KR20080052710A

KR20080052710A - 프로브 조립체

Info

Publication number: KR20080052710A
Application number: KR1020060124212A
Authority: KR
Inventors: 구철환
Original assignee: 주식회사 파이컴
Priority date: 2006-12-08
Filing date: 2006-12-08
Publication date: 2008-06-12

Abstract

분해 및 결합이 용이한 프로브 블록을 갖는 프로브 조립체가 개시된다. 상기 프로브 조립체는 피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록, 상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구비된 프로브 블록 및 상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 테스트 블록을 포함한다.

Description

프로브 조립체{Probe Assembly}

도 1은 종래의 프로브 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 4a는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 단면도이다.

도 4b는 도 4a의 프로브 조립체의 일부를 나타내는 사시도이다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 단면도이다.

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체의 수평 조정부재를 나타내는 단면도이다.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 단면도이다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10, 100, 600 : 프로브 조립체 11 : 베이스 플레이트

20, 300, 800 : 프로브 블록 21, 310 : 프로브

30 : 제1 인터페이스 보드 31, 410 : 테이프 캐리어 패키지

35 : 제2 인터페이스 보드 40, 520 : 삼각 블록

45, 500, 700 : 매뉴플레이터 200, 900 : 지지 블록

320 : 결합지지 부재 400 : 테스트 블록

420 : 접촉 패드 430 : 인터페이스 패턴

450 : 보조 테스트 블록 710 : 클램프

본 발명은 프로브 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분해 및 결합이 용이한 프로브 블록을 갖는 프로브 조립체에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치의 액정표시패널은 두 개의 어레이 기판과 컬러 기판이 액정을 사이에 두고 합착된 구조로서, 외부에서 인가되는 전압에 의해 액정의 전기 광학적인 특성을 이용하여 영상을 표시하는 장치이다.

상기 액정표시패널의 제조 공정 후에는, 액정표시패널의 패드 전극에 브로브 조립체의 프로브를 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 액정표시패널의 정상 유무를 확인하여 불량 표시패널을 조기에 제거하는 검사 공정을 수행하게 된다.

도 1은 종래의 프로브 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 프로브 조립체(10)는 평판표시소자 검사장치의 베이스 플레이트(11)에 고정 배치되어 평판표시소자를 검사한다. 상기 프로브 조립체(10)는 프로브(21)를 하측에 고정하는 프로브 블록(20), 상기 프로브 블록(20)의 상부와 고정 결합되는 제1 인터페이스 보드(30), 상기 제1 인터페이스 보드(30)의 상측면에 고정 결합되는 삼각 블록(40) 및 상기 삼각 블록(40)과 고정 결합되며 일측에 상기 베이스 플레이트(11)에 고정되는 매뉴플레이터(45)를 포함한다.

상기 프로브 블록(20)에 고정되는 프로브(21)는 접착제를 이용하거나 프로브를 관통하여 프로브 블록과 체결되는 고정나사에 의해서 체결될 수 있다.

또한, 상기 프로브 블록(20)의 상부에 제1 인터페이스 보드(30)가 위치되고, 상기 제1 인터페이스 보드(30)의 하측면에 제2 인터페이스 보드(35)가 체결 고정된다. 상기 제2 인터페이스 보드(35)의 하측면에는 테이프 캐리어 패키지(TCP:Tape Carrier Package)(31)가 부착 고정되어 있다. 상기 프로브(21)의 일단은 상기 TCP(31)에 구현된 패턴과 연결되어 있다.

평판표시소자를 테스트하기 위한 소정의 신호는 신호 발생기로부터 발생하여 소스/게이트 인쇄회로기판(PCB:Printed Circuit Board)(도시되지 않음)을 통해 상기 TCP(31)로 전달된다. 상기 TCP(31)로 전달된 신호는 상기 프로브(21)로 전달되고, 상기 프로브(21)를 통해 평판표시소자의 전극패드(도시되지 않음)에 인가된다.

종래의 프로브 조립체에 의하면, 상기 프로브 블록(20)은 상기 제1 인터페이스 블록(30)의 하측면에 착탈되는 구조를 가지고 있기 때문에, 상기 프로브 조립체의 부품을 분해, 조립, 교체하는데 매우 불편한 문제점이 있었다.

