JP2004286532A - 外観検査方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握すること。
【解決手段】複数のLCD基板2の各原画像データをそれぞれ画像処理してLCD基板2の欠陥部G1、G2を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部G1、G2の数を加算する。
【選択図】 図7
【解決手段】複数のLCD基板2の各原画像データをそれぞれ画像処理してLCD基板2の欠陥部G1、G2を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部G1、G2の数を加算する。
【選択図】 図7
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハなどの半導体回路基板上や液晶ディスプレイ(LCD)パネルなどのフラットパネルディスプレイ(FPD)基板上の検査を行なう外観検査方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体回路やLCDパネルなどの製品の製造工程では、製品の歩留まりや品質維持のために製造工程の後に、製品の検査工程が配備されている。この検査工程には、製品の外観検査があり、検査作業員が製品を目視により検査するのが一般的である。
【0003】
近年、例えばLCDパネルの基板(以下、LCD基板と称する)上の多種多様の欠陥部を撮像し、その撮像画像データを画像処理することによって自動的に検査することができる自動外観検査装置の開発が盛んになり、その実用化も進んでいる。
【0004】
半導体回路やLCDパネルなどの製品は、製造工程において通常ロットと呼ばれる例えば20枚の検査基板を1組とした単位で製造が進行する。検査工程では、ロットの全数について自動外観検査するか、又は予め指定された枚数のみを抜き取りして自動外観検査することが行われている。そして、自動外観検査では、1枚のLCD基板毎に欠陥抽出、欠陥分類、LCD基板の良否判定といった検査処理が行われる。
【0005】
この自動外観検査では、LCD基板個々の欠陥情報や判定結果の集計結果から1ロットの検査中であっても、例えば数枚のLCD基板に対する集計結果から欠陥数が多ければ、検査の途中で見切りを付けて検査を終了させ、そのロットに対する良否判定することが必要になる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、LCD基板個々の欠陥情報や判定結果の集計は、テキストファイルや数値データによって行われている。このため、ロット検査を途中で終了した場合、自動外観装置に撮像した撮像画像データの保存及びその表示機能があれば、その画像と集計データとを比べながら欠陥部を判断しなければならない。すなわち、ロット検査の途中で検査終了処理が発生して担当の検査作業員に対して警告が発せられたとき、検査作業員はLCD基板上のどの領域に欠陥部が発生して問題になっているのかを瞬時に把握することが困難になっている。
【0007】
そこで本発明は、ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握できる外観検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して被検査対象物の欠陥部を抽出してその欠陥抽出画像データを取得する工程と、撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と欠陥抽出画像データとの座標位置を一致させて各座標領域毎に欠陥部の数を加算する工程と、欠陥部の加算結果から被検査対象物の良否判定を行う工程とを有する外観検査方法である。
【0009】
本発明は、複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して各撮像画像データごとに被検査対象物の欠陥部を抽出する外観検査装置において、撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する座標情報記憶手段と、被検査対象物の欠陥部を抽出して得られる欠陥抽出画像データと座標情報との座標位置を一致させて各座標領域毎に欠陥部の数を加算する加算手段と、加算手段の結果に基づいて被検査対象物の良否判定を行う判定手段とを具備した外観検査装置である。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0011】
図1は外観検査装置の構成図である。検査ステージ1上には、例えばLCDパネルに用いられるLCD基板2が載置される。このLCD基板2は、例えばLCD製造工程でのLCDパネル製造に用いられる。
【0012】
検査ステージ1は、装置制御ユニット3によって後述するラインセンサカメラ5のライン方向に対して直交する1軸方向に移動するものである。
【0013】
検査ステージ1上に載置されたLCD基板2の上方には、ライン照明装置4とラインセンサカメラ5とがLCD基板2の面上を介して対向配置されている。ライン照明装置4は、ライン照明光6をLCD基板2の表面に対して所定の入射角で照射するように傾けて配置されている。
【0014】
ラインセンサカメラ5は、LCD基板2の面からの反射光7を撮像してその画像信号を出力する。
【0015】
画像処理ボード8は、ラインセンサカメラ5から出力された画像信号を入力して撮像画像データ(以下、原画像データと称する)を作成し、この原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつ欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した欠陥抽出画像データ(以下、結果画像データと称する)を作成する機能を有する。
【0016】
装置制御兼画像表示用パーソナルコンピュータ(以下、装置制御兼画像表示用PCと称する)9は、画像処理ボード8から結果画像データを受け取って内部メモリ上に展開してモニタ10に表示し、かつ画像処理ボード8からの原画像データ及び結果画像データを画像サーバ11に保存する機能を有する。これら原画像データ及び結果画像データの画像サーバ11への保存は、例えばJPGファイル、BMPファイルといったファイルフォーマットで行われる。
【0017】
又、装置制御兼画像表示用PC9は、内部のプログラムメモリに記憶されている検査プログラムを実行することにより座標情報記憶部12と、加算部13と、報知部14との機能を有する。
【0018】
このうち座標情報記憶部12は、原画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する。例えば、図2は原画像データの模式図である。この原画像データは、基板表面上にLCDパネル15が縦横方向に9枚配列されて作成されたLCD基板2を撮像して取得したものである。
【0019】
