TWI571644B - 針測裝置 - Google Patents

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TWI571644B
TWI571644B TW104123144A TW104123144A TWI571644B TW I571644 B TWI571644 B TW I571644B TW 104123144 A TW104123144 A TW 104123144A TW 104123144 A TW104123144 A TW 104123144A TW I571644 B TWI571644 B TW I571644B
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needle
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斯托揚 卡內夫
洪嘉宏
胡平宇
姜耀川
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旺矽科技股份有限公司
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    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Description

針測裝置
本發明提供一種針測裝置，特別是一種藉由可移位之攝像組件之觀測，使得探針之針尖可確實接觸待測面的針測裝置。
習知，晶圓(Wafer)係為生產積體電路(Integrated Circuit，IC)所用之載體。隨著晶圓之直徑越大，於同一晶圓上可生產的積體電路的數量也就越多。因此，積體電路典型係以大批量產之方式，經由光微影、沉積、擴散等多道製程步驟製作於晶圓上後，再切割成一小塊之方形小片。而此種由晶圓單體化出來的每一小片可稱為一晶粒(Die)。
在一般實務上，一些晶粒常因晶圓本身之物理缺陷及/或於晶圓處理之過程中所產生之缺陷等而導致後續出現一些不良問題。為了達到可於晶圓進行切割之前先從晶圓上檢視出那些晶粒可能為不良晶粒之目的，因此，一般可藉由晶圓檢測系統或針測裝置來協助檢測。而檢測方式之一即為利用固定座帶動晶圓移動，以使位於固定座上之晶圓其各積體電路佈局上之電極區域可與固定設置之探針載台所承載之探針相接觸，以進行電氣檢查。
然而，由於每片晶圓之厚度可能各不相同，或各探針之長 度亦可能因本身或磨損之關係而長短不一，進而導致探針無法與各積體電路佈局上之電極區域準確且確實的相接觸。因此，如何確認探針是否正確定位以與待測元件之待測面準確接觸實為本領域技術人員所欲琢磨的重要課題。
有鑑於此，本發明一實施例之針測裝置，包含殼體、固定座、探針載台、第一攝像鏡頭與第一面鏡。其中，殼體包含底板與至少一第一側壁。第一側壁具有第一通孔，且第一側壁垂直連接於底板。固定座設置於殼體中，且固定座可沿Z軸方向移動。探針載台設置於殼體中，且探針載台用以承載一探針，其中探針具有一針尖。第一攝像鏡頭設置於殼體外且固定於第一側壁。第一面鏡相對於第一攝像鏡頭設置且與第一攝像鏡頭之法線間夾有第一夾角。其中，第一面鏡可沿Z軸方向移動，以使第一攝像鏡頭可透過第一面鏡自第一通孔擷取針尖之影像。
在本發明另一實施例之針測裝置，包含殼體、固定座、探針載台、第一攝像鏡頭與第一面鏡。殼體包含底板、頂板、第一側壁與第二側壁。第一側壁垂直連接於底板之一側，且第一側壁具有第一通孔。第二側壁分別垂直連接於第一側壁與底板。頂板則可掀地連接於第二側壁之一側。固定座設置於殼體中，且固定座可沿Z軸方向移動。探針載台設置於殼體中，且探針載台位於固定座與頂板之間。探針載台用以承載探針，探針具有一針尖。第一攝像鏡頭設置於殼體外，且固定於頂板上。第一面鏡相對於第一攝像鏡頭設置且與第一攝像鏡頭之法線間夾有第一夾角。其中，第一面鏡可沿Z軸方向移動，以使第一攝像鏡頭 可透過第一面鏡自第一通孔擷取針尖之影像。
