CN102914551A - 玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。一种玻璃基板检查系统(10)，具备将玻璃基板(20)从盒(30)中取出的取出装置(40)和对利用取出装置(40)从盒(30)中取出的玻璃基板(20)进行检查的检查装置(50)，盒(30)具有多个能够收纳玻璃基板(20)的收纳位置，其中，玻璃基板检查系统(10)具有在每个收纳位置使取出装置(40)进行从收纳位置取出玻璃基板(20)的动作的实行部(81)，和在每个收纳位置判定有无玻璃基板(20)的有无判定部(82)；对于由有无判定部(82)判定为无玻璃基板(20)的收纳位置，实行部(81)使取出装置(40)不进行取出动作。

Description

玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法

技术领域

本发明涉及玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法。

背景技术

一直以来，作为检查玻璃基板的系统，已知具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用取出装置从盒中取出的玻璃基板的主平面进行检查的检查装置的系统(例如，参照专利文献1)。

此外，作为对收纳于盒中的玻璃基板的收纳状况进行检查的检查装置，提出了具备对盒整体进行拍摄的摄像装置，并对利用摄像装置拍摄的图像进行图像处理来检查收纳状况的装置(例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2003-95372号公报

专利文献2:日本专利特开2011-70729号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

收纳未检查的玻璃基板的盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置，在各收纳位置能够各收纳1枚玻璃基板，但有时在一部分的收纳位置没有收纳玻璃基板。

现有的取出装置中，在控制装置的控制下，在每个盒的收纳位置进行从收纳位置取出玻璃基板的动作。由于对所有的收纳位置进行该动作，且对没有玻璃基板的收纳位置也进行该动作，因此检查效率差。

本发明是鉴于上述问题而完成的发明，其目的在于提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。

解决技术问题所采用的技术方案

为了达到上述目的，本发明提供一种玻璃基板检查系统，

该玻璃基板检查系统具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用上述取出装置从上述盒中取出的玻璃基板进行检查的检查装置，上述盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置；

上述玻璃基板检查系统具有在每个上述收纳位置使上述取出装置进行从上述收纳位置取出上述玻璃基板的动作的实行部，和

在每个上述收纳位置判定有无上述玻璃基板的有无判定部；

对于由上述有无判定部判定为无上述玻璃基板的收纳位置，上述实行部使上述取出装置不进行取出动作。

发明的效果

根据本发明，能够提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。

附图说明

图1是本发明一实施方式的玻璃基板检查系统的侧视图。

图2是盒中收纳有玻璃基板的状态的一例的俯视图。

图3是检查装置中的心轴的一例的说明图(1)。

图4是检查装置中的心轴的一例的说明图(2)。

图5是在盒的输送方向观察时的摄像装置的一例的说明图。

图6是利用相机拍摄的图像的一例的示意图。

图7是利用相机拍摄的图像的一例的局部放大图。

图8是状态判断部进行的处理的一例的流程图。

图9是有无判定部进行的处理的一例的流程图。

图10是板厚判别部进行的处理的一例的流程图。

图11是通过有无判定部及板厚判别部制作的表格的一例的示意图。

符号说明

10玻璃基板检查系统

20玻璃基板

21圆孔

24、25主平面

30盒

34直线状部分

40取出装置

50检查装置

60摄像装置

61相机

62光源

80控制装置

81实行部

82状态判断部

83有无判定部

84板厚判别部

90由摄像装置拍摄的图像

90a～90c区域

91处理区域

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。以下的附图中，对相同的或相应的构成，标以相同的或相应的符号，并省略其说明。

图1是本发明一实施方式的玻璃基板检查系统的侧视图。以下的各图中，X方向为盒30的长边方向，Z方向表示上下方向。另外，X方向及Z方向为相互垂直的方向。

玻璃基板检查系统10具备将玻璃基板20从盒30中取出的取出装置40和对利用取出装置40从盒30中取出的玻璃基板20进行检查的检查装置50。基于检查装置50的检查结果，将玻璃基板20分类为无缺陷的优质品和有缺陷的劣质品。将优质品和劣质品收纳在不同的回收盒中。