この原画像データに対する座標情報は、例えば図3に示すようにLCD基板2の縦横方向に対し、縦方向を5分割し、横方向を4分割し、合計20個の矩形Kに分割する。そして、これら分割された各矩形領域は、それぞれ座標(0,0)、(0,1)、…、(4,3)が付されて2次元配列で表現したものとなっている。なお、これら矩形領域は、それぞれ座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)と称し、その各サイズは、欠陥抽出画像データの解像度以下に分割されている。
【0020】
加算部13は、LCD基板2の表面上の欠陥部を抽出して得られる結果画像データと図4に示す座標情報との座標位置を一致させて各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)毎に欠陥部の数を加算する機能を有する。この場合、加算部13は、例えば各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)毎の各カウンタを持ち、これらカウンタによってそれぞれ欠陥部の数をカウントする。
【0021】
この欠陥部の数の加算方法は、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める方法と、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計を求める方法と、欠陥部の種類別、例えば傷、ショット班、欠け、汚れ、塵埃、むら等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める方法と、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数を求める方法とがある。
【0022】
報知部14は、加算部13による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数、例えば欠陥数「5」以上になると、モニタ10の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する機能を有する。
【0023】
なお、装置制御兼画像表示用PC9には、キーボード15及びマウス16が接続され、検査に対する指示や設定の変更を行なえるようになっている。例えば、キーボード15又はマウス16を操作することによって図4に示す座標情報の各座標領域のサイズや分割数を変更できる。
【0024】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図5に示す検査フローチャートに従って説明する。
【0025】
検査の開始前に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS1において、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥数のカウント値を初期化する。
【0026】
次に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS2において、1ロット、例えば20枚のLCD基板2に対する検査が終了したか否かの判断を行ない、ここでは検査が終了していないので、次のステップS3に進む。
【0027】
次に、1ロットのLCD基板2が収納されたカセットの全数検査が行われる。このカセットからは、図示しない搬送ロボットによりLCD基板2が1枚づつ取り出され、これらLCD基板2が検査ステージ1上に順次載置される。
【0028】
この状態に、ライン照明装置4は、LCD基板2の表面に対してライン照明光6を所定の入射角で照射する。このとき、ラインセンサカメラ5は、ステップS2において、LCD基板2の面からの反射光7を撮像してその画像信号を出力する。これと共に、検査ステージ1は、装置制御ユニット3によってラインセンサカメラ5のライン方向に対して直交する1軸方向に移動する。これによって、ラインセンサカメラ5からは、LCD基板2の全面を走査した画像信号が出力される。
【0029】
画像処理ボード8は、ステップS4において、ラインセンサカメラ5から出力された画像信号を入力して原画像データを作成し、この原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップS5において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する。
【0030】
図6は結果画像データの一例を示す模式図である。この結果画像データには、各欠陥部G1、G2が抽出されている。これら欠陥部G1、G2は、例えばその欠陥部の種類が異なるものである。
【0031】
装置制御兼画像表示用PC9は、画像処理ボード8から図6に示す結果画像データを受け取って内部メモリ上に展開してモニタ10に表示し、かつ画像処理ボード8からの原画像データ及び結果画像データを、例えばJPGファイル、BMPファイルといったファイルフォーマットで画像サーバ11に保存する。
【0032】
次に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS6において、図6に示す結果画像データ上に欠陥部があるか否かを判断し、ここでは欠陥部G1、G2が抽出されているので、次のステップS7に進み、図7に示すように結果画像データと図4に示す座標情報との座標位置を一致させて重ね合わせ、加算部13を動作させて各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)毎に欠陥部の数を加算する。
【0033】
この場合、欠陥部G1は2つの座標領域(3,0)、(3,1)にあり、欠陥部G2は2つの座標領域(2,1)、(2,2)にある。
【0034】
従って、加算部13は、これら座標領域(3,0)、(3,1)、(2,1)、(2,2)の各カウンタをそれぞれカウントアップする。
【0035】
なお、加算部13は、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計を求めたり、さらに欠陥部G1、G2などの種類別、例えば傷、ショット班、欠け、汚れ、塵埃、むら等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求めたり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部、例えば傷のみの加算数を求める。
【0036】
又、同一の座標領域内に複数の欠陥部があれば、これら欠陥部を1つとして複数のカウントを行なう。
【0037】
次に、報知部14は、ステップS8において、加算部13による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数、例えば欠陥数「5」以上になったか否かを判断する。
【0038】
この場合、報知部14は、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの各加算数がそれぞれ個別に欠陥数「5」以上になった否かを判断したり、さらには、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計が欠陥数「5」以上になった否かを判断したり、欠陥部G1、G2などの種類別にそれぞれ欠陥部の各加算数が欠陥数「5」以上になったか否かを判断したり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数が欠陥数「5」以上になったか否かを判断する。
