JP2001318116A - 表示用パネル基板の検査装置 - Google Patents
表示用パネル基板の検査装置Info
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- JP2001318116A JP2001318116A JP2000138494A JP2000138494A JP2001318116A JP 2001318116 A JP2001318116 A JP 2001318116A JP 2000138494 A JP2000138494 A JP 2000138494A JP 2000138494 A JP2000138494 A JP 2000138494A JP 2001318116 A JP2001318116 A JP 2001318116A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 表示用パネル基板とプローブユニットと
を複雑に移動させることなく、短時間で実行し得るよう
にすること 【解決手段】 検査装置は、複数の表示パネル部を互い
に交差する第１及び第２の方向に列の形に有する複数個
取りの表示用パネル基板の検査に用いられる。検査装置
は、ワークテーブルに受けられたパネル基板の電極部に
当接される複数の接触子であって前記第1の方向に整列
する少なくとも一列分の表示パネル部に設けられた電極
部に個々に対応された複数の接触子を有するプローブユ
ニットを用い、プローブユニットとワークテーブルとを
第２の方向へ相対的に移動させることにより、少なくと
も一表示パネル部列毎に検査する。
を複雑に移動させることなく、短時間で実行し得るよう
にすること 【解決手段】 検査装置は、複数の表示パネル部を互い
に交差する第１及び第２の方向に列の形に有する複数個
取りの表示用パネル基板の検査に用いられる。検査装置
は、ワークテーブルに受けられたパネル基板の電極部に
当接される複数の接触子であって前記第1の方向に整列
する少なくとも一列分の表示パネル部に設けられた電極
部に個々に対応された複数の接触子を有するプローブユ
ニットを用い、プローブユニットとワークテーブルとを
第２の方向へ相対的に移動させることにより、少なくと
も一表示パネル部列毎に検査する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の表示パネル
部を互いに交差する第１及び第２の方向に列の形に有す
る複数取りの表示用パネル基板を検査する装置に関す
る。
部を互いに交差する第１及び第２の方向に列の形に有す
る複数取りの表示用パネル基板を検査する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルのような表示用パネル基
板は、製造過程において各種の特性検査（試験又は測
定）をされる。そのような検査は、表示用パネル基板の
電極部に接触される接触子を有するプローブユニットを
用いて行われる。また、複数の表示パネル部をマトリッ
クス状に形成した複数取りの表示用パネル基板の検査
は、一般に、各表示パネル部を表示用パネル基板から個
々に切り離して、独立した表示パネルとする前に、行わ
れる。
板は、製造過程において各種の特性検査（試験又は測
定）をされる。そのような検査は、表示用パネル基板の
電極部に接触される接触子を有するプローブユニットを
用いて行われる。また、複数の表示パネル部をマトリッ
クス状に形成した複数取りの表示用パネル基板の検査
は、一般に、各表示パネル部を表示用パネル基板から個
々に切り離して、独立した表示パネルとする前に、行わ
れる。
【０００３】複数取りの表示用パネル基板の検査技術と
して、表示パネル部毎に検査する技術と、１つの表示用
パネル基板の表示パネル部を複数の表示パネル群に分け
て表示パネル群毎に検査する技術とが提案されている。
して、表示パネル部毎に検査する技術と、１つの表示用
パネル基板の表示パネル部を複数の表示パネル群に分け
て表示パネル群毎に検査する技術とが提案されている。
【０００４】
【解決しようとする課題】しかし、前者では、１つの表
示用パネル基板の検査に長時間を要し、検査コストが高
くなる。また、後者では、表示用パネル基板とプローブ
ユニットとを相対的に移動させて行われるが、表示用パ
ネル基板とプローブユニットとの相対的移動が複雑にな
り、その制御が煩雑になる。
示用パネル基板の検査に長時間を要し、検査コストが高
くなる。また、後者では、表示用パネル基板とプローブ
ユニットとを相対的に移動させて行われるが、表示用パ
ネル基板とプローブユニットとの相対的移動が複雑にな
り、その制御が煩雑になる。
【０００５】それゆえに、複数取りの表示用パネル基板
の検査においては、表示用パネル基板とプローブユニッ
トとを複雑に移動させることなく、短時間で実行し得る
ことが重要である。
の検査においては、表示用パネル基板とプローブユニッ
トとを複雑に移動させることなく、短時間で実行し得る
ことが重要である。
【０００６】
【解決手段、作用および効果】本発明に係る検査装置
は、複数の表示パネル部を互いに交差する第１及び第２
の方向に列の形に有する複数個取りの表示用パネル基板
の検査に用いられる。そのような検査装置は、前記パネ
ル基板を受けるワークテーブルと、該ワークテーブルに
受けられたパネル基板の電極部に当接される複数の接触
子であって前記第1の方向に整列する少なくとも一列分
の表示パネル部に設けられた電極部に個々に対応された
複数の接触子を有するプローブユニットと、該プローブ
ユニットと前記ワークテーブルとを前記第２の方向へ相
対的に移動させる移動手段とを含む。
は、複数の表示パネル部を互いに交差する第１及び第２
の方向に列の形に有する複数個取りの表示用パネル基板
の検査に用いられる。そのような検査装置は、前記パネ
ル基板を受けるワークテーブルと、該ワークテーブルに
受けられたパネル基板の電極部に当接される複数の接触
子であって前記第1の方向に整列する少なくとも一列分
の表示パネル部に設けられた電極部に個々に対応された
複数の接触子を有するプローブユニットと、該プローブ
ユニットと前記ワークテーブルとを前記第２の方向へ相
