JPH0782032B2 - 表示パネル用プローブとその組み立て方法 - Google Patents

表示パネル用プローブとその組み立て方法

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JPH0782032B2
JPH0782032B2 JP2014168A JP1416890A JPH0782032B2 JP H0782032 B2 JPH0782032 B2 JP H0782032B2 JP 2014168 A JP2014168 A JP 2014168A JP 1416890 A JP1416890 A JP 1416890A JP H0782032 B2 JPH0782032 B2 JP H0782032B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、表示パネル用プローブに関し、例えば大型
の液晶(以下、単にLCDという場合がある)表示パネル
に用いられるプローブに利用して有効な技術に関するも
のである。
〔従来の技術〕
液晶表示パネル用プローバとして、例えば特開昭61−70
579号公報がある。このプローバは、表示パネルの載置
台に対してX軸ステージにより表示パネルのX軸に沿っ
て平行移動するXプローブヘッドと、Y軸ステージによ
り表示パネルのY軸に沿って平行移動するYプローブヘ
ッドとともに、表示パネルのX軸及びY軸に沿って平行
移動するXYステージにより表示パネルの任意の位置に接
触する第3のプローブヘッドを設けるものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記の表示パネル用プローバでは、アクティブマトリッ
クス方式の液晶表示パネルの場合、各画素毎に対して逐
一チェックを行うものである。このため、液相表示パネ
ルの大画面、言い換えるならば、多画素化に伴い試験時
間が膨大になるという問題がある。
この発明の目的は、試験時間の大幅短縮化を実現した表
示パネル用プローブを提供することにある。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
〔課題を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、表
示パネルの電極と同一ピッチに配列された複数のプロー
ブを持つプローブアッセンブリを単位として、複数から
なるプローブアッセンブリを取付板を介して一体的に取
り付けて表示パネルの全電極に対して同時に電気的接触
を得るようにするととも、上記個々のプローブアッセン
ブリのプローブ先端位置を調整可能にするマニピュレー
タを設ける。
〔作 用〕
上記した手段によれば、表示パネルの大画面化に伴う電
極の増大に対して、比較的少ない数のプローブが取り付
けられたプローブアッセンブリの組み合わせにより対処
できるから、試験時間の短縮化が図られるとともにその
組立や補修等が簡単に行える。
〔実施例〕
第1図には、この発明に係る表示パネル用プローブの一
実施例の平面図が示されている。
この実施例では、試験時間の短縮化等のために液晶表示
(以下、単にLCDという)パネルの全電極に対して同時
接触を行うようにする。このようにLCDパネルの全電極
に対して同時接触を行うようにする場合、LCDパネルに
全電極に対応して設けらるプローブの数が膨大となり、
その取り付け作業が難しく、かつ、煩わしいものとな
る。
この実施例では、LCDパネルの持つ電極に対して比較的
少ない数からなる複数のプローブが固定的に設けられる
プローブアッセンブリユニットを用いる。すなわち、上
記LCDパネルを持つ多数の電極に対して分担させて上記
各プローブアッセンブリユニットを割り当てるようにす
る。特に制限されないが、この実施例では、LCDパネル
を横方向に走るように配置される走査線に対応した電極
を3分割して、3つからなるプローブアッセンブリユニ
ットを設ける。また、LCDパネルを縦方向に走るように
配置される信号線に対応した電極を4分割して、4つか
らなるプローブアッセンブリユニットを設ける。この場
合、LCDパネルの長手方向に配置される4つのプローブ
アッセンブリユニットは、同一の信号線の両端に対して
電気的接触を行うようにするものである。このようにプ
ローブを配置したときには、両端での導通チェックによ
り、信号線電極の途中断線を簡単に検出することが可能
となる。
上記のように同一の信号線の両端にプローブを割り当て
るものの他、LCDパネルの信号線電極を奇数番目と偶数
番目のものに分割し、例えば上側のプローブアッセンブ
リユニットは1つおきに奇数番目の信号線電極に接続
し、下側のプローブアッセンブリユニットは、1つおき
に偶数番目の信号線電極に接続するようにしてもよい。
この場合は、プローブの数を半分にでき、かつそのピッ
チを信号線電極のピッチの2倍に大きくすることができ
る。その反面、上記信号線に画素信号を供給し、画素の