【0039】
報知部14は、これら欠陥部の加算数のうちいずれか1つの加算数が欠陥数「5」以上になると、モニタ10の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する。
【0040】
そして、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS10に移り、1ロットのLCD基板2に対する検査を途中で終了する。
【0041】
ここで、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとに欠陥部の加算数を求めていた場合、装置制御兼画像表示用PC9は、LCD基板2に対する検査を途中で終了する起因となったLCD基板2の結果画像データ上に対し、欠陥部の加算数が「5」以上となった座標領域、例えば図8に示すように座標領域(3,0)、(3,1)の各矩形Kを上書きし、その画像をモニタ10に表示してもよい。
【0042】
又、装置制御兼画像表示用PC9は、図6に示すLCD基板2の結果画像データ上に、図7に示す各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)からなる座標情報を上書きし、その画像をモニタ10に表示してもよい。
【0043】
一方、加算部13による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数「5」に達していなければ、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS9に移り、1ロットの全数について検査が終了したか否かを判断し、終了していなければ、再びステップS2に戻って次のLCD基板2に対する検査を行なう。そして、1ロットの全数について検査が終了すると、検査自体が終了する。
【0044】
このように上記第1の実施の形態においては、複数のLCD基板2の各原画像データをそれぞれ画像処理してLCD基板2の欠陥部を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部の数を加算するので、複数枚のLCD基板2の検査結果から各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)での各欠陥部の数から欠陥が現れる傾向を把握できる。例えば、欠陥が現れる傾向から欠陥部が現れる座標領域が特定されると、検査工程の前の製造工程、例えば露光プロセスにおいて欠陥部を生じさせる要因があることなどを判定できる。
【0045】
さらに、欠陥部の加算数が予め設定された例えば欠陥数「5」に達すれば、LCD基板2に対する検査を途中で終了するので、無駄に検査を続けることなく、検査の途中で1ロットのLCD基板2の全体を不良品として判定できる。
【0046】
又、欠陥部の数の加算方法として、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計を求めたり、欠陥部の種類別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求めたり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数を求めたりすれば、欠陥部の種類別にその現れる傾向を把握でき、欠陥部を生じさせる要因の判定に用いることができる。
【0047】
さらに、特定の欠陥部のみの数を加算するようにすれば、LCD基板2の製造工程において絶対的に不必要な欠陥部の発生を検出することができ、特定の欠陥部の発生があれば、これを直ちに検出して製造工程に反映できる。
【0048】
又、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)のサイズを小さくすると、欠陥部の発生するLCD基板2上の位置を正確に把握することができる。これにより、欠陥部を生じさせる要因、例えば露光プロセスにおけるステッパ特有の欠陥部であることなどを判定できる。
【0049】
なお、上記第1の実施の形態は、次の通り変形してもよい。
【0050】
例えば、図6に示す結果画像データは、欠陥部に対応する部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により表示したが、これに限らず、例えば欠陥部に対応する部分を赤色、非欠陥部分を原画像データそのままで表示してもよい。
【0051】
又、欠陥部の数を加算するだけでなく、欠陥部の現れた座標領域の履歴を記憶してもよい。この場合、欠陥部の種類も合わせて記憶する。この履歴により過去に現れた欠陥部の座標領域やその種類の傾向を把握できる。
【0052】
(2)次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0053】
図9は外観検査装置の構成図である。画像サーバ11には、例えば1ロットのLCD基板2に対する全数検査した複数の原画像データが保存されている。
【0054】
装置制御兼画像表示用PC9は、画像サーバ11に保存されている複数の原画像データから画像検索ツールを実行して任意の原画像データを検索し、この原画像データをモニタ10に表示する機能を有する。
【0055】
又、装置制御兼画像表示用PC9は、原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップS5において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する機能を有する。
【0056】
座標情報記憶部12には、例えば、図10に示す原画像データに対する座標情報が記憶されている。図10に示す原画像データは、基板表面上にLCDパネル15が縦横方向に4枚配列されて作成されたLCD基板2を撮像して取得したものである。この原画像データに対する座標情報は、例えば図11に示すようにLCD基板2の各LCDパネル15毎にそれぞれ縦方向を3分割し、横方向を2分割し、かつこれら矩形K1〜K4内の各座標領域に座標(1,1)、(1,2)、…、(4,6)を付したものとなっている。
【0057】
なお、矩形K1内には座標(1,1)、(1,2)、…、(1,6)が付され、矩形K2内には座標(2,1)、(2,2)、…、(2,6)が付され、矩形K3には座標(3,1)、(3,2)、…、(3,6)が付され、矩形K4内には座標(4,1)、(4,2)、…、(4,6)が付されている。
【0058】
これら座標領域(1,1)〜(4,6)の各サイズは、欠陥抽出画像データの解像度以下に分割されている。
【0059】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図12に示す検査フローチャートに従って説明する。なお、上記第1の実施の形態と同一ステップの説明は省略する。
【0060】
装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS20において、画像サーバ11に保存されている複数の原画像データから画像検索ツールを実行して任意の原画像データを検索し、この原画像データをモニタ10に表示する。