対的に移動させる移動手段とを含む。
【０００７】検査時、少なくとも一列分の表示パネル部
は、それらの各電極部が所定の接触子に接触された状態
で通電されて、検査をされる。次の少なくとも一列分の
表示パネル部は、プローブユニットとワークテーブルと
が第２の方向へ相対的に移動されることにより、それら
の各電極部を所定の接触子に接触された状態で通電され
て、検査をされる。以後その工程が所定回数繰り返され
る。
は、それらの各電極部が所定の接触子に接触された状態
で通電されて、検査をされる。次の少なくとも一列分の
表示パネル部は、プローブユニットとワークテーブルと
が第２の方向へ相対的に移動されることにより、それら
の各電極部を所定の接触子に接触された状態で通電され
て、検査をされる。以後その工程が所定回数繰り返され
る。
【０００８】本発明によれば、表示パネル部を一列分ず
つ次々に検査するときのプローブユニット及びワークテ
ーブルの相対的移動の方向が常に同じ方向であるから、
複数の表示パネル部を同時に検査することができるにも
かかわらず、表示用パネル基板とプローブユニットとを
複雑に移動させることなく、表示用パネル基板を短時間
で検査することができる。
つ次々に検査するときのプローブユニット及びワークテ
ーブルの相対的移動の方向が常に同じ方向であるから、
複数の表示パネル部を同時に検査することができるにも
かかわらず、表示用パネル基板とプローブユニットとを
複雑に移動させることなく、表示用パネル基板を短時間
で検査することができる。
【０００９】前記プローブユニットは前記一列分の表示
パネル部に個々に対応された複数のプローブブロックを
備え、各プローブブロックは対応する前記表示パネル部
の電極部に個々に対応されて前記第１又は第２の方向に
間隔をおいた複数の前記接触子を備えることができる。
そのようにすれば、第１又は第２の方向に伸びる辺に複
数の電極部を有する表示パネルの検査をすることができ
る。また、表示パネル部毎にプローブブロックを製造す
ることができるから、プローブユニットの製作が容易に
なる。
パネル部に個々に対応された複数のプローブブロックを
備え、各プローブブロックは対応する前記表示パネル部
の電極部に個々に対応されて前記第１又は第２の方向に
間隔をおいた複数の前記接触子を備えることができる。
そのようにすれば、第１又は第２の方向に伸びる辺に複
数の電極部を有する表示パネルの検査をすることができ
る。また、表示パネル部毎にプローブブロックを製造す
ることができるから、プローブユニットの製作が容易に
なる。
【００１０】各プローブブロックは、前記第１又は第２
の方向に伸びる板状の支持体であって厚さ方向を前記第
１又は第２の方向とされた支持体と、該支持体の前記ワ
ークテーブルの側の部位に配置された弾性体と、電気絶
縁フィルムに複数の配線を形成したフィルム状プローブ
シートであって前記配線が前記支持体の一方の面側から
前記弾性体を経て他方の面の側に伸びる状態に前記支持
体にＵ字状に配置されたプローブシートとを備え、前記
接触子は、前記配線に電気的に接続された１以上の突起
電極であって前記プローブシートの前記Ｕ字状に曲げら
れた部位から前記ワークテーブルに向けて突出する突起
電極であってもよい。
の方向に伸びる板状の支持体であって厚さ方向を前記第
１又は第２の方向とされた支持体と、該支持体の前記ワ
ークテーブルの側の部位に配置された弾性体と、電気絶
縁フィルムに複数の配線を形成したフィルム状プローブ
シートであって前記配線が前記支持体の一方の面側から
前記弾性体を経て他方の面の側に伸びる状態に前記支持
体にＵ字状に配置されたプローブシートとを備え、前記
接触子は、前記配線に電気的に接続された１以上の突起
電極であって前記プローブシートの前記Ｕ字状に曲げら
れた部位から前記ワークテーブルに向けて突出する突起
電極であってもよい。
【００１１】前記プローブユニットは、前記一列分の表
示パネル部に個々に対応された複数の第１のプローブブ
ロックと、前記一列分の表示パネル部に個々に対応され
た複数の第２のプローブブロックとを備え、各第１のプ
ローブブロックは前記第１の方向に間隔をおいた複数の
前記接触子を備え、各第２のプローブブロックは前記第
２の方向に間隔をおいた複数の前記接触子を備えること
ができる。そのようにすれば、矩形の隣り合う少なくと
も２つの辺のそれぞれに複数の電極部を有する表示パネ
ルの検査をすることができる。また、表示パネル部毎に
第１及び第２のプローブブロックを製造することができ
るから、プローブユニットの製作が容易になる。
示パネル部に個々に対応された複数の第１のプローブブ
ロックと、前記一列分の表示パネル部に個々に対応され
た複数の第２のプローブブロックとを備え、各第１のプ
ローブブロックは前記第１の方向に間隔をおいた複数の
前記接触子を備え、各第２のプローブブロックは前記第
２の方向に間隔をおいた複数の前記接触子を備えること
ができる。そのようにすれば、矩形の隣り合う少なくと
も２つの辺のそれぞれに複数の電極部を有する表示パネ
ルの検査をすることができる。また、表示パネル部毎に
第１及び第２のプローブブロックを製造することができ
るから、プローブユニットの製作が容易になる。
【００１２】好ましい実施例において、各第１のプロー
ブブロックは、前記第１の方向に伸びる板状の第１の支
持体であって厚さ方向を前記第２の方向とされた第１の
支持体と、該第１の支持体の前記ワークテーブルの側の
部位に配置された第１の弾性体と、電気絶縁フィルムに
複数の配線を形成したフィルム状の第１のプローブシー
トとを備え、各第２のプローブブロックは、前記第２の
方向に伸びる板状の第２の支持体であって厚さ方向を前
記第１の方向とされた第２の支持体と、該第２の支持体
の前記ワークテーブルの側の部位に配置された第２の弾
性体と、電気絶縁フィルムに複数の配線を形成したフィ
ルム状の第２のプローブシートとを備え、各プローブシ
ートは、前記配線が対応する支持体の一方の面側から対
応する弾性体を経て他方の面側に伸びる状態に、対応す
る支持体にＵ字状に配置されており、前記接触子は、前
記配線に電気的に接続された１以上の突起電極であって
前記プローブシートの前記Ｕ字状に曲げられた部位から