綜上所述，根據本發明一實施例之針測裝置，藉由可沿垂直於待測面之一Z軸方向移動之攝像鏡頭自待測元件之側面來觀測探針與待測元件之接觸情形，以對應調整固定座直至探針之針尖在攝像畫面中之影像與其映射於待測面上之影像的尖部剛好相接觸為止，即可判定探針之針尖確實與位於固定座上之待測元件的待測面相接觸。
以下在實施方式中詳細敘述本發明之詳細特徵及優點，其內容足以使任何熟習相關技藝者瞭解本發明之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何熟習相關技藝者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。
100‧‧‧針測裝置
110‧‧‧殼體
111‧‧‧底板
111a‧‧‧上表面
112‧‧‧第一側壁
1121‧‧‧支撐壁
112H‧‧‧第一通孔
113‧‧‧頂板
113b‧‧‧下表面
114‧‧‧第二側壁
1141‧‧‧支撐壁
114H‧‧‧第二通孔
115a-115c‧‧‧第三側壁
120‧‧‧固定座
121‧‧‧移動式載台
121a‧‧‧上表面
122‧‧‧夾具
122a‧‧‧上表面
122b‧‧‧下表面
130‧‧‧探針載台
131‧‧‧探針
131p‧‧‧針尖
141‧‧‧第一攝像鏡頭
1411‧‧‧鏡頭
142‧‧‧第一面鏡
151‧‧‧第二攝像鏡頭
1511‧‧‧鏡頭
152‧‧‧第二面鏡
160‧‧‧控制模組
171‧‧‧第一連接部
172‧‧‧第一移位結構
1721‧‧‧第一固定部
1722‧‧‧第一伸縮部
181‧‧‧第二連接部
182‧‧‧第二移位結構
1821‧‧‧第二固定部
1822‧‧‧第二伸縮部
200‧‧‧待測元件
200a‧‧‧待測面
300‧‧‧攝像畫面
310‧‧‧探針影像
320‧‧‧映射影像
N1、N2‧‧‧法線
V1、V2‧‧‧觀察軸
θ1‧‧‧第一夾角
θ2‧‧‧第二夾角
[第1圖]為本發明一實施例之針測裝置的側面剖視示意圖。
[第2圖]為本發明一實施例之針測裝置之一實施態樣的俯視示意圖。
[第3圖]為本發明一實施例之針測裝置之另一實施態樣的側面剖視示意圖。
[第4圖]為本發明一實施例之針測裝置之又一實施態樣的側面剖視示意圖。
[第5圖]為本發明一實施例之針測裝置之又一實施態樣的俯視示意圖。
[第6圖]為第5圖之另一實施態樣的側面剖視示意圖。
[第7圖]為本發明另一實施例之針測裝置的側面剖視示意圖。
[第8圖]為第7圖之另一實施態樣的側面剖視示意圖。
[第9圖]為攝像裝置之攝像畫面的概要示意圖(一)。
[第10圖]為攝像裝置之攝像畫面的概要示意圖(二)。
第1圖本發明一實施例之針測裝置的側面剖視示意圖，第2圖為本發明一實施例之針測裝置之一實施態樣的俯視示意圖。請參閱第1圖與第2圖，揭露一針測裝置100，用以檢測一待測元件200。於此，待測元件200可為晶圓(wafer)，且晶圓上已製成有多個積體電路晶片，然本發明不以此為限，待測元件200亦可為晶粒(die)或電路板等。本發明一實施例之針測裝置100包含殼體110、固定座120、探針載台130、第一攝像鏡頭141與第一面鏡142，其中固定座120、探針載台130設置於殼體110內，且第一攝像鏡頭141與第一面鏡142設置於殼體110之外。
殼體110包含底板111與至少一第一側壁112。以下，是以一個第一側壁112為例來進行說明，但本發明並非僅限於此。於此，第一側壁112連接於底板111之一側且垂直於底板111。在本實施例中，殼體110概呈一中空矩形體，因此，殼體110更包含頂板113與第三側壁115a-115c，以構成一容置空間。
於此，第三側壁115a、115b分別垂直連接於第一側壁112之二側，且分別垂直連接於底板111。第三側壁115c之二側分別垂直連接於第三側壁115a、115b，且第三側壁115c與底板111相互垂直。頂板113連接於第三側壁115a之一側，且頂板113係可以連接於第三側壁 115a之一側為轉軸而轉動，換言之，頂板113係可掀地連接於第三側壁115a之一側。