【0061】
次に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS4において、原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップS5において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する。
【0062】
図13は結果画像データの一例を示す模式図であって、例えばショット班の欠陥部G3が抽出されている。
【0063】
次に、加算部13は、ステップS7において、図14に示すように結果画像データと図11に示す座標情報との座標位置を一致させて重ね合わせ、各座標領域(1,1)〜(4,6)毎に欠陥部の数を加算する。
【0064】
ここでは、加算部13は、欠陥部G3が存在する各座標領域(3,1)、(3,2)の各カウンタをそれぞれカウントアップする。又、加算部13は、欠陥部G3などの種類別、例えば傷、ショット班等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める。
【0065】
次に、報知部14は、ステップS8において、加算部13による欠陥部の種類別の各加算数が予め欠陥部の種類別に設定された欠陥数、例えば傷に対する欠陥数「10」、ショット班に対する欠陥数「5」以上になったか否かを判断する。
【0066】
この判断の結果、いずれか一方の欠陥部の種類の加算数が予め設定された各欠陥数、例えば傷に対する欠陥数「10」、ショット班に対する欠陥数「5」以上になると、報知部14は、ステップS21に移り、モニタ10の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する。
【0067】
このように上記第2の実施の形態によれば、画像サーバ11に例えば1ロットのLCD基板2に対する全数検査した複数の原画像データを保存しても、これら原画像データを検索して読み出して欠陥部の数を加算することにより、上記第1の実施の形態と同様の効果を奏することができることは言うまでもなく、LCD基板2の原画像データを取得するための検査ステージ1や装置制御ユニット3、ライン照明装置4、ラインセンサカメラ5、画像処理ボード8と別体で欠陥部の現れる傾向を把握できる。
【0068】
なお、本発明は、上記第1及び第2の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0069】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0070】
例えば、LCD基板2の検査に限らず、ウエハなどの半導体回路上や液晶ディスプレイなどの各種フラットパネルディスプレイ(FPD)の検査も行なうことができる。
【0071】
又、上記第2の実施の形態では、図11に示すように各LCDパネル15に対して各矩形K1〜K4の座標情報を重ね合わせているが、図10に示す各LCDパネル15の縁取り部分20に対しても矩形の座標領域を重ね合わせれば、各LCDパネル15の縁取り部分20に対する欠陥部の数を加算できる。LCDパネル15の縁取り部分20には、LCDのドライバ回路やその配線が形成されるものであり、この半導体回路上の欠陥部の発生の傾向を把握できる。
【0072】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握できる外観検査方法及びその装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態を示す構成図。
【図2】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における原画像データの模式図。
【図3】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態におけるLCD基板を縦横方向に分割した各領域を示す図。
【図4】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態におけるLCD基板を分割する座標情報を示す図。
【図5】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における検査フローチャート。
【図6】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における結果画像データを示す模式図。
【図7】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における結果画像データと座標情報との重ね合わせを示す模式図。
【図8】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における検査途中終了した起因となった結果画像データに座標領域を上書きした模式図。
【図9】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態を示す構成図。
【図10】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における原画像データの模式図。
【図11】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態におけるLCD基板を分割する座標情報を示す図。
【図12】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における検査フローチャート。
【図13】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における結果画像データを示す模式図。
【図14】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における結果画像データと座標情報との重ね合わせを示す模式図。
【符号の説明】
1:検査ステージ、2:LCD基板、3:装置制御ユニット、4:ライン照明装置、5:ラインセンサカメラ、8:画像処理ボード、9:装置制御兼画像表示用パーソナルコンピュータ、10:モニタ、11:画像サーバ、12:座標情報記憶部、13:加算部、14:報知部、15:キーボード、16:マウス、20:縁取り部分。
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハなどの半導体回路基板上や液晶ディスプレイ(LCD)パネルなどのフラットパネルディスプレイ(FPD)基板上の検査を行なう外観検査方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体回路やLCDパネルなどの製品の製造工程では、製品の歩留まりや品質維持のために製造工程の後に、製品の検査工程が配備されている。この検査工程には、製品の外観検査があり、検査作業員が製品を目視により検査するのが一般的である。
【0003】