또한, 부품의 분해, 조립등을 위해 상기 베이스 플레이트(11)를 개방하거나 이동하게되면, 프로브 블록(20)의 위치 오차가 발생되는 문제점이 있다.

또한, 최근에 평판표시소자가 고집적화됨에 따라 종래의 프로브 조립체는 평판표시소자의 미세 패턴에 대응이 불가능함과 동시에 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 분해 및 결합이 용이한 프로브 블록을 갖는 프로브 조립체를 제공하는 데 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 프로브 조립체는 피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록, 상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구비된 프로브 블록 및 상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 테스트 블록을 포함한다. 상기 테스트 블록은 상기 프로브에 전기적으로 연결된 테이프 캐리어 패키지(TCP:Tape Carrier Package)를 더 포함한다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 테스트 블록은, 상기 지지 블록의 상기 제1 면과 평행하고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 TCP의 접촉 패드들이 배열된 제1 면을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 지지 블록은, 상기 프로브와 상기 테스트 블록의 TCP와의 전기적 접촉을 견고히 하기 위하여 상기 테스트 블록의 수평도를 조절하며, 상기 지지 블록을 관통하여 형성된 홀에 삽입되어 상기 테스트 블록 과 접촉하는 수평 조정나사를 구비하는 수평 조정부재를 더 포함할 수 있다.

상기 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 프로브 조립체는피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록, 상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구비된 프로브 블록, 및 상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 지지 블록의 상기 제2 면과 평행하고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 TCP의 접촉 패드들이 배열된 제2 면을 갖는 테스트 블록을 포함한다.

상기 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 프로브 조립체는 피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록, 상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구비된 프로브 블록, 및 상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 테스트 블록을 포함하며, 상기 지지 블록은 상기 테스트 블록의 수평도를 조절하기 위한 수평 조정부재를 포함한다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 프로브 조립체의 프로브 블록은 상기 지지 블록의 제2 면에 결합 또는 분해될 수 있다. 즉, 상기 프로브 블록은 상기 지지 블록의 전면에 전착식으로 착탈될 수 있다. 프로브 블록을 상기 제2 면에 대하여 분해할 수 있으므로, 작업자는 평판표시소자와 검사 장치의 베이스 플레이트에 영향을 받지 않고 부품을 용이하게 분해, 결합등을 할 수 있다.

또한, 축소된 프로브를 갖는 프로브 블록을 제공하여 동일 웨이퍼당 생산량을 증가시켜 공정 시간을 단축하고, 원가 절감의 효과를 가져올 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브 조립체에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들 이나 숫자, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 사시도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체(100)는 지지 블록(200), 프로브 블록(300) 및 테스트 블록(400)을 포함한다.

상기 지지 블록(200)은 평판표시소자와 같은 피검체를 향하는 제1 면(201)과 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면(202)을 갖는다. 상기 지지 블록(200)의 제1 면(201)에는 상기 테스트 블록(400)이 결합하고, 상기 제2 면(202)에는 상기 프로브 블록(300)이 결합한다.

상기 테스트 블록(400)은 상기 프로브(310)와 전기적으로 연결되어 상기 프로브(310)로 테스트 신호를 전달한다. 상기 프로브 블록(300)은 상기 제2 면(202)에 형성된 체결공을 통해 상기 지지 블록(200)과 나사 결합할 수 있다. 또한, 상기 프로브(310)는 상기 테스트 블록(400)의 하면에 부착 고정된 TCP(Tape Carrier Package)(410)에 구현된 패턴과 접촉하여 전기적으로 연결된다.

구체적으로, 상기 테스프 블록(400)의 하면에는 TCP(410)가 부착되고, 상기 TCP(410)는 외부에서 인가되는 테스트 신호를 상기 프로브(310)로 전달시킨다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 프로브 조립체(100)는 상기 지지 블록(200)의 상면에 구비되는 보조 테스트 블록(450)을 포함할 수 있다. 상기 보조 테스트 블록(450)은 검사장치의 베이스 플레이트(도시되지 않음) 하부의 소스/게이 트 PCB로부터 상기 테스트 신호를 상기 테스트 블록(400)의 TCP(410)로 전달한다.