此外，玻璃基板检查系统10还具备对盒30进行拍摄的摄像装置60，和将盒30依次输送到摄像装置60及取出装置40的输送装置70。输送装置70由例如带式输送机等构成，并形成沿X方向输送盒30的输送路径。在输送路径的上游侧设置有向输送路径上供应盒30的供应装置，在输送路径的下游侧设置有回收输送路径上的盒30的回收装置。在输送路径上沿输送方向(X方向)隔着间隔排列多个盒30。

此外，玻璃基板检查系统10还具备用于控制取出装置40、检查装置50、摄像装置60及输送装置70的控制装置80。

(玻璃基板)

玻璃基板20是例如磁记录媒体用的玻璃基板。玻璃基板20为圆盘状，且在中心部贯通形成有圆孔21(参照图5)。

另外，本实施方式的玻璃基板20为磁记录媒体用的玻璃基板，但也可以是例如液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器(FPD)用、光拾取元件或光学滤光片等光学构件用的玻璃基板，或者光掩模用的玻璃基板，对用途无特别限定。

玻璃基板20的玻璃的种类可根据用途进行适当选择，例如可以是无定形玻璃，可以是结晶化玻璃，也可以是表层具有强化层的强化玻璃。强化玻璃可以是化学强化玻璃或风冷强化玻璃。

对玻璃基板20的制造方法无特别限定，可使用例如浮法、熔融法、加压法、再曳引法等。

(盒)

图2是盒中收纳有玻璃基板的状态的一例的俯视图。以下的各图中，X方向表示盒30的长边方向，Y方向表示盒30的宽度方向。另外，X方向及Y方向为相互垂直的方向。图2表示在盒30中收纳有板厚不同的玻璃基板20A、20B的状态。此外，图2示出在多个收纳位置的一部分中没有收纳玻璃基板20的状态。

盒30为上方呈开放状态的箱状，且在盒30的内侧侧面31突出设置有隔板部32。沿盒30的长边方向(X)方向隔着间隔形成有多个隔板部32，隔板部32彼此之间的间隔大于玻璃基板20的板厚。玻璃基板20被插入在隔板部32彼此之间形成的槽部33，每1枚玻璃基板以分离的状态被收纳于盒30内。盒30具有多个(例如25个)能够收纳玻璃基板20的收纳位置，多个收纳位置沿规定方向(X)方向隔着间隔排列。

盒30在开口边缘具有相互平行的2个直线状部分34～35。各直线状部分34～35的长边方向与多个收纳位置的排列方向(X方向)平行。

(取出装置)

如图1所示，取出装置40是将玻璃基板20从盒30中取出的取出装置。在取出时，盒30可以暂时停止在输送路径上的规定位置，在输送路径上可以配置用于确定停止位置的制动器(stopper)。

取出装置40由相对于输送路径能够沿X方向移动的可动体41、能够沿Z方向伸缩的伸缩臂42、设置于伸缩臂42下端部的卡盘机构43等构成。

可动体41以能够移动的方式由导轨45等支承，并利用电动机等驱动源46而移动。在可动体41上固定着伸缩臂42的上端部。

伸缩臂42由例如气压缸或液压缸等流体压力缸构成，能够沿上下方向(Z方向)伸缩。通过伸缩臂42的伸缩，卡盘机构43相对于可动体41升降。

卡盘机构43可以是通常的构成，例如，可以是如图1所示那样在多个部位将玻璃基板20的内周把持住的机构，也可以是将玻璃基板20的内周和外周夹持住的机构。

在后述的实行部81的控制下，取出装置40在每个收纳位置进行从收纳位置取出玻璃基板20的动作。取出动作可以根据取出装置40的构成来适当选择，本实施方式中包含下述的(1)～(5)的动作。(1)进行盒30和可动体41在X方向上的位置对准。位置对准可通过可动体41的移动及/或盒30的移动来进行。(2)伸长伸缩臂42，使卡盘机构43插入到盒30内。(3)使可动体41沿X方向移动，将卡盘机构43移动到一个收纳位置处。此时，如果在这个收纳位置收纳有玻璃基板20，则可以将卡盘机构43插入到玻璃基板20的圆孔21中。(4)驱动卡盘机构43。此时，如果在这个收纳位置收纳有玻璃基板20，则卡盘机构43将玻璃基板20夹住。(5)收缩伸缩臂42，将卡盘机构43从盒30中取出。上述(1)～(5)的一系列的取出动作在每个收纳位置进行，并从盒30的长边方向(X方向)的一端侧朝着另一端侧依次进行。另外，取出装置40可以是多个，例如是2个的情况下，取出装置的取出动作可以从盒30的长边方向的两端侧朝着中央依次进行。

