JP4729328B2 - 欠陥修正装置 - Google Patents
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Description
1a 基板表面
2 ステージ部
5 門型支持部
6 欠陥検出ユニット
6b 第1画像読取部(画像読取手段)
6e 第1光源
7 欠陥修正ユニット
7b レーザーヘッド
7c 第2画像読取部
7d 第2光源
10 主制御部
11 ステージ部駆動制御部
12 第1光源制御部
13 第1画像処理手段(画像処理手段)
14 欠陥検出ユニット駆動制御部
15 第2光源制御部
16 第2画像処理手段
17 レーザー制御部
18 欠陥修正ユニット駆動制御部
A 欠陥修正装置
Claims (3)
- 基板上に発生した欠陥を修正する欠陥修正装置において、
前記基板を支持するステージ部と、
水平梁部材を有し前記ステージ部を跨いで架橋される一対の門型支持部と、
前記ステージ部と前記門型支持部とを相対移動させる駆動手段と、
前記門型支持部の前記水平梁部材に設けられ、前記基板を照明するライン照明光源と前記基板を撮像する第1画像読取部とを複数有し、これらの前記ライン照明光源と前記第1画像読取部とから前記基板の検査画像を取得する欠陥検出ユニットと、
前記基板の全面の検査画像に基づいて、前記欠陥を検出して欠陥の位置座標を含む欠陥情報を取得する画像処理手段と、
前記門型支持部の前記水平梁部材に沿って移動可能に設けられ、前記位置座標に基づいて前記欠陥の位置に移動するとともに、前記基板の欠陥を撮像する第2画像読取部を有し前記第2画像読取部によって撮像した欠陥画像に基づいて修正の要否を判断し、必要な場合に欠陥を修正する欠陥修正ユニットと、
を備え、
前記一対の門型支持部には前記欠陥検出ユニットと前記欠陥修正ユニットとがそれぞれ設けられ、前記基板の半分の領域に対してそれぞれ欠陥検出と欠陥修正が行えるように前記一対の門型支持部を独立させて駆動制御する
ことを特徴とする欠陥修正装置。 - 前記欠陥検出ユニットと前記欠陥修正ユニットは、一つの前記門型支持部の水平梁部材の一方の側面と他方の側面に支持されることを特徴とする請求項1に記載の欠陥修正装置。
- ライン照明光源と前記第1画像読取部は、前記ライン照明光源から前記基板に向けて所定の入射角度でライン状の照明光を照射し、前記基板からの光を所定の反射角度で前記第1画像読取部により撮像可能な相対位置に配置され、前記入射角度と前記反射角度を調整できるように少なくとも一方を回動可能に設けたことを特徴とする請求項1に記載の欠陥修正装置。
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