JP4758826B2 - プローブユニット及び検査装置 - Google Patents
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Description
図4はガラス基板の検査装置の平面図、図5はガラス基板の検査装置の正面図である。この検査装置14は主に、フレーム部15と、プローブユニット16と、支持部17と、可動フレーム18と、ガイドレール19と、フレーム20と、ガイド21と、位置決めピン22と、プローブ固定板23と、位置決め治具24と、チャックトップ25とを備えて構成されている。そして、前記チャックトップ25にガラス基板26が支持される。
以上のように構成されたプローブユニット31を備えた検査装置では、次のようにしてメンテナンスが行われる。
第2接続ブロック86とフレーム95とを固定するネジ98の取り付け位置は、プローブユニット31外側から目視できる位置に設定されており、第2接続ブロック86とフレーム95とを固定するネジ98を取り付けるネジ穴97をプローブユニット31の外側に設けている。これにより、第2接続ブロック86とフレーム95を固定するねじの取扱いが、プローブユニット31を検査装置に取り付けた状態で行うことが可能となり、第2接続ブロック86の脱着が容易なものとなる。第1接続ブロック85も同様に、ネジ72を検査装置の外側から弛めたり締めたりすることができるため、第1接続ブロック85の着脱が容易となる。
本実施形態に係るプローブユニット31は、液晶パネル37の検査装置に適用したが、ガラス基板の検査装置にも適用でき、上記と同様の作用、効果を奏することができる。
Claims (8)
- 検査対象板の検査に使用されるプローブユニットであって、
全体を支持する固定ブロックと、当該固定ブロックに支持される取付ブロックと、当該取付ブロックに一体的に取り付けられた支持ブロックと、当該支持ブロックに挿入して支持されるプローブ組立体と、前記支持ブロックの内側面に支持されて前記プローブ組立体に電気的に接続される接続ケーブル部とを備えて構成され、
前記支持ブロックに前記取付ブロックの幅よりも拡大した拡大部を設け、前記支持ブロックに前記接続ケーブル部を固定するためのネジを前記拡大部に装置本体の外側から着脱させるためのネジ穴を設けたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1に記載のプローブユニットにおいて、
前記接続ケーブル部が、前記支持ブロックに直接固定される第1接続ブロックと、装置本体側のフレームに固定される第2接続ブロックと、前記第1接続ブロックと第2接続ブロックとに掛け渡して設けられたフラットケーブルとを備えて構成され、
前記第2接続ブロックが、その外側に位置する固定ブロック、取付ブロック又は支持ブロックの幅よりも長く形成され、
前記第2接続ブロックを前記装置本体側のフレームに固定するためのネジを外側から着脱するためのネジ穴を前記第2接続ブロックの両端部に設けたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項2に記載のプローブユニットにおいて、
前記支持ブロック又は前記第1接続ブロックのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第1接続ブロックとの位置合わせを行うことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項2又は3に記載のプローブユニットにおいて、
前記第2接続ブロック又は前記フレームのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第2接続ブロックと前記フレームとの位置合わせを行うことを特徴とするプローブユニット。 - プローブユニットの接触子が検査対象板に接触して検査を行う検査装置であって、
前記プローブユニットが、全体を支持する固定ブロックと、当該固定ブロックに支持される取付ブロックと、当該取付ブロックに一体的に取り付けられた支持ブロックと、当該支持ブロックに挿入して支持されるプローブ組立体と、前記支持ブロックの内側面に支持されて前記プローブ組立体に電気的に接続される接続ケーブル部とを備えて構成され、
前記固定ブロックが装置本体側のベースに取り付けられると共に、前記接続ケーブル部が前記支持ブロックと装置本体側のフレームとにそれぞれ取り付けられ、
前記支持ブロックに前記取付ブロックの幅よりも拡大した拡大部を設け、前記支持ブロックに前記接続ケーブル部を固定するためのネジを前記拡大部に外側から着脱するためのネジ穴を設けたことを特徴とする検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置において、
前記接続ケーブル部が、前記支持ブロックに直接固定される第1接続ブロックと、装置本体側のフレームに固定される第2接続ブロックと、前記第1接続ブロックと第2接続ブロックとに掛け渡して設けられたフラットケーブルとを備えて構成され、
装置本体側のフレームが前記ベースの中心側へ延出して形成され、
前記第2接続ブロックが、その外側に位置する固定ブロック又は支持ブロックの幅よりも長く形成され、
前記第2接続ブロックを前記装置本体側のフレームに固定するためのネジを外側から着脱するためのネジ穴を前記第2接続ブロックの両端部に設けたことを特徴とする検査装置。 - 請求項6に記載の検査装置において、
前記支持ブロック又は前記第1接続ブロックのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第1接続ブロックとの位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項6又は7に記載の検査装置において、
前記第2接続ブロック又は前記フレームのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第2接続ブロックと前記フレームとの位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。
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