此外，第一側壁112具有一第一通孔112H，用以供第一攝像鏡頭141觀測殼體110之內部狀態。於此，第一通孔112H概呈矩形，其中，第一通孔112H之長度及/或寬度大致上可為40毫米(mm)。然而本發明不以此為限，第一通孔112H亦可為圓形，其中，第一通孔112H之直徑大致上為30毫米。
固定座120概呈圓柱狀且位於殼體110之容置空間內。在本實施例中，固定座120可包含移動式載台121與夾具122。夾具122係用以固定待測元件200，以避免待測元件200因外界之擾動而任意移位。夾具122具有一上表面122a與相對於上表面122a的下表面122b，其中，夾具122之上表面可用以承載待測元件200。於此，夾具122可藉由吸力作用來固持位於其上表面122a之待測元件200。
移動式載台121設置於底板111上，並以其上表面121a來承載夾具122。移動式載台121可耦接至一控制模組160，以根據來自控制模組160之控制訊號而於X-Y平面(即，底板111之上表面111a)上帶動待測元件200一起移動。此外，移動式載台121亦可根據來自控制模組160之控制訊號而帶動待測元件200於一Z軸方向上移動。在本實施例中，控制模組160係根據第一攝像鏡頭141透過第一面鏡142而通過第一通孔112H所擷取到之第一攝像畫面來調整固定座120之移動式載台121於Z軸方向上的移動。
於此，待測元件200具有一待測面200a，待測面200a大致 上平行於底板111，且所述之Z軸係垂直於待測元件200之待測面200a。
探針載台130用以承載探針131，且探針131具有針尖131p。在本實施例中，探針載台130位於殼體110之容置空間內且係設置於頂板113之下表面113b，而位於頂板113與固定座120之間。於此，為便於說明僅繪示一個探針131，然而探針載台130可承載之探針131的數量可為多個而並非僅限於此。
此外，探針131可為任何類型的探針，例如針狀探針(needle probe)、彈簧探針(spring probe)等。而探針131之材料的選用一般需搭配待測元件200之材質來決定。於此，探針131材質可為鎢(W)、鈹銅(BeCu)與鈀(Pd)合金等。
於一般情況下，探針載台130上探針131與待測元件200之間係具有一間隙，以使得固定座120此時可帶動待測元件200一同進行X-Y平面移動，而避免探針131刮傷待測元件200或探針131的損壞。
由於位於殼體110之容置空間中的待測元件200可能尚需進行溫度試驗或其他環境因素有關的試驗，因此，第一攝像鏡頭141與第一面鏡142較佳地係位於殼體110之外。
在本實施例中，第一攝像鏡頭141可透過設置在第一側壁112之支撐壁1121上而固定於第一側壁112。第一攝像鏡頭141可用以自第一側壁112上之第一通孔112H擷取位於殼體110內之探針131之針尖131P與待測元件200的影像。其中，第一攝像鏡頭141之鏡頭1411大致上是平行於底板111及/或待測面200a。而第一面鏡142具有一反射面，且第一面鏡142係以其反射面朝向第一攝像鏡頭141而相對於第一攝像 鏡頭141設置，並與第一攝像鏡頭141之法線N1間夾有一第一夾角θ1。於此，第一攝像鏡頭141之法線N1可為前述之Z軸方向。
因此，如第1圖所示，第一攝像鏡頭141之觀察軸V1係經由第一面鏡142反射後通過第一側壁112上之第一通孔112H。換言之，第一攝像鏡頭141所擷取到之第一攝像畫面係經由第一面鏡142反射過後之影像。於此，第一夾角θ1可為45度，因此，第一攝像鏡頭141之觀察軸V1經由第一面鏡142反射後，係大致上平行於底板111及/或待測面200a。
在本實施例中，第一面鏡142係可相對於第一攝像鏡頭141而於Z軸方向上移動，以改變第一攝像鏡頭141之攝像倍率，而使得探針131之針尖131p於第一攝像鏡頭141所擷取到之第一攝像畫面中之影像可有適當之大小。
因此，針測裝置100更包含第一連接部171與第一移位結構172。如第1圖所示，第一連接部171連接於第一面鏡142，且第一移位結構172連接於第一連接部171，以藉由第一移位結構172中之移位調節機制而使得與第一連接部171相接之第一面鏡142可移動。