明点検査や暗点検査により間接的に信号線の断線等を検
出するものとなる。
このことは、LCDパネルの横方向に延長されるよう配置
される走査線電極に対応して、左右に3個ずつ設けられ
るプローブアッセンブリユニットにおいても同様であ
る。
LCDパネルの4つの各辺に対応して設けられる各プロー
ブアッセンブリユニットは、同図に点線で示したタブ取
付基板によりそれぞれ共通に結合され、このタブ取付基
板を取付板に取り付けることによって、LCDパネルの全
電極に同時接触するプローブボードが構成される。
第2図には、プローブアッセンブリユニットの一実施例
の断面図が示されている。
複数のプローブは、その先端が測定すべきLCDパネルの
電極のピッチに対応して位置合わせされ、その状態を維
持するよう支持体とプローブ押さえにより挟まれて固定
される。プローブ押さえは、特に制限されないが、熱硬
化性を持つ接着剤により構成される。半導体ウェハ用の
固定プローブボードと同様な技術を用いて上記プローブ
の先端を揃えておき、その状態で支持体とプローブ押さ
えにより複数のプローブを固定する。このように形成さ
れた複数のプローブは、その先端が正しく位置合わせさ
れた関係で固定される。
このように複数のプローブを固定する支持体は、プロー
ブ取付体に接着される。プローブ取付体は、特に制限さ
れないが、表面が酸化処理されることにより、電気絶縁
性を持つようにされたアルミュニウムから構成される。
プローブの接続端側は、特に制限されないが、フレキシ
ブル配線基板の接続端に接続される。このフレキシブル
配線基板は、その一端側が上記プローブ取付体に接着さ
れ、その配線がプローブの接続端側と半田等により接続
される。
タブ(TAB;Tape Automated Bonding)は、上記タブ取付
基板に取り付けられる。すなわち、前記実施例のように
LCDパネルの信号線に対して4つのプローブアッセンブ
リユニットを設ける場合には、4つのプローブアッセン
ブリユニットに対応した4つのダブが取り付けられる。
各タブには、ドライブ用ICが実装される。上記プローブ
が一端側に取り付けられたフレキシブル配線基板の他端
側は、上記タブに設けられる配線と半田を用いた熱圧着
又は適当な治具により電気的い接続される。
上記タブ取付基板の上面側には、各プローブアッセンブ
リユニットに対応して設けられるアッセンブリ取付板が
設けられる。このアッセンブリ取付板は、上記タブ取付
基板側と各プローブ取付体とを一時的に結合させるため
に用いられる。例えば、上記タブ取付基板により4個の
プローブ取付体が上記アッセンブリ取付板を介して一体
的に構成される。このとき、タブ取付基板とアッセンブ
リ取付板とは、取付ネジにより固定され、アッセンブリ
取付板とプローブ取付体とは、プローブ郡取付ネジによ
り仮止される。例えば、適当な位置合わせ治具を用い、
4個からなるプローブ取付体のプローブの先端が、LCD
パネルの信号線電極に合うようにし、上記プローブ郡取
付ネジにより仮止する。
第3図には、上記プローブアッセンブリユニットが取付
板に取り付けられた状態の一実施例の断面図が示されて
いる。
上記のように仮止されたプローブアッセンブリユニット
は、ネジAにより取付板に取り付けられる。そして、取
付板の上面側に固定的に搭載されたマニピュレータのア
ームが取付板の開口部を通して下側に延び、プローブ取
付体のネジ穴とネジBにより固定される。その後、アー
ムに設けられた貫通穴を通して上記仮止されたプローブ
郡取付ネジが取り除かれる。このため、プローブ取付体
は、アッセンブリ取付板から解放され、マニピュレータ
のアームの動きに従い、X,Y,Z及びθ方向の微調整され
る。これは、上記タブ取付基板により各辺に対応したプ
ローブ郡のプローブ先端は、上記のように位置合わせさ
れているが、それを1つの取付体に共通に取り付けたと
きの相互の位置ずれを上記マニピュレータの調整により
補正するものである。このプローブ先端の補正は、第1
図に示すように、LCDパネルの各電極に各プローブアッ
センブリユニットとプローブ先端が合うよう、各プロー
ブアッセンブリユニット毎に行うものである。このと
き、取付板に対してネジAにより固定的にアッセンブリ
取付板、タブ取付基板及びタブが取り付けられている
が、タブとプローブ取付体とはフレキシブル配線基板に
より接続されている。これにより、上記プローブ取付体
はマニピュレータのアームのきに応じて自由に位置調整
される。
なお、上記のように4個からなるタブ取付基板を1つの
取付板に取り付けるとき、専用の調整治具を用いて全ピ
ンのプローブの先端が基準面に合うように予め調整する
ことにより、取付板に取り付けてからマニピュレータに
よる調整を大幅に省略化することができる。
第4図には、上記プローブ取付体の一実施例の斜視図が
示されている。
第2図及び第3図では省略されいるが、プローブは支持
体とプローブ押さえにより挟まれて固定支持される。そ
して、フレキシブル配線基板は、プローブが設けられる
