CN113334240A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供加工装置，作业者能够观察收纳有加工后的被加工物的盒内部而短时间容易地识别被加工物是否被正常加工。加工装置包含：卡盘工作台，其对具有标记的被加工物进行保持；加工单元，其将被加工物利用磨削磨具进行磨削或者利用研磨垫进行研磨；盒载台，其载置收纳多个被加工物的盒；暂放工作台，其暂放被加工物；旋转工作台，其保持要清洗的被加工物；机器人，其搬送被加工物；判断部，其判断被加工物被正常加工还是未被正常加工；和控制单元，其在判断部判断为被加工物被正常加工时进行使标记朝向规定方向的控制，将被加工物收纳于盒中，在判断为未被正常加工时进行使标记朝向与规定方向不同的方向的控制，将被加工物收纳于盒中。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及对半导体晶片等被加工物进行加工的装置，特别是涉及能够知晓已加工的被加工物是否被正常加工的加工装置。
背景技术
例如利用磨具对被加工物进行磨削而将被加工物薄化的全自动型磨削装置(例如参照专利文献1)具有：盒载台，其载置将多张被加工物一张一张地收纳于搁板部的盒；暂放工作台，其用于暂放被加工物；卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；磨削单元，其利用磨具对卡盘工作台所保持的被加工物进行磨削；旋转工作台，其对磨削并要清洗的被加工物进行保持；机器人，其将被加工物从盒搬送至暂放工作台或者将被加工物从旋转工作台搬送至盒；第1搬送机构，其将被加工物从暂放工作台搬送至卡盘工作台；以及第2搬送机构，其将被加工物从卡盘工作台搬送至旋转工作台。
专利文献1：日本特开2015-213995号公报
在被加工物上形成有表示晶体取向的定向平面或切口。并且，无论已磨削的被加工物是否被实施了正常的磨削，均使定向平面的朝向一致而收纳于上述盒中。因此，作业者无法目视判断收纳于盒的被加工物是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物。因此，将磨削装置所识别的收纳于盒内的各搁板部的每张被加工物的被加工物数据显示在触摸面板等装置画面上，作业者一边参照显示在画面上的被加工物数据一边将实际的盒内的多个搁板部与触摸面板进行对比，同时进行从收纳于盒内的被加工物中剔除未正常加工的被加工物的剔除作业。因此，存在剔除作业花费工夫和时间的问题。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供加工装置，其中，作业者观察收纳有加工后的被加工物的盒内部而能够在短时间内容易地识别收纳于各搁板部的被加工物是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物。
根据本发明的一个方式，提供加工装置，其中，该加工装置包含：卡盘工作台，其利用保持面对具有表示晶体取向的标记的被加工物进行保持；加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物利用磨削磨具进行磨削或利用研磨垫进行研磨；盒载台，其载置搁板状的盒，该盒能够收纳多个被加工物；暂放工作台，其暂放被加工物；旋转工作台，其对要清洗的被加工物进行保持；机器人，其将载置于该盒载台的该盒内的被加工物搬送至该暂放工作台上，或者将该旋转工作台所保持的被加工物搬送至载置于该盒载台上的该盒内；判断部，其判断被加工物被正常加工还是未被正常加工；以及控制单元，在该判断部判断为被加工物被正常加工时，该控制单元进行使该标记朝向规定的方向的控制，并使被加工物收纳于该盒中，在该判断部判断为被加工物未被正常加工时，该控制单元进行使该标记朝向与该规定的方向不同的方向的控制，并使被加工物收纳于该盒中。
优选该加工装置还包含对被加工物的厚度进行测量的厚度测量器，所述判断部根据该厚度测量器所测量的被加工物的厚度而判断被加工物是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物。
优选所述判断部还具有多个判断部，所述不同的方向按照该多个判断部中的每个判断部不一致的方式预先设定，该多个判断部构成为能够以分别不同的判断基准对是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物进行判断，在构成该多个判断部的一个以上的判断部判断为被加工物未被正常加工时，所述控制单元进行使所述标记朝向根据进行了该判断的该判断部而设定的该不同的方向的控制，将被加工物收纳于所述盒中。
本发明的一个方式的加工装置包含：判断部，其判断被加工物被正常加工还是未被正常加工；以及控制单元，其在判断部判断为被加工物被正常加工时，进行使标记朝向规定的方向的控制，将被加工物收纳于盒中，在判断部判断为被加工物未被正常加工时进行使标记朝向与规定的方向不同的方向的控制，将被加工物收纳于盒中，因此作业者观察收纳于盒的被加工物的标记的方向而能够容易地知晓是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物。即，作业者不花费对比装置画面等工夫而能够容易地剔除未被正常加工的被加工物，因此能够将仅剔除了未被正常加工的被加工物的盒容易地搬送至下一工序的装置等。
加工装置还包含对被加工物的厚度进行测量的厚度测量器，判断部根据厚度测量器所测量的被加工物的厚度而对被加工物是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物进行判断，在该情况下，控制单元能够更容易地进行使被加工物的标记向规定的方向的定位控制、或者向与规定的方向不同的方向的定位控制。
判断部进一步具有多个判断部，不同的方向按照多个判断部中的每个判断部不一致的方式预先设定，多个判断部构成为能够以分别不同的判断基准对是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物进行判断，在构成多个判断部的一个以上的判断部判断为被加工物未被正常加工时，控制单元进行使标记朝向进行了判断的判断部中的任意判断部所设定的不同的方向的控制，并将被加工物收纳于盒中，在该情况下，作业者观察收纳于盒的被加工物的标记的方向而能够容易地知晓是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物，并且能够识别未被正常加工的被加工物的异常的种类。
附图说明
图1是示出加工装置的一例的立体图。
