JP2010060991A - 液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ10と画像取得装置とを相対的に移動し、画像取得装置のCCDカメラ25により、プローブユニット40の各プローブピン48の画像を取得する。画像取得装置が出力した画像信号を処理して、各プローブピン48の位置を検出する。各プローブピン48の位置の検出結果に基づき、各プローブピン48の位置がステージ10に搭載する液晶パネル1の電極の位置に合っているか確認する。各プローブピン48を実際に液晶パネル1の電極に接触させる必要が無く、プローブピン48の位置調整が容易となる。液晶パネル1をステージ10に搭載し、各プローブピン48を、ステージ10に搭載された液晶パネル1の電極に接触させ、各プローブピン48から液晶パネル1の電極へ駆動電圧を印加する。
【選択図】図3
Description
10 ステージ
11 ベース
12 Xガイド
13 ゲート
14 Yガイド
15 Y移動ベース
16 Zガイド
17 Z移動ベース
20 画像処理装置
21 光源
22 ミラー
23 ハーフミラー
24 対物レンズ
25 CCDカメラ
26 焦点調節制御回路
27 焦点調節機構
28 バックライト光源
30 レーザー装置
31 レーザー制御装置
40 プローブユニット
41,43 ガイド取り付け台
42 Xガイド
44 Yガイド
45 移動台
46 直動モータ
47 ピンホルダ
48 プローブピン
50 主制御装置
51 ステージ駆動回路
52 Y移動ベース駆動回路
53 Z移動ベース駆動回路
54 ステージ移動機構
55 Y移動ベース移動機構
56 Z移動ベース移動機構
57 プローブユニット移動制御回路
58 プローブユニット移動機構
60 メモリ
Claims (8)
- 液晶パネルを搭載するステージと、
複数のプローブピンを有するプローブユニットとを備え、
各プローブピンを前記ステージに搭載された液晶パネルの電極に接触させ、各プローブピンから液晶パネルの電極へ駆動電圧を印加する液晶パネル検査装置であって、
各プローブピンの画像を取得して、画像信号を出力する画像取得装置と、
前記ステージと前記画像取得装置とを相対的に移動する移動手段と、
前記移動手段を制御する制御手段と、
前記画像取得装置が出力した画像信号を処理して、各プローブピンの位置を検出する画像処理装置とを備え、
前記制御手段は、前記画像処理装置の検出結果に基づき、各プローブピンの位置が前記ステージに搭載する液晶パネルの電極の位置に合っているか確認することを特徴とする液晶パネル検査装置。 - 前記プローブユニットを移動するプローブユニット移動手段を備え、
前記制御手段は、前記画像処理装置の検出結果に基づき、前記プローブユニット移動手段により前記プローブユニットを移動して、各プローブピンの位置をステージに搭載する液晶パネルの電極の位置に合わせることを特徴とする請求項1に記載の液晶パネル検査装置。 - 前記画像取得装置は、各プローブピンへ光を照射し、各プローブピンからの反射光を集光するレンズと、該レンズを移動して、前記画像取得装置の焦点を調節する焦点調節手段とを有し、
前記制御手段は、前記焦点調節手段により前記レンズを移動して、前記画像取得装置の焦点を各プローブピンの先端に合わせ、前記レンズの移動量に基づき、各プローブピンの先端の高さを検出して、各プローブピンの先端の高さがステージに搭載する液晶パネルの電極に接触する高さであるか確認することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液晶パネル検査装置。 - 液晶パネルの電極が設けられたTFT基板の回路パターンを修正するレーザー装置を備え、
前記ステージは、TFT基板側を上にして、液晶パネルを搭載し、
前記プローブユニットは、前記ステージに搭載された液晶パネルの下方に配置されて、各プローブピンを、TFT基板に設けられた電極に下方から接触させ、
前記画像取得装置は、前記プローブユニットの上方に配置されて、各プローブピンの画像を上方から取得し、
前記レーザー装置は、前記ステージに搭載された液晶パネルの上方に配置されて、TFT基板の回路パターンを上方から修正することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の液晶パネル検査装置。 - 液晶パネルをステージに搭載し、
複数のプローブピンを有するプローブユニットの各プローブピンを、ステージに搭載された液晶パネルの電極に接触させ、
各プローブピンから液晶パネルの電極へ駆動電圧を印加する液晶パネル検査方法であって、
ステージと画像取得装置とを相対的に移動し、
画像取得装置により、各プローブピンの画像を取得し、
画像取得装置が出力した画像信号を処理して、各プローブピンの位置を検出し、
各プローブピンの位置の検出結果に基づき、各プローブピンの位置がステージに搭載する液晶パネルの電極の位置に合っているか確認することを特徴とする液晶パネル検査方法。 - プローブユニットを移動するプローブユニット移動手段を設け、
各プローブピンの位置の検出結果に基づき、プローブユニット移動手段によりプローブユニットを移動して、各プローブピンの位置をステージに搭載する液晶パネルの電極の位置に合わせることを特徴とする請求項5に記載の液晶パネル検査方法。 - 画像取得装置に、各プローブピンへ光を照射し、各プローブピンからの反射光を集光するレンズと、レンズを移動して、画像取得装置の焦点を調節する焦点調節手段とを設け、
焦点調節手段によりレンズを移動して、画像取得装置の焦点を各プローブピンの先端に合わせ、
レンズの移動量に基づき、各プローブピンの先端の高さを検出して、各プローブピンの先端の高さがステージに搭載する液晶パネルの電極に接触する高さであるか確認することを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の液晶パネル検査方法。 - 電極が設けられたTFT基板側を上にして、液晶パネルをステージに搭載し、
プローブユニットを、ステージに搭載された液晶パネルの下方に配置して、各プローブピンを、TFT基板に設けられた電極に下方から接触させ、
画像取得装置を、プローブユニットの上方に配置して、各プローブピンの画像を上方から取得すると共に、
TFT基板の回路パターンを修正するレーザー装置を、ステージに搭載された液晶パネルの上方に配置して、TFT基板の回路パターンを上方から修正することを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれか一項に記載の液晶パネル検査方法。
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KR101129708B1 (ko) | 2010-05-28 | 2012-03-28 | 조영창 | 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사장치, 및 이를 이용한 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사방법 |
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JPH09138111A (ja) * | 1995-11-16 | 1997-05-27 | Sharp Corp | アライメント装置および方法 |
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2008
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