JP5085953B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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- 被検査物の表面検査と被検査物の外周側の端部検査をする表面検査装置において、
前記被検査物に対してプリアライメントを行うプリアライメント部と、
前記プリアライメント部内に配置された前記端部検査のためのレンズ系及びCCDカメ
ラと、
前記表面検査は前記プリアライメント部によってプリアライメントされた前記被検査物
に対して行われ、
さらに、前記表面検査と前記端部検査とはシリアルに行われ、
前記表面検査結果と前記端部検査結果とを管理情報に基づいて関連付け記憶し、前記C
CDカメラにより得られた画像、及び前記表面検査結果を前記被検査物の位置情報に関連
付けて記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記CCDカメラにより得られた画像、及び前記表面検査結
果を前記被検査物の位置情報に関連付けて表示する表示手段と、を有し、
前記端部の周辺部とエッジ部を照明する照明光学系は、前記エッジ部を照らす反射板を
有し、
前記エッジ部を照明する照明光学系は、ラインファイバを含むことを特徴とする表面検
査装置。 - 被検査物の表面検査と被検査物の外周側の端部検査をする表面検査装置において、
前記被検査物に対してプリアライメントを行うプリアライメント部と、
前記プリアライメント部内に配置された前記端部検査のためのレンズ系及びCCDカメ
ラと、
前記表面検査は前記プリアライメント部によってプリアライメントされた前記被検査物
に対して行われ、
さらに、前記表面検査と前記端部検査とはシリアルに行われ、
前記表面検査結果と前記端部検査結果とを管理情報に基づいて関連付け記憶し、前記CCDカメラにより得られた画像、及び前記表面検査結果を前記被検査物の位置情報に関連付けて記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記CCDカメラにより得られた画像、及び前記表面検査結果を前記被検査物の位置情報に関連付けて表示する表示手段と、を有し、
前記端部を撮した個々の被検査物の前記画像データを前記記憶手段に記憶し、前記画像データを演算処理して重ねられた前記端部の端面を表示することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項2記載の表面検査装置において、
個々の被検査物の前記端部に設けたノッチ部を揃えて表示することを特徴とする表面検査装置。
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