前記ワークテーブルに向けて突出する突起電極である。
ブブロックは、前記第１の方向に伸びる板状の第１の支
持体であって厚さ方向を前記第２の方向とされた第１の
支持体と、該第１の支持体の前記ワークテーブルの側の
部位に配置された第１の弾性体と、電気絶縁フィルムに
複数の配線を形成したフィルム状の第１のプローブシー
トとを備え、各第２のプローブブロックは、前記第２の
方向に伸びる板状の第２の支持体であって厚さ方向を前
記第１の方向とされた第２の支持体と、該第２の支持体
の前記ワークテーブルの側の部位に配置された第２の弾
性体と、電気絶縁フィルムに複数の配線を形成したフィ
ルム状の第２のプローブシートとを備え、各プローブシ
ートは、前記配線が対応する支持体の一方の面側から対
応する弾性体を経て他方の面側に伸びる状態に、対応す
る支持体にＵ字状に配置されており、前記接触子は、前
記配線に電気的に接続された１以上の突起電極であって
前記プローブシートの前記Ｕ字状に曲げられた部位から
前記ワークテーブルに向けて突出する突起電極である。
【００１３】前記プローブユニットは、さらに、前記プ
ローブブロックが組み付けられた板状のプローブベース
を備え、前記プローブベースは、前記第1の方向へ伸び
ており、また前記表示パネル部に個々に対応された矩形
の複数の開口を少なくとも一列に有していることができ
る。そのようにすれば、各表示パネル部がプローブべー
スの開口を介して露出するから、作業者の肉眼又はテレ
ビカメラによる点灯検査をすることができる。
ローブブロックが組み付けられた板状のプローブベース
を備え、前記プローブベースは、前記第1の方向へ伸び
ており、また前記表示パネル部に個々に対応された矩形
の複数の開口を少なくとも一列に有していることができ
る。そのようにすれば、各表示パネル部がプローブべー
スの開口を介して露出するから、作業者の肉眼又はテレ
ビカメラによる点灯検査をすることができる。
【００１４】検査装置は、さらに、前記プローブユニッ
トに組み付けられた複数のタブであって前記プローブシ
ートの配線に個々に接続された複数の配線をそれぞれ有
する複数のタブと、該タブの配線に個々に接続された複
数の配線をそれぞれ有する複数のフラットケーブルとを
含むことができる。そのようにすれば、各接触子を、測
定回路のような電気回路に直接接続することなく、タブ
及びフラットケーブルを介して電気回路に接続すること
ができる。
トに組み付けられた複数のタブであって前記プローブシ
ートの配線に個々に接続された複数の配線をそれぞれ有
する複数のタブと、該タブの配線に個々に接続された複
数の配線をそれぞれ有する複数のフラットケーブルとを
含むことができる。そのようにすれば、各接触子を、測
定回路のような電気回路に直接接続することなく、タブ
及びフラットケーブルを介して電気回路に接続すること
ができる。
【００１５】検査装置は、さらに、前記第１の方向に長
い開口を有するベースプレートを含み、前記移動手段は
前記ワークテーブルを前記プローブユニットに対し少な
くとも三次元的に移動させる測定ステージであり、前記
プローブユニットは前記接触子が前記ベースプレートの
開口から前記ワークテーブルの側に突出する状態に前記
ベースプレートに配置されていてもよい。そのようにす
れば、プローブユニットをワークテーブルに移動させる
ことなく、プローブユニットと表示用基板とを相対的に
移動させることができるし、プローブユニットと表示用
基板との位置合わせをすることができる。
い開口を有するベースプレートを含み、前記移動手段は
前記ワークテーブルを前記プローブユニットに対し少な
くとも三次元的に移動させる測定ステージであり、前記
プローブユニットは前記接触子が前記ベースプレートの
開口から前記ワークテーブルの側に突出する状態に前記
ベースプレートに配置されていてもよい。そのようにす
れば、プローブユニットをワークテーブルに移動させる
ことなく、プローブユニットと表示用基板とを相対的に
移動させることができるし、プローブユニットと表示用
基板との位置合わせをすることができる。
【００１６】検査装置は、さらに、前記パネル基板の前
記第１の方向の一端部に形成されているアライメントマ
ークを撮影する第１のテレビカメラと、前記パネル基板
の前記第１の方向の他端部に形成されているアライメン
トマークを撮影する第２のテレビカメラとを含むことが
できる。そのようにすれば、一列分の表示パネル部の位
置あわせを共通の第１及び第２のテレビカメラで行うこ
とができる。
記第１の方向の一端部に形成されているアライメントマ
ークを撮影する第１のテレビカメラと、前記パネル基板
の前記第１の方向の他端部に形成されているアライメン
トマークを撮影する第２のテレビカメラとを含むことが
できる。そのようにすれば、一列分の表示パネル部の位
置あわせを共通の第１及び第２のテレビカメラで行うこ
とができる。
【００１７】各テレビカメラは前記プローブユニットを
介して対応する前記アライメントマークを撮影するよう
に、プローブユニット又はベースプレートに配置するこ
とができる。また、前記タブ及び前記フラットケーブル
は前記プローブブロック毎に備えることができる。
介して対応する前記アライメントマークを撮影するよう
に、プローブユニット又はベースプレートに配置するこ
とができる。また、前記タブ及び前記フラットケーブル
は前記プローブブロック毎に備えることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１及び図２を参照するに、検査
装置１０は、図３に示す矩形をした複数個取りの表示用
パネル基板１２の点灯検査に用いられる。パネル基板１
２は、長方形をした複数の表示パネル部１４をマトリッ
クス状に形成している。それら表示パネル部１４は、パ
ネル基板１２の幅方向（Ｙ方向）及び長手方向（Ｘ方
向）のそれぞれに列の形に配置されており、一表示パネ
ル部列ずつ検査される。
装置１０は、図３に示す矩形をした複数個取りの表示用
パネル基板１２の点灯検査に用いられる。パネル基板１
２は、長方形をした複数の表示パネル部１４をマトリッ
クス状に形成している。それら表示パネル部１４は、パ
