JP6774263B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
30 保持テーブル
35 ドレッシング手段
50 切削手段
60 洗浄手段
62 スピンナテーブル
65 回転手段
66 エンコーダ
71 移動手段
72 深さ測定器
73 幅測定器
91 判断手段
P1 待機位置
P2 測定位置
W 板状ワーク
Claims (1)
- 外周に面取り部を形成する円形の板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した板状ワークの該面取り部を外周から所定の幅でかつ上面から所定の深さの除去領域で除去する切削手段と、回転手段でスピン回転可能なスピンナテーブルで板状ワークを保持し該スピンナテーブルをスピン回転させ該除去領域を洗浄する洗浄手段と、を有する切削装置であって、
該洗浄手段には、該除去領域の深さを測定する深さ測定器と、板状ワークの径方向における該除去領域の幅を測定する幅測定器と、該深さ測定器と該幅測定器とを待機位置と測定位置とに移動させる移動手段とを備え、
該深さ測定器は、
測定光を投光する発光素子と、
該発光素子から投光されて該除去領域で反射した反射光を受光する受光素子と、を備え、
該受光素子が反射光を受光した位置に応じて該発光素子から該除去領域の上面までの距離を測定可能で、
該幅測定器は、
該除去領域の上方に配置可能な内部光源を備えるカメラと、
該カメラに対向配置する光源と、を備え、
該カメラは該光源による光が逆光となることによって板状ワークの外周縁を検出し、該内部光源が該除去領域を照らすことによって該カメラが撮像した撮像画像から該除去領域の幅を測定可能で、
該スピンナテーブルを該深さ測定器と該幅測定器とが測定可能な回転速度で回転させる切削装置。
Priority Applications (1)
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JP2016161126A JP6774263B2 (ja) | 2016-08-19 | 2016-08-19 | 切削装置 |
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JP2016161126A JP6774263B2 (ja) | 2016-08-19 | 2016-08-19 | 切削装置 |
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JP2018027604A JP2018027604A (ja) | 2018-02-22 |
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Family Applications (1)
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