JP2009135382A - ウエーハ保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエーハを載置ブロックに載置してウエーハをセンタリングした後に保持ブロックに移載し、ウエーハを保持ブロックに載置した状態で回転させる構成にしてウエーハを保持するクランプを不要とすることにより、ウエーハが傷つくことを防ぐと共に測定精度が高くスループットの短いウエーハのエッジ検査を実現する。
【選択図】図1
Description
2 載置ブロック
3 クランプパッド
4 駆動機構
5 保持ブロック
6 回転台
7 基台
8 撮像手段
9 照明手段
Claims (5)
- ウエーハを水平に載置する載置ブロックと、ウエーハを載置ブロックに載置した状態でウエーハをセンタリングするクランプパッドと、センタリングされたウエーハを載置する保持ブロックと、前記センタリング爪をウエーハの中心側に退避させる駆動機構と前記保持ブロックを回転させる回転台とを備えることを特徴とするウエーハ保持装置。
- 前記保持ブロックは下方から上昇することにより前記載置ブロックからウエーハを移載することを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
- 前記載置ブロックは下降することにより前記載置ブロックより下方に待機する前記保持ブロックにウエーハを移載することを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
- 前記駆動機構はクランプパッドのセンタリング動作を行う機構を備えることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
- 前記載置ブロックは、ウエーハとの摩擦力が低い材質で形成されていることを特徴とする請求項1に記載のウエーハ保持装置。
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