JP2013036746A - ガラス基板検査システム、およびガラス基板製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カセット30からガラス基板20を取り出す取り出し装置40と、取り出し装置40によりカセット30から取り出されたガラス基板20を検査する検査装置50とを備え、カセット30がガラス基板20を収納可能な収納位置を複数有するガラス基板検査システム10であって、収納位置毎に収納位置からガラス基板20を取り出す動作を取り出し装置40に行わせる実行部81と、収納位置毎にガラス基板20の有無を判定する有無判定部82とを有し、実行部81は、有無判定部82によりガラス基板20が無いと判定された収納位置に対する取り出し動作を取り出し装置40に行わせない。
【選択図】図1
Description
カセットからガラス基板を取り出す取り出し装置と、前記取り出し装置により前記カセットから取り出されたガラス基板を検査する検査装置とを備え、前記カセットがガラス基板を収納可能な収納位置を複数有するガラス基板検査システムであって、
前記収納位置毎に、前記収納位置から前記ガラス基板を取り出す動作を前記取り出し装置に行わせる実行部と、
前記収納位置毎に、前記ガラス基板の有無を判定する有無判定部とを有し、
前記実行部は、前記有無判定部により前記ガラス基板が無いと判定された収納位置に対する取り出し動作をスキップさせるガラス基板検査システムを提供する。
ガラス基板20は、例えば磁気記録媒体用のガラス基板である。ガラス基板20は、円盤状であって、中心部に円孔21(図5参照)が貫通形成されている。
図2は、カセットにガラス基板が収納された状態の一例の上面図ある。以下の各図中、X方向はカセット30の長手方向、Y方向はカセット30の幅方向を表す。なお、X方向および、Y方向は互いに直交する方向である。図2は、板厚の異なるガラス基板20A、20Bがカセット30に収納された状態を示している。また、図2は、複数の収納位置の一部にガラス基板20が収納されていない状態を示している。
取り出し装置40は、図1に示すように、カセット30からガラス基板20を取り出す装置である。取り出し時、カセット30は搬送路上の所定位置で一時停止されてよく、停止位置を位置決めするストッパーが搬送路上に配設されてよい。
検査装置50は、ガラス基板20を検査する光学式自動検査装置(AOI:Automatic Optical Inspection)である。検査装置50は、ガラス基板20の主平面22に光を照射し、照射位置からの散乱光(または反射光)を受光する。
図5は、カセット30の搬送方向視における撮像装置の説明図である。図5は、カセット30を破断して示す。
制御装置80は、全体画像90を画像処理し、画像処理の結果に基づいて取り出し装置40を制御する。制御装置80は、CPUや記録媒体(例えば、ROMやRAM)などを含むコンピュータとして構成される。制御装置80は、後述の実行部81、状態判断部82、有無判定部83、および板厚判別部84に対応するコンピュータプログラムを記録媒体に格納している。制御装置80は、これらのコンピュータプログラムをCPUに実行させることにより、実行部81、状態判断部82、有無判定部83、および板厚判別部84が有する機能を実現する。
実行部81は、収納位置毎に、収納位置からガラス基板20を取り出す動作を取り出し装置40に行わせる。このとき、カセット30は搬送路上の所定の位置で一時停止されてよい。実行部81の詳細については後述する。
状態判断部82は、全体画像90を画像処理することにより、カセット30の直線状部分34と、撮像装置60との位置関係が正常状態か否かを判断する。
先ず、状態判断部82は、画素の輝度(明度)が閾値以上か否かによって全体画像90を2値化処理する(例えば、白い画素と黒い画素に分ける)(ステップS101)。
有無判定部83は、全体画像90を画像処理して、収納位置毎に、ガラス基板20の有無を判定する。
板厚判別部84は、全体画像90を画像処理して、収納位置毎に、収納位置に有るガラス基板20の板厚が所定範囲内であるか否かを判別する。ガラス基板の製造ライン上で、板厚の異なる複数種類のガラス基板が製造される場合に、複数種類のガラス基板が誤って混じるのを検知できる。板厚判別部84は、有無判定部83によりガラス基板20が無いと判定された収納位置について後述の処理を行わなくてよい。
実行部81は、状態判断部82の判断結果、有無判定部83の判定結果、および板厚判別部84の判別結果に基づいて、各収納位置からガラス基板20を取り出す動作を取り出し装置40に実行させる。実行部81は、記録媒体に記録されたテーブル(図11参照)を参照して処理を行う。