图2是示出第2盒和第2盒载台的一例的立体图。
图3是对机器人手臂将旋转工作台所吸引保持的磨削后的被加工物搬出的状态进行说明的立体图。
图4是对通过控制单元进行使标记朝向加工正常的方向的控制而被收纳于第2盒的被加工物进行说明的立体图。
图5是对通过控制单元进行使标记朝向加工厚度异常的方向的控制而被收纳于第2盒的被加工物进行说明的立体图。
图6是对通过控制单元进行使标记朝向加工裂纹等异常的方向的控制而被收纳于第2盒的被加工物进行说明的立体图。
标号说明
80：被加工物；801：被加工物的正面；802：被加工物的背面；805：被加工物的标记；1：加工装置；10：基座；18：柱；9：控制单元；90：判断部；901：第1判断部；902：第2判断部；150：第1盒载台；151：第2盒载台；21：第1盒；22：第2盒；222：顶板；223、224：侧板；225：背板；226：搁板部；227：底板；220：开口；11：暂放工作台；119：对位单元；118：暂放工作台旋转机构；131：装载臂；132：卸载臂；12：清洗单元；120：旋转工作台；121：清洗喷嘴；126：旋转工作台旋转机构；127：拍摄单元；14：机器人；140：机器人手臂；1400：吸附部；142：手臂水平移动机构；144：手臂上下移动机构；146：手臂翻转机构；145：臂连结部；17：工作台移动机构；30：卡盘工作台；39：罩；390：波纹罩；36：卡盘工作台旋转机构；35：工作台基座；38：厚度测量器；19：磨削进给机构；16：加工单元；164：磨削磨轮。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。图1所示的加工装置1是通过加工单元16对卡盘工作台30所保持的被加工物80进行磨削的磨削装置。加工装置1的基座10上的前方(-Y方向侧)作为搬入搬出区域100，该搬入搬出区域100是相对于卡盘工作台30进行被加工物80的搬入搬出的区域，基座10上的后方(+Y方向侧)作为加工区域101，该加工区域101是通过加工单元16进行卡盘工作台30上所保持的被加工物80的磨削加工的区域。
另外，本发明的加工装置可以为如下的结构：具有粗磨削单元和精磨削单元这两组磨削单元作为加工单元，利用旋转的转台将保持着被加工物80的卡盘工作台30定位于各磨削单元的下方。或者，本发明的加工装置可以是如下的研磨加工装置：具有利用研磨垫对被加工物实施研磨加工的研磨单元作为加工单元，将被加工物80的被研磨面镜面化、或提高被加工物80的抗弯强度。
加工装置1例如具有进行装置整体的控制的控制单元9。例如由按照控制程序进行运算处理的CPU和存储器等存储元件等构成的控制单元9与加工单元16等本发明的各发明构成要素电连接，进行各发明构成要素的控制。
在本实施方式中，图1所示的被加工物80是由硅母材等构成的圆形的半导体晶片。在图1中朝向下方的被加工物80的正面801上形成有多个器件，该正面801粘贴有未图示的保护带而被保护。被加工物80的朝向上侧的背面802作为实施磨削加工的被加工面。另外，被加工物80除了硅以外，还可以由砷化镓、蓝宝石、氮化镓、树脂、陶瓷或碳化硅等构成。
在被加工物80的外周部分，通过将外周的一部分平坦地切割而形成有作为表示晶体取向的标记805的定向平面。标记805例如也可以是表示晶体取向的切口。该情况下的切口以朝向被加工物80的中心而向径向内侧凹陷的状态形成于被加工物80的外周缘。
在基座10的正面侧(-Y方向侧)设置有载置能够收纳多个被加工物80的搁板状的盒的第1盒载台150和第2盒载台151。在第1盒载台150上载置对多个加工前的被加工物80进行收纳的搁板状的第1盒21，在第2盒载台151上载置对多个加工后的被加工物80进行收纳的搁板状的第2盒22。
第2盒22和第1盒21采用大致相同的构造，因此以下对第2盒22的构造进行说明，对于第1盒21的构造，进行了省略。
例如能够收纳磨削后的多个被加工物80的图2所示的搁板状的第2盒22是密闭型的前开式晶片传送盒(Foup：Front Opening Unified Pod)，该第2盒22至少具有：顶板222，其在上表面上配置有作业者能够把持的把手228；两张侧板223和侧板224，它们从顶板222沿铅垂方向(Z轴方向)垂下且相互面对；背板225，其与侧板223和侧板224连结；多个搁板部226，其形成于在X轴方向上面对的侧板223和侧板224各自的内侧面上，用于载置被加工物80；以及底板227，其将侧板223、侧板224以及背板225的下端连结。
能够一张一张地收纳被加工物80的各搁板部226沿上下方向隔开规定的间隔而配置，在中央形成有后述的图1所示的机器人14能够进入的进入口，各搁板部226对被加工物80的外周部分进行支承。机器人14例如能够从该进入口移动至收纳于各搁板部226的被加工物80的正下方的位置。另外，在本实施方式中，第2盒22作为密闭型，灰尘不会进入至内部，但也可以是开放型的开放盒。
如图2所示，第2盒22具有前方侧(+Y方向侧)的开口220，构成为能够从开口220搬入搬出被加工物80。第2盒22在第2盒22自身从加工装置1输送至下一工序的装置的情况等时，将开口220例如通过未图示的盒盖封闭。在从第2盒22内取出被加工物80时等，配设于盒盖的开闭把手通过配设于加工装置1的未图示的开闭机构等而转动，从而成为盒盖打开的状态。
例如在图2所示的第2盒载台151的上表面上按照与第2盒22的下表面四角对应的方式形成有用于防止所载置的第2盒22的水平方向(与X轴Y轴平面平行的方向)的横偏移的四组偏移防止部1511。
如图1所示，加工装置1具有：暂放工作台11，其用于暂放被加工物80；旋转工作台120，其对要清洗的被加工物80进行保持；以及机器人14，其将载置于第1盒载台150的第1盒21内的被加工物80搬送至暂放工作台11，或者将旋转工作台120所保持的被加工物80搬送至载置于第2盒载台151的第2盒22内。
如图1所示，在第1盒21的+Y方向侧的开口210的后方配设有机器人14。机器人14是多关节机器人，该机器人14具有：机器人手臂140，其具有对被加工物80进行吸附保持的吸附面1404；手臂水平移动机构142，其使机器人手臂140在水平方向上移动；电动致动器等手臂上下移动机构144，其使机器人手臂140沿上下方向移动；以及手臂翻转机构146，其使例如机器人手臂140的吸附面1404上下翻转。
手臂水平移动机构142例如由多个板状臂部件等构成，成为通过旋转电动机使在内部具有滑轮机构的旋转臂旋转的构造。即，手臂水平移动机构142通过旋转电动机所产生的旋转力使多个板状臂部件以轴向为Z轴方向(铅垂方向)的旋转轴为轴而相互旋转，从而能够使机器人手臂140在水平面内(X轴Y轴平面内)旋转移动。另外，手臂水平移动机构142能够将多个板状臂部件从相互交叉的状态变形为相互呈直线状排列的状态等，使机器人手臂140在水平面内直线移动。