另外，本实施方式的取出装置40是从盒30的上方将玻璃基板20提起的装置，但也可以是从盒30的下方利用升降机构将玻璃基板20顶至盒30的上方后卡盘机构43(可以是在多个部位将玻璃基板20的内周把持住的机构，可以是将玻璃基板20的内周和外周夹持住的机构，也可以是在多个部位将玻璃基板20的外周把持住的机构)将玻璃基板20夹住的装置。

将利用取出装置40取出的玻璃基板20转移到未图示的输送带上。输送带可以是一般的构成，例如具有在多个部位将玻璃基板20的外周把持住的机构。输送带将自取出装置40收到的玻璃基板20转移至检查装置50，并将该玻璃基板20设置在检查装置50的心轴54上。

(检查装置)

检查装置50是检查玻璃基板20的光学式自动检查装置(AOI:AutomaticOptical Inspection(自动光学检查))。检查装置50向玻璃基板20的主平面22照射光，接受来自照射位置的散射光(或者反射光)。

例如，如图1所示，检查装置50包括向玻璃基板20的主平面22照射激光的激光光源51、接受来自激光的照射位置的散射光(或者反射光)的受光元件52和使玻璃基板20旋转的心轴54。在激光光源51和玻璃基板20之间设置用于对激光进行聚光的聚光透镜等光学系统53，利用光学系统53在玻璃基板20的主平面22形成光斑。光斑以漩涡状在与心轴54一起旋转的玻璃基板20的主平面22上进行扫描。当光斑照射在主平面22上存在的缺陷时，受光元件52的受光量会增加或减少。受光元件52由光电转换元件等构成，将基于受光量的信号发送至控制装置80。控制装置80基于来自受光元件52的信号来判定有无缺陷，分类为无缺陷的优质品和有缺陷的劣质品。将优质品和劣质品收纳在不同的回收盒中。作为缺陷的种类，有例如裂纹、凹凸、附着物等。

另外，本实施方式的检查装置50可以对玻璃基板20的一侧的主平面22进行检查，也可以对两侧的主平面22、23进行检查。

图3～图4是检查装置50中的心轴的一例的说明图。心轴54把持着玻璃基板20的内周而与玻璃基板20一起旋转。心轴54可以是一般的构成，例如由从背面侧支承玻璃基板20的内周的筒状部55、设置于筒状部55的内侧且相对于筒状部55能够沿轴方向移动的轴部56以及伴随着轴部56的移动能够沿半径方向滑动的把持爪57等构成。轴部56具有圆锥台状的头部58，头部58在外周具有随着朝图中右侧行进而向半径方向的内侧缩小的锥面59。在头部58的周围设置有多个把持爪57，各把持爪57与头部58的锥面59接触。

当轴部56从图3所示的状态向右方移动时，如图4所示，把持爪57朝半径方向的外侧滑动而挤压玻璃基板20的内周面，从而将玻璃基板20把持住。另一方面，当轴部56从图4所示的状态向左方移动时，如图3所示，把持爪57朝半径方向的内侧滑动而离开玻璃基板20的内周面，从而解除对玻璃基板20的把持。图3所示的状态中，能够将玻璃基板20从心轴54上取下来。

(摄像装置)

图5是在盒30的输送方向观察时的摄像装置的说明图。图5中将盒30剖切进行显示。

摄像装置60具备对利用输送装置70而输送的盒30进行拍摄的相机61、对盒30进行照射的光源62和支承相机61及光源62的支承构件63。

相机61由例如CCD相机或CMOS相机等构成，其被设置在输送路径上的规定位置的上方，从上方对盒30整体进行拍摄。在拍摄时，盒30可以暂时停止在输送路径上的规定位置，在输送路径上可以配置确定停止位置的制动器。在拍摄时，俯视观察时相机61的光轴与盒30的中心一致。

