JPH02216466A - 検査用プローブカードおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の目的） （産業上の利用分野） 、本発明は、液晶表示器の製造工程等での電気的検査に
用いる検査用プローブカー、ド、およびその製造方法に
関する。

（従来の技術） ワープロ、パソコン等の電気機器においては液晶表示器
が多く用いられているが、この液晶表示器の性能向上と
して、大画面化と表示の微細化がある。

このような液晶表示器は、一般に、表示画面である表示
パネルと、これを駆動する駆動回路基板とで構成されて
いる。そして、表示パネルは、多数の画素で構成される
画１面であるが、その画面の周辺には上記画素を駆動す
るための多数の引き出し電極（外部電極）が−列状に設
けられている。

液晶表示器の製造工程では、上記表示パネルの各引き出
し電極にプロービング針を当てながら駆動回路からの制
御で点灯表示し、不良品を排除して良品のみを上記駆動
回路基板と接続し、組立を行なう。また、表示パネル自
身の製造においても、ガラス基板上の配線パターンの上
記引き出し電極や検査電極にプロービング針をプロービ
ングし、配線のオープン・ショートの検査を行なう。

このような検査において、１５０１Ｊａ程度の微細ピッ
チで数百本、−列状に並んだ電極にプロービングするた
めの従来の検査用プローブカードは、たとえば、第７図
に示すように、多層のプリント配線基板１ａ、　１ｂ、
　１ｃの各層の配線パターンにプロービング針２ａ、　
２ｂ、　２ｃを直接はんだ付けしている。

たとえば、第８図のように、プリント配線基板１Ｃに形
成された接続孔３にプロービング針２０の基部を挿入し
、先端の位置合せを行なった後、はんだ付け４をして固
定する。そして、各プロービング針２ａ、　２ｂ、　２
ｃは、プリント配ｔｌＡ基板１ａに固定された保持体５
に、微妙な先端の位置合ぜの手修正を行ないながら接着
剤で固定する。

（発明が解決しようとする課題） 上記のような微細ピッチの検査用プローブカードにおい
ては、各プロービング針の先端の３次元の位置を合せな
がら、はんだ付けや保持体への固定を行なうため、大き
な労力が必要であり、かつ、きわめて高価となる。また
、使用上の不注意による破損や摩耗により、プローブカ
ードの取換え等も多いため、その製作費が大きな間かと
なる。

さらに、プロービング釧の位置精度上でも問題があり、
かつ、プリント配線基板そのもののそりや剛性により、
プロービング剣の先端の位ｎ精度を確保することがむず
かしい。

本発明は、上記のような課題を解決しようとするもので
、プロービング針の位置決めを容易として、その先端の
位置精度の向上を泪るとと６に、低価格化することを目
的とするものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） ａ請求項１の発明による検査用プローブカードは、支持
プレートと、この支持プレートの端部に固定され被測定
物のプロービングピッチに対応して多数の保持溝が刻設
された絶縁性の保持体と、この保持体の各保持溝に嵌着
固定されたプロービング針と、上記支持プレート１に固
定されかつ上記各プロービング針に接続した信号入出力
用配線基板とを備えたものである。

請求項２の発明による検査用プローブカードの製造方法
は、支持プレートの端部に固定づ゛る絶縁性の保持体に
、被測定物のプロービングピッチに対応して多数の保持
溝を刻設し、この保持体の各保持溝にプロービング針の
基部を嵌着固定し、この各プロービング針のり部の端面
と、上記支持プレート上に固定した信号入出力用配線基
板の配線パターンとをワイヤによって接続するものであ
る。

（作用） 請求項１の発明では、保持体の高精度に加工した保持溝
と、同じく高精度に加工したプロービング針とを組合せ
ることにより、保持ｉカにプロービング針を嵌合するの
みで、プロービング針の位置決めがほとんどでき、プロ
ービング針の位置決め精度を高く保持して取付けること
ができる。