구체적으로, 상기 지지 블록(200)의 하면에 결합된 상기 TCP(410)의 일단은 인터페이스 패턴(430)과 연결된다. 상기 인터페이스 패턴(430)은 상기 지지 블록(200)의 상면으로 만곡되어 상기 보조 테스트 블록(450)의 하측면에 고정된다. 상기 소스/게이트 인쇄회로기판(PCB:Printed Circuit Board)의 일단은 상기 지지 블록(200)의 상면에 고정된 인터페이스 패턴(430) 상에 배치되고, 상기 보조 테스트 블록(450)과 상기 지지 블록(200) 사이에 개재된다. 또한, 상기 소스/게이트 PCB의 일단에는 터미널 패턴들이 형성된다.

이 때, 상기 보조 테스트 블록(450)과 상기 지지 블록(200)이 결합함으로써, 상기 보조 테스트 블록(450)과 상기 지지 블록(200)의 결합면 사이에 개재된 상기 인터페이스 패턴(430)과 상기 소스/게이트 PCB의 일단에 형성된 터미널 패턴들은 서로 접촉하여 전기적으로 연결되게 된다.

상기 프로브 블록(300)은 상기 피검체와 접촉하는 프로브(310)를 포함한다. 또한, 상기 프로브 블록(300)은 상기 프로브(310)를 더욱 견고하게 결합시키기 위하여 'ㄷ'자 형상의 결합 지지 부재(320)를 포함할 수 있다. 상기 결합 지지 부재(320)는 상기 프로브(310)를 상기 프로브 블록(300)의 하부에 견고히 결합시킨다.

본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체(100)는 상기 지지 블록(200)을 고정시키는 매뉴플레이터(500)를 포함할 수 있다. 상기 매뉴플레이터(500)의 일단 하부에는 상기 지지 블록(200)이 결합 고정된다. 상기 매뉴플레이터(500)의 타단은 검사장치의 베이스 플레이트에 고정된다.

또한, 상기 매뉴플레이터(500)는 삼각 블록(520)을 포함하고, 상기 매뉴플레이터(500)는 상기 지지 블록(200)의 위치를 조절하기 위한 위치 조정부(510)를 포함할 수 있다. 상기 위치 조정부(510)는 상기 삼각 블록(520)의 일측과 상기 삼각 블록이 결합하는 상기 매뉴플레이터(500)의 일측에 형성된 가이드 레일(도시되지 않음)을 포함하고, 테스트 과정의 상하 물리력에 의해서 상하로 유동이 발생하여 상기 지지 블록(200)의 위치를 조절할 수 있게 된다.

도 4a는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 단면도이다. 도 4b는 도 4a의 프로브 조립체의 일부를 나타내는 사시도이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 상기 프로브 블록(300)의 프로브(310)는 절연판 및 접착체(도시되지 않음) 등에 의해서 상기 프로브 블록(300)의 하부에 적층된 구조로 형성될 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 프로브(310)는 탐침들이 3단으로 적층된 구조를 가질 수 있다. 3단으로 적층된 탐침들은 상기 테스트 블록의 하부면에 결합된 TCP(410)의 접촉패드들(420)과 각각 접촉한다.

이 때, 상기 접촉패드들(420)은 상기 TCP(410)의 일단부에 미세 선폭으로 서로 이격되어 배치된다. 또한, 3단으로 적층된 프로브(310)는 상기 프로브 블록(300)의 경사면에 부착되어 상기 테스트 블록의 제1 면(401)에 대하여 일정한 각도를 가지고 형성될 수 있다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 테스트 블록(400)은 상기 지지 블록의 제1 면과 평행하고 상기 프로브(310)와 전기적으로 연결되어 상기 프로브(310)로 테스트 신호를 전달하는 TCP(410)의 접촉 패드들(420)이 배열된 제1 면(401)을 가질 수 있다.

상기 프로브 블록(300)이 상기 지지 블록(200)과 결합할 때, 상기 프로브들은 상기 접촉 패드들(420)과 접촉하여 전기적으로 연결된다. 이 경우에 있어서, 상기 접촉 패드들(420)은 상기 테스트 블록의 제1 면(401)에 배열되고, 상기 프로브(310)는 상기 제1 면(401)에 대하여 일정한 각도로 상기 접촉 패드들(420)과 접촉하게 된다.