在手臂水平移动机构142的下部侧连接有手臂上下移动机构144。手臂上下移动机构144能够使机器人手臂140与手臂水平移动机构142一起在Z轴方向上上下移动而将机器人手臂140定位于规定的高度。
在手臂水平移动机构142的板状臂部件上经由柱状的臂连结部145而固定有壳体1463，该壳体1463将具有在图1中与Z轴方向垂直的Y轴方向的轴心的手臂翻转机构146的主轴1462支承为能够旋转。例如在壳体1463的内部收纳有对主轴1462进行旋转驱动的未图示的翻转电动机。
主轴1462的前端侧从壳体1463突出，在该前端侧配设有安装机器人手臂140的根部侧的支托。随着未图示的翻转电动机使主轴1462旋转规定的角度，经由支托而连接于主轴1462的机器人手臂140进行旋转，从而能够使机器人手臂140的吸附面1404翻转。
对被加工物80进行吸附保持的板状的机器人手臂140例如作为整体具有俯视大致U状的外形，该机器人手臂140具有安装于支托的矩形平板状的基部1406以及与基部1406一体地形成的吸附部1400。另外，机器人手臂140并不限于本实施方式中的形状，作为整体也可以成为俯视大致饭杓形状。
例如将在图1中机器人手臂140的朝向上侧的面作为对被加工物80进行吸引保持的吸附面1404。另外，机器人手臂140的吸附面1404的相反面也可以作为吸附面。吸附面1404被平滑地精加工，并且在与被加工物80接触的情况下，可以对吸附面1404的端部实施倒角，以便不刮伤被加工物80。
在吸附面1404上开口有多个吸引孔。吸引孔例如在吸附面1404的外周侧隔开大致相等的间隔的五个部位的区域分别开口有各三个或各四个。另外，吸引孔的数量、所配设的部位并不限于本例。也可以在吸引孔处配设有能够变形的橡胶吸盘等。
在各吸引孔处按照不妨碍机器人手臂140的旋转、移动的方式经由接头等而连通有具有挠性的树脂管，该树脂管与真空产生装置或喷射器机构等吸引源连接。
在机器人14的可动范围内设置有暂放工作台11，在暂放工作台11中配设有对位单元119。
圆形的暂放工作台11例如直径小于被加工物80，暂放工作台11的平坦的上表面作为暂放被加工物80的暂放面。并且，在暂放工作台11的周围呈圆环状隔开等间隔而配设有多个对位销，这些对位销构成对位单元119，能够按照在暂放工作台11的径向上缩小直径或扩大直径的方式进行移动。暂放于暂放工作台11的被加工物80通过对位单元119的对位销按照缩小直径的方式进行移动而对位(定心)于规定的位置。
在暂放工作台11的下表面侧连接有由电动机1181和主轴1182等构成的暂放工作台旋转机构118，暂放工作台11能够通过轴向为Z轴方向的主轴1182而旋转。电动机1181例如是伺服电动机，电动机1181的编码器1183与还具有作为伺服放大器的功能的控制单元9连接。从控制单元9的输出接口对电动机1181提供动作信号，从而主轴1182进行旋转，将编码器1183所检测的转速作为编码器信号而输出至控制单元9的输入接口。并且，将编码器1183所检测的转速作为编码器信号而接受的控制单元9能够逐次识别暂放工作台11的旋转角度。
在与暂放工作台11相邻的位置配置有装载臂131，该装载臂131由吸引垫等构成，在对被加工物80进行保持的状态下进行旋转。装载臂131对在暂放工作台11上进行了定心的被加工物80进行保持并搬送至定位于加工区域101内的搬入位置的卡盘工作台30。在装载臂131的旁边设置有卸载臂132，该卸载臂132由吸引垫等构成，在对加工后的被加工物80进行保持的状态下进行旋转。
在卸载臂132的可动范围内配置有单片式的清洗单元12，该单片式的清洗单元12对通过卸载臂132搬送的加工后的被加工物80进行清洗。清洗单元12利用直径小于被加工物80的旋转工作台120对被加工物80进行吸引保持，从在被加工物80的上方旋转移动的清洗喷嘴121向作为旋转的被加工物80的被磨削面的背面802喷射清洗水而进行背面802的清洗。
在旋转工作台120的下侧连接有由电动机123和主轴124等构成的旋转工作台旋转机构126，旋转工作台120能够旋转。电动机123例如是伺服电动机，电动机123的编码器125与还具有伺服放大器的功能的控制单元9连接。将编码器125所检测的转速作为编码器信号而接受的控制单元9能够识别旋转工作台120的旋转角度。
例如在旋转工作台120的上方配设有拍摄单元127，该拍摄单元127具有：未图示的光照射单元，其对旋转工作台120上所保持的被加工物80的被磨削面即背面802照射光；以及相机，其由捕捉来自被加工物80的反射光的透镜等光学系统和将在光学系统中成像的被摄体图像输出的拍摄元件等构成。
在本实施方式中，图1所示的卡盘工作台30具有：吸附部300，其由多孔部件等构成，对被加工物80进行吸附；以及框体301，其对吸附部300进行支承。吸附部300与真空产生装置等未图示的吸引源连通，吸引源进行吸引而产生的吸引力传递至作为吸附部300的露出面(上表面)的保持面302上，从而卡盘工作台30能够在保持面302上对被加工物80进行吸引保持。例如保持面302与形成于被加工物80的表示晶体取向的定向平面即标记805对应而具有与被加工物80相同的形状。即，将圆形的吸附部300的外周与标记805对应而在切线方向上平坦地切割。
卡盘工作台30的周围被罩39围绕，能够通过配设于罩39和与罩39连结的波纹罩390的下方的工作台移动机构17而在基座10上沿Y轴方向往复移动。另外，卡盘工作台30能够通过卡盘工作台旋转机构36以Z轴方向的旋转轴为中心而旋转。
工作台移动机构17具有：滚珠丝杠170，其具有Y轴方向的轴心；一对导轨171，它们与滚珠丝杠170平行地配设；电动机172，其与滚珠丝杠170的一端连结，使滚珠丝杠170转动；以及可动板173，其内部的螺母与滚珠丝杠170螺合，可动板173的侧部与导轨171滑动接触。当电动机172使滚珠丝杠170转动时，与此相伴可动板173被导轨171引导而在Y轴方向上直线移动，从而使借助工作台基座35而配设于可动板173上的卡盘工作台30在Y轴方向上移动。
在以能够取下的方式固定有卡盘工作台30的工作台基座35的下表面侧连接有由电动机360和主轴361等构成的卡盘工作台旋转机构36。电动机360例如是伺服电动机，电动机360的编码器362与还具有作为伺服放大器的功能的控制单元9连接。在从控制单元9对电动机360提供动作信号之后，将编码器362所检测的转速作为编码器信号而输出至控制单元9的输入接口。并且，接受了编码器信号的控制单元9能够识别卡盘工作台30的旋转角度、卡盘工作台30的保持面302上的与被加工物80的标记805对应的平坦的切割部分的朝向(位置)。
