JP3211977U - シート貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】異常箇所がある接着シートが被着体に貼付されることを防止するシート貼付装置を提供する。【解決手段】被着体ＷＦに貼付される前の接着シートＡＳを検査して、当該接着シートＡＳの異常箇所を検出する検査手段２０と、検査手段２０により異常箇所が検出されなかった接着シートＡＳを被着体ＷＦに貼付して一体物ＷＫを形成する貼付手段３０とを備え、検査手段２０は、被着体ＷＦに貼付される前の接着シートＡＳを検査する位置に配置されている。【選択図】図１

Description

本考案は、シート貼付装置に関する。

従来、被着体に接着シートを貼付するマウント装置（シート貼付装置）が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４−８６５３２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたシート貼付装置では、貼付前の接着シートに異常箇所があってもそれを検出する術がないので、異常箇所がある接着シートを半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）（被着体）に貼付してしまうという不都合がある。

本考案の目的は、異常箇所がある接着シートを被着体に貼付することを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。

本考案は、請求項に記載した構成を採用した。

以上のような本考案によれば、被着体に貼付される前の接着シートの異常箇所の有無を検査するので、異常箇所がある接着シートを被着体に貼付することを防止することができる。

本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦに貼付される前の接着シートＡＳを検査して、当該接着シートＡＳの異常箇所を検出するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の検査手段２０と、異常箇所が検出されなかった接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付して一体物ＷＫを形成する貼付手段３０とを備えている。

貼付手段３０は、 基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層を有する帯状の接着シートＡＳを供給する供給手段３１と、ウエハＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３２と、ウエハＷＦを支持する支持手段３３と、ウエハＷＦや一体物ＷＫの搬送および接着シートＡＳの切断が可能な駆動手段３４とを備えている。
供給手段３１は、接着シートＡＳを支持する支持ローラ３１Ａと、接着シートＡＳを案内するガイドローラ３１Ｂと、駆動機器としての回動モータ３１Ｃによって駆動される駆動ローラ３１Ｄとの間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ３１Ｅと、駆動機器としてのリニアモータ３１Ｆと、その第１スライダ３１Ｇに支持された駆動機器としての回動モータ３１Ｈによって駆動される駆動ローラ３１Ｊと、駆動ローラ３１Ｊとの間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ３１Ｋと、接着シートＡＳの切断により生じた不要シートＵＳを案内するガイドローラ３１Ｌと、駆動機器としての回動モータ３１Ｍによって駆動され、不要シートＵＳを回収する回収ローラ３１Ｎとを備えている。
押圧手段３２は、リニアモータ３１Ｆの第２スライダ３１Ｐに支持された駆動機器としてのリニアモータ３２Ａと、そのスライダ３２Ｂに支持された押圧ローラ３２Ｃとを備えている。
支持手段３３は、凹部３３Ｂを有する外側テーブル３３Ａと、凹部３３Ｂ内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３３Ｄを有する内側テーブル３３Ｃとを備えている。
駆動手段３４は、駆動機器としての多関節ロボット３４Ａと、多関節ロボット３４Ａの先端部３４Ｂに着脱可能に設けられ、カッター刃３４Ｃを支持する切断手段３４Ｄと、多関節ロボット３４Ａの先端部３４Ｂに着脱可能に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な搬送アーム３４Ｅとを備えている。なお、多関節ロボット３４Ａは、その作業範囲内において先端部３４Ｂに装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が接着シートＡＳを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段３０が多関節ロボット３４Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、図示しないウエハ配置位置に配置されているウエハＷＦを搬送アーム３４Ｅで吸着保持し、当該ウエハＷＦを内側テーブル３３Ｃの支持面３３Ｄ上に載置する。次いで、貼付手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始すると、図示しない減圧手段の駆動を停止し、搬送アーム３４ＥでのウエハＷＦの吸着保持を解除した後、多関節ロボット３４Ａを駆動し、当該搬送アーム３４Ｅを初期位置に復帰させる。