ガラス基板の製造方法は、ガラス基板の用途に応じて選択され、例えば、ガラス基板の用途が磁気記録媒体用の場合、以下の(1)〜(6)の工程を有する。(1)ガラスの素板を加工して、中心部に円孔を有する円盤状のガラス基板を作製する。(2)ガラス基板の外周および内周の角部を面取りする。(3)ガラス基板の表面および裏面(両主面)をラッピング加工する。ラッピング加工では、遊離砥粒ラップ(例えば、アルミナ砥粒や炭化ケイ素砥粒などの砥粒と、金属製の定盤とが用いられる)または固定砥粒ラップ(例えば、ダイヤモンド砥粒などの砥石を含む固定砥粒工具が用いられる)を用いる。(4)ガラス基板の外周面や内周面(面取り部を含む)を端面研磨する。(5)ガラス基板の両主面を研磨する。主面研磨では、ラッピング加工よりも平均粒子直径の小さい砥粒と、樹脂製の研磨パッドとが用いられる。主平面研磨の回数に制限はなく、研磨パッドや研磨剤が異なる複数種類の主面研磨を実施しても良い。(6)ガラス基板を洗浄して乾燥し、磁気記録媒体用ガラス基板を製造する。この磁気記録媒体用ガラス基板上に磁性層などの薄膜を形成することで、磁気ディスクを製造できる。
20 ガラス基板
21 円孔
24、25 主平面
30 カセット
34 直線状部分
40 取り出し装置
50 検査装置
60 撮像装置
61 カメラ
62 光源
80 制御装置
81 実行部
82 状態判断部
83 有無判定部
84 板厚判別部
90 撮像装置によって撮像される画像
90a〜90c 区域
91 処理領域
Claims (9)
- カセットからガラス基板を取り出す取り出し装置と、前記取り出し装置により前記カセットから取り出されたガラス基板を検査する検査装置とを備え、前記カセットがガラス基板を収納可能な収納位置を複数有するガラス基板検査システムであって、
前記収納位置毎に、前記収納位置から前記ガラス基板を取り出す動作を前記取り出し装置に行わせる実行部と、
前記収納位置毎に、前記ガラス基板の有無を判定する有無判定部とを有し、
前記実行部は、前記有無判定部により前記ガラス基板が無いと判定された収納位置に対する取り出し動作をスキップさせるガラス基板検査システム。 - 前記収納位置毎に、前記収納位置に有る前記ガラス基板の板厚が所定範囲内であるか否かを判別する板厚判別部をさらに有し、
前記実行部は、前記板厚判別部により前記板厚が所定範囲外と判別されたガラス基板の収納位置に対する取り出し動作をスキップさせる請求項1に記載のガラス基板検査システム。 - 前記実行部は、前記板厚判別部により前記板厚が所定範囲外と判別されたガラス基板がある場合、前記カセットの全ての収納位置に対する前記取り出し動作を中止させる請求項2に記載のガラス基板検査システム。
- 前記カセットを撮像する撮像装置をさらに備え、
前記有無判定部は、前記撮像装置により撮像された画像を画像処理することにより、前記収納位置毎に前記ガラス基板の有無を判定する請求項1〜3のいずれか一項に記載のガラス基板検査システム。 - 前記有無判定部は、前記複数の収納位置に対応する複数の処理領域を前記画像に設定し、各処理領域を画像処理して、前記収納位置毎に前記ガラス基板の有無を判定し、
前記複数の処理領域は所定方向に並び、
前記各処理領域の前記所定方向の寸法は、前記画像を前記所定方向に3つ以上に分割した区域毎に設定される請求項4に記載のガラス基板検査システム。 - 前記有無判定部は、前記複数の収納位置に対応する複数の処理領域を前記画像に設定し、前記各処理領域を画像処理して前記各処理領域の特徴値を抽出し、抽出した特徴値を基準値と比較して前記収納位置毎に前記ガラス基板の有無を判定し、
前記複数の処理領域は所定方向に並び、
前記各処理領域の特徴値と比較する基準値は、前記画像を前記所定方向に3つ以上に分割した区域毎に設定される請求項4または5に記載のガラス基板検査システム。 - 前記カセットは、上方が開放された箱状であって、上縁に直線状部分を有し、
前記ガラス基板検査システムは、前記撮像装置により撮像された画像を画像処理することにより、前記カセットの前記直線状部分と前記撮像装置との位置関係が正常状態か否かを判断する状態判断部をさらに有し、
前記実行部は、前記状態判断部により前記位置関係が異常状態であると判断された場合、前記カセットの全ての収納位置に対する前記取り出し動作を中止させる請求項4〜6のいずれか一項に記載のガラス基板検査システム。 - 前記ガラス基板は、中心部に円孔を有する磁気記録媒体用ガラス基板である請求項1〜7のいずれか一項に記載のガラス基板検査システム。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のガラス基板検査システムによる検査工程を有するガラス基板の製造方法。
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