在加工区域101的后方(+Y方向侧)竖立设置有柱18，在柱18的-Y方向侧的前表面上配置有将加工单元16和卡盘工作台30在与保持面302垂直的Z轴方向上相对地进行磨削进给的磨削进给机构19。磨削进给机构19具有：滚珠丝杠190，其具有Z轴方向的轴心；一对导轨191，它们与滚珠丝杠190平行地配设；电动机192，其与滚珠丝杠190的上端连结，使滚珠丝杠190转动；升降板193，其内部的螺母与滚珠丝杠190螺合，升降板193的侧部与导轨191滑动接触；以及支托194，其与升降板193连结，对加工单元16进行保持。当电动机192使滚珠丝杠190转动时，与此相伴升降板193被导轨191引导而在Z轴方向上往复移动，保持于支托194的加工单元16在Z轴方向上进行磨削进给。
对卡盘工作台30所保持的被加工物80进行磨削加工的加工单元16具有：旋转轴160，其轴向为Z轴方向；壳体161，其将旋转轴160支承为能够旋转；电动机162，其使旋转轴160旋转驱动；圆环状的安装座163，其与旋转轴160的下端连接；以及磨削磨轮164，其以能够装卸的方式安装于安装座163的下表面上。
磨削磨轮164具有磨轮基台以及呈环状配设于磨轮基台的底面的大致长方体形状的多个磨削磨具。磨削磨具例如是利用规定的粘合剂等固着磨削磨粒等而成型的。
在旋转轴160的内部沿旋转轴160的轴向(Z轴方向)贯通而形成有作为磨削水的通道的未图示的流路。该流路在安装座163中通过，在磨轮基台的底面上开口，以便能够朝向磨削磨具喷出磨削水。
在下降至对被加工物80进行磨削时的高度位置的磨削磨轮164的附近的位置例如配设有在磨削中以接触式的方式对被加工物80的厚度进行测量的厚度测量器38。厚度测量器38例如具有一对厚度测量器(高度计)，即具有卡盘工作台30的保持面302的高度位置测量用的第1厚度测量器(第1高度计)381以及卡盘工作台30所保持的被加工物80的被磨削面即背面802的高度位置测量用的第2厚度测量器(第2高度计)382。
第1厚度测量器381和第2厚度测量器382在它们的各前端具有沿上下方向升降而与各测量面接触的接触部。第1厚度测量器381和第2厚度测量器382被支承为能够上下移动，并且能够以适当的力按压各测量面。厚度测量器38通过第1厚度测量器381对作为基准面的保持面302的高度位置进行检测，通过第2厚度测量器382对作为所磨削的被加工物80的上表面的背面802的高度位置进行检测，计算两者的检测值的差，从而能够在磨削中逐次测量被加工物80的厚度。
另外，厚度测量器38也可以是非接触式的厚度测量器。
本发明的加工装置1具有判断部90，判断部90对磨削后的被加工物80是被正常加工的被加工物还是未被正常加工的被加工物进行判断，在本实施方式中，判断部90包含在控制单元9中。
判断部90例如进一步具有多个(例如两个)判断部，多个判断部构成为能够按照分别不同的判断基准对被加工物80是被正常加工的被加工物还是未被正常加工的被加工物进行判断。即，在本实施方式中，判断部90具有：第1判断部901，其根据厚度测量器38所测量的被加工物80的厚度，对被加工物80是被正常加工的被加工物还是未被正常加工的被加工物或者是磨削前的厚度(投入厚度)异常而未实施磨削加工的被加工物进行判断；以及第2判断部902，其根据利用拍摄单元127对在旋转工作台120上进行了清洗的被加工物80的被加工面即背面802进行拍摄而得的拍摄图像，对被加工物80上是否存在裂纹、外周缺损或面烧焦等进行判断，若无该裂纹等，则判断为是被正常加工的被加工物，若有该裂纹等，则判断为是未被正常加工的被加工物。
在本实施方式中，控制单元9在判断部90判断为被加工物80被正常加工时进行使标记805朝向规定的方向99(以下采用图4所示的加工正常的方向99)的控制，将加工后的被加工物80收纳于第2盒22中，在判断部90判断为被加工物80未被正常加工时进行使标记805朝向与加工正常的方向99不同的方向的控制，进行将加工后或加工前的被加工物80收纳于第2盒22的控制。
在本实施方式中，判断部90具有第1判断部901和第2判断部902，控制单元9在第1判断部901和第2判断部902中的至少一个(即，多个判断部中的一个以上的判断部)判断为被加工物80未被正常加工的情况下，进行使标记805朝向判断为被加工物80未被正常加工的判断部所设定的与加工正常的方向99不同的方向的控制，进行将被加工物80收纳于第2盒22的控制。例如在下文中，将第1判断部901所预先设定的在判断为被加工物80未被正常加工的情况下所应用的该不同的方向作为加工厚度异常的方向98(参照图5)。另外在下文中，将第2判断部902所预先设定的在判断为被加工物80未被正常加工的情况下所应用的该不同的方向作为加工裂纹等异常的方向97(参照图6)。加工厚度异常的方向98和加工裂纹等异常的方向97按照不一致的方式预先进行设定。
以下，对通过图1所示的加工装置1对卡盘工作台30所保持的被加工物80进行磨削的情况下的加工装置1的动作进行说明。
(对第一张被加工物80的磨削)
例如首先在控制单元9的控制下，将第一张被加工物80从第1盒21搬出。即，通过图1所示的手臂上下移动机构144使机器人手臂140上下移动，将机器人手臂140定位于第1盒21内的收纳有目标的第一张被加工物80的搁板部226(例如图2所示的最下层的搁板部226)的高度位置。
在第1盒21内，被加工物80的正面801例如朝向下侧，作为被磨削面的背面802朝向上侧。并且，例如机器人14的机器人手臂140的吸附面1404设置成朝向上侧(+Z方向侧)的状态。
机器人手臂140进行旋转，机器人手臂140从第1盒21的开口210进入至第1盒21的内部的规定的位置，例如按照机器人手臂140的中心与被加工物80的中心大致一致的方式将机器人手臂140定位于水平面内的规定位置。接着，机器人手臂140上升，使吸附面1404与被加工物80的正面801接触而对被加工物80进行吸引保持，进而在通过机器人手臂140略微向上侧抬起的被加工物80的外周缘从搁板部226上离开的状态下，停止机器人手臂140的上升。
对被加工物80进行吸引保持的机器人手臂140向+Y方向移动，通过机器人手臂140将被加工物80从第1盒21搬出。另外，机器人手臂140可以从上侧使吸附面1404与被加工物80抵接而进行吸引保持。