また、請求項２の発明では、保持体に配設した各プロー
ビング針と、支持プレートに設けた信号入出力用配線基
板の各引き出し用の配線パターンとをワイヤボンディン
グにより接続することにより、保持体および各プロービ
ング組とで構成されるプロービング針ユニットと、信号
入出力用配線基板とを別個に形成して製作し、各プロー
ビング針を引き出し用の配線パターンに高精度で接続で
きるとともに、製作が容易となる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照しで説明する。

第１図および第２図において、１１は例えば絶縁材から
なる支持プレートで、この支持プレート１１の一側端部
の傾斜面に、セラミック、サファイヤ等の＠！質の絶縁
材からなる断面菱形状の細長い保持体１２が接着固定さ
れ、この保持体１２の外側の傾斜面に、被測定物のプロ
ーピング電極ピッチと同じピッチで多数の保持溝１３が
平行に刻設されている。

１４は導電材からなる直線状のプロービング針で、この
プロービング針１４は、上記保持体１２の保持溝１３の
幅と同径にかつ真直に高精度に仕上げられ、その先端１
５は円錐状をなすとともに、基部の端面１６は平面研磨
加工等で平面に加工された上、金（八ｕ）、アルミニウ
ム（Ｍ）等のメツキが施されている。そして、上記保持
体１２の各保持溝１３に各プロービング針１４の基部が
嵌着されて、第３図のように接着剤１７によって固定さ
れている。

上記支持プレート１１の上面にプリント配線基板等から
なる信号入出力用配線基板１８が固定され、この信号入
出力用配ｍ基板１８にはプロービング信号入出力の引き
出し用の配線パターン１９が形成され、この冬用き出し
用の配線パターン１９の上記保持体１２に隣接した一側
端部にワイヤボンディング用の電極バット２０が設けら
れ、この電極バット２０上には金（八〇）、アルミニウ
ム（ＡＩ）等のメツキが施されている。

そして、上記各１０−ピング針１４の基部の端面１６と
、信号入出ツノ用配線基板１８の各電極バット２０とが
柔軟なマイクロワイヤ２１によるワイヤボンディングに
よってそれぞれ結線されている。

なお、上記信号入出力用配線基板１Ｂとしては、プリン
ト配Ｓ基板の外、セラミック板またはガラス板上に導電
性簿膜で必要な配線パターンを形成したセラミック配４
Ｉ塁板、ガラス配線基板等を用いてもよい。また、この
場合、第４図に示すように、配線パターン１９の一側端
部には電極バット２０を所定ピッチで密に設けるととも
に、他側端部における外部配線用の接続Ｔｉｉ　２０ａ
のピッチは粗く設定する。

また、この検査用プローブカードの製造にあたっては、
支持プレート１１上に信号入出力用配線基板１８を固定
するとともに、支持プレート１１の一側端部に、多数の
保持溝１３を刻設した絶縁性の保持体１２を接着固定し
、この保持体１２の各保持溝１３にプロービング針１４
の基部を嵌着して接着剤１７により固定する。ついで、
このプロービング針１４の基部の端面１６を支持プレー
ト１１面と平行に平面加工した上、その端面１６をメツ
キする。そして、各プロービング針１４の基部の端面１
６と、上記支持プレート１１上の信号入出力用配線基板
１８の配線パターン１９における電極バット２０とをワ
イヤ２１によって接続する。この際、場合によっては、
支持プレート１１上に信号入出力用配線基板１８を固定
する一方、保持体１２にプロービング針１４を固定し、
ついで、支持プレート１１にプロービング針１４を右す
る保持体１２を固定して、各プロービング針１４と信号
入出力用配線基板１８の配線パターン１９とをワイヤ２
１によって接続してもよい。

また、第５図に示すように、上記信号入出力用配線基板
基板１８の冬用き出し用の配線パターン１９と外部配Ｉ
’１基板２２とを引き出し用フレキシブル配線板２３に
よりはんだ付け２４．２５等によって、あるいは、異方
性導電膜により接続する。上記外部配線基板２２は、液
晶用駆動回路基板、オープン・ショートテスト用の検出
基板等である。

