a‧‧‧螺栓
64b‧‧‧接合板
64c‧‧‧螺紋孔
64d‧‧‧螺栓
64g‧‧‧頭部
71、72、73、74、75、76‧‧‧絕緣構件
79‧‧‧散熱板
81‧‧‧電源
82‧‧‧安培計
83‧‧‧測試器電路
C‧‧‧雜散電容
N‧‧‧雜訊
R‧‧‧電阻器

圖1為顯示根據本發明的一點亮檢查裝置的一外觀的立體圖； 圖2為圖1所示的點亮檢查裝置的一檢查臺的一平面圖； 圖3為附接於圖2所示的點亮檢查裝置的一探針支撐構件的一探針單元的一立體圖； 圖4為圖3所示的探針單元的一平面圖； 圖5為將圖4沿V-V線截取的一剖視圖； 圖6為顯示根據本發明的處於一傾斜狀態的一探針單元的立體圖； 圖7為示意性地顯示一探針組件的一絕緣結構； 圖8為用於說明雜訊在一探針組件為電絕緣的配置中的圖； 圖9為用於說明雜訊在探針組件為未電絕緣的比較例中的圖； 圖10為顯示一絕緣部的一第一變形例； 圖11為顯示絕緣部的一第二變形例； 圖12為顯示絕緣部的一第三變形例；以及 圖13為顯示絕緣部的一第四變形例。

10‧‧‧檢查裝置

12‧‧‧檢查面板

14‧‧‧殼體

14a‧‧‧前表面

16a‧‧‧第一窗口

16b‧‧‧第二窗口

18‧‧‧檢查站

20‧‧‧面板交遞站

22‧‧‧入口/出口

24‧‧‧面板交遞裝置

24a‧‧‧輸送臂機構

26‧‧‧工作台

28‧‧‧固定框架體

30‧‧‧探針單元

Claims (7)

1. 一種檢查裝置，包含： 一檢查基座，該檢查基座上放置有一待檢查的物體； 一固定體，設置於該檢查基座之上； 一探針組件，支承有一探測觸針，該探測觸針得以接觸於該物體的一電極； 一支撐基座構件，被支撐在該固定體之上； 一懸架機構，在該支撐基座構件中而將該探針組件支撐於該檢查基座之上，以使該探測觸針接觸於該電極；以及 一訊號電路基板，該訊號電路基板中包含有一電子電路，該電子電路產生提供至該探測觸針的一檢查訊號，該訊號電路基板藉由該懸架機構而支撐於該懸架機構之下， 其中該探針組件與該支撐基座構件係相互電絕緣。
2. 如請求項1所述之檢查裝置，其中該探針組件藉由在該探針組件與該支撐基座構件之間插入一絕緣構件而電絕緣於該支撐基座構件。
3. 如請求項2所述之檢查裝置，其中該探針組件透過該探針組件與該懸架機構之間所插入的該絕緣構件而附接於該懸架機構。
4. 如請求項1所述之檢查裝置，其中該懸架機構包含： 一懸架基座構件，附接於該支撐基座構件；以及 一滑塊，透過一滑移機構而可滑動地附接到該懸架基座構件，以及 該探針組件藉由在該滑塊與該懸架基座構件之間插入一絕緣構件而電絕緣於該支撐基座構件。
5. 如請求項1所述之檢查裝置，其中該探針組件藉由將該懸架機構透過該懸架機構與該支撐基座構件之間所插入的一絕緣構件附接於該支撐基座構件而電絕緣於該支撐基座構件。
6. 如請求項2所述之檢查裝置，其中至少二個地方設置有該絕緣構件。
7. 如請求項1所述之檢查裝置，更包括一殼體，該殼體容置該檢查基座，其中該支撐基座構件透過該殼體電連接於地。