또한, 상기 프로브(310)는 니들형(Needle Type), 블레이드형(Blade Type), 반도체 MEMS 공정기술을 이용한 MEMS형(MEMS Type)일 수 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체를 나타내는 단면도이다. 본 실시예에 따른 프로브 조립체는 접속단자들을 제외하고는 도 4a의 실시예의 프로브 조립체(100)와 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함한다. 따라서, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 조립체(101)의 테스트 블록(400)은 상기 지지 블록(200)의 제2 면과 평행하고, 상기 프로브(310)와 전기적으로 연결되어 상기 프로브(310)로 테스트 신호를 전달하는 TCP(410)의 접촉 패드들(420)이 배열된 제2 면(402)을 가질 수 있다.

상기 프로브 블록(300)이 상기 지지 블록(200)과 결합할 때, 상기 프로 브(310)들은 상기 접촉 패드들(420)과 접촉하여 전기적으로 연결된다. 이 경우에 있어서, 상기 접촉 패드들(420)은 상기 테스트 블록의 제2 면(402)에 배열되고, 상기 프로브(310)는 상기 테스트 블록의 제2 면(402)에 대하여 일정한 각도로 상기 접촉 패드들(420)과 접촉하게 된다.

본 발명에 따르면, 상기 프로브 블록(300)은 상기 지지 블록(200)의 제2 면(202)과 결합 또는 분리될 수 있다. 테스트 과정에서 손상된 프로브(310)를 교체하는 경우, 상기 프로브 블록(300)은 상기 지지 블록(200)의 제2 면(202)에 대하여 체결 고정되고, 상기 프로브(310)는 상기 테스트 블록(400)의 TCP(410)와 일정한 각도를 이루거나, 수직 방향으로 접촉하여 연결될 수 있다.

그러므로, 상기 프로브(310)는 TCP의 접촉 패드들(420)과 견고한 접촉을 위하여 선택된 각도로 상기 테스트 블록(400)의 접촉패드들(420)과 접촉함으로써, 상기 프로브(310)와 TCP(410)와의 연결에 따른 오차를 줄이고 보다 견고하게 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있게 된다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 프로브 블록(300)을 상기 지지 블록(200)에 전착식으로 착탈함으로써, 상기 프로브 블록(300)을 소형으로 제작할 수 있게 된다. 즉, 프로브의 길이를 축소하여 생산할 수 있게 됨으로써, 한 웨이퍼당 다이의 생산량을 증가시킬 수 있게 된다.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 발명에 따른 프로브 조립체의 지지 블 록(200)은 상기 테스트 블록(400)의 수평도를 조절하기 위한 수평 조정부재(210)를 포함할 수 있다. 상기 수평 조정부재(210)는 상기 지지 블록(200)을 관통하여 형성된 홀(211)에 삽입되는 복수의 수평 조정나사(213)를 포함할 수 있다. 상기 조정나사(213)는 상기 홀(211)에 삽입되어 상기 테스트 블록(400)과 접촉하고, 상기 조정나사(213)의 회전에 의하여 상기 테스트 블록(400)을 하강시키거나 상승시켜 상기 테스트 블록(400)의 좌우 치우침을 조절할 수 있게 된다.

본 발명의 일실시예에 따르면, 상기 조정나사(213)의 일단부는 상기 테스트 블록(400)에 형성된 나사홈(413)과 결합할 수 있다. 이에 따라, 상기 조정나사(213)를 회전시킴으로써, 상기 테스트 블록(400)은 상승 또는 하강하게 된다.

구체적으로, 도 6a에 도시된 바와 같이 테스트 블록(400)이 피검체를 향하는 면에 대하여 일정한 각도로 기울어진 경우, 테스트 블록(400)에 결합된 TCP의 접촉 패드들(420)의 일부는 상기 프로브(310)와 접촉하지 않게 된다. 이 때, 상기 조정나사(213)를 회전시켜 상기 테스트 블록(400)을 피검체를 향하는 면에 대하여 평행하도록 조절하게 되면, 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 TCP의 모든 접촉 패드들(420)은 상기 프로브와 접촉하게 된다.

이에 따라, 테스트 블록(400)의 수평도가 조절되어, 테스트 블록(400)에 결합된 TCP(410)의 접촉 패드들(420)들과 프로브 블록(300)의 프로브(310)와의 균일한 접촉이 가능하게 된다.

도 7을 참조하면, 상기 프로브 블록(300), 상기 지지 블록(200) 및 상기 테 스트 블록(400)은 일체로 형성되어 상기 매뉴플레이터(500)와 결합할 수 있다. 상기 TCP(410)의 일단은 인터페이스 패턴(430)과 연결되고, 소스/게이트 PCB의 일단은 상기 인터페이스 패턴(430)과 연결될 수 있다.