近年、例えばLCDパネルの基板(以下、LCD基板と称する)上の多種多様の欠陥部を撮像し、その撮像画像データを画像処理することによって自動的に検査することができる自動外観検査装置の開発が盛んになり、その実用化も進んでいる。
【0004】
半導体回路やLCDパネルなどの製品は、製造工程において通常ロットと呼ばれる例えば20枚の検査基板を1組とした単位で製造が進行する。検査工程では、ロットの全数について自動外観検査するか、又は予め指定された枚数のみを抜き取りして自動外観検査することが行われている。そして、自動外観検査では、1枚のLCD基板毎に欠陥抽出、欠陥分類、LCD基板の良否判定といった検査処理が行われる。
【0005】
この自動外観検査では、LCD基板個々の欠陥情報や判定結果の集計結果から1ロットの検査中であっても、例えば数枚のLCD基板に対する集計結果から欠陥数が多ければ、検査の途中で見切りを付けて検査を終了させ、そのロットに対する良否判定することが必要になる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、LCD基板個々の欠陥情報や判定結果の集計は、テキストファイルや数値データによって行われている。このため、ロット検査を途中で終了した場合、自動外観装置に撮像した撮像画像データの保存及びその表示機能があれば、その画像と集計データとを比べながら欠陥部を判断しなければならない。すなわち、ロット検査の途中で検査終了処理が発生して担当の検査作業員に対して警告が発せられたとき、検査作業員はLCD基板上のどの領域に欠陥部が発生して問題になっているのかを瞬時に把握することが困難になっている。
【0007】
そこで本発明は、ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握できる外観検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して被検査対象物の欠陥部を抽出してその欠陥抽出画像データを取得する工程と、撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と欠陥抽出画像データとの座標位置を一致させて各座標領域毎に欠陥部の数を加算する工程と、欠陥部の加算結果から被検査対象物の良否判定を行う工程とを有する外観検査方法である。
【0009】
本発明は、複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して各撮像画像データごとに被検査対象物の欠陥部を抽出する外観検査装置において、撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する座標情報記憶手段と、被検査対象物の欠陥部を抽出して得られる欠陥抽出画像データと座標情報との座標位置を一致させて各座標領域毎に欠陥部の数を加算する加算手段と、加算手段の結果に基づいて被検査対象物の良否判定を行う判定手段とを具備した外観検査装置である。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0011】
図1は外観検査装置の構成図である。検査ステージ1上には、例えばLCDパネルに用いられるLCD基板2が載置される。このLCD基板2は、例えばLCD製造工程でのLCDパネル製造に用いられる。
【0012】
検査ステージ1は、装置制御ユニット3によって後述するラインセンサカメラ5のライン方向に対して直交する1軸方向に移動するものである。
【0013】
検査ステージ1上に載置されたLCD基板2の上方には、ライン照明装置4とラインセンサカメラ5とがLCD基板2の面上を介して対向配置されている。ライン照明装置4は、ライン照明光6をLCD基板2の表面に対して所定の入射角で照射するように傾けて配置されている。
【0014】
ラインセンサカメラ5は、LCD基板2の面からの反射光7を撮像してその画像信号を出力する。
【0015】
画像処理ボード8は、ラインセンサカメラ5から出力された画像信号を入力して撮像画像データ(以下、原画像データと称する)を作成し、この原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつ欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した欠陥抽出画像データ(以下、結果画像データと称する)を作成する機能を有する。
【0016】
装置制御兼画像表示用パーソナルコンピュータ(以下、装置制御兼画像表示用PCと称する)9は、画像処理ボード8から結果画像データを受け取って内部メモリ上に展開してモニタ10に表示し、かつ画像処理ボード8からの原画像データ及び結果画像データを画像サーバ11に保存する機能を有する。これら原画像データ及び結果画像データの画像サーバ11への保存は、例えばJPGファイル、BMPファイルといったファイルフォーマットで行われる。
【0017】
又、装置制御兼画像表示用PC9は、内部のプログラムメモリに記憶されている検査プログラムを実行することにより座標情報記憶部12と、加算部13と、報知部14との機能を有する。
【0018】
このうち座標情報記憶部12は、原画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する。例えば、図2は原画像データの模式図である。この原画像データは、基板表面上にLCDパネル15が縦横方向に9枚配列されて作成されたLCD基板2を撮像して取得したものである。
【0019】
この原画像データに対する座標情報は、例えば図3に示すようにLCD基板2の縦横方向に対し、縦方向を5分割し、横方向を4分割し、合計20個の矩形Kに分割する。そして、これら分割された各矩形領域は、それぞれ座標(0,0)、(0,1)、…、(4,3)が付されて2次元配列で表現したものとなっている。なお、これら矩形領域は、それぞれ座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)と称し、その各サイズは、欠陥抽出画像データの解像度以下に分割されている。
【0020】
加算部13は、LCD基板2の表面上の欠陥部を抽出して得られる結果画像データと図4に示す座標情報との座標位置を一致させて各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)毎に欠陥部の数を加算する機能を有する。この場合、加算部13は、例えば各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)毎の各カウンタを持ち、これらカウンタによってそれぞれ欠陥部の数をカウントする。
【0021】
この欠陥部の数の加算方法は、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める方法と、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計を求める方法と、欠陥部の種類別、例えば傷、ショット班、欠け、汚れ、塵埃、むら等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める方法と、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数を求める方法とがある。