图1所示的机器人14使被加工物80移动至暂放工作台11的上方。并且，通过机器人14将被加工物80按照正面801朝向下侧的方式载置于暂放工作台11上。即，按照暂放工作台11进入至机器人手臂140的吸附部1400的U字状的开口部分的方式使机器人手臂140下降而将被加工物80载置于暂放工作台11上。
接着，对位单元119的对位销按照一边维持同一圆周上的位置一边缩小直径的方式移动，各对位销推动被加工物80的外周缘而对其位置进行修正，在图1所示的例如6个对位销与被加工物80的外周缘接触的状态下停止。其结果是，能够将被加工物80的中心对位于暂放工作台11的中心，控制单元9能够识别第一张被加工物80的中心位置。然后，利用暂放工作台11对被加工物80进行吸引保持。
被加工物80具有作为定向平面的标记805，因此例如在定心中图1所示的6个对位销中的1个对位销的径向的移动量增大。因此，根据该对位销的移动量的差异，控制单元9能够掌握暂放工作台11上的定心后的被加工物80的标记805的位置。并且，例如使对被加工物80进行吸引保持的暂放工作台11在控制单元9的控制下旋转规定的角度而将被加工物80的标记805定位于规定的方向。另外，例如也可以在暂放工作台11的上方具有拍摄单元，根据该拍摄单元所拍摄的被加工物80的拍摄图像，控制单元9进行图像解析，从而掌握暂放工作台11上的被加工物80的中心或标记805的位置。
接着，装载臂131使经过定心且将标记805定位于周向的规定位置的被加工物80移动至卡盘工作台30上。
在卡盘工作台30的保持面302上形成有用于在载置被加工物80时与标记805对位的平坦的定向平面对齐部。由此，在卡盘工作台30中，将被加工物80的标记805和定向平面对齐部对位。即，装载臂131对被加工物80进行保持时的标记805的位置在从暂放工作台11保持并搬出被加工物80时已经被识别，因此在控制单元9对卡盘工作台旋转机构36的控制下，卡盘工作台30旋转规定的角度，按照暂放工作台11所保持的被加工物80的标记805的位置和卡盘工作台30的定向平面对齐部一致的方式进行对位。并且，按照卡盘工作台30的中心与被加工物80的中心大致一致的方式将被加工物80在背面802朝上的状态下载置于保持面302上。
并且，未图示的吸引源进行动作而产生的吸引力传递至卡盘工作台30的保持面302，从而卡盘工作台30在保持面302上对被加工物80进行吸引保持。另外，成为利用控制单元9掌握所吸引保持的被加工物80的标记805的周向的位置的状态。控制单元9对卡盘工作台旋转机构36进行控制，因此在开始后述的磨削之后或结束磨削之后，也能够始终持续掌握被加工物80的标记805的周向的位置。
在卡盘工作台30对被加工物80进行了吸引保持之后，工作台移动机构17使卡盘工作台30向+Y方向移动。并且，将对被加工物80进行保持的卡盘工作台30定位于加工单元16的磨削磨轮164的旋转中心相对于被加工物80的旋转中心在水平方向上偏移规定的距离且磨削磨具的旋转轨迹通过被加工物80的旋转中心的位置。
例如在开始被加工物80的磨削加工之前，通过厚度测量器38测量被加工物80的投入厚度。投入厚度是被加工物80的投入时(加工前)的厚度。关于厚度测量器38所测量的被加工物80的投入厚度的信息被发送至控制单元9的判断部90的第1判断部901。例如在控制单元9的存储介质中预先设定、存储有被加工物80的投入厚度的允许值。并且，第1判断部901对第一张被加工物80的投入厚度是否落入该投入厚度的允许值内进行比较而进行判断。
例如第1判断部901判断为第一张被加工物80的投入厚度落入投入厚度的允许值内。在该情况下，直接开始被加工物80的磨削加工。
加工单元16通过磨削进给机构19向-Z方向进给，旋转的磨削磨具与卡盘工作台30所保持的被加工物80的背面802抵接，从而进行磨削。随着卡盘工作台旋转机构36使卡盘工作台30按照规定的旋转速度进行旋转，保持面302上的被加工物80也进行旋转，磨削磨具对被加工物80的整个背面802进行磨削加工。磨削中，向磨削磨具与被加工物80的背面802的接触部位提供磨削水，对接触部位进行冷却、清洗。
在磨削加工中，通过厚度测量器38逐次测量被加工物80的厚度，并发送至控制单元9所包含的判断部90的第1判断部901。例如在控制单元9的存储介质中预先设定、存储有被加工物80的完工厚度和相对于完工厚度的允许值(例如±数μm)。并且，第1判断部901逐次监视磨削中的第一张被加工物80的厚度是否落入完工厚度±允许值内。
例如利用厚度测量器38和第1判断部901进行厚度测量、厚度监视，在加工单元16从正常磨削至完工厚度的被加工物80上升而离开之后，例如对被加工物80进行吸引保持的卡盘工作台30在控制单元9的控制下旋转规定的角度，将被加工物80的标记805定位于规定的方向。接着，通过工作台移动机构17使卡盘工作台30向-Y方向移动至卸载臂132的附近。
接着，卸载臂132将标记805定位于周向的规定位置的被加工物80从卡盘工作台30搬送至旋转工作台120。将被加工物80按照背面802成为上侧的方式载置于直径小于被加工物80的旋转工作台120上，通过旋转工作台120进行吸引保持。被加工物80的中心与旋转工作台120的中心大致一致。接着，清洗喷嘴121一边按照在被加工物80的上方以规定的角度往复的方式进行旋转移动一边对下方的被加工物80喷射清洗水，并且通过旋转工作台旋转机构126使旋转工作台120按照规定的旋转速度旋转，从而向被加工物80的整个背面8提供清洗水而进行清洗。
旋转工作台旋转机构126的电动机123的编码器125在工作台旋转中将编码器信号输出至控制单元9。控制单元9根据所接收的编码器信号而能够逐次掌握旋转的被加工物80的标记805的位置。
在进行了规定时间的被加工物80的清洗之后，停止旋转工作台120的旋转，从清洗喷嘴121向被加工物80例如吹送空气，使被加工物80干燥。接着，利用拍摄单元127对被加工物80的背面802进行拍摄。所形成的拍摄图像被发送至包含在控制单元9的判断部90的第2判断部902。第2判断部902在假想的输出画面上进行拍摄图像的二值化或边缘处理等，并且进行图像解析，对在被加工物80上是否有裂纹、外周缺损、起伏或面烧焦等进行判断。例如第2判断部902判断为在第一张磨削后的被加工物80上没有上述裂纹等。
即，第一张被加工物80成为通过第1判断部901判断为适当地磨削至完工厚度并且通过第2判断部902判断为未产生裂纹等磨削不良的状态。这样，在判断部90判断为被加工物80被正常加工的情况下，控制单元9进行使标记805朝向作为规定的方向的加工正常的方向99(参照图4)的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中。