光源62以不进入相机61的拍摄范围的方式设置在俯视观察时不与盒30重叠的位置，且设置在盒30的斜上方。如图1所示，光源62是在与盒30的直线状部分34平行的方向(X方向)上的线光源。光源62的长度比直线状部分34的长度长，以使得光源62对直线状部分34整体进行均匀的照明，光源62的亮度在光源62的长边方向上大致均匀。

如图5所示，光源62被设置在两个直线状部分34、35中的靠近直线状部分34的一侧。由于选择性地照射一侧的直线状部分34，因此光源62最好由比一般的荧光灯的定向性高的LED光源构成。

被光源62照射的盒30内的玻璃基板20具有将来自光源62的光朝相机61反射的光反射部分26。光反射部分26位于玻璃基板20的外边缘27。

图6是利用摄像装置拍摄的图像的一例的示意图。图7是利用摄像装置拍摄的图像的一例的局部放大图。图6～图7中，为了便于观察附图，省略了对盒30的隔板部32及槽部33等的图示。此外，以点图案表示盒30的直线状部分34的图像34G及玻璃基板20的光反射部分26的图像26G。以点图案表示的部分是与其他部分相比像素的亮度(明亮度)高的部分。

利用摄像装置60拍摄的图像90(以下，也称为“整体图像90”)包括盒30的图像30G和收纳于盒30内的各玻璃基板20的图像20G。盒30的图像30G包括盒30的上边缘的直线状部分34的图像34G。各玻璃基板20的图像20G包括光反射部分26的图像26G。

在盒30中仅收纳有相同板厚的玻璃基板20的情况下，从整体图像90的X方向的中央朝X方向的两端，有时光反射部分26的图像26G在X方向上的宽度W(参照图7)变小(或者变大)。这是受相机61的透镜像差的影响所致。另外，为了消除该影响，作为相机61的透镜，可以使用远心透镜。

另一方面，如图6所示，在盒30中收纳有板厚不同的玻璃基板20A、20B的情况下，光反射部分26A、26B的图像26AG、26BG的在X方向上的宽度成为与玻璃基板20A、20B的板厚相对应的尺寸。

(控制装置)

控制装置80对整体图像90进行图像处理，并基于图像处理的结果对取出装置40进行控制。控制装置80作为包括CPU及记录媒体(例如ROM及RAM)等的计算机而构成。控制装置80在记录媒体中存储着与后述的实行部81、状态判断部82、有无判定部83及板厚判别部84对应的计算机程序。控制装置80通过使CPU运行这些计算机程序，可以实现实行部81、状态判断部82、有无判定部83及板厚判别部84具有的功能。

另外，作为控制装置80的替代，也可以使用包括状态判断部82、有无判定部83及板厚判定部84的图像处理装置和包括实行部81的PLC(Programmable Logic Controller：可编程逻辑控制器)。PLC构造成能够与图像处理装置之间进行信息的接收和发送。

(实行部)

实行部81在每个收纳位置使取出装置40进行从收纳位置取出玻璃基板20的动作。此时，也可以使盒30暂时停止在输送路径上的规定位置。对实行部81的具体情况如后所述。

(状态判断部)

状态判断部82通过对整体图像90进行图像处理，来判断盒30的直线状部分34与摄像装置60的位置关系是否处于正常状态。

图8是状态判断部进行的处理的一例的流程图。图8所示的S101以后的处理例如在控制装置80收到来自摄像装置60的图像数据时开始进行。

首先，状态判断部82通过判断图像的亮度(明亮度)是否在阈值以上来对整体图像901进行二值化处理(例如，分为白色像素和黑色像素)(步骤S101)。

接着，状态判断部82对二值化处理后的图像进行标记处理(对于连续的白色像素或连续的黑色像素分配相同的编号)(步骤S102)，检测出直线状部分34的图像34(步骤S103)。另外，为了提高标记处理速度，在标记处理之前，将二值化处理后的图像中的不需要部分掩盖，并将不需要部分从标记处理的对象中去除。

接着，状态判断部82抽出直线状部分34的图像34G的特征值(例如，在整体图像90中的占有面积，相对于整体图像90中的基准线的斜率，在整体图像90中的图像坐标等)(步骤S104)。