【0022】
報知部14は、加算部13による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数、例えば欠陥数「5」以上になると、モニタ10の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する機能を有する。
【0023】
なお、装置制御兼画像表示用PC9には、キーボード15及びマウス16が接続され、検査に対する指示や設定の変更を行なえるようになっている。例えば、キーボード15又はマウス16を操作することによって図4に示す座標情報の各座標領域のサイズや分割数を変更できる。
【0024】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図5に示す検査フローチャートに従って説明する。
【0025】
検査の開始前に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS1において、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥数のカウント値を初期化する。
【0026】
次に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS2において、1ロット、例えば20枚のLCD基板2に対する検査が終了したか否かの判断を行ない、ここでは検査が終了していないので、次のステップS3に進む。
【0027】
次に、1ロットのLCD基板2が収納されたカセットの全数検査が行われる。このカセットからは、図示しない搬送ロボットによりLCD基板2が1枚づつ取り出され、これらLCD基板2が検査ステージ1上に順次載置される。
【0028】
この状態に、ライン照明装置4は、LCD基板2の表面に対してライン照明光6を所定の入射角で照射する。このとき、ラインセンサカメラ5は、ステップS2において、LCD基板2の面からの反射光7を撮像してその画像信号を出力する。これと共に、検査ステージ1は、装置制御ユニット3によってラインセンサカメラ5のライン方向に対して直交する1軸方向に移動する。これによって、ラインセンサカメラ5からは、LCD基板2の全面を走査した画像信号が出力される。
【0029】
画像処理ボード8は、ステップS4において、ラインセンサカメラ5から出力された画像信号を入力して原画像データを作成し、この原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップS5において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する。
【0030】
図6は結果画像データの一例を示す模式図である。この結果画像データには、各欠陥部G1、G2が抽出されている。これら欠陥部G1、G2は、例えばその欠陥部の種類が異なるものである。
【0031】
装置制御兼画像表示用PC9は、画像処理ボード8から図6に示す結果画像データを受け取って内部メモリ上に展開してモニタ10に表示し、かつ画像処理ボード8からの原画像データ及び結果画像データを、例えばJPGファイル、BMPファイルといったファイルフォーマットで画像サーバ11に保存する。
【0032】
次に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS6において、図6に示す結果画像データ上に欠陥部があるか否かを判断し、ここでは欠陥部G1、G2が抽出されているので、次のステップS7に進み、図7に示すように結果画像データと図4に示す座標情報との座標位置を一致させて重ね合わせ、加算部13を動作させて各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)毎に欠陥部の数を加算する。
【0033】
この場合、欠陥部G1は2つの座標領域(3,0)、(3,1)にあり、欠陥部G2は2つの座標領域(2,1)、(2,2)にある。
【0034】
従って、加算部13は、これら座標領域(3,0)、(3,1)、(2,1)、(2,2)の各カウンタをそれぞれカウントアップする。
【0035】
なお、加算部13は、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計を求めたり、さらに欠陥部G1、G2などの種類別、例えば傷、ショット班、欠け、汚れ、塵埃、むら等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求めたり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部、例えば傷のみの加算数を求める。
【0036】
又、同一の座標領域内に複数の欠陥部があれば、これら欠陥部を1つとして複数のカウントを行なう。
【0037】
次に、報知部14は、ステップS8において、加算部13による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数、例えば欠陥数「5」以上になったか否かを判断する。
【0038】
この場合、報知部14は、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの各加算数がそれぞれ個別に欠陥数「5」以上になった否かを判断したり、さらには、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計が欠陥数「5」以上になった否かを判断したり、欠陥部G1、G2などの種類別にそれぞれ欠陥部の各加算数が欠陥数「5」以上になったか否かを判断したり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数が欠陥数「5」以上になったか否かを判断する。
【0039】
報知部14は、これら欠陥部の加算数のうちいずれか1つの加算数が欠陥数「5」以上になると、モニタ10の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する。
【0040】
そして、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS10に移り、1ロットのLCD基板2に対する検査を途中で終了する。
【0041】
ここで、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとに欠陥部の加算数を求めていた場合、装置制御兼画像表示用PC9は、LCD基板2に対する検査を途中で終了する起因となったLCD基板2の結果画像データ上に対し、欠陥部の加算数が「5」以上となった座標領域、例えば図8に示すように座標領域(3,0)、(3,1)の各矩形Kを上書きし、その画像をモニタ10に表示してもよい。
【0042】
又、装置制御兼画像表示用PC9は、図6に示すLCD基板2の結果画像データ上に、図7に示す各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)からなる座標情報を上書きし、その画像をモニタ10に表示してもよい。
【0043】