第一移位結構172包含第一固定部1721與第一伸縮部1722，且第一固定部1721與第一伸縮部1722係依序連接。其中，第一固定部1721連接於第一側壁112，且用以使第一移位結構172可穩固地設置於第一側壁112上。第一伸縮部1722則用以協助第一面鏡142於Z軸方向上之移動。於此，第一面鏡142係隨同第一伸縮部1722於Z軸方向之調節而相對於固設之第一攝像鏡頭141移動，換言之，第一面鏡142 於移動之過程中，其與第一攝像鏡頭141之間的相對距離是會改變的，進而可改變第一攝像鏡頭141之攝像倍率。
第3圖為本發明一實施例之針測裝置之另一實施態樣的側面剖視示意圖。請參閱第3圖，在本發明一實施例之另一實施態樣中，第一攝像鏡頭141亦可如第一面鏡142在Z軸方向上移動，以使得第一攝像鏡頭141可透過第一面鏡142之反射而自第一通孔112H擷取到探針131之針尖131p的影像。
因此，在本實施態樣中，針測裝置100更包含第一連接部171與第一移位結構172。其中，第一連接部171連接至第一面鏡142與第一攝像鏡頭141，且第一移位結構172連接於第一連接部171，以藉由第一移位結構172中之移位調節機制而使得與第一連接部171相接之第一面鏡142及第一攝像鏡頭141可於Z軸方向上移動。
於此，第一移位結構172包含第一固定部1721與第一伸縮部1722，且第一固定部1721與第一伸縮部1722係依序連接。其中，第一固定部1721固設於第一側壁112上，用以協助連接於第一連接部171之第一面鏡142及第一攝像鏡頭141可穩固地設置於第一側壁112上。第一伸縮部1722則用以協助第一面鏡142與第一攝像鏡頭141於Z軸方向上之移動。
在本實施態樣中，第一面鏡142與第一攝像鏡頭141係隨同第一伸縮部1722於Z軸方向之調節而同步移動，換言之，於移動之過程中，第一面鏡142與第一攝像鏡頭141之間的相對距離是不會改變的。因此，第一移位結構172可透過第一伸縮部1722之調節來帶動第一面鏡 142與第一攝像鏡頭141沿Z軸方向移動，進而使得探針131之針尖131p可位於第一攝像鏡頭141之觀察軸V1上。
此外，第一伸縮部1722可耦接至控制模組160，以根據控制模組160之控制訊號來帶動第一面鏡142於Z軸方向上移動或帶動第一面鏡142與第一攝像鏡頭141一起於Z軸方向上移動。於此，控制模組160是根據第一攝像鏡頭141通過第一通孔112H所擷取到之第一攝像畫面來產生對應之控制訊號，以使第一移位結構172之第一伸縮部1722根據控制訊號作對應之調節。因此，在本實施例之所有態樣中，第一伸縮部1722可為滑軌與馬達之組合。
在本實施例中，前述之第一攝像鏡頭141可為照相機、攝影機、或CCD(charge-coupled device)相機等。此外，第一攝像鏡頭141於移位之過程中可連續拍照或攝影，以視覺辨識來判斷出探針131之針尖131p於Z軸方向之位置。其中，第一攝像鏡頭141之視覺辨識動作與移位之動作可由人工完成，然本發明不以此為限，第一攝像鏡頭141之視覺辨識動作與移位之動作亦可藉由韌體程式搭配相關裝置來自動識別與對應調整。
再者，針測裝置100之殼體110內可設有大範圍之背光源(圖未示)，以於殼體110內提供足夠的光源供前述之第一攝像鏡頭141通過第一通孔112H進行攝像。此外，此些探針131在此些背光源之照射下，更可於待測元件200之待測面200a上映射出映射倒影，如第9圖至第10圖所示，於此，探針131於攝像畫面中之影像可稱之為探針影像310，且映射倒影於攝像畫面中之影像可稱之為映射影像320。
因此，在本發明一實施例之針測裝置100中，透過設置於殼體110外之第一攝像鏡頭141來從旁觀測探針131與待測元件200之接觸情形，且藉由第一移位結構172來協助調整第一面鏡142與第一攝像鏡頭141於Z軸方向上的位置，進而可易於對應調整待測元件200於Z軸方向之位置，直至探針131在第一攝像畫面中的探針影像310之尖部確實與映射倒影之映射影像320的尖部相接觸為止，即可判定探針131之針尖131p已確實接觸到待測元件200之待測面200a，如第10圖所示。