接着，状态判断部82将抽出的特征值与基准值进行比较(步骤105)，从而判断盒30的直线状部分34与摄像装置60的位置关系是否处于正常状态(步骤S106)。基准值由试验确定，将预先记录在记录媒体中的数据读取后来使用。

例如，特征值与基准值的差的绝对值在阈值以下时，状态判断部82判断为上述位置关系处于正常状态。另一方面，特征值与基准值的差的绝对值超过阈值时，状态判断部82判断为上述位置关系处于异常状态。

判断为上述位置关系处于异常状态时，由于未知的原因，盒30没有被正确地设置在输送路径上，因此控制装置80停止玻璃基板检查系统10的规定动作，并控制显示器等显示部、灯、蜂鸣器等，通知使用者有异常。使用者调查导致异常的原因，消除原因后，解除玻璃基板检查系统10的停止。即使在没有消除原因的情况下，使用者也能够解除玻璃基板检查系统10的停止。详细情况如后所述，可以将判断为有异常的盒30从取出装置40的处理对象中去除，并将下一个盒作为处理的对象。

另外，为了检测出直线状部分34的图像34G的图像坐标，本实施方式的状态判断部82进行二值化处理及标记处理，但对图像处理的方法没有特别限定。例如，状态判断部82可以进行使用模板的图案匹配处理，该情况下，根据直线状部分34的图像34G和模板的相似度是否超过阈值来判断是否处于正常状态。此外，状态判断部82可以通过微分(一阶微分或二阶微分)求出像素的亮度发生骤变的部位，并检测出直线状部分34的轮廓线的图像坐标。

(有无判定部)

有无判定部83对整体图像90进行图像处理，在每个收纳位置判定有无玻璃基板20。

图9是有无判定部进行的处理的一例的流程图。图9所示的S201以后的处理例如在控制装置80收到来自摄像装置60的图像数据时开始进行。

另外，可以在由状态判断部82判断为上述位置关系处于正常状态时进行S201以后的处理，在判断为处于异常状态时不进行S201以后的处理。

首先，有无判定部83在图像90中设定与多个收纳位置对应的多个处理区域91(步骤S201)。处理区域91的数量与收纳位置的数量(即槽部33的数量)相同。多个处理区域91沿X方向排列。处理区域91彼此可以如图6所示那样分开或者相互连接。

各处理区域91的图像坐标通过试验等来确定，将预先记录在记录媒体中的数据读取后来使用。试验通过在各收纳位置各收纳一枚玻璃基板20来进行，各处理区域91的图像坐标以使对应的玻璃基板20的光反射部分26的图像26G包含在各处理区域91内的方式进行设定。

各处理区域91的图像坐标可以基于由状态判断部82检测出的直线状部分34的图像坐标进行校正。

各处理区域91在X方向上的尺寸(以下，简称为“区域尺寸”)可以针对沿X方向将整体图像90分割成3个而得到的各区域90a～90c中的每一个区域进行设定。X方向上的端部的区域90a、90c中的区域尺寸Da、Dc(Da=Dc)被设定为比X方向上的中央部分的区域90b中的区域尺寸Db小(或大)(图中Da=Db=Dc)。通过与板厚相同的玻璃基板20的光反射部分26的图像26G在X方向上的宽度W(参照图7)朝着X方向的端部侧变小(或变大)相适应的方式来进行上述设定。由此，能够减小相机61的透镜像差的影响。

另外，本实施方式中，沿X方向将整体图像90分割成3个区域90a～90c，但分割数为3个以上即可，无特别限定。例如，分割数可以与收纳位置的数量相同。

另外，本实施方式中，以调整处理区域91在X方向上的尺寸的目的和后述的目的(调整与从处理区域91抽出的特征值进行比较的基准值的目的)这两种目的进行分割，但也可以以其中任一目的来进行分割。

接着，有无判定部83通过判断图像的亮度(明亮度)是否在阈值以上来对各处理区域91的图像进行二值化处理(例如，分为白色像素和黑色像素)(步骤S202)。白色像素是亮度在阈值以上的像素，黑色像素是亮度低于阈值的像素。

