JP2011065956A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トップテーブル101の大きさと可動ストロークとから決まる最小寸法とほぼ同じ大きさのベース104上に、リニアモータ110,111,112,113を、電子ビーム照射位置(ステージ装置中央)から遠ざけるように4辺に配置する。リニアモータ固定子110,112は「コの字」構造の開口部を装置の外側に向ける構成とした。また、可動テーブルとトップテーブルの連結は、非磁性材料を用いたリニアガイド107,109もしくは非磁性材料を用いたローラ機構によって行った。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の実施例1に係るステージ装置の外観見取図である。また、図2は、図1からトップテーブルを除去した見取図である。
102 Xテーブル
103 Yテーブル
104 ベース
105 Xガイド台
106 Xガイド
107 Xサブガイド
108 Yガイド
109 Yサブガイド
110 Xモータ固定子
111 Xモータ可動子
112 Yモータ固定子
113 Yモータ可動子
114 サブテーブル
115 連結部材
300 ローラ機構
401 除振マウント
402 試料室
403 ステージ装置
404 カラム
405 磁気シールド材
Claims (7)
- ベースと、
前記ベースに対して第一の方向に案内される第一のテーブルと、
前記ベースに対して前記第一の方向に直交する第二の方向に案内される第二のテーブルと、
前記第一のテーブル上で前記第二の方向に案内されるサブテーブルと、
前記第二のテーブル上で前記第一の方向に案内されるトップテーブルと、
前記サブテーブルと前記トップテーブルを連結する連結部材と、
前記第一のテーブルを前記第一の方向に駆動する第一の駆動手段と、
前記第二のテーブルを前記第二の方向に駆動する第二の駆動手段と、を備え、
前記第一の駆動手段と前記第二の駆動手段とによって前記トップテーブルを二次元移動させることが可能なステージ装置であって、
前記ベースは、前記トップテーブルの大きさと前記トップテーブルの可動距離とを加算した前記トップテーブルの可動範囲とほぼ等しい大きさであり、
前記第一の駆動手段は、前記第一の方向に沿って平行、かつ前記ベース上の前記第二の方向の端部近傍に配置されたリニアモータから構成され、
前記第二の駆動手段は、前記第二の方向に沿って平行、かつ前記ベース上の前記第一の方向の端部近傍に配置されたリニアモータから構成される、
ことを特徴とするステージ装置。 - 前記リニアモータは、一方が開口した箱形の構造を有し内側に永久磁石が対向配置された固定子と、コイルを備え前記固定子の内側を移動する可動子とから構成され、
前記第一の駆動手段を構成するリニアモータは、前記固定子の開口が前記ベースの中心から見て前記第二の方向の外側に向くように配置され、
前記第二の駆動手段を構成するリニアモータは、前記固定子の開口が前記第一の方向及び前記第二の方向に対して垂直の上方に向くように配置されている、
ことを特徴とする請求項1記載のステージ装置。 - 前記リニアモータは、一方が開口した箱形の構造を有し内側に永久磁石が対向配置された固定子と、前記固定子の内側を移動するコイルを備える可動子とから構成され、
前記第一の駆動手段を構成するリニアモータは、前記固定子の開口が前記ベースの中心から見て前記第二の方向の外側に向くように配置され、
前記第二の駆動手段を構成するリニアモータは、前記固定子の開口が前記ベースの中心から見て前記第一の方向の外側に向くように配置されている、
ことを特徴とする請求項1記載のステージ装置。 - 前記第一のテーブルの上面には、前記第二の方向に前記サブテーブルを案内するリニアガイドを備え、
前記リニアガイドは、非磁性材料によって構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のステージ装置。 - 前記第二のテーブルの上面には、前記第一の方向に前記トップテーブルを案内するリニアガイドを備え、
前記リニアガイドは、非磁性材料によって構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載のステージ装置。 - 前記サブテーブルは、前記第二のテーブルの前記第二の方向の両側面に接触する一対のローラ機構を備え、
前記ローラ機構は、
ローラと、
前記ローラを回転支持する軸と、
前記軸を支持するバネ構造と、
前記バネ構造を前記トップテーブルもしくは前記連結部材に固定する機構と、を備え、
前記バネ構造の予圧により前記ローラは前記第二のテーブルに押し付けられている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のステージ装置。 - 試料室と、
前記試料室の内部に配置されたステージ装置と、
前記ステージ装置に保持された試料に荷電粒子線を照射するカラムとを備える荷電粒子線装置において、
前記ステージ装置は請求項1〜6のいずれか1項記載のステージ装置であることを特徴とする荷電粒子線装置。
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