JP5753516B2 - 基板撮像装置及び基板撮像方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る基板撮像装置の構成を、図1〜図3を用いて説明する。
(基板撮像装置の構成)
図1に、本発明の実施例に係る基板撮像装置110の概略構成図を示す。
本発明の実施例に係る基板撮像装置110が基板の裏面を撮像する基板撮像方法を、図5を用いて説明する。
実施例1の変形例1の基板撮像装置120を説明する。なお、以後の本変形例の基板撮像装置120の説明において、前述の実施例1の基板撮像装置110と重複する説明は省略する。
図1に、本発明の変形例に係る基板撮像装置120の概略構成図を示す。
実施例1の変形例2の基板撮像装置130を説明する。なお、以後の本変形例の基板撮像装置130の説明において、前述の実施例1の基板撮像装置110と重複する説明は省略する。
図1に、本発明の変形例に係る基板撮像装置130の概略構成図を示す。
実施例1の変形例3の基板撮像装置140を説明する。なお、以後の本変形例の基板撮像装置140の説明において、前述の実施例1の基板撮像装置110と重複する説明は省略する。
図1に、本変形例に係る基板撮像装置140の概略構成図を示す。
(基板撮像装置の構成)
図9(a)及び(b)に、本発明の実施例2に係る基板撮像装置150の基板支持部の概略構成図を示す。なお、基板撮像装置150の構成の説明において、基板支持部以外の構成は前述の実施例1の基板撮像装置110の構成と同様のため説明は省略する。図9(a)は、基板Wを支持した一の支持部材を説明する概略平面図である。図9(b)は、吸着により基板を支持する状態を説明する概略側面図である。
本発明の実施例2に係る基板撮像装置150が基板の裏面を撮像する基板撮像方法を、図10を用いて説明する。図10(a)は、円形の基板Wの一端を吸着手段14aで支持し、対向する他端に対応する裏面において、その裏面の半円形状の領域を撮像領域として、撮像を開始する状態を示す。図10(b)は、基板Wの他端に対応する撮像領域を撮像した状態を示す。図10(c)は、基板Wの他端を吸着手段14bで支持する状態を示す。図10(d)は、吸着手段14aの基板Wの一端の支持を解除し、一端に対応する半円形状の領域を撮像領域として、撮像を再開する状態を示す。図10(e)は、基板Wの一端に対応する撮像領域を撮像した状態を示す。図10(f)は、撮像を完了し、撮像カメラ31Cを待機位置に戻した状態を示す。
実施例2の変形例1の基板撮像装置160を説明する。なお、以後の本変形例の基板撮像装置160の説明において、前述の実施例2の基板撮像装置150と重複する説明は省略する。
図9(a)及び(c)に、本変形例に係る基板撮像装置160の基板支持部の概略構成図を示す。なお、基板撮像装置160の構成の説明において、基板支持部以外の構成は前述の実施例2の基板撮像装置150の構成と同様である。図9(a)は、基板Wを支持した一の支持部材(15a)を説明する概略平面図である。図9(c)は、一の支持部材(15a)により挟んで支持する(以下、挟持するという。)ことにより基板を支持する状態を説明する概略側面図である。
本変形例に係る基板撮像装置160が基板の裏面を撮像する基板撮像方法を図10に示す。図10(a)乃至(f)は、前述の実施例2の基板撮像装置150と同様のため、説明を省略する。
10 : 基板支持部
11 : 第1の支持部材(一の支持部材)
11a、11b、11c: 基板支持片(第1の支持部材)
11as: 基板支持片11aの支持点
12 : 第2の支持部材(他の支持部材)
12a、12b、12c: 基板支持片(第2の支持部材)
12as: 基板支持片12aの支持点
13 : 第3の支持部材
13a、13b: ベルヌーイチャック
13B : チャック部
14a、14b: 吸着手段
14as、14bs : 吸着支点
15a、15b: 挟持手段
15aup: 上部の挟持部
15adw: 下部の挟持部