接着，有无判定部83对二值化处理后的各处理区域91的图像进行标记处理(对于连续的白色像素分配相同的编号)(步骤S203)。

接着，有无判定部83针对每个处理区域91检测是否包含光反射部分26的图像26G(步骤S204)。例如，当连续的白色像素的面积(特征值)在基准值以上时，可检测出包含图像26G，当低于基准值时，可检测出不包含图像26G。

上述基准值可以根据区域90a～90c分别设定。例如，X方向上的端部的区域90a、90c中的基准值被设定为比X方向上的中央部分的区域90b中的基准位置小(或大)。通过与板厚相同的玻璃基板20的光反射部分26的图像26G在X方向上的宽度W(参照图7)朝着X方向的端部侧变小(或变大)相适应的方式来进行上述设定。由此，能够减小相机61的透镜像差的影响。

接着，基于步骤S204的结果，有无判定部83判断在与各处理区域91对应的收纳位置是否有玻璃基板20(步骤S205)。具体而言，在一个处理区域91中包含图像26G时，可判定在与这一处理区域91对应的收纳位置上有玻璃基板20。此外，在一个处理区域91中不包含图像26G时，可判定在与这一处理区域91对应的收纳位置上没有玻璃基板20。

最后，有无判定部83将使收纳位置的识别信息(例如，识别编号)与有无玻璃基板20相对应的表格(参照图11)记录在记录媒体上(步骤S206)。表格以与用于识别盒30的ID相对应的方式进行记录。

另外，为了针对每个处理区域91判定是否包含光反射部分26的图像26G，本实施方式的有无判定部83进行二值化处理及标记处理，但对图像处理的方法没有特别限定。例如，有无判定部83可以通过进行使用模板的图案匹配处理，来检测光反射部分26的图像26G，并进行判定。此外，有无判定部83可以通过微分(一阶微分或二阶微分)求出像素的亮度发生骤变的部位，来检测出光反射部分26的像素26G的轮廓线，并进行判定。

(板厚判别部)

板厚判别部84对整体图像90进行图像处理，在每个收纳位置对收纳在收纳位置的玻璃基板20的板厚是否在规定范围内进行判别。在玻璃基板的制造流水线上制造板厚不同的多种玻璃基板时，能够检出误将多种玻璃基板混在一起的情况。板厚判别部84可以对由有无判定部83判定为无玻璃基板20的收纳位置不进行后述的处理。

另外，可以先实施有无判定部83的处理和板厚判别部84的处理中的任一个，也可以同时实施有无判定部83的处理和板厚判别部84的处理。

图10是板厚判别部进行的处理的一例的流程图。图10所示的S301以后的处理例如在控制装置80收到来自摄像装置60的图像数据时开始进行。

另外，可以在由状态判断部82判断为上述位置关系处于正常状态时进行S301以后的处理，在判断为处于异常状态时不进行S301以后的处理。

首先，板厚判别部84调查各处理区域91中的像素的亮度变化，并检测光反射部分26的图像26G在方向上的宽度W(以下，也简称为“图像宽度W”)(步骤S301)。图像宽度W作为亮度在X方向上发生骤变的两点92、93(参照图7)之间的距离而算出。

调查亮度变化的线94沿X方向延伸。线94可以是穿过整体图像90中包含的1个或多个图像26G在Y方向上的重心的线，也可以是根据试验进行设定且被预先记录在记录媒体中的线。

接着，板厚判别部84调查所检测出的图像宽度W是否在基准范围内(步骤S302)。上述基准范围可以根据区域90a～90c分别设定。例如，X方向上的端部的区域90a、90c中的基准范围的下限值、上限值被设定为比X方向上的中央部分的区域90b中的基准范围的下限值、上限值小(或大)。通过与板厚相同的玻璃基板20的光反射部分26的图像26G在X方向上的宽度W(参照图7)朝着X方向的端部侧变小(或变大)相适应的方式来进行上述设定。由此，能够减小相机61的透镜像差的影响。

接着，板厚判别部84基于步骤S302的调查结果来判别玻璃基板20的板厚是否在规定范围内(步骤S303)。具体而言，图像宽度W在基准范围内的情况下，判别为玻璃基板20的板厚在规定范围内。此外，图像宽度W在基准范围外的情况下，判别为玻璃基板20的板厚在规定范围外。

