JP5002961B2 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
1b…ウェハの裏面
1a…ウェハの表面
1c…エッジ部
5…XY移動機構
10、20…欠陥検査装置
11…撮像機器
12…支持部
25…システムコントローラ
26…欠陥リスト格納部
31…座標情報追記プログラム
32…欠陥情報追記プログラム
Claims (4)
- 基板の裏面側から該基板のエッジ部を支持する支持機構と、
前記支持機構に支持された前記基板の表面側の前記エッジ部に発生した欠陥を検出する検出機器と、
前記支持機構に支持された前記基板を、該基板の前記表面に平行な面内で第1の方向及び該第1の方向に直交する第2の方向に移動させるXY移動機構と、前記エッジ部と前記検出機器とを相対的に接近させる際に前記支持機構または前記検出機器を昇降させる昇降機構と、を有し、前記XY移動機構により前記基板の位置を前記検出機器の位置に対して移動させる移動機構と、
前記基板表面上の、製品化される領域に相当する座標情報である第1の座標情報が記載された欠陥リストを格納する格納手段と、
前記格納された欠陥リストに、前記第1の座標情報とは異なる座標情報であって前記エッジ部に相当する座標情報である第2の座標情報を追記する座標情報追記手段と、
前記追記された第2の座標情報に対応する前記エッジ部に発生した欠陥を、前記検出機器を用いて検出させる制御手段と、
前記検出機器により検出された欠陥に関する欠陥情報を前記欠陥リストに追記する欠陥情報追記手段と
を具備する欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記検出機器は、撮像機器である欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記XY移動機構は、前記面内の座標の複数点間を補間するように前記基板を移動させる補間手段を有する欠陥検査装置。 - 基板の裏面側から該基板のエッジ部を支持するステップと、
前記基板表面上の、製品化される領域に相当する座標情報である第1の座標情報が記載された欠陥リストに、前記第1の座標情報とは異なる座標情報であって前記エッジ部に相当する座標情報である第2の座標情報を追記するステップと、
前記支持された前記基板の、前記追記された第2の座標情報に対応する前記エッジ部と、欠陥を検出する検出機器とを相対的に接近させるステップと、
前記支持された前記基板の位置を前記検出機器の位置に対して移動させながら、前記基板の表面側の前記第2の座標情報に対応する前記エッジ部に発生した欠陥を、前記検出機器を用いて検出するステップと、
前記検出機器により検出された欠陥に関する欠陥情報を前記欠陥リストに追記するステップと
を具備する欠陥検査方法。
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