下面側に接着され、その下面に設けられる配線パターン
と上記プローブの接続端側が半田等により固定される。
プローブ取付体の上面側における段差が設けられること
により高くされた先端部に設けられた2つのネジ穴は、
上記マニピュレータのアームと結合させるときに用いら
れるものであり、上記段差により低くされ、アッセンブ
リ取付板に対応した部分に設けられる1つのネジ穴は、
アッセンブリ取付板に対して仮止に用いられるプローブ
郡取付ネジに用いられる。
上記実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 (1)表示パネルの電極と同一ピッチに配列された複数
のプローブ持つプローブアッセンブリを単位として、複
数からなるプローブアッセンブリを取付板を介して一体
的に取り付けて表示パネルの全電極に対して同時に電気
的接触を得るようにするとともに、上記個々のプローブ
アッセンブリのプローブ先端位置を調整可能にするマニ
ピュレータを設けることにより、表示パネルの大画面化
に伴う電極の増大に対して、比較的少ない数のプローブ
が取り付けられたプローブアッセンブリの組み合わせに
より対処できるから、その組立が簡単に行えるという効
果が得られる。
(2)細い線条からなるプローブ(針)を用いて電気的
接触を得るものであるため、LCDパネルの電極と接触す
るときプローブの先端がバネ性を持って電極表面を水平
方向に滑って、電極表面の酸化膜やゴミを除去するの
で、良好な電気的接触を得ることができるという効果が
得られる。
(3)上記(1)により、LCDパネルの全電極に同時接
触が可能になるから、試験時間の短縮化を可能になると
いう効果が得られる。
(4)個々のプローブアッセンブリユニットは、脱着が
容易なので、一部のプローブアッセンブリユニットの交
換を容易に行うことができる。これにより、1つのプロ
ーブが折れ曲がる等の不具合のために全部を廃棄してし
まう等のムダを省くことができる。
(5)上記(1)により、電極のピッチが同じでサイズ
が異なるLCDパネルに対して、共通のプローブアッセン
ブリユニットを用いることができる。これにより、LCD
パネル用プローブに汎用性を持たせることができるとう
効果が得られる。
(6)複数のプローブアッセンブリユニットが1つの取
付板に取り付けられるが、上記共通の取付板に取り付け
る前に、専用の調整治具を用いて全ピンのプローブの先
端を基準面に対して予め調整することにより、取付板に
取り付けてからマニピュレータによる調整を大幅に省略
化することができるとうい効果が得られる。
(7)タブにドライブICを搭載するものであるため、テ
スター側との間のケーブルを少なくすることができ、1
つのテスターにより多数のLCDパネルを並列的に試験す
ることが簡単になるという効果が得られる。
以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具体
例に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、プローブアッセ
ンブリユニットの数は、検査を行うべきLCDパネルの大
きさに対応して区々となるものである。例えば、ラップ
トップ型マイクロコンピュータ用のLCDパネルでは、縦
横の比がカラーテレビジョンのように3対4にされるも
のではなく、10対4のように任意に設定される。それ
故、プローブアッセンブリユニットの数も信号線に対応
して10個設け、走査線に対応して4個設ける等のように
種々の実施形態を採ることができる。LCDパネルの全電
極に対応して上記プローブアッセンブリユニットを複数
個一体的に取り付けるための各部材の構成は、種々の実
施形態を採ることができる。例えば、タブ取付基板とア
ッセンブリ取付板とを一体的に構成するものであっても
よい。
この発明は、LCDパネル等のようなパネル形態の各種表
示装置の試験を行うプローブとして広く利用することが
できる。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、表示パネルの電極と同一ピッチに配列さ
れた複数のプローブを持つプローブアッセンブリを単位
として、複数からなるプローブアッセンブリを取付板を
介して一体的に取り付けて表示パネルの全電極に対して
同時に電気的接触を得るようにするとともに、上記個々
のプローブアッセンブリのプローブ先端位置を調整可能
にするマニピュレータを設けることにより、表示パネル
の大画面化に伴う電極の増大に対して、比較的少ない数
のプローブが取り付けられたプローブアッセンブリの組
み合わせにより対処できるから、その組立が簡単に行え
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明に係る表示パネル用プローブの一実
施例を示す平面図、 第2図は、プローブアッセンブリユニットの一実施例を
示す断面図、 第3図は、上記プローブアッセンブリユニットが取付板