ネル基板１２の幅方向（Ｙ方向）及び長手方向（Ｘ方
向）のそれぞれに列の形に配置されており、一表示パネ
ル部列ずつ検査される。
【００１９】各パネル部１４は、携帯電話、計器類、小
型電気機器等に用いる小型の表示パネルであってもよい
し、コンピュータ用表示装置、テレビジョン受像機等に
用いる大型の表示パネルであってもよい。
型電気機器等に用いる小型の表示パネルであってもよい
し、コンピュータ用表示装置、テレビジョン受像機等に
用いる大型の表示パネルであってもよい。
【００２０】図１１に示すように、各表示パネル部１４
は、矩形の１つの辺に対応する箇所及び該辺の隣りの辺
に対応する箇所にそれぞれ長方形をした複数の電極部１
６及び１８を有する。電極部１６はパネル基板１２の幅
方向に間隔をおいており、電極部１８はパネル基板１２
の長手方向に間隔をおいている。パネル基板１２は、ア
ライメントマーク２０を幅方向に整列する表示パネル部
列の一端部及び他端部に有する。
は、矩形の１つの辺に対応する箇所及び該辺の隣りの辺
に対応する箇所にそれぞれ長方形をした複数の電極部１
６及び１８を有する。電極部１６はパネル基板１２の幅
方向に間隔をおいており、電極部１８はパネル基板１２
の長手方向に間隔をおいている。パネル基板１２は、ア
ライメントマーク２０を幅方向に整列する表示パネル部
列の一端部及び他端部に有する。
【００２１】検査装置１０は、基台２２と、基台２２の
上に配置された測定ステージ２４と、パネル基板１２を
受けるように測定ステージ２４に配置されたワークテー
ブル２６と、ワークテーブル２６から上方に間隔をおい
たベースプレート２８と、ベースプレート２８に配置さ
れたプローブユニット３０と、表示パネル部１４を上方
から撮影する測定用テレビカメラ３２と、テレビカメラ
３２を前後方向（Ｙ方向）へ移動させるＹ移動機構３４
とを含む。
上に配置された測定ステージ２４と、パネル基板１２を
受けるように測定ステージ２４に配置されたワークテー
ブル２６と、ワークテーブル２６から上方に間隔をおい
たベースプレート２８と、ベースプレート２８に配置さ
れたプローブユニット３０と、表示パネル部１４を上方
から撮影する測定用テレビカメラ３２と、テレビカメラ
３２を前後方向（Ｙ方向）へ移動させるＹ移動機構３４
とを含む。
【００２２】基台２２及びベースプレート２８は、検査
装置１０のフレーム（図示せず）にほぼ水平に組み付け
られている。Ｙ移動機構３４は、テレビカメラ３２をほ
ぼ水平に移動させるように、検査装置１０のフレームに
ほぼ水平に組み付けられている。
装置１０のフレーム（図示せず）にほぼ水平に組み付け
られている。Ｙ移動機構３４は、テレビカメラ３２をほ
ぼ水平に移動させるように、検査装置１０のフレームに
ほぼ水平に組み付けられている。
【００２３】測定ステージ２４は、ワークテーブル２６
を左右方向（Ｘ方向）へ移動させるＸステージと、ワー
クテーブル２６を前後方向へ移動させるＹステージと、
ワークテーブル２６を上下方向（Ｚ方向）へ移動させる
Ｚステージと、ワークテーブル２６を上下方向へ伸びる
軸線の周りに回転させるθステージとを備えている。
Ｘ，Ｙ，Ｚ及びθステージは、それぞれ、基台２２，Ｘ
ステージ、Ｙステージ及びＺステージに受けられてい
る。
を左右方向（Ｘ方向）へ移動させるＸステージと、ワー
クテーブル２６を前後方向へ移動させるＹステージと、
ワークテーブル２６を上下方向（Ｚ方向）へ移動させる
Ｚステージと、ワークテーブル２６を上下方向へ伸びる
軸線の周りに回転させるθステージとを備えている。
Ｘ，Ｙ，Ｚ及びθステージは、それぞれ、基台２２，Ｘ
ステージ、Ｙステージ及びＺステージに受けられてい
る。
【００２４】ワークテーブル２６は、その上に受けたパ
ネル基板１２をその下方（背後）から照明するバックラ
イトユニット（図示せず）を備えており、また測定ステ
ージ２４のθステージに支持されている。
ネル基板１２をその下方（背後）から照明するバックラ
イトユニット（図示せず）を備えており、また測定ステ
ージ２４のθステージに支持されている。
【００２５】ベースプレート２８は、その左右方向にお
ける中央を前後方向（Ｙ方向）へ伸びる長方形の開口３
６を有する。ベースプレート２８は、プローブユニット
３０を支持していると共に、パネル基板１２の前後方向
の各端部に形成されたアライメントマーク２０を撮影す
る位置合わせ用テレビカメラ３８を支持している。
ける中央を前後方向（Ｙ方向）へ伸びる長方形の開口３
６を有する。ベースプレート２８は、プローブユニット
３０を支持していると共に、パネル基板１２の前後方向
の各端部に形成されたアライメントマーク２０を撮影す
る位置合わせ用テレビカメラ３８を支持している。
【００２６】プローブユニット３０は、図３から図９に
示すように、前後方向に長い長方形をした板状のプロー
ブベース４０と、プローブベース４０に配置された複数
組の第１及び第２のプローブブロック４２及び４４とを
備える。第１及び第２のプローブブロック４２，４４の
各組は、前後方向に整列する一列分の表示パネル部１４
の１つに対応されている。
示すように、前後方向に長い長方形をした板状のプロー
ブベース４０と、プローブベース４０に配置された複数
組の第１及び第２のプローブブロック４２及び４４とを
備える。第１及び第２のプローブブロック４２，４４の
各組は、前後方向に整列する一列分の表示パネル部１４
の１つに対応されている。
【００２７】プローブベース４０は、前後方向における
各端部に形成された取付穴４６（図４参照）を貫通して
ベースプレート２８に螺合されたねじ部材４８により、
ベースプレート２８の上に組み付けられて、ベースプレ
ート２８の開口３６を閉鎖している。
各端部に形成された取付穴４６（図４参照）を貫通して
ベースプレート２８に螺合されたねじ部材４８により、
ベースプレート２８の上に組み付けられて、ベースプレ
ート２８の開口３６を閉鎖している。
【００２８】ベースプレート２８に対するプローブベー
ス４０の位置は、ベースプレート２８に前後方向に間隔
をおいて設けられた一対の位置決めピン５０（図３参
照）がプローブベース４０の長手方向端部に形成された
位置決め穴５２（図４参照）に嵌合されることにより、
維持される。