次に、検査手段２０がカメラ等を駆動し、接着シートＡＳを検査して、例えば、接着シートＡＳに皺や折れ曲がり等が形成されていたり、接着シートＡＳに破れや損傷等があったり、接着シートＡＳの上面、下面さらには側面に異物が付着していたりすると、その箇所を異常箇所として検出する。ここで、検査手段２０が接着シートＡＳの異常箇所を検出した場合、貼付手段３０が回動モータ３１Ｃ、３１Ｈ、３１Ｍを駆動し、異常箇所がウエハＷＦに貼付されない位置にまで接着シートＡＳを供給した後、検査手段２０がカメラ等を駆動し、供給した接着シートＡＳを再度検査する。一方、検査手段２０が接着シートＡＳの異常箇所を検出しなかった場合、貼付手段３０がリニアモータ３２Ａ、３１Ｆを駆動し、押圧ローラ３２Ｃを下降させた後、第２スライダ３１Ｐを図１中二点鎖線で示す位置にまで移動させ、ウエハＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する。貼付手段３０による接着シートＡＳの貼付中に、貼付手段３０が多関節ロボット３４Ａを駆動し、先端部３４Ｂで支持している搬送アーム３４Ｅを離脱し、図１中ＡＡを付した図で示すように、先端部３４Ｂで切断手段３４Ｄを支持する。その後、貼付手段３０が多関節ロボット３４Ａを駆動し、ウエハＷＦの外縁に沿って切断手段３４Ｄを移動させ、ウエハＷＦの外縁に沿って接着シートＡＳを切断し一体物ＷＫを形成する。その後、貼付手段３０が多関節ロボット３４Ａを駆動し、先端部３４Ｂで支持している切断手段３４Ｄを離脱し、当該先端部３４Ｂで搬送アーム３４Ｅを支持した後、図示しない減圧手段を駆動し、一体物ＷＫを搬送アーム３４Ｅで吸着保持する。次いで、貼付手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３３ＤでのウエハＷＦの吸着保持を解除した後、多関節ロボット３４Ａを駆動し、一体物ＷＫを次工程に搬送する。

一体物ＷＫが支持面３３Ｄ上から取り去られると、貼付手段３０がリニアモータ３１Ｆ、３２Ａを駆動し、押圧ローラ３２Ｃを初期位置に復帰させた後、回動モータ３１Ｈおよびリニアモータ３１Ｆを駆動し、駆動ローラ３１Ｊを回転させながら第１スライダ３１Ｇを図１中二点鎖線で示す位置に移動させ、不要シートＵＳを外側テーブル３３Ａ上から剥離する。そして、貼付手段３０がリニアモータ３１Ｆおよび回動モータ３１Ｃ、３１Ｍを駆動し、駆動ローラ３１Ｊの回転を停止させた状態で第１スライダ３１Ｇを初期位置に復帰させる。これにより、接着シートＡＳの未使用部分が内側テーブル３３Ｃの支持面３３Ｄの上方に供給されつつ、回収ローラ３１Ｎで不要シートＵＳの巻き取りが行われ、以降上述と同様の動作が繰り返される。

以上のような本実施形態によれば、ウエハＷＦに貼付される前の接着シートＡＳの異常箇所の有無を検査するので、異常箇所がある接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付することを防止することができる。

本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、検査手段は、被着体に貼付される前の接着シートを検査して、当該接着シートの異常箇所を検出可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

検査手段２０は、上記のものに代えてまたは併用して、エコーセンサ、レーザセンサ、圧力センサ、金属検知器等の非接触型のセンサを採用してもよいし、ローラやシャフト等の接触部材を接触させて貼付状態を検査するリミットスイッチ等の接触型のセンサを採用してもよいし、作業者による目視でもよい。検査手段が作業者の目視の場合、作業者が接着シートＡＳの異常箇所を検出すると、当該作業者がスイッチや押し釦等の信号出力手段を介して、回動モータ３１Ｃ、３１Ｈ、３１Ｍを駆動し、異常箇所がウエハＷＦに貼付されない位置にまで接着シートＡＳを供給すようにすればよい。また、接着剤層ＡＤ側から接着シートＡＳを検査するものであってもよいし、ウエハＷＦ上に供給中の接着シートを検査するものであってもよいし、貼付前の接着シートＡＳを検査できる位置であれば配置は何ら限定されないし、異常箇所がない場合には、異常箇所がないことを示す信号を出力してもよい。

貼付手段３０は、検査手段２０が接着シートＡＳの異常箇所を検出すると、例えば、一体物ＷＫを支持面３３Ｄ上から取り去った後、貼付手段３０がリニアモータ３１Ｆおよび回動モータ３１Ｃ、３１Ｍを駆動し、接着シートＡＳの未使用部分を支持面３３Ｄの上方に供給する長さ分や、ウエハＷＦの直径と同じ長さ分接着シートＡＳを供給してもよいし、帯状の剥離シートに所定形状の接着シートＡＳが複数仮着された原反から接着シートＡＳを剥離手段で剥離して押圧手段で押圧して貼付する構成でもよいし、剥離シートが仮着されていない枚葉の接着シートＡＳを貼付する構成でもよいし、剥離シートに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が、切断手段３４Ｄを支持した駆動手段３４または、その他の機器によって形成されることで、その切込で仕切られた内側の所定の領域が接着シートＡＳとされた原反から、接着シートＡＳを剥離手段で剥離して押圧手段で押圧して貼付する構成でもよいし、支持ローラ３１Ａやガイドローラ３１Ｂ等の各ローラの代わりに、板状部材やシャフト部材等で接着シートＡＳを支持したり案内したりしてもよいし、接着シートＡＳを巻回することなく、例えば、ファンフォールド折りにして支持してもよいし、不要シートＵＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、帯状の接着シートに切込を形成する切込形成手段を備えていてもよい。

支持手段３３は、凹部３３Ｂを有さず、図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面を有する１つのテーブルで構成してもよいし、外側テーブル３３Ａと内側テーブル３３Ｃとを相対