そうして、液晶表示器の表示パネル等の検査にあたって
は、第５図のように、被測定物２６に対し支持プレート
１１を平行に配置し、各プロービング針１４の先端１５
を被測定物２６の一列状に並んだ冬用ぎ出し電極または
検査電極に接触させる。この際、被測定物２６に対して
支持プレート１１を平行に配置することにより、各プロ
ービング針１４は被測定物２６の測定面に対し所定の角
度で接触する。

この状態で、外部配線基板２２を駆動し、被測定物２６
の点灯検査、オーブン・ショート検査等を行なう。

上記の検査用プローブカードの製作にあたっては、保持
体１２の高精度に加工した保持溝１３と、同じく高精度
に加工した直線状のプロービング針１４とを組合せるこ
とにより、保持溝１３にプロービング針１４を嵌合する
のみで、プロービング針１４の位置決めがほとんどでき
、したがって、プロービング針１４の位置決め精度を高
く保持することができる。また、保持体１２に配設した
各ブローピング針１４と、支持プレート１１に設けた信
号入出力用配線基板１８の冬用き出し用の配線パターン
１９とをワイヤボンディングにより接続することにより
、保持体１２および各プロービング針１４とで構成され
るプロービング針ユニットと、信号入出力用配置！１ｉ
ｉＷ板１８とを別個に形成して製作することができ、各
プロービング針１４を引き出し用の配線パターン１９に
高精度で接続できるとともに、製作が容易で、安価にで
きる。

上記実施例では、直線状のプロービング針１４を用いて
いるが、適当な保持治具を用いれば、第６図のように、
折曲げ形のプロービング針１４を用いてもよい。また、
保持体１２は断面菱形でなくてもよく、第６図のように
、プロービング針１４を取付１プる外側面のみを傾斜面
としたもの等、適宜な断面形状に形成することができる
。

なお、検査対象物としては、液晶表示器等のほか、感熱
ヘッド等の一列配線をもった製品の検査にも広く用いる
ことができる。

〔発明の効果） 本発明によれば、保持体の高精度に加工した保持溝と、
同じく高精度に加工したプロービング針とを組合せるこ
とにより、保持溝にプロービング針を嵌合するのみで、
プロービング針の位置決めがほとんどでき、したがって
、プロービング針の位置決め精度を高く保持しつつ容易
に取付けることができる。

また、保持体に配設した各プロービング針と、支持プレ
ートに設けた信号入出力用配線を４板の冬用ぎ出し配線
パターンとを゛ワイヤボンディングにより接続すること
により、保持体および各プロービング針とで構成される
プロービング２１ユニツｌ〜と、信号入出力用配線基板
とを別個に形成して製作することができ、各プロービン
グ針を引き出し配線パターンに高粘度で接続できるとと
もに、製作が容易で、安価にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の検査用プローブシードの一実施例を示
す斜視図、第２図はその一部の拡大斜視図、第３図は第
１図■−■部の断面図、第４図は信号入出力用配線基板
の一部の平面図、第５図は使用状態を示す側面図、第６
図は他の実施例を示す側面図、第７図は従来の検査用プ
ローブカードの一部を示す側面図、第８図はその一部の
拡大断面図である。 １１・・支持プレート、１２・・保持体、１３・・保持
溝、１４・・プロービング針、１Ｇ・・端面、１８・・
信号入出力用配線基板、１９・・配線パターン、２１・
・ワイヤ、２６・・被測定物。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）支持プレートと、 この支持プレートの端部に固定され被測定物のプロービ
   ングピッチに対応して多数の保持溝が刻設された絶縁性
   の保持体と、 この保持体の各保持溝に嵌着固定されたプロービング針
   と、 上記支持プレート上に固定されかつ上記各プロービング
   針に接続した信号入出力用配線基板と、を備えたことを
   特徴とする検査用プローブカード。
2. （２）支持プレートの端部に固定する絶縁性の保持体に
   、被測定物のプロービングピッチに対応して多数の保持
   溝を刻設し、 この保持体の各保持溝にプロービング針の基部を嵌着固
   定し、 この各プロービング針の基部の端面と、上記支持プレー
   ト上に固定した信号入出力用配線基板の配線パターンと
   をワイヤによつて接続することを特徴とする検査用プロ
   ーブカードの製造方法。