JP2007188975A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】XY移動機構5は、ウェハ1を支持する支持部12と、この支持部12をX軸方向に移動させるX軸移動機構14と、支持部12及びX軸移動機構14を、X軸と直交するY軸方向に移動させるY軸移動機構15とを有している。支持部12は、ウェハ1の裏面1bの全面を支持する円板状の支持台13を有し、例えば真空チャックによってウェハ1を保持する。支持部13により、少なくともウェハ1の裏面1bのエッジ部1cが支持されるので、エッジ部1cのぶれを抑えることができ、エッジ部1cの欠陥を確実に検出することができる。
【選択図】図2
Description
1b…ウェハの裏面
1a…ウェハの表面
1c…エッジ部
5…XY移動機構
10、20…欠陥検査装置
11…撮像機器
12…支持部
25…システムコントローラ
26…欠陥リスト格納部
31…座標情報追記プログラム
32…欠陥情報追記プログラム
Claims (7)
- 基板の裏面側から該基板のエッジ部を支持する支持機構と、
前記支持機構に支持された前記基板の表面側の前記エッジ部に発生した欠陥を検出する検出機器と、
前記支持機構に支持された前記基板と前記検出機器とを相対的に移動させる移動機構と
を具備することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記検出機器は、撮像機器であることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記移動機構は、前記支持機構に支持された前記基板を、該基板の前記表面に平行な面内で第1の方向及び該第1の方向に直交する第2の方向に移動させるXY移動機構を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、
前記XY移動機構は、前記面内の座標の複数点間を補間するように前記基板を移動させる補間手段を有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記基板上の第1の座標情報が記載された欠陥リストを格納する格納手段と、
前記格納された欠陥リストに、前記第1の座標情報とは異なる座標情報であって前記エッジ部に相当する第2の座標情報を追記する座標情報追記手段と、
前記追記された第2の座標情報に対応する前記エッジ部に発生した欠陥を、前記検出機器を用いて検出するように制御する制御手段と
をさらに具備することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項5に記載の欠陥検査装置であって、
前記検出手段により検出された欠陥に関する欠陥情報を前記欠陥リストに追記する欠陥情報追記手段をさらに具備することを特徴とする欠陥検査装置。 - 基板の裏面側から該基板のエッジ部を支持するステップと、
前記支持された前記基板の前記エッジ部と、欠陥を検出する検出機器とを相対的に接近させるステップと、
前記エッジ部と前記検出機器とを相対的に移動させながら、前記基板の表面側の前記エッジ部に発生した欠陥を検出するステップと
を具備することを特徴とする欠陥検査方法。
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