ス４０の位置は、ベースプレート２８に前後方向に間隔
をおいて設けられた一対の位置決めピン５０（図３参
照）がプローブベース４０の長手方向端部に形成された
位置決め穴５２（図４参照）に嵌合されることにより、
維持される。
【００２９】プローブベース４０は、前後方向に間隔を
おいた複数の開口５４を有する。各開口５４は、第１及
び第２のプローブブロック４２，４４の１つの組と、パ
ネル基板１２の前後方向へ伸びる一列分の表示パネル部
１４の１つとに対応されており、また対応する表示パネ
ル部１４に対応した長方形の形状を有する。
おいた複数の開口５４を有する。各開口５４は、第１及
び第２のプローブブロック４２，４４の１つの組と、パ
ネル基板１２の前後方向へ伸びる一列分の表示パネル部
１４の１つとに対応されており、また対応する表示パネ
ル部１４に対応した長方形の形状を有する。
【００３０】図６から図９に示すように、第１及び第２
のプローブブロック４２及び４４のそれぞれは、長い板
状の支持体５６と、支持体５６の幅方向における一方の
側面に配置された蒲鉾状の弾性体５８と、支持体５６に
Ｕ字状に組み付けられたフィルム状プローブシート６０
と、プローブシート６０に形成された複数の接触子６２
とを備える。
のプローブブロック４２及び４４のそれぞれは、長い板
状の支持体５６と、支持体５６の幅方向における一方の
側面に配置された蒲鉾状の弾性体５８と、支持体５６に
Ｕ字状に組み付けられたフィルム状プローブシート６０
と、プローブシート６０に形成された複数の接触子６２
とを備える。
【００３１】支持体５６は、電気絶縁材料から形成され
ており、またプローブベース４０をこれの厚さ方向に貫
通して支持体５６の他方の側面に螺合された複数のねじ
部材６４により、その幅方向を上下方向とした状態に、
プローブベース４０の下面に組み付けられている。
ており、またプローブベース４０をこれの厚さ方向に貫
通して支持体５６の他方の側面に螺合された複数のねじ
部材６４により、その幅方向を上下方向とした状態に、
プローブベース４０の下面に組み付けられている。
【００３２】弾性体５８は、支持体５６の長手方向へ伸
びる状態に、平坦面において支持体５６の一方の側面に
接着されている。
びる状態に、平坦面において支持体５６の一方の側面に
接着されている。
【００３３】プローブシート６０は、一方向に間隔をお
いた複数の配線６６を電気絶縁性フィルム６８に形成し
ており、また配線６６が対応する支持体５６の一方の面
側から弾性体５８の弧状面部を経て他方の面の側に伸び
る状態に支持体５６にＵ字状に組み付けられており、さ
らに接触子６２を各配線６６に形成している。
いた複数の配線６６を電気絶縁性フィルム６８に形成し
ており、また配線６６が対応する支持体５６の一方の面
側から弾性体５８の弧状面部を経て他方の面の側に伸び
る状態に支持体５６にＵ字状に組み付けられており、さ
らに接触子６２を各配線６６に形成している。
【００３４】各接触子６２は、図示の例では図１０
（Ａ）に示すように、配線６６のＵ字状に曲げられた部
分の先端から下方に突出する突起電極であり、また円錐
状又は角錐状の形状を有する。
（Ａ）に示すように、配線６６のＵ字状に曲げられた部
分の先端から下方に突出する突起電極であり、また円錐
状又は角錐状の形状を有する。
【００３５】しかし、図１０（Ｂ）に示すように複数の
接触子６２を各配線６６に形成してもよいし、また各接
触子６２は半球状の突起電極であってもよい。さらに、
図１０（Ｃ）に示すように、幅寸法の小さい板状の弾性
体５８を用い、この弾性体５８を幅方向へ横切る配線６
６の部分に１以上の接触子６２を形成してもよい。
接触子６２を各配線６６に形成してもよいし、また各接
触子６２は半球状の突起電極であってもよい。さらに、
図１０（Ｃ）に示すように、幅寸法の小さい板状の弾性
体５８を用い、この弾性体５８を幅方向へ横切る配線６
６の部分に１以上の接触子６２を形成してもよい。
【００３６】支持体５６に対するプローブシート６０の
位置は、支持体５６の一方の面から突出する複数の位置
決めピン７０（図８参照）がプローブシート６０に形成
された穴（図示せず）に嵌合されることにより、維持さ
れる。
位置は、支持体５６の一方の面から突出する複数の位置
決めピン７０（図８参照）がプローブシート６０に形成
された穴（図示せず）に嵌合されることにより、維持さ
れる。
【００３７】第１のプローブブロック４２は、各接触子
６２及び各配線６６の配列方向が前後方向となるよう
に、及び、互いに前後方向に整列するように、プローブ
ベース４０に組み付けられている。
６２及び各配線６６の配列方向が前後方向となるよう
に、及び、互いに前後方向に整列するように、プローブ
ベース４０に組み付けられている。
【００３８】これに対し、各第２のプローブブロック４
４は、各接触子６２及び各配線６６の配列方向が左右方
向となるように、及び、対応する第１のプローブブロッ
ク４２と共同してＬ字状の平面形状を形成するように、
プローブベース４０に組み付けられている。
４は、各接触子６２及び各配線６６の配列方向が左右方
向となるように、及び、対応する第１のプローブブロッ
ク４２と共同してＬ字状の平面形状を形成するように、
プローブベース４０に組み付けられている。
【００３９】プローブベース４０に対する第１及び第２
のプローブブロック４２及び４４のそれぞれの位置は、
プローブベース４０の下面から突出する複数の位置決め
ピン７２（図６及び図８参照）がプローブブロック４２
又は４４に形成された穴（図示せず）に嵌合されること
により、維持される。
のプローブブロック４２及び４４のそれぞれの位置は、
プローブベース４０の下面から突出する複数の位置決め
ピン７２（図６及び図８参照）がプローブブロック４２
又は４４に形成された穴（図示せず）に嵌合されること
により、維持される。
【００４０】プローブユニット３０は、全てのプローブ
ブロック４２及び４４がベースプレート２８の開口３６
を介して下方に突出する状態に、プローブベース４０に
おいて、ベースプレート２８に組み付けられている。こ
れにより、全ての接触子６２は、対応するプローブブロ
ック４２又は４４からワークテーブル２６に向けて突出