20 : 移動手段
21M、21Ma、21Mb、22M、22Ma、23M: 駆動部
21b、22b: ベルト部
21ga、21gb、22ga、22gb: 歯車部
21ra、21rb、22ra、22rb: 回転軸部
21A、21Aa、21Ab、22Aa、22Ab、23A: 駆動アーム部
30 : 撮像手段
31 : 撮像部
31C : 撮像カメラ
31La、34Lb: 光源
31M : ミラー
32 : 走査部
32B、32Bb: 基台
32S、32Sb: 走査台
W : 基板
Claims (9)
- 基板の検査をするために前記基板を撮像する基板撮像装置であって、
前記基板の裏面を支持する複数の支持部材を有する基板支持部と、
前記基板支持部により前記基板の裏面を支持した状態で前記基板の裏面を連続的に撮像する撮像手段と、
前記撮像手段の撮像領域に前記基板支持部の支持部材が位置する場合に、前記支持部材を前記撮像領域の範囲外に移動させる移動手段と、を有し、
前記基板支持部は、第1の支持部材と第2の支持部材とを含み、
前記撮像手段は、前記基板の裏面と該撮像手段との相対的な位置関係を一方向に変化させながら、
前記第1の支持部材が前記撮像領域に位置する場合には、前記第2の支持部材で前記基板の裏面を支持すると共に、前記移動手段により前記第1の支持部材を前記撮像領域の範囲外に移動させ、
前記第2の支持部材が前記撮像領域に位置する場合には、前記第1の支持部材で前記基板の裏面を支持すると共に、前記移動手段により前記第2の支持部材を前記撮像領域の範囲外に移動させることにより、
前記基板の裏面の全域を撮像することを特徴とする基板撮像装置。 - 前記第1の支持部材及び前記第2の支持部材は、前記基板を載置することができる3つの基板支持片を夫々含むことを特徴とする請求項1に記載の基板撮像装置。
- 前記第1の支持部材及び前記第2の支持部材は、前記裏面をベルヌーイの定理を用いて支持するベルヌーイチャックを夫々含むことを特徴とする請求項1に記載の基板撮像装置。
- 前記第1の支持部材及び前記第2の支持部材は、前記裏面を吸着して支持する吸着手段を夫々含むことを特徴とする請求項1に記載の基板撮像装置。
- 前記第1の支持部材及び前記第1の支持部材は、前記基板を挟んで支持する挟持手段を夫々含むことを特徴とする、請求項1に記載の基板撮像装置。
- 前記第1の支持部材及び前記第2の支持部材は、前記基板の1点又は2点以上を支持することを特徴とする、請求項3乃至5のいずれか一項に記載の基板撮像装置。
- 前記撮像手段は、前記基板の裏面と該撮像手段との相対的な位置関係を変化することができる走査部を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板撮像装置。
- 基板の裏面を支持する基板支持部の一の支持部材に前記基板を水平に支持させる基板支持工程と、
前記一の支持部材に支持される前記基板の裏面を撮像手段により連続的に撮像する第1の撮像工程と、
前記撮像手段の撮像領域に前記一の支持部材が位置する場合に、他の支持部材により前記基板の裏面を支持すると共に、前記一の支持部材を前記撮像領域の位置から退避させる第1の退避工程と、
前記他の支持部材に支持される前記基板の裏面を前記撮像手段により連続的に撮像する第2の撮像工程と、
前記撮像領域に前記他の支持部材が位置する場合に、前記一の支持部材により前記基板の裏面を支持すると共に、前記他の支持部材を前記撮像領域の位置から退避させる第2の退避工程と、
を含み、
前記基板の裏面と前記撮像手段との相対的な位置関係を一方向に変化させながら、前記第1の撮像工程及び前記第2の撮像工程により前記基板の裏面の全域を撮像する、
基板撮像方法。 - 前記一の支持部材及び前記他の支持部材は、ベルヌーイの定理を用いて前記裏面を支持することを特徴とする請求項8に記載の基板撮像方法。
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