따라서, 상기 프로브 블록(300) 및 상기 테스트 블록(400)이 일체로 형성되고, 피검체의 전극패드의 간격에 따라 다양한 프로브 간격을 갖도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 일체로 형성된 상기 프로브 블록(300) 및 상기 테스트 블록(400)은 상기 매뉴플레이트(500)와 결합 또는 분리될 수 있으므로, 피검체의 전극패드의 간격에 따라, 상기 부품들을 교체할 수 있게되어 호환성을 향상시킬 수 있다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 조립체(600)는 매뉴플레이터(700)에 구비되어, 프로브 블록(800)을 지지 블록(900)에 착탈 가능하게 결합시키기 위한 클램프(710)를 포함할 수 있다. 상기 클램프(710)의 동작에 의해 상기 프로브 블록(800)은 상기 지지 블록(900)에 착탈될 수 있다. 따라서, 나사 결합 없이 간단하게 상기 프로브 블록(800)을 착탈할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 조립체의 프로브 블록은 상기 지지 블록의 제2 면에 결합 또는 분해될 수 있다. 즉, 상기 프로브 블록은 상기 지지 블록의 전면에 전착식으로 착탈될 수 있다. 프로브 블록을 제2 면에 대하여 분해할 수 있으므로, 작업자는 평판표시소자와 검사 장치의 베이스 플 레이트에 영향을 받지 않고 부품을 용이하게 교체, 수리 등을 할 수 있다.

또한, 전착식으로 착탈할 수 있는 프로브 블록을 소형으로 제작할 수 있게 됨으로써, 한 웨이퍼당 축소된 프로브의 생산량을 증가시킬 수 있다. 따라서, 공정시간이 단축되고, 공정비 단축 및 원가 절감의 효과를 가져올 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록;

상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구비된 프로브 블록; 및

상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 테스트 블록을 포함하는 프로브 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 테스트 블록은 상기 프로브에 전기적으로 연결된 테이프 캐리어 패키지(TCP:Tape Carrier Package)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 지지 블록의 상면에 구비되어, 상기 테스트 블록으로 상기 테스트 신호를 전달하기 위한 보조 테스트 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 프로브 블록은 상기 제2 면에 형성된 체결공을 통해 상기 지지 블록과 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 테스트 블록은, 상기 지지 블록의 상기 제1 면과 평행하고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 TCP의 접촉 패드들이 배열된 제1 면을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 지지 블록은, 상기 프로브와 상기 테스트 블록의 TCP와의 전기적 접촉을 견고히 하기 위하여 상기 테스트 블록의 수평도를 조절하며, 상기 지지 블록을 관통하여 형성된 홀에 삽입되어 상기 테스트 블록과 접촉하는 수평 조정나사를 구비하는 수평 조정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제 1 항에 있어서, 상기 지지 블록을 고정시키는 매뉴플레이터, 및 상기 매뉴플레이터에 구비되어, 상기 프로브 블록을 상기 지지 블록에 착탈 가능하게 결합시키기 위한 클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제 1 항에 있어서, 상기 프로브 블록, 상기 지지 블록 및 상기 테스트 블록은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록;

상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구 비된 프로브 블록; 및

상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 지지 블록의 상기 제2 면과 평행하고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 TCP의 접촉 패드들이 배열된 제2 면을 갖는 테스트 블록을 포함하는 프로브 조립체.
피검체를 향하는 제1 면과, 상기 제1 면과 직교를 이루는 제2 면을 갖는 지지 블록;

상기 지지 블록의 제2 면에 결합되고, 상기 피검체와 접촉하는 프로브가 구비된 프로브 블록; 및

상기 지지 블록의 제1 면에 결합되고, 상기 프로브와 전기적으로 연결되어 상기 프로브로 테스트 신호를 전달하는 테스트 블록을 포함하며,

상기 지지 블록은 상기 테스트 블록의 수평도를 조절하기 위한 수평 조정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.
제 10항에 있어서, 상기 수평 조정부재는 상기 지지 블록을 관통하여 형성된 홀에 삽입되어 상기 테스트 블록과 접촉하는 수평 조정나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 조립체.