第4圖為為本發明一實施例之針測裝置之又一實施態樣的側面剖視示意圖，第5圖為本發明一實施例之針測裝置之又一實施態樣的俯視示意圖。請參閱第4與第5圖，在針測裝置100之又一實施態樣中，殼體110除包含底板111與至少一第一側壁112之外，更包含第二側壁114。第二側壁114垂直連接於第一側壁112之一側且垂直於底板111。於此，係以概呈矩形體之殼體110為例，因此，殼體110更包含頂板113與第三側壁115a、115b，以與底板111、第一側壁112與第二側壁114共同形成一容置空間。
在本實施態樣中，針測裝置100更包含第二攝像鏡頭151與第二面鏡152，且第二側壁114具有第二通孔114H。其中，第二通孔114H可用以供第二攝像鏡頭151透過第二面鏡152自此來觀測殼體110之內部狀態。於此，第二通孔114H概呈矩形，其中，第二通孔114H之長度及/或寬度大致上可為40毫米(mm)。然而本發明不以此為限，第二通孔114H亦可為圓形，其中，第二通孔114H之直徑大致上為30毫米。
第二攝像鏡頭151與第二面鏡152較佳地係位於殼體110之 外。於此，第二攝像鏡頭151之鏡頭1511大致上是平行於底板111及/或待測面200a。而第二面鏡152具有一反射面，且第二面鏡152係以其反射面朝向第二攝像鏡頭151而相對於第二攝像鏡頭151設置，並與第二攝像鏡頭151之法線N2間夾有一第二夾角θ2。於此，第二攝像鏡頭151之法線N2可為前述之Z軸方向。
因此，如第4圖所示，第二攝像鏡頭151之觀察軸V2係經由第二面鏡152反射後通過第二側壁114上之第二通孔114H。換言之，第二攝像鏡頭151所擷取到之第二攝像畫面係經由第二面鏡152反射過後之影像。於此，第二夾角θ2可為45度，因此，第二攝像鏡頭151之觀察軸V2經由第二面鏡152反射後，係大致上平行於底板111及/或待測面200a。此外，如第5圖所示，由於第二攝像鏡頭151係通過第二側壁114上之第二通孔114H擷取第二攝像畫面，第一攝像鏡頭141係通過第一側壁112上之第一通孔112H擷取第一攝像畫面，且第二側壁114垂直於第一側壁112，因此，第二攝像鏡頭151之觀察軸V2大致上可正交於第一攝像鏡頭141之觀察軸V1。
復參閱第4圖，針測裝置100更包含第二連接部181與第二移位結構182。在本實施態樣中，第二攝像鏡頭151可透過設置在第二側壁114之支撐壁1141上而固定於第二側壁114，第二連接部181連接於第二面鏡152，且第二移位結構182連接於第二連接部181，以藉由第二移位結構182中之移位調節機制而使得與第二連接部181相接之第二面鏡152可移動。
第二移位結構182包含第二固定部1821與第二伸縮部 1822，且第二固定部1821與第二伸縮部1822係依序連接。其中，第二固定部1821連接於第二側壁114，且用以使第二移位結構182可穩固地設置於第二側壁114上。第二伸縮部1822則用以協助第二面鏡152於Z軸方向上之移動。於此，第二面鏡152係隨同第二伸縮部1822於Z軸方向之調節而相對於固設之第二攝像鏡頭151移動，換言之，第二面鏡152於移動之過程中，其與第二攝像鏡頭151之間的相對距離是會改變的，進而可改變第二攝像鏡頭151之攝像倍率。
然而，在另一實施態樣中，第二攝像鏡頭151亦可如第二面鏡152在Z軸方向上移動，以使得第二攝像鏡頭151可透過第二面鏡152之反射而自第二通孔114H擷取到探針131之針尖131p的影像。因此，請參閱第6圖，第二連接部181可連接至第二面鏡152與第二攝像鏡頭151。第二移位結構182之第二固定部1821固設於第二側壁114上，用以協助連接於第二連接部181之第二面鏡152及第二攝像鏡頭151可穩固地設置於第二側壁114上。而第二伸縮部1822則用以協助第二面鏡152與第二攝像鏡頭151於Z軸方向上之移動。
