JP4913028B2 - ウエーハ保持装置 - Google Patents
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Description
2 載置ブロック
3 クランプパッド
4 駆動機構
5 保持ブロック
6 回転台
7 基台
8 撮像手段
9 照明手段
Claims (4)
- ウエーハを水平に載置する載置ブロックと、ウエーハを載置ブロックに載置した状態でウエーハをセンタリングするクランプパッドと、センタリングされたウエーハを載置する保持ブロックと、前記クランプパッドをウエーハの中心側に退避させる駆動機構と前記保持ブロックを回転させる回転台とを備えることを特徴とするウエーハ保持装置。
- 前記保持ブロックは下方から上昇することにより前記載置ブロックからウエーハを移載することを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
- 前記載置ブロックは下降することにより前記載置ブロックより下方に待機する前記保持ブロックにウエーハを移載することを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
- 前記保持ブロックはウエーハが載置される突起を有し、外周が円形となるように複数個配置されることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
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