具体而言，首先图1所示的机器人14的机器人手臂140通过手臂上下移动机构144而在Z轴方向上移动，按照能够利用朝向上侧的吸附面1404对旋转工作台120上的被加工物80的正面801进行吸引保持的方式定位于规定的高度位置。另外，机器人手臂140通过手臂水平移动机构142进行旋转，使机器人手臂140的吸附部1400的U字的开口部分与旋转工作台120在X轴方向上正对。即，如图3所示，机器人手臂140的前端侧朝向-X方向。
对被加工物80进行吸引保持的旋转工作台120在图1所示的控制单元9的控制下旋转规定的角度，将被加工物80的标记805例如如图3所示那样定位于与机器人手臂140的U字状的开口正对的+X方向。
通过手臂水平移动机构142使机器人手臂140向-X方向直进，使旋转工作台120进入至U字开口，进而例如按照机器人手臂140的中心与被加工物80的中心大致一致的方式将机器人手臂140定位于水平面内的规定位置。接着，机器人手臂140上升，使吸附面1404与被加工物80的正面801接触而进行吸引保持。成为被加工物80的标记805朝向机器人手臂140的基部1406侧的状态。
接着，在图1所示的控制单元9的控制下，对被加工物80进行吸引保持的机器人手臂140通过手臂水平移动机构142而旋转，机器人手臂140与第2盒22的开口220在Y轴方向上正对。即，成为机器人手臂140所吸引保持的被加工物80的标记805朝向+Y方向侧的状态。
另外，机器人手臂140下降至第2盒22的目标搁板部226(例如最下层的搁板部226)的高度位置。并且，机器人手臂140向-Y方向直进至第2盒22的内部的规定的位置，解除机器人手臂140对被加工物80的吸引保持，将被加工物80在背面802朝向上侧的状态下收纳于第2盒22的搁板部226。另外，定位于被加工物80的下方的机器人手臂140从第2盒22内退出。
因此，如图4所示，成为第一张被加工物80在使标记805朝向作为规定的方向的加工正常的方向99、即朝向作为第2盒22的开口220侧的+Y方向侧的状态下收纳于第2盒22的搁板部226的状态。
(对第二张被加工物80的磨削)
在如上述那样例如利用磨削磨轮164对第一张被加工物80进行磨削的过程中等，机器人14将下一个实施磨削加工的第二张被加工物80与将第一张被加工物80搬出同样地从第1盒21搬出。另外，图1所示的机器人14使被加工物80移动至暂放工作台11的上方。与第一张被加工物80的情况同样地，将第二张被加工物80在暂放工作台11上进行定心，并且利用控制单元9识别标记805的周向的位置。
第一张被加工物80在磨削后通过卸载臂132从卡盘工作台30搬出，在卡盘工作台30空出之后，装载臂131使经过定心且将标记805定位于周向的规定位置的第二张被加工物80移动至卡盘工作台30上。并且，第二张被加工物80在与卡盘工作台30相互的中心对齐且使卡盘工作台30的定向平面对齐部与标记805对齐的状态下通过卡盘工作台30进行吸引保持。
在卡盘工作台30对被加工物80进行了吸引保持之后，工作台移动机构17使卡盘工作台30向+Y方向移动。并且，进行被加工物80与加工单元16的磨削磨轮164的对位。
在第二张被加工物80的磨削加工开始前，通过厚度测量器38测量被加工物80的投入厚度，将关于投入厚度的信息发送至第1判断部901。第1判断部901对第二张被加工物80的投入厚度是否落入该投入厚度的允许值内进行比较，判断为第二张被加工物80的投入厚度未落入投入厚度的允许值内。另外，投入厚度未落入投入厚度的允许值内的情况是指第二张被加工物80的投入厚度大于投入厚度的允许值的情况(被加工物80过厚的情况)、或者小于投入厚度的允许值的情况(被加工物80过薄的情况)。
在该情况下，第1判断部901从装置的扬声器发出警报音、或者在装置的监视器或触摸面板等显示装置上显示出错等而将该判断通知给作业者。该判断是指由于第二张被加工物80的投入厚度大于(过厚)或小于(过薄)投入厚度的允许值而无法对第二张被加工物80实施磨削加工的判断。
另外，在该情况下，在控制单元9的装置控制下，第二张被加工物80未被实施磨削加工而收纳于第2盒22中。即，通过工作台移动机构17使卡盘工作台30移动至卸载臂132的附近。卸载臂132将标记805定位于周向的规定位置的被加工物80从卡盘工作台30搬送至旋转工作台120。
在旋转工作台120上，为了从正面801侧对背面802朝向上侧的状态的被加工物80进行吸引保持，将机器人手臂140定位于规定的高度位置。另外，机器人手臂140通过手臂水平移动机构142进行旋转，使机器人手臂140的吸附部1400的U字的开口部分朝向-X方向侧，与旋转工作台120在X轴方向上正对。
对被加工物80进行吸引保持的旋转工作台120在控制单元9的控制下旋转规定的角度，将被加工物80的标记805例如定位于相对于机器人手臂140的U字状的开口向从+Z方向侧观察为顺时针的方向旋转了例如45度的方向。
通过手臂水平移动机构142，图1所示的机器人手臂140向-X方向直进，按照机器人手臂140的中心与被加工物80的中心大致一致的方式通过机器人手臂140对被加工物80进行吸引保持。被加工物80的标记805位于相对于机器人手臂140的基部1406向从+Z方向侧观察为顺时针的方向旋转了45度的方向。
在控制单元9的控制下，通过手臂水平移动机构142进行了旋转的机器人手臂140与第2盒22的开口220在Y轴方向上正对。另外，机器人手臂140上升或下降至第2盒22的目标搁板部226(例如比最下层的搁板部226靠上一层的搁板部226)的高度位置。并且，机器人手臂140向-Y方向直进至第2盒22的内部的规定的位置，解除机器人手臂140对被加工物80的吸引保持，将被加工物80在背面802朝向上侧的状态下收纳于第2盒22的搁板部226。另外，位于被加工物80的下方的机器人手臂140从第2盒22内退出。
因此，如图5所示，成为第二张被加工物80在使标记805朝向加工厚度异常的方向98、即从上方观察从第2盒22的+Y方向侧的开口220向顺时针的方向旋转了45度的方向98的状态下收纳于第2盒22的搁板部226的状态。
(对第三张被加工物80的磨削)
在如上述那样例如进行对于第二张被加工物80的厚度测量的过程中等，机器人14与将第一张被加工物80搬出同样地将下一个实施磨削加工的第三张被加工物80从图1所示的第1盒21搬出。
图1所示的机器人14使被加工物80移动至暂放工作台11上。与第一张被加工物80的情况同样地，将第三张被加工物80在暂放工作台11上进行定心，并且利用控制单元9识别标记805的周向的位置。