於此，第二攝像鏡頭151與第二面鏡152係隨同第二伸縮部1822於Z軸方向之調節而同步移動，換言之，於移動之過程中，第二攝像鏡頭151與第二面鏡152之間的相對距離是不會改變的。因此，第二移位結構182可透過第二伸縮部1822之調節來帶動第二攝像鏡頭151沿Z軸方向移動，進而使得探針131之針尖131p可位於第二攝像鏡頭151之觀察軸V2上。
此外，第二伸縮部1822亦可耦接至控制模組160，以根據 控制模組160之控制訊號來帶動第二面鏡152於Z軸方向上移動。於此，控制模組160是根據第二攝像鏡頭151通過第二通孔114H所擷取到之第二攝像畫面來產生對應之控制訊號，以使第二移位結構182之第二伸縮部1822根據控制訊號作對應之調節。因此，在本實施例之所有態樣中，第二伸縮部1822亦可為滑軌與馬達之組合。
於此，第二攝像鏡頭151大致上相同於第一攝像鏡頭141，故第二攝像鏡頭151亦可為照相機、攝影機、或CCD(charge-coupled device)相機等。此外，第二攝像鏡頭151於移位之過程中亦可連續拍照或攝影，以視覺辨識來判斷出探針131之針尖131p於Z軸方向之位置。其中，第二攝像鏡頭151之視覺辨識動作與移位之動作可由人工完成，然本發明不以此為限，第二攝像鏡頭151之視覺辨識動作與移位之動作亦可藉由韌體程式搭配相關裝置來自動識別與對應調整。
因此，在針測裝置100之又一實施態樣中，除了可透過設置於殼體110外之第一攝像鏡頭141來從旁觀測探針131與待測元件200之接觸情形，尚可透過設置於殼體110外之第二攝像鏡頭151來從另一側觀測探針131與待測元件200之接觸情形，而可有更加精準之效果。其中，第二攝像鏡頭151同樣地可藉由第二移位結構182來協助調整第二面鏡152與第二攝像鏡頭151於Z軸方向上的位置，可易於對應調整待測元件200於Z軸方向之位置直至探針131在第二攝像畫面中的探針影像310之尖部確實與映射倒影之映射影像320的尖部相接觸為止，即可判定探針131之針尖131P已確實接觸到待測元件200之待測面200a，如第10圖所示。
第7圖為本發明另一實施例之針測裝置的側面剖視示意圖。請參閱第2圖與第7圖，本發明另一實施例之針測裝置100包含殼體110、固定座120、探針載台130、第一攝像鏡頭141與第一面鏡142，其中固定座120、探針載台130設置於殼體110內，且第一攝像鏡頭141與第一面鏡142設置於殼體110之外。
在本實施例中，殼體110、固定座120與探針載台130大致上與前述實施例相同，故於此不再贅述。而在本實施例中之第一攝像鏡頭141與第一面鏡142的結構實質上亦相同於前述實施例，惟第一面鏡142於此係固定於頂板113之下表面113b上。因此，在本實施例中，帶動第一面鏡142移動之第一移位結構172之第一固定部1721係連接於頂板113之下表面113b，藉以使第一移位結構172與第一面鏡142可穩固地設置於頂板113之下。請參閱第8圖，同樣地，如前所述，在本發明之另一實施態樣中，第一連接部171可同時連接至第一攝像鏡頭141與第一面鏡142，且固設於頂板113之第一移位結構172的第一伸縮部1722係連接至第一連接部171，以帶動第一攝像鏡頭141與第一面鏡142同步移動。
此外，在本實施例之又一實施態樣中，第二攝像鏡頭151與第二面鏡152的結構實質上亦相同於前述實施例，惟第二面鏡152於此亦係固定於頂板113之下表面113b上。因此，在本實施態樣中，帶動第二面鏡152移動之第二移位結構182之第二固定部1821係連接於頂板113之下表面113b，藉以使第二移位結構182可穩固地設置於頂板113之下。同樣地，如前所述，第二連接部181可同時連接至第二攝像鏡頭151與第二面鏡152，且固設於頂板113之第二移位結構182的第二伸縮 部1822係連接至第二連接部181，以帶動第二攝像鏡頭151與第二面鏡152同步移動。
綜上所述，根據本發明一實施例之針測裝置，藉由可沿垂直於待測面之一Z軸方向移動之攝像組件自平行於晶圓之一觀察軸來觀測探針與待測元件之接觸情形以據此對應調整固定座直至探針在攝像畫面中之探針影像之尖部與其映射於待測面上之映射影像的尖部剛好相接觸為止，即可判定探針之針尖確實與位於固定座上之待測元件的待測面相接觸。
