JP6896964B2 - シート貼付装置および方法 - Google Patents
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また、第2姿勢を第1姿勢に対して表裏反転させた姿勢とすることで、収納手段に収納された一体物における良品と判定された一体物と、不良品と判定された一体物とを容易に他のものに知らせることができる。
さらに、第2姿勢を第1姿勢に対して一体物の基準部の位置を所定角度変位させた姿勢とすることで、収納手段に収納された一体物における良品と判定された一体物と、不良品と判定された一体物とを容易に他のものに知らせることができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
供給手段21は、接着シートASを支持する支持ローラ21Aと、接着シートASを案内するガイドローラ21Bと、駆動機器としての回動モータ21Cによって駆動される駆動ローラ21Dとの間に接着シートASを挟み込むピンチローラ21Eと、駆動機器としてのリニアモータ21Fの第1スライダ21Gに支持された駆動機器としての回動モータ21Hと、回動モータ21Hによって駆動される駆動ローラ21Jと、駆動ローラ21Jとの間に接着シートASを挟み込むピンチローラ21Kと、接着シートASの切断により生じた不要シートUSを案内するガイドローラ21Lと、駆動機器としての回動モータ21Mによって駆動され、不要シートUSを回収する回収ローラ21Nとを備えている。
押圧手段22は、リニアモータ21Fの第2スライダ21Pに支持された駆動機器としてのリニアモータ22Aと、リニアモータ22Aのスライダ22Bに支持された押圧ローラ22Cとを備えている。
支持手段23は、凹部23Bを有する外側テーブル23Aと、凹部23B内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面23Dを有する内側テーブル23Cとを備えている。
切断手段24は、カッター刃24Aを有するカッターツール24Bを備えている。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置10に対し、シート貼付装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が接着シートASを同図中実線に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、自動運転開始の信号を入力する。すると、搬送手段50が多関節ロボット51および図示しない減圧手段を駆動し、図示しないウエハ配置位置に配置されているウエハWFを搬送アーム52で吸着保持し、当該ウエハWFを内側テーブル23Cの支持面23D上に載置する。次いで、貼付手段20が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFの吸着保持を開始すると、搬送手段50が図示しない減圧手段の駆動を停止し、搬送アーム52でのウエハWFの吸着保持を解除した後、多関節ロボット51を駆動し、当該搬送アーム52を初期位置に復帰させる。
支持棚41Aの載置面41Bは、X−Y平面に対して非平行な傾斜面でもよく、この場合、収納手段40は、傾斜面に一体物WKを載置して収納するものであってもよい。
搬送手段50は、一体物WKが所定の基準部としてのV字状のノッチVNを備えている場合、第1姿勢は、図2(A)に示すように、ノッチVNを所定の方向としての後ろ側に向けた姿勢とし、第2姿勢は、同図(B)に示すように、第1姿勢に対してノッチVNの方向を所定の面としての被着面WF1内で所定角度としての180度変位させた姿勢としてもよい。なお、第1姿勢のノッチVNの所定の方向としては、前側、右側、左側、それらの中間側等の任意の方向でもよく、第2姿勢は、第1姿勢に対して所定角度としての10度、90度、130度といった任意の角度変位させた姿勢とすることができ、第2姿勢は、第1姿勢に対して全て同じ角度変位させた姿勢でなくてもよいし、第2姿勢を全て同じ方向に向けた場合、第1姿勢は、第2姿勢に対して全て同じ角度変位させた姿勢でなくてもよい。また、一体物WKを起立させた状態で収納部材41に収納した場合、第1姿勢のノッチVNの所定の方向としては、上側、下側、右側、左側、それらの中間側等の任意の方向でもよく、第2姿勢は、第1姿勢に対して被着面WF1で任意の角度変位させた姿勢であってもよい。第1姿勢における基準部の方向と第2姿勢における基準部の方向は、所定の面内で異なる方向を向いたものであればよく、その方向は何ら限定されるものではない。また、この場合、第1姿勢と第2姿勢とで被着面WF1が同じ方向を向いていてもよいし、第1姿勢と第2姿勢とで被着面WF1が表裏反転していてもよい。所定の面は、ウエハWFにおける被着面WF1とは反対の面でもよいし、一体物WKを構成する基材シートBSの他方の面でもよいし、被着面WF1と平行な面であれば何ら限定されものではない。
なお、一体物WKの基準部は、ウエハWFに形成されたオリエンテーションフラットや、ウエハWFに記された印字、製造番号、回路パターン、カーフまたは、ストリート等としてもよいし、接着シートに記された切欠、線、印字、模様または、凹凸等所定の法則性をもって一体物WKの位置を特定できるものであれば何ら限定されるものではない。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよい。
20…貼付手段
30…カメラ(検査手段)
40…収納手段
50…搬送手段
AS…接着シート
VN…ノッチ(基準部)
WF…ウエハ(被着体)
WK…一体物
Claims (2)
- 被着体の被着面に接着シートを貼付して一体物を形成する貼付手段と、
前記一体物における被着体および接着シートの少なくとも一方の状態を検査して、当該一体物が良品であるか不良品であるかを判定する検査手段と、
前記一体物を収納する収納手段と、
前記検査手段で検査した前記一体物を前記収納手段へ搬送する搬送手段とを備え、
前記搬送手段は、前記検査手段の検査結果を基に、良品と判定された前記一体物を第1姿勢で前記収納手段に収納するとともに、不良品と判定された前記一体物を前記第1姿勢とは異なる第2姿勢で前記収納手段に収納し、
前記第2姿勢は、前記第1姿勢に対して表裏反転させた姿勢であることを特徴とする特徴とするシート貼付装置。 - 被着体の被着面に接着シートを貼付して一体物を形成する貼付工程と、
前記一体物における被着体および接着シートの少なくとも一方の状態を検査して、当該一体物が良品であるか不良品であるかを判定する検査工程と、
前記検査工程で検査した前記一体物を搬送し、当該一体物を収納手段に収納する収納工程とを備え、
前記収納工程は、前記検査工程の検査結果を基に、良品と判定された前記一体物を第1姿勢で前記収納手段に収納するとともに、不良品と判定された前記一体物を前記第1姿勢とは異なる第2姿勢で前記収納手段に収納し、
前記第2姿勢は、前記第1姿勢に対して表裏反転させた姿勢であることを特徴とするシート貼付方法。
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JP2017074157A JP6896964B2 (ja) | 2017-04-04 | 2017-04-04 | シート貼付装置および方法 |
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