に取り付けられた状態の一実施例を示す断面図、 第4図は、上記プローブ取付体の一実施例を示す斜視図
である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】表示パネルの電極と同一ピッチに配列され
    た複数のプローブを持つプローブアッセンブリと、上記
    プローブアッセンブリの複数個が一体的に取り付けられ
    て表示パネルの全電極に対して同時に電気的接触を得る
    ようにする取付板とを備え、上記プローブアッセンブリ
    は、複数のプローブが固定的に取り付けられるプローブ
    取付体と、上記プローブ取付体のプローブの固定側に一
    端が接続されたフレキシブル配線基板と、上記フレキシ
    ブル配線基板の他端側が接続され上記表示パネルを駆動
    するドライブICが搭載されたタブと、上記プローブ取付
    体が一時的に取り付けられるタブ取付基板と、上記タブ
    取付基板が上記取付板に取り付けられた後にそのアーム
    がプローブ取付体に取り付けられてプローブ先端位置を
    調整可能にするマニピュレータとからなることを特徴と
    する表示パネル用プロープ。
  2. 【請求項2】表示パネルの電極と同一ピッチに配列され
    た複数のプローブを持つプローブアッセンブリと、上記
    プローブアッセンブリの複数個が一体的に取り付けられ
    て表示パネルの全電極に対して同時に電気的接触を得る
    ようにする取付板とを備え、上記プローブアッセンブリ
    が複数のプローブが固定的に取り付けられるプローブ取
    付体と、上記プローブ取付体のプローブの固定側に一端
    が接続されたフレキシブル配線基板と、上記フレキシブ
    ル配線基板の他端側が接続され上記表示パネルを駆動す
    るドライブICが搭載されたタブと、上記プローブ取付体
    が一時的に取り付けられるタブ取付基板と、上記タブ取
    付基板が上記取付板に取り付けられた後にそのアームが
    プローブ取付体に取り付けられてプローブ先端位置を調
    整可能にするマニピュレータとからなる表示パネル用プ
    ロープの組み立て方法において、上記表示パネルの1つ
    の辺に対応した1ないし複数からなるプローブアッセン
    ブリユニットを位置合わせ治具によりそれぞれのプロー
    ブの先端を位置合わせした状態で上記アッセンブリ取付
    板を介してタブ取付基板とプローブ取付体とを一時的に
    結合させた状態で表示パネルの全電極に対応した複数か
    らなるプローブアッセンブリを上記取付板に取り付け、
    個々のプローブ取付体を対応するマニピュレータのアー
    ムに取り付けた後にプローブ取付体とアッセンブリ取付
    板との結合を解除してなることを特徴とする表示パネル
    用プローブの組み立て方法。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0421973U (ja) * 1990-06-14 1992-02-24
JPH05273236A (ja) * 1992-03-24 1993-10-22 Nippon Maikuronikusu:Kk プローブ組立体
JP2615381B2 (ja) * 1992-10-12 1997-05-28 株式会社神戸製鋼所 プローブユニットの製造方法
JP2627393B2 (ja) * 1993-04-13 1997-07-02 株式会社日本マイクロニクス 表示パネル用プローバ
US5378889A (en) * 1993-09-23 1995-01-03 California Lightwave Laboratories, Inc. Method and apparatus for detecting hydrocarbon fuels in a vapor state with an absorber-expander member
US7215131B1 (en) * 1999-06-07 2007-05-08 Formfactor, Inc. Segmented contactor
JP4790997B2 (ja) * 2004-03-26 2011-10-12 株式会社日本マイクロニクス プローブ装置
JP4634059B2 (ja) * 2004-03-26 2011-02-16 株式会社日本マイクロニクス プローブ組立体
JP4903624B2 (ja) * 2007-04-17 2012-03-28 株式会社日本マイクロニクス プローブユニット及び検査装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5623470U (ja) * 1979-07-31 1981-03-03

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