本發明之技術內容已以較佳實施例揭示如上述，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神所做些許之更動與潤飾，皆應涵蓋於本發明之範疇內，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100            針測裝置 110            殼體 111            底板 111a           上表面 112            第一側壁 1121           支撐壁 112H          第一通孔 113            頂板 113b           下表面 120            固定座 121            移動式載台 121a           上表面 122            夾具 122a           上表面 122b           下表面 130            探針載台 131            探針 131p          針尖 141            第一攝像鏡頭 1411           鏡頭 142            第一面鏡 160            控制模組 171            第一連接部 172            第一移位結構 1721           第一固定部 1722           第一伸縮部 200            待測元件 200a           待測面 N1             法線 V1             觀察軸 θ1              第一夾角

Claims (16)

  1. 一種針測裝置，包含： 一殼體，包含一底板與至少一第一側壁，該第一側壁垂直連接於該底板且具有一第一通孔； 一固定座，設置於該殼體中，該固定座可沿一Z軸方向移動； 一探針載台，設置於該殼體中，用以承載一探針，該探針具有一針尖； 一第一攝像鏡頭，設置於該殼體外且固定於該第一側壁；及 一第一面鏡，相對於該第一攝像鏡頭設置，且與該第一攝像鏡頭之法線間有一第一夾角； 其中，該第一面鏡可沿該Z軸方向移動，以使該第一攝像鏡頭透過該第一面鏡自該第一通孔擷取該針尖之影像。
  2. 如請求項1所述的針測裝置，更包含： 一第一連接部，連接於該第一面鏡；及 一第一移位結構，包含依序相接之一第一固定部與一第一伸縮部，該第一固定部固設於該第一側壁，且該第一伸縮部連接於該第一連接部，以使該第一移位結構可透過該第一伸縮部之調節來帶動該第一面鏡沿該Z軸方向移動。
  3. 如請求項2所述的針測裝置，更包含： 一控制模組，耦接該固定座與該第一移位結構，該控制模組根據該第一攝像鏡頭自該第一通孔所擷取之一第一攝像畫面調整該固定座於該Z軸方向之移動，及/或調整該第一移位結構以使該第一面鏡沿該Z軸方向移動。
  4. 如請求項1所述的針測裝置，其中該第一攝像鏡頭可沿該Z軸方向移動，該針測裝置更包含： 一第一連接部，連接於該第一面鏡與該第一攝像鏡頭；及 一第一移位結構，包含依序相接之一第一固定部與一第一伸縮部，該第一固定部固設於該第一側壁，且該第一伸縮部連接於該第一連接部，以使該第一移位結構可透過該第一伸縮部之調節來帶動該第一面鏡與該第一攝像鏡頭沿該Z軸方向移動。
  5. 如請求項4所述的針測裝置，更包含： 一控制模組，耦接該固定座與該第一移位結構，該控制模組根據該第一攝像鏡頭自該第一通孔所擷取之一第一攝像畫面調整該固定座於該Z軸方向之移動，及/或調整該第一移位結構以使該第一面鏡與該第一攝像鏡頭沿該Z軸方向移動。
  6. 如請求項1所述的針測裝置，更包含： 一第二側壁，垂直連接於該第一側壁之一側且垂直於該底板，該第二側壁具有一第二通孔； 一第二攝像鏡頭，設置於該殼體外且固定於該第二側壁；及 一第二面鏡，相對於該第二攝像鏡頭設置，且與該第二攝像鏡頭之法線間有一第二夾角； 其中，該第二面鏡可沿該Z軸方向移動，以使該第二攝像鏡頭透過該第二面鏡自該第二通孔擷取該針尖之影像。