在第二张被加工物80未被磨削而通过卸载臂132从卡盘工作台30搬出而使卡盘工作台30空出之后，装载臂131将经过定心且将标记805定位于周向的规定位置的第三张被加工物80移动至卡盘工作台30上。并且，第三张被加工物80在与卡盘工作台30相互的中心对齐且使卡盘工作台30的定向平面对齐部与标记805对齐的状态下通过卡盘工作台30进行吸引保持。
在卡盘工作台30对被加工物80进行了吸引保持之后，工作台移动机构17使卡盘工作台30向+Y方向移动，进行被加工物80与加工单元16的磨削磨轮164的对位。另外，例如在开始第三张被加工物80的磨削加工之前，通过厚度测量器38测量被加工物80的投入厚度，接受投入厚度的信息的第1判断部901判断为第三张被加工物80的投入厚度落入允许值内。在该情况下，直接开始被加工物80的磨削加工。
在与第一张被加工物80的磨削同样地进行的第三张被加工物80的磨削加工中，通过厚度测量器38逐次测量被加工物80的厚度，并发送至判断部90的第1判断部901。并且，第1判断部901逐次监视磨削中的第三张被加工物80的厚度是否落入完工厚度±允许值内。
例如即使利用厚度测量器38和第1判断部901进行厚度测量、厚度监视，在将基于厚度测量器38的被加工物80的厚度测量信息发送至第1判断部901之前，有时由于控制单元9的处理任务的多少而产生时差，有时控制单元9对磨削进给机构19的控制延迟，从而磨削进给机构19将加工单元16从被加工物80提起的时机延迟。结果是，有时所磨削的第三张被加工物80变得比预先设定的完工厚度减去允许值而得的厚度更薄。另外，这样的被加工物80变得比完工厚度减去允许值而得的厚度更薄的现象也会由于磨削磨具的状态等而产生。
另外，即使利用厚度测量器38和第1判断部901进行厚度测量、厚度监视，例如在被加工物80的背面802上产生面烧焦等状态异常的情况或无法很好地进行加工单元16的磨削磨具的自磨锐等的情况等，也无法适当地磨削被加工物80。在这样的情况下，在控制单元9对磨削进给机构19的控制下，在将加工单元16从被加工物80提起时，有时磨削完成的第三张被加工物80变得比预先设定的完工厚度加上允许值而得的厚度更厚。
在该情况下，第1判断部901从装置的扬声器发出警报音、或在装置的触摸面板等显示装置上显示出错等，将磨削后的第三张被加工物80存在厚度异常这一判断通知给作业者。
例如对被加工物80进行吸引保持的卡盘工作台30在控制单元9的控制下旋转规定的角度，将磨削后的第三张被加工物80的标记805定位于规定的方向。接着，卡盘工作台30向-Y方向移动而位于卸载臂132的附近，进而卸载臂132将被加工物80从卡盘工作台30搬送至旋转工作台120。
在通过清洗单元12进行了被加工物80的清洗、干燥之后，接着利用拍摄单元127进行被加工物80的背面802的拍摄。第2判断部902使用所形成的拍摄图像而对在被加工物80上有无裂纹、外周缺损、起伏或面烧焦等进行判断。例如第2判断部902判断为在第三张磨削后的被加工物80上没有上述裂纹等。
控制单元9进行使判断部90的第1判断部901判断为有厚度异常的磨削后的第三张被加工物80的标记805朝向加工厚度异常的方向98(参照图5)的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中。具体而言，控制单元9进行与之前说明的将第二张被加工物80收纳于第2盒22的情况的控制同样的控制，将第三张被加工物80在使标记805朝向作为规定的方向的加工厚度异常的方向98、即从上方观察从第2盒22的+Y方向侧的开口220向顺时针的方向旋转了45度的方向的状态下收纳于第2盒22的搁板部226。
(对第四张被加工物80的磨削)
在如上述那样例如进行对于第三张被加工物80的磨削加工的过程中等，机器人14与将第一张被加工物80搬出同样地将实施磨削加工的第四张被加工物80从图1所示的第1盒21搬出。并且，与第一张被加工物80的情况同样地，将通过机器人14搬送的第四张被加工物80在暂放工作台11上定心，并且利用控制单元9识别标记805的周向的位置。
在第三张被加工物80通过卸载臂132从卡盘工作台30搬出之后，装载臂131使经过定心且将标记805定位于周向的规定位置的第四张被加工物80移动至卡盘工作台30上。并且，第四张被加工物80在进行了与卡盘工作台30的中心对齐以及定向平面对齐的状态下吸引保持于卡盘工作台30。
在卡盘工作台30对被加工物80进行了吸引保持之后，通过工作台移动机构17进行被加工物80与加工单元16的磨削磨轮164的对位。另外，在第四张被加工物80的磨削加工开始前，通过厚度测量器38测量被加工物80的投入厚度，接受投入厚度的信息的第1判断部901判断为第四张被加工物80的投入厚度落入投入厚度的允许值内。
在与第一张被加工物80的磨削同样地进行的第四张被加工物80的磨削加工中，通过厚度测量器38逐次测量被加工物80的厚度，并将厚度信息发送至判断部90的第1判断部901。并且，第1判断部901逐次监视磨削中的第三张被加工物80的厚度是否落入完工厚度±允许值内。
例如在利用厚度测量器38和第1判断部901进行厚度测量、厚度监视，并且加工单元16从正常磨削至完工厚度的被加工物80上升而离开之后，对被加工物80进行吸引保持的卡盘工作台30在控制单元9的控制下旋转规定的角度，将被加工物80的标记805定位于规定的方向。另外，通过工作台移动机构17使卡盘工作台30向-Y方向移动而定位于卸载臂132的附近。
卸载臂132将标记805定位于周向的规定位置的被加工物80从卡盘工作台30搬送至旋转工作台120。在通过清洗单元12进行了第四张被加工物80的清洗、干燥之后，利用拍摄单元127进行被加工物80的背面802的拍摄。这里，第2判断部902使用所形成的拍摄图像而对在被加工物80上是否有裂纹、外周缺损、起伏或面烧焦等进行判断。例如第2判断部902判断为在第四张磨削后的被加工物80上有裂纹808(参照图6)。在该情况下，第2判断部902发送警报音或显示出错等而将磨削后的第四张被加工物80存在加工异常这一判断通知给作业者。
并且，控制单元9进行使第2判断部902判断为存在具有裂纹808的加工异常的磨削后的第四张被加工物80的标记805朝向加工裂纹等异常的方向97(参照图6)的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中。
即，在旋转工作台120上，为了从正面801侧对正面801朝向下方的状态的被加工物80进行吸引保持，将机器人手臂140定位于规定的高度位置。另外，机器人手臂140进行旋转，机器人手臂140的U字的开口部分朝向-X方向侧，与旋转工作台120在X轴方向上正对。
旋转工作台120在控制单元9的控制下旋转规定的角度而将被加工物80的标记805例如定位于相对于机器人手臂140的U字状的开口向从+Z方向侧观察为逆时针的方向旋转了例如45度的方向。