一方、加算部13による欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数「5」に達していなければ、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS9に移り、1ロットの全数について検査が終了したか否かを判断し、終了していなければ、再びステップS2に戻って次のLCD基板2に対する検査を行なう。そして、1ロットの全数について検査が終了すると、検査自体が終了する。
【0044】
このように上記第1の実施の形態においては、複数のLCD基板2の各原画像データをそれぞれ画像処理してLCD基板2の欠陥部を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部の数を加算するので、複数枚のLCD基板2の検査結果から各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)での各欠陥部の数から欠陥が現れる傾向を把握できる。例えば、欠陥が現れる傾向から欠陥部が現れる座標領域が特定されると、検査工程の前の製造工程、例えば露光プロセスにおいて欠陥部を生じさせる要因があることなどを判定できる。
【0045】
さらに、欠陥部の加算数が予め設定された例えば欠陥数「5」に達すれば、LCD基板2に対する検査を途中で終了するので、無駄に検査を続けることなく、検査の途中で1ロットのLCD基板2の全体を不良品として判定できる。
【0046】
又、欠陥部の数の加算方法として、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)ごとの欠陥部の各加算数の総計を求めたり、欠陥部の種類別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求めたり、欠陥部のうち特定の種類の欠陥部のみの加算数を求めたりすれば、欠陥部の種類別にその現れる傾向を把握でき、欠陥部を生じさせる要因の判定に用いることができる。
【0047】
さらに、特定の欠陥部のみの数を加算するようにすれば、LCD基板2の製造工程において絶対的に不必要な欠陥部の発生を検出することができ、特定の欠陥部の発生があれば、これを直ちに検出して製造工程に反映できる。
【0048】
又、各座標領域(0,0)、(0,1)、…、(4,3)のサイズを小さくすると、欠陥部の発生するLCD基板2上の位置を正確に把握することができる。これにより、欠陥部を生じさせる要因、例えば露光プロセスにおけるステッパ特有の欠陥部であることなどを判定できる。
【0049】
なお、上記第1の実施の形態は、次の通り変形してもよい。
【0050】
例えば、図6に示す結果画像データは、欠陥部に対応する部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により表示したが、これに限らず、例えば欠陥部に対応する部分を赤色、非欠陥部分を原画像データそのままで表示してもよい。
【0051】
又、欠陥部の数を加算するだけでなく、欠陥部の現れた座標領域の履歴を記憶してもよい。この場合、欠陥部の種類も合わせて記憶する。この履歴により過去に現れた欠陥部の座標領域やその種類の傾向を把握できる。
【0052】
(2)次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0053】
図9は外観検査装置の構成図である。画像サーバ11には、例えば1ロットのLCD基板2に対する全数検査した複数の原画像データが保存されている。
【0054】
装置制御兼画像表示用PC9は、画像サーバ11に保存されている複数の原画像データから画像検索ツールを実行して任意の原画像データを検索し、この原画像データをモニタ10に表示する機能を有する。
【0055】
又、装置制御兼画像表示用PC9は、原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップS5において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する機能を有する。
【0056】
座標情報記憶部12には、例えば、図10に示す原画像データに対する座標情報が記憶されている。図10に示す原画像データは、基板表面上にLCDパネル15が縦横方向に4枚配列されて作成されたLCD基板2を撮像して取得したものである。この原画像データに対する座標情報は、例えば図11に示すようにLCD基板2の各LCDパネル15毎にそれぞれ縦方向を3分割し、横方向を2分割し、かつこれら矩形K1〜K4内の各座標領域に座標(1,1)、(1,2)、…、(4,6)を付したものとなっている。
【0057】
なお、矩形K1内には座標(1,1)、(1,2)、…、(1,6)が付され、矩形K2内には座標(2,1)、(2,2)、…、(2,6)が付され、矩形K3には座標(3,1)、(3,2)、…、(3,6)が付され、矩形K4内には座標(4,1)、(4,2)、…、(4,6)が付されている。
【0058】
これら座標領域(1,1)〜(4,6)の各サイズは、欠陥抽出画像データの解像度以下に分割されている。
【0059】
次に、上記の如く構成された装置の作用について図12に示す検査フローチャートに従って説明する。なお、上記第1の実施の形態と同一ステップの説明は省略する。
【0060】
装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS20において、画像サーバ11に保存されている複数の原画像データから画像検索ツールを実行して任意の原画像データを検索し、この原画像データをモニタ10に表示する。
【0061】
次に、装置制御兼画像表示用PC9は、ステップS4において、原画像データを画像処理してLCD基板2上の欠陥部、例えば傷、ショット班、欠け、むら、塵埃などを抽出すると共に、これら欠陥部の種類を分類し、かつステップS5において欠陥部に対応する画像データ上の部分を例えば白色、非欠陥部分を例えば黒色により示した結果画像データを作成する。
【0062】
図13は結果画像データの一例を示す模式図であって、例えばショット班の欠陥部G3が抽出されている。
【0063】
次に、加算部13は、ステップS7において、図14に示すように結果画像データと図11に示す座標情報との座標位置を一致させて重ね合わせ、各座標領域(1,1)〜(4,6)毎に欠陥部の数を加算する。
【0064】
ここでは、加算部13は、欠陥部G3が存在する各座標領域(3,1)、(3,2)の各カウンタをそれぞれカウントアップする。又、加算部13は、欠陥部G3などの種類別、例えば傷、ショット班等の別にそれぞれ欠陥部の各加算数を求める。
【0065】
次に、報知部14は、ステップS8において、加算部13による欠陥部の種類別の各加算数が予め欠陥部の種類別に設定された欠陥数、例えば傷に対する欠陥数「10」、ショット班に対する欠陥数「5」以上になったか否かを判断する。
【0066】
この判断の結果、いずれか一方の欠陥部の種類の加算数が予め設定された各欠陥数、例えば傷に対する欠陥数「10」、ショット班に対する欠陥数「5」以上になると、報知部14は、ステップS21に移り、モニタ10の画面上に検査員に向けての警報を表示したり、警報を音声により発する。