  7. 如請求項6所述的針測裝置，更包含： 一第二連接部，連接於該第二面鏡；及 一第二移位結構，包含依序相接之第二固定部與第二伸縮部，該第二固定部固設於該第二側壁，且該第二伸縮部連接於該第二連接部，以使該第二移位結構可透該第二伸縮部之調節來帶動該第二面鏡沿該Z軸方向移動。
  8. 如請求項6所述的針測裝置，其中該第二攝像鏡頭可沿該Z軸方向移動，該針測裝置更包含： 一第二連接部，連接於該第二面鏡與該第二攝像鏡頭；及 一第二移位結構，包含依序相接之第二固定部與第二伸縮部，該第二固定部固設於該第二側壁，且該第二伸縮部連接於該第二連接部，以使該第二移位結構可透該第二伸縮部之調節來帶動該第二面鏡與該第二攝像鏡頭沿該Z軸方向移動。
  9. 一種針測裝置，包含： 一殼體，包含一底板、一頂板、一第一側壁與一第二側壁，該第一側壁垂直連接於該底板之一側且具有一第一通孔，該第二側壁分別垂直連接於該第一側壁與該底板，該頂板可掀地連接於該第二側壁之一側； 一固定座，設置於該殼體中，該固定座可沿一Z軸方向移動； 一探針載台，設置於該殼體中且位於該固定座與該頂板之間，用以承載一探針，該探針具有一針尖； 一第一攝像鏡頭，設置於該殼體外且固定於該頂板上；及 一第一面鏡，相對於該第一攝像鏡頭設置，且與該第一攝像鏡頭之法線間有一第一夾角； 其中，該第一面鏡可沿該Z軸方向移動，以使該第一攝像鏡頭透過該第一面鏡自該第一通孔擷取該針尖之影像。
  10. 如請求項9所述的針測裝置，更包含： 一第一連接部，連接於該第一面鏡；及 一第一移位結構，包含依序相接之一第一固定部與一第一伸縮部，該第一固定部固設於該頂板，且該第一伸縮部連接於該第一連接部，以使該第一移位結構可透過該第一伸縮部之調節來帶動該第一面鏡沿該Z軸方向移動。
  11. 如請求項10所述的針測裝置，更包含： 一控制模組，耦接該固定座與該第一移位結構，該控制模組根據該第一攝像鏡頭自該第一通孔所擷取之一第一攝像畫面調整該固定座於該Z軸方向之移動，及/或調整該第一移位結構以使該第一面鏡沿該Z軸方向移動。
  12. 如請求項9所述的針測裝置，其中該第一攝像鏡頭可沿該Z軸方向移動，該針測裝置更包含： 一第一連接部，連接於該第一面鏡與該第一攝像鏡頭；及 一第一移位結構，包含依序相接之一第一固定部與一第一伸縮部，該第一固定部固設於該頂板，且該第一伸縮部連接於該第一連接部，以使該第一移位結構可透過該第一伸縮部之調節來帶動該第一面鏡與該第一攝像鏡頭沿該Z軸方向移動。
  13. 如請求項12所述的針測裝置，更包含： 一控制模組，耦接該固定座與該第一移位結構，該控制模組根據該第一攝像鏡頭自該第一通孔所擷取之一第一攝像畫面調整該固定座於該Z軸方向之移動，及/或調整該第一移位結構以使該第一面鏡與該第一攝像鏡頭沿該Z軸方向移動。
  14. 如請求項9所述的針測裝置，其中該第二側壁具有一第二通孔，該針側裝置更包含： 一第二攝像鏡頭，設置於該殼體外且固定於該頂板；及 一第二面鏡，相對於該第二攝像鏡頭設置，且與該第二攝像鏡頭之法線間有一第二夾角； 其中，該第二面鏡可沿該Z軸方向移動，以使該第二攝像鏡頭透過該第二面鏡自該第二通孔擷取該針尖之影像。
  15. 如請求項14所述的針測裝置，更包含： 一第二連接部，連接於該第二面鏡；及 一第二移位結構，包含依序相接之第二固定部與第二伸縮部，該第二固定部固設於該頂板，且該第二伸縮部連接於該第二連接部，以使該第二移位結構可透該第二伸縮部之調節來帶動該第二面鏡沿該Z軸方向移動。
  16. 如請求項14所述的針測裝置，其中該第二攝像鏡頭可沿該Z軸方向移動，該針測裝置更包含： 一第二連接部，連接於該第二面鏡與該第二攝像鏡頭；及 一第二移位結構，包含依序相接之第二固定部與第二伸縮部，該第二固定部固設於該頂板，且該第二伸縮部連接於該第二連接部，以使該第二移位結構可透該第二伸縮部之調節來帶動該第二面鏡與該第二攝像鏡頭沿該Z軸方向移動。
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