通过手臂水平移动机构142使机器人手臂140向-X方向直进，按照相互的中心大致一致的方式通过机器人手臂140对被加工物80进行吸引保持。被加工物80的标记805位于相对于机器人手臂140的基部1406向从+Z方向侧观察为逆时针的方向旋转了45度的方向。
在控制单元9的控制下，通过手臂水平移动机构142进行了旋转的机器人手臂140与第2盒22的开口220在Y轴方向上正对。另外，机器人手臂140上升或下降至第2盒22的目标搁板部226的高度位置。另外，机器人手臂140向-Y方向直进至第2盒22的内部的规定的位置，解除机器人手臂140对被加工物80的吸引保持，被加工物80在背面802朝向上侧的状态下收纳于第2盒22的搁板部226。另外，机器人手臂140从第2盒22内退出。
因此，如图6所示，第四张被加工物80在使标记805朝向作为规定的方向的加工裂纹等异常的方向97、即从上方观察从第2盒22的+Y方向侧的开口220向逆时针的方向旋转了45度的方向的状态下收纳于第2盒22的搁板部226。
本发明的加工装置1具有：判断部90，其判断被加工物80被正常加工还是未被正常加工；以及控制单元9，其在判断部90判断为被加工物80被正常加工时，进行使标记805朝向规定的方向(图4所示的加工正常的方向99)的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中，在判断部90判断为被加工物80未被正常加工时，进行使标记805朝向与加工正常的方向99不同的方向(即例如图5所示的加工厚度异常的方向98或图6所示的加工裂纹等异常的方向97)的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中，从而作业者能够观察收纳于第2盒22的被加工物80的标记805的方向而容易地知晓是被正常加工的被加工物80(第一张被加工物80)还是未被正常加工的被加工物80(第二张～第四张被加工物80)。并且，例如能够通过作业者不花费对比装置画面等工夫而能够容易地仅剔除未被正常加工的被加工物80，因此在第2盒22例如装满之后，能够将仅剔除了未被正常加工的被加工物80的第2盒22容易地搬送至下一工序的装置等。
本发明的加工装置1具有对被加工物80的厚度进行测量的厚度测量器38，判断部90根据厚度测量器38所测量的被加工物80的厚度而对被加工物80是被正常加工的被加工物80还是未被正常加工的被加工物80进行判断，从而控制单元9能够容易地进行使被加工物80的标记805朝向规定的方向99(图4所示的加工正常的方向99)的定位控制、或者朝向与该规定的方向99不同的方向98(图5所示的加工厚度异常的方向98)的定位控制。
判断部90具有多个判断部、即在本实施方式中具有第1判断部901和第2判断部902，第1判断部901和第2判断部902能够以分别不同的基准判断被加工物80是正常加工的被加工物80还是未正常加工的被加工物80，从而在第1判断部901和第2判断部902中的至少一个判断部判断为被加工物80未被正常加工时，控制单元9能够进行使标记805朝向进行了判断的第1判断部901所预先设定的加工厚度异常的方向98、或第2判断部902所预先设定的与加工厚度异常的方向98不一致的加工裂纹等异常的方向97的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中，作业者观察收纳于第2盒22的被加工物80的标记805的方向而能够容易地知晓是被正常加工的被加工物80还是未被正常加工的被加工物80，并且能够识别未被正常加工的被加工物80的异常的种类。
本发明的加工装置1不限于上述实施方式，当然可以在其技术思想的范围内利用各种不同的方式实施。另外，关于附图所图示的加工装置1的结构的外形等，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内适当地变更。
例如在之前说明的第四张被加工物80的磨削中，第1判断部901判断为磨削后的第四张被加工物80存在厚度异常，并且第2判断部902也判断为磨削后的第四张被加工物80存在裂纹808等加工异常。在该情况下，可以进行使被加工物80的标记805朝向第1判断部901和第2判断部902这双方判断为磨削后的被加工物80异常的情况下所设定的、与图4所示的加工正常的方向99不同的方向的控制，将被加工物80收纳于第2盒22中。在该情况下，第四张被加工物80例如使标记805朝向图1所示的第2盒22的背板225侧(第2盒22的里侧)而被收纳。

Claims (3)

1.一种加工装置，其中，
该加工装置包含：
卡盘工作台，其利用保持面对具有表示晶体取向的标记的被加工物进行保持；
加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物利用磨削磨具进行磨削或利用研磨垫进行研磨；
盒载台，其载置搁板状的盒，该盒能够收纳多个被加工物；
暂放工作台，其暂放被加工物；
旋转工作台，其对要清洗的被加工物进行保持；
机器人，其将载置于该盒载台的该盒内的被加工物搬送至该暂放工作台上，或者将该旋转工作台所保持的被加工物搬送至载置于该盒载台上的该盒内；
判断部，其判断被加工物被正常加工还是未被正常加工；以及
控制单元，在该判断部判断为被加工物被正常加工时，该控制单元进行使该标记朝向规定的方向的控制，并使被加工物收纳于该盒中，在该判断部判断为被加工物未被正常加工时，该控制单元进行使该标记朝向与该规定的方向不同的方向的控制，并使被加工物收纳于该盒中。
2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该加工装置还包含对被加工物的厚度进行测量的厚度测量器，
所述判断部根据该厚度测量器所测量的被加工物的厚度而判断被加工物是被正常加工的被加工物还是未被正常加工的被加工物。
3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
所述判断部还具有多个判断部，
所述不同的方向按照该多个判断部中的每个判断部不一致的方式预先设定，
该多个判断部构成为能够以分别不同的判断基准对是正常加工的被加工物还是未正常加工的被加工物进行判断，
在构成该多个判断部的一个以上的判断部判断为被加工物未被正常加工时，所述控制单元进行使所述标记朝向根据进行了该判断的该判断部而设定的该不同的方向的控制，并将被加工物收纳于所述盒中。
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