最后，板厚判别部84将使收纳位置的识别信息(例如，识别编号)与玻璃基板20的板厚的判别结果相对应的表格(参照图11)记录在记录媒体上(步骤S304)。图11所示的表格中，“○”表示判别为板厚在规定范围内，“×”表示判别为板厚在规定范围外，“－”表示由于没有玻璃板而没有进行板厚的判別。

(实行部)

实行部81基于状态判断部82的判断结果、有无判定部83的判定结果以及板厚判别部84的判别结果，使取出装置40实行从各收纳位置取出玻璃基板20的动作。实行部81参照记录在记录媒体中的表格(参照表11)来进行处理。

例如，在由状态判断部82判断为上述位置关系处于异常状态的情况下，实行部81使取出装置40针对盒30的所有收纳位置都不进行取出动作。这是因为，在该情况下，由于未知的原因，盒30未被正确地设置在输送路径上。

此外，对于由有无判定部83判定为无玻璃基板20的收纳位置，实行部81使取出装置40不进行取出动作，而跳过取出动作。由于实行部81仅使取出装置40对判定为有玻璃基板20的收纳位置进行取出动作，因此不会进行无用的取出动作，从而检查效率提高。

此外，对于由板厚判别部84判别为板厚在规定范围外的玻璃基板20的收纳位置，实行部81使取出装置40不进行取出动作，而跳过取出动作。实行部81仅使取出装置40对判别为板厚在规定范围内的玻璃基板20的收纳位置进行取出动作。藉此，在取出装置40及检查装置50中仅夹住所需板厚的玻璃基板20，因此使施加于玻璃基板20的负荷稳定化，可以防止玻璃基板20的破损，进而可以防止对设置玻璃基板检查系统10的洁净室的污染。此外，在检查装置50中仅检查所需板厚的玻璃基板20，因此能够防止激光的焦点发生偏离，并防止得到错误的检查结果。

还有，在存在由板厚判别部84判别为板厚在规定范围外的玻璃基板的情况下，实行部81可以使取出装置40针对盒30的所有收纳位置都不进行取出动作。这是因为，在该情况下，由于规格以外的玻璃基板20混入到盒30中，因此在玻璃基板20的制造流水线上存在异常。控制装置80停止玻璃基板检查系统10的规定动作，并控制显示器等显示部、灯、蜂鸣器等，通知使用者有异常。使用者调查导致异常的原因，消除原因后，解除玻璃基板检查系统10的停止。即使在没有消除原因的情况下，使用者也能够解除停止。

(玻璃基板的制造方法)

玻璃基板的制造方法可以根据玻璃基板的用途进行选择，例如在玻璃基板的用途为磁记录媒体用时，具有以下的(1)～(6)的工序。(1)对玻璃素板进行加工，来制作中心部位具有圆孔的圆盘状的玻璃基板。(2)对玻璃基板的外周及内周的角部进行倒角加工。(3)对玻璃基板的前面及背面(两主面)进行研磨加工。研磨加工中，使用游离磨粒研磨机(例如，使用氧化铝磨粒及碳化硅磨粒等磨粒和金属制的平台)或者固定磨粒研磨机(例如，使用包含金刚石磨粒等磨石的固定磨粒工具)。(4)对玻璃基板的外周面及内周面(包括倒角部)进行端面研磨。(5)对玻璃基板的两主面进行研磨。在主面研磨中，使用平均粒子直径比研磨加工中小的磨粒和树脂制的研磨垫。对主平面研磨的次数没有限定，也可以实施研磨垫及研磨剂不同的多种主面研磨。(6)将玻璃基板清洗、干燥，来制造磁记录媒体用玻璃基板。通过在该磁记录媒体用玻璃基板上形成磁性层等薄膜，可制造磁盘。

此外，磁记录媒体用的玻璃基板的制造方法中，可以在上述(1)～(6)的工序之间实施玻璃基板的清洗(工序间清洗)及玻璃基板表面(玻璃基板的整面或部分(例如，主平面、内周端面和外周端面中的至少一部分))的蚀刻(工序间蚀刻)。此外，可以在研磨工序前或研磨工序后、或者在研磨工序之间实施在玻璃基板的表层形成强化层的强化工序(例如，化学强化工序)。