【0067】
このように上記第2の実施の形態によれば、画像サーバ11に例えば1ロットのLCD基板2に対する全数検査した複数の原画像データを保存しても、これら原画像データを検索して読み出して欠陥部の数を加算することにより、上記第1の実施の形態と同様の効果を奏することができることは言うまでもなく、LCD基板2の原画像データを取得するための検査ステージ1や装置制御ユニット3、ライン照明装置4、ラインセンサカメラ5、画像処理ボード8と別体で欠陥部の現れる傾向を把握できる。
【0068】
なお、本発明は、上記第1及び第2の実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0069】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0070】
例えば、LCD基板2の検査に限らず、ウエハなどの半導体回路上や液晶ディスプレイなどの各種フラットパネルディスプレイ(FPD)の検査も行なうことができる。
【0071】
又、上記第2の実施の形態では、図11に示すように各LCDパネル15に対して各矩形K1〜K4の座標情報を重ね合わせているが、図10に示す各LCDパネル15の縁取り部分20に対しても矩形の座標領域を重ね合わせれば、各LCDパネル15の縁取り部分20に対する欠陥部の数を加算できる。LCDパネル15の縁取り部分20には、LCDのドライバ回路やその配線が形成されるものであり、この半導体回路上の欠陥部の発生の傾向を把握できる。
【0072】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握できる外観検査方法及びその装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態を示す構成図。
【図2】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における原画像データの模式図。
【図3】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態におけるLCD基板を縦横方向に分割した各領域を示す図。
【図4】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態におけるLCD基板を分割する座標情報を示す図。
【図5】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における検査フローチャート。
【図6】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における結果画像データを示す模式図。
【図7】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における結果画像データと座標情報との重ね合わせを示す模式図。
【図8】本発明に係わる外観検査装置の第1の実施の形態における検査途中終了した起因となった結果画像データに座標領域を上書きした模式図。
【図9】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態を示す構成図。
【図10】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における原画像データの模式図。
【図11】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態におけるLCD基板を分割する座標情報を示す図。
【図12】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における検査フローチャート。
【図13】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における結果画像データを示す模式図。
【図14】本発明に係わる外観検査装置の第2の実施の形態における結果画像データと座標情報との重ね合わせを示す模式図。
【符号の説明】
1:検査ステージ、2:LCD基板、3:装置制御ユニット、4:ライン照明装置、5:ラインセンサカメラ、8:画像処理ボード、9:装置制御兼画像表示用パーソナルコンピュータ、10:モニタ、11:画像サーバ、12:座標情報記憶部、13:加算部、14:報知部、15:キーボード、16:マウス、20:縁取り部分。
Claims (8)
- 複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して前記被検査対象物の欠陥部を抽出してその欠陥抽出画像データを取得する工程と、
前記撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と前記欠陥抽出画像データとの座標位置を一致させて前記各座標領域毎に前記欠陥部の数を加算する工程と、
前記欠陥部の加算結果から前記被検査対象物の良否判定を行う工程と、
を有することを特徴とする外観検査方法。 - 前記欠陥部の加算数が所定数に達すると、前記被検査対象物を不良と判定し、その旨を報知することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。
- 複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して前記各撮像画像データごとに前記被検査対象物の欠陥部を抽出する外観検査装置において、
前記撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を記憶する座標情報記憶手段と、
前記被検査対象物の欠陥部を抽出して得られる欠陥抽出画像データと前記座標情報との座標位置を一致させて前記各座標領域毎に前記欠陥部の数を加算する加算手段と、
前記加算手段の結果に基づいて前記被検査対象物の良否判定を行う判定手段と、
を具備したことを特徴とする外観検査装置。 - 前記加算手段は、前記各座標領域別にそれぞれ前記欠陥部の各加算数を求めることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
- 前記加算手段は、前記欠陥部の種類別にそれぞれ前記欠陥部の各加算数を求めることを特徴とする請求項3記載の外観検査装置。
- 前記加算手段は、前記欠陥部のうち特定の欠陥部のみの加算数を求めることを特徴とする請求項3記載の外観検査装置。
- 前記判定手段は、前記加算手段による前記欠陥部の加算数が予め設定された欠陥数に達すると、前記被検査対象物を不良品と判定し、検査を中止すると共にその旨を報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項3記載の外観検査装置。
- 複数の前記被検査対象物を撮像装置により順次撮像して取得される前記各撮像画像データを用いる、又は既に撮像されて画像記憶装置に記憶されている前記撮像画像データを用いることを特徴とする請求項3記載の外観検査装置。
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