される。
ブロック４２及び４４がベースプレート２８の開口３６
を介して下方に突出する状態に、プローブベース４０に
おいて、ベースプレート２８に組み付けられている。こ
れにより、全ての接触子６２は、対応するプローブブロ
ック４２又は４４からワークテーブル２６に向けて突出
される。
【００４１】位置合わせ用の各テレビカメラ３８は、プ
ローブユニット３０の前後方向における端部に位置する
開口５４を介して、対応するアライメントマーク２０を
撮影する。各テレビカメラ３８の出力信号は、図示しな
い画像処理回路において、プローブユニット３０とパネ
ル基板１２との相対的な位置決め（アライメント）に用
いられる。
ローブユニット３０の前後方向における端部に位置する
開口５４を介して、対応するアライメントマーク２０を
撮影する。各テレビカメラ３８の出力信号は、図示しな
い画像処理回路において、プローブユニット３０とパネ
ル基板１２との相対的な位置決め（アライメント）に用
いられる。
【００４２】図５から図９に示すように、検査装置１０
は、さらに、第１及び第２のプローブブロック４２及び
４４毎にプローブユニット３０に組み付けられたタブ支
持板７４を含む。各タブ支持板７４は、複数のねじ部材
７６によりプローブベース４０の下側に組み付けられて
おり、またテープ自動化実装すなわちタブ(TAB=tapeaut
omated bonding)７８を支持している。
は、さらに、第１及び第２のプローブブロック４２及び
４４毎にプローブユニット３０に組み付けられたタブ支
持板７４を含む。各タブ支持板７４は、複数のねじ部材
７６によりプローブベース４０の下側に組み付けられて
おり、またテープ自動化実装すなわちタブ(TAB=tapeaut
omated bonding)７８を支持している。
【００４３】各タブ７８は、表示パネル部１４を作動さ
せる駆動用集積回路８０を備えており、また集積回路８
０に接続された２種類の配線群を備えている。一方の配
線群の各配線８２は対応するプローブシート６０の配線
６６に電気的に接続されており、他方の配線群の各配線
８４はフラットケーブル８６の配線に電気的に接続され
ている。
せる駆動用集積回路８０を備えており、また集積回路８
０に接続された２種類の配線群を備えている。一方の配
線群の各配線８２は対応するプローブシート６０の配線
６６に電気的に接続されており、他方の配線群の各配線
８４はフラットケーブル８６の配線に電気的に接続され
ている。
【００４４】図示の例では、第１及び第２のプローブブ
ロック４２及び４４に対応する両タブ支持板７６が第１
のプローブブロック４２の側に配置されている。このた
め、第２のプローブブロック４４のプローブシート６０
の各配線６６は、第２のプローブブロック４４の側から
第１のプローブブロック４２の側に曲げられた接続シー
ト８８の配線９０により対応するタブ７８の配線８２に
接続されている。
ロック４２及び４４に対応する両タブ支持板７６が第１
のプローブブロック４２の側に配置されている。このた
め、第２のプローブブロック４４のプローブシート６０
の各配線６６は、第２のプローブブロック４４の側から
第１のプローブブロック４２の側に曲げられた接続シー
ト８８の配線９０により対応するタブ７８の配線８２に
接続されている。
【００４５】検査時、パネル基板１２は、先ずワークテ
ーブル２６の上に配置され、その状態でテレビカメラ３
０を用いてプローブユニット３０に対し位置決めをされ
る。そのような位置決めは、アライメントマーク２０が
テレビカメラ３８の視野内の所定の座標位置になるよう
に、ワークテーブル２６を測定ステージ２４により移動
させることにより行われる。
ーブル２６の上に配置され、その状態でテレビカメラ３
０を用いてプローブユニット３０に対し位置決めをされ
る。そのような位置決めは、アライメントマーク２０が
テレビカメラ３８の視野内の所定の座標位置になるよう
に、ワークテーブル２６を測定ステージ２４により移動
させることにより行われる。
【００４６】次いで、パネル基板１２が測定ステージ２
４により所定高さ位置まで上昇される。これにより、パ
ネル基板１２の電極部１６及び１８は、それぞれ、プロ
ーブロック４２及び４４の接触子６２に押圧される。
４により所定高さ位置まで上昇される。これにより、パ
ネル基板１２の電極部１６及び１８は、それぞれ、プロ
ーブロック４２及び４４の接触子６２に押圧される。
【００４７】次いで、ワークテーブル２６内のバックラ
イトが点灯された状態で、測定用のテレビカメラ３２が
プローブユニット３０の所定の開口５４を介して所定の
表示パネル部１４を撮影するように、Ｙ移動機構３４に
より間欠的に移動されて、一列分の表示パネル部１４を
次々に撮影する。
イトが点灯された状態で、測定用のテレビカメラ３２が
プローブユニット３０の所定の開口５４を介して所定の
表示パネル部１４を撮影するように、Ｙ移動機構３４に
より間欠的に移動されて、一列分の表示パネル部１４を
次々に撮影する。
【００４８】各表示パネル部１４をテレビカメラ３２で
撮影する間、その表示パネル部１４の所定の電極部１
６，１８に通電される。テレビカメラ３２の出力信号
は、表示パネル部１４が所定の状態に点灯したか否かの
判定に用いられる。
撮影する間、その表示パネル部１４の所定の電極部１
６，１８に通電される。テレビカメラ３２の出力信号
は、表示パネル部１４が所定の状態に点灯したか否かの
判定に用いられる。
【００４９】一列目の全ての表示パネル部１４の検査が
終了すると、ワークテーブル２６が測定ステージ２４に
より、左右方向への表示パネル部１４の配置ピッチ分だ
け左右方向へ移動された後、二列目の表示パネル部１４
の検査が上記と同様の手法で行われる。
終了すると、ワークテーブル２６が測定ステージ２４に
より、左右方向への表示パネル部１４の配置ピッチ分だ
け左右方向へ移動された後、二列目の表示パネル部１４
の検査が上記と同様の手法で行われる。
【００５０】全ての表示パネル部列の表示パネル部１４
の検査が終了すると、バックライトが消灯され、パネル
基板１２が測定ステージ２４により下降され、検査済の
パネル基板が新たなパネル基板に交換され、その後新た
なパネル基板の検査が開始される。