不过，在实施上述(1)～(6)的工序时，在这些工序中或工序间输送玻璃基板时，有时会在玻璃基板上产生损伤。因此，本实施方式中，在上述(6)的工序后，实施利用上述玻璃基板检查系统10进行的检查工序。藉此，能够改善磁盘的成品率及降低制造成本。

另外，本实施方式中，在上述(6)的工序后实施了检查工序，但本发明并不限定于此。即，检查工序只要在加工玻璃板的加工工序后实施即可，其也可以在例如上述(4)的工序和上述(5)的工序之间实施。还有，本发明并不限定于磁记录媒体用玻璃基板的制造方法，也可以适用于FPD用玻璃基板及光掩模用玻璃基板的制造方法等一般的玻璃板的制造方法。

以上对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不受上述实施方式的限制。可以不脱离本发明的范围的情况下，对上述的实施方式进行各种变形及替换。

例如，本实施方式的玻璃基板检查系统10具有对盒30进行拍摄的摄像装置60，但也可以具有其他的装置。作为其他的装置，可例举例如由对盒30照射激光的光源和在激光被收纳于盒30内的玻璃基板20反射时接受反射光的受光元件构成的传感器等。该传感器可以是多个光源及受光元件沿与盒30的长边方向(X方向)平行的方向排列的线性传感器。受光元件也可以是在激光通过(透射)盒30后接受透射光的受光元件。该情况下，受光元件可以以盒30为基准，配置在与光源相反的一侧。

Claims (9)

1.一种玻璃基板检查系统，具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用所述取出装置从所述盒中取出的玻璃基板进行检查的检查装置，所述盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置，其特征在于，

所述玻璃基板检查系统具有在每个所述收纳位置使所述取出装置进行从所述收纳位置取出所述玻璃基板的动作的实行部，和

在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板的有无判定部；

对于由所述有无判定部判定为无所述玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作。

2.如权利要求1所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述玻璃基板检查系统还具有在每个所述收纳位置对收纳在所述收纳位置的所述玻璃基板的板厚是否在规定范围内进行判别的板厚判别部；

对于由所述板厚判别部判别为所述板厚在规定范围外的玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作。

3.如权利要求2所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，当存在由所述板厚判别部判别为所述板厚在规定范围外的玻璃基板时，所述实行部针对所述盒的所有收纳位置中止所述取出动作。

4.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述玻璃基板检查系统还具备对所述盒进行拍摄的摄像装置；

通过对由所述摄像装置拍摄的图像进行图像处理，所述有无判定部在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板。

5.如权利要求4所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述有无判定部在所述图像中设定与多个所述收纳位置对应的多个处理区域，对各处理区域进行图像处理，从而在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板；

多个所述处理区域沿规定方向排列；

针对沿所述规定方向将所述图像分割成3个以上而得到的各区域中的每一个区域设定各所述处理区域在所述规定方向上的尺寸。

6.如权利要求4或5所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述有无判定部在所述图像中设定与多个所述收纳位置对应的多个处理区域，对各所述处理区域进行图像处理而抽出各所述处理区域的特征值，将抽出的特征值与基准值进行比较，从而在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板；

多个所述处理区域沿规定方向排列；

针对沿所述规定方向将所述图像分割成3个以上而得到的各区域中的每一个区域设定与各所述处理区域的特征值进行比较的基准值。

7.如权利要求4～6中任一项所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述盒为上方呈开放状态的箱状，且在上边缘具有直线状部分；

所述玻璃基板检查系统还具有状态判断部，该状态判断部通过对由所述摄像装置拍摄的图像进行图像处理，来判断所述盒的所述直线状部分与所述摄像装置的位置关系是否处于正常状态；

当由所述状态判断部判断为所述位置关系处于异常状态时，所述实行部针对所述盒的所有收纳位置中止所述取出动作。

8.如权利要求1～7中任一项所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，所述玻璃基板为在中心部具有圆孔的磁记录媒体用玻璃基板。

9.一种玻璃基板的制造方法，具有利用权利要求1～8中任一项所述的玻璃基板检查系统进行的检查工序。

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