の検査が終了すると、バックライトが消灯され、パネル
基板１２が測定ステージ２４により下降され、検査済の
パネル基板が新たなパネル基板に交換され、その後新た
なパネル基板の検査が開始される。
【００５１】上記のように、パネル基板１２上の表示パ
ネル部１４を、一列ずつ検査すると、表示パネル部１４
を一列分ずつ次々に検査するときのワークテーブル２６
の移動方向が常に同じ方向であるから、複数の表示パネ
ル部１４を同時に検査することができるにもかかわら
ず、パネル基板１２とプローブユニット３０とを複雑に
移動させることなく、パネル基板１２を短時間で検査す
ることができる。
ネル部１４を、一列ずつ検査すると、表示パネル部１４
を一列分ずつ次々に検査するときのワークテーブル２６
の移動方向が常に同じ方向であるから、複数の表示パネ
ル部１４を同時に検査することができるにもかかわら
ず、パネル基板１２とプローブユニット３０とを複雑に
移動させることなく、パネル基板１２を短時間で検査す
ることができる。
【００５２】上記の検査装置１０は、各表示パネル部１
４がプローブべース４０の開口５４を介して露出するか
ら、テレビカメラによる点灯検査装置のみならず、作業
者の肉眼による点灯検査装置にとしても用いることがで
きる。
４がプローブべース４０の開口５４を介して露出するか
ら、テレビカメラによる点灯検査装置のみならず、作業
者の肉眼による点灯検査装置にとしても用いることがで
きる。
【００５３】しかし、本発明は、テレビカメラによる点
灯検査専用の装置及び作業者の肉眼による点灯検査専用
の装置のいずれにも適用するすることができる。作業者
の肉眼による点灯検査をすることができる装置の場合、
基台２２、測定ステージ２４、ワークテーブル２６、ベ
ースプレート２８、プローブユニット３０等を傾斜させ
て、パネル基板１２を斜め上方から目視するようにする
ことが好ましい。
灯検査専用の装置及び作業者の肉眼による点灯検査専用
の装置のいずれにも適用するすることができる。作業者
の肉眼による点灯検査をすることができる装置の場合、
基台２２、測定ステージ２４、ワークテーブル２６、ベ
ースプレート２８、プローブユニット３０等を傾斜させ
て、パネル基板１２を斜め上方から目視するようにする
ことが好ましい。
【００５４】表示パネル部１４を一列分ずつ検査する代
わりに、複数列分の表示パネル部用のプローブブロック
を備えるプローブユニットを用いて、複数列分ずつ検査
するようにしてもよい。また、プローブシートを備える
プローブユニットを用いる代わりに、金属細線から製作
されたプローブを接触子とするプローブユニットを用い
てもよい。
わりに、複数列分の表示パネル部用のプローブブロック
を備えるプローブユニットを用いて、複数列分ずつ検査
するようにしてもよい。また、プローブシートを備える
プローブユニットを用いる代わりに、金属細線から製作
されたプローブを接触子とするプローブユニットを用い
てもよい。
【００５５】本発明は、複数の電極部をＸ方向及びＹ方
向のいずれか一方のみに配置した表示用パネル基板の検
査装置にも適用することができ、また点灯検査装置のみ
ならず、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成したガラス
基板のような他のパネル基板の検査装置にも適用するこ
とができる。前者の場合、プローブユニットは、第１及
び第２のプローブブロックのいずれか一方のみを備えて
いればよい。
向のいずれか一方のみに配置した表示用パネル基板の検
査装置にも適用することができ、また点灯検査装置のみ
ならず、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成したガラス
基板のような他のパネル基板の検査装置にも適用するこ
とができる。前者の場合、プローブユニットは、第１及
び第２のプローブブロックのいずれか一方のみを備えて
いればよい。
【００５６】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す主要部
の一部を断面でッ示す正面図
の一部を断面でッ示す正面図
【図２】図１に示す検査装置の側面図
【図３】図１に示す検査装置の平面図
【図４】プローブユニットの一実施例を示す平面図
【図５】図４に示すプローブユニットの一部の拡大斜視
図
図
【図６】図４に示すプローブユニットの主要部の詳細を
示す平面図
示す平面図
【図７】図６に示す主要部の底面図
【図８】図６に示す主要部の断面図
【図９】図６に示す主要部の側面図
【図１０】プローブブロックの各種の例を示す図
【図１１】パネル基板に形成されているアライメントマ
ークの一実施例を示す図
ークの一実施例を示す図
１０ 検査装置 １２ 表示用パネル基板 １４ 表示パネル部 １６，１８ 表示パネル部の電極部 ２０ アライメントマーク ２２ 基台 ２４ 測定ステージ ２６ ワークテーブル ２８ ベースプレート ３０ プローブユニット ３２ 測定用テレビカメラ ３４ Ｙ移動機構 ３６ ベースプレートの開口 ３８ 位置合わせ用テレビカメラ ４０ プローブベース ４２，４４ プローブブロック ５４ プローブベースの開口 ５６ 支持体 ５８ 弾性体 ６０ プローブシート ６２ 接触子 ６６ プローブシートの配線 ６８ プローブシートの電気絶縁性フィルム ７４ タブ支持板 ７８ タブ ８０ 集積回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２ Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ ５Ｇ４３５ Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AA16 AA21 AB08 AC06 AE01 AF07 2G014 AA32 AB20 AB21 AC09 AC10 AC15 2G032 AA00 AB01 AF02 AF03 AF04 AL04 AL11 2H088 FA11 FA16 HA05 HA06 HA08 HA28 MA20 2H092 JA24 MA57 NA27 NA30 PA06 PA13 5G435 AA19 BB12 EE46 KK10
Claims (9)
- 【請求項１】 複数の表示パネル部を互いに交差する第
１及び第２の方向に列の形に有する表示用パネル基板を
検査する装置であって、 前記パネル基板を受けるワークテーブルと、 該ワークテーブルに受けられたパネル基板の電極部に当
接される複数の接触子であって前記第1の方向に整列す
る少なくとも一列分の表示パネル部に設けられた電極部
に個々に対応された複数の接触子を有するプローブユニ
ットと、 該プローブユニットと前記ワークテーブルとを前記第２
の方向へ相対的に移動させる移動手段とを含む、表示用
パネル基板の検査装置。 - 【請求項２】 前記プローブユニットは前記一列分の表
示パネル部に個々に対応された複数のプローブブロック
を備え、 各プローブブロックは対応する前記表示パネル部の電極
部に個々に対応されて前記第１又は第２の方向に間隔を
おいた複数の前記接触子を備える、請求項１に記載の検
査装置。 - 【請求項３】 各プローブブロックは、前記第１又は第
２の方向に伸びる板状の支持体であって厚さ方向を前記
第１又は第２の方向とされた支持体と、該支持体の前記
ワークテーブルの側の部位に配置された弾性体と、電気
絶縁フィルムに複数の配線を形成したフィルム状プロー
ブシートであって前記配線が前記支持体の一方の面側か
ら前記弾性体を経て他方の面の側に伸びる状態に前記支
持体にＵ字状に配置されたプローブシートとを備え、 前記接触子は、前記配線に電気的に接続された１以上の
突起電極であって前記プローブシートの前記Ｕ字状に曲
げられた部位から前記ワークテーブルに向けて突出する
突起電極である、請求項２に記載の検査装置。 - 【請求項４】 前記プローブユニットは、前記一列分の
表示パネル部に個々に対応された複数の第１のプローブ
ブロックと、前記一列分の表示パネル部に個々に対応さ
れた複数の第２のプローブブロックとを備え、 各第１のプローブブロックは前記第１の方向に間隔をお
いた複数の前記接触子を備え、各第２のプローブブロッ
クは前記第２の方向に間隔をおいた複数の前記接触子を
備える、請求項１に記載の検査装置。 - 【請求項５】 各第１のプローブブロックは、前記第１
の方向に伸びる板状の第１の支持体であって厚さ方向を
前記第２の方向とされた第１の支持体と、該第１の支持
体の前記ワークテーブルの側の部位に配置された第１の
弾性体と、電気絶縁フィルムに複数の配線を形成したフ
ィルム状の第１のプローブシートとを備え、 各第２のプローブブロックは、前記第２の方向に伸びる
板状の第２の支持体であって厚さ方向を前記第１の方向
とされた第２の支持体と、該第２の支持体の前記ワーク
テーブルの側の部位に配置された第２の弾性体と、電気
絶縁フィルムに複数の配線を形成したフィルム状の第２
のプローブシートとを備え、 各プローブシートは、前記配線が対応する支持体の一方
の面側から対応する弾性体を経て他方の面側に伸びる状
態に、対応する支持体にＵ字状に配置されており、 前記接触子は、前記配線に電気的に接続された１以上の
突起電極であって前記プローブシートの前記Ｕ字状に曲
げられた部位から前記ワークテーブルに向けて突出する
突起電極である、請求項４に記載の検査装置。 - 【請求項６】 前記プローブユニットは、さらに、前記
プローブブロックが組み付けられた板状のプローブベー
スを備え、前記プローブベースは、前記第1の方向へ伸
びており、また前記表示パネル部に個々に対応された矩
形の複数の開口を少なくとも一列に有している、請求項
２から５のいずれか１項に記載の検査装置。 - 【請求項７】 さらに、前記プローブユニットに組み付
けられた複数のタブであって前記プローブシートの配線
に個々に接続された複数の配線をそれぞれ有する複数の
タブと、該タブの配線に個々に接続された複数の配線を
それぞれ有する複数のフラットケーブルとを含む、請求
項１から６のいずれか１項に記載の検査装置。 - 【請求項８】 さらに、前記第１の方向に長い開口を有
するベースプレートを含み、 前記移動手段は前記ワークテーブルを前記プローブユニ
ットに対し少なくとも三次元的に移動させる測定ステー
ジであり、 前記プローブユニットは前記接触子が前記ベースプレー
トの開口から前記ワークテーブルの側に突出する状態に
前記ベースプレートに配置されている、請求項１から７
のいずれか１項に記載の検査装置。 - 【請求項９】 さらに、前記パネル基板の前記第１の方
向の一端部に形成されているアライメントマークを撮影
する第１のテレビカメラと、前記パネル基板の前記第１
の方向の他端部に形成されているアライメントマークを
撮影する第２のテレビカメラとを含む、請求項１から８
のいずれか１項に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000138494A JP2001318116A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | 表示用パネル基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000138494A JP2001318116A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | 表示用パネル基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001318116A true JP2001318116A (ja) | 2001-11-16 |
Family
ID=18646089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000138494A Pending JP2001318116A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | 表示用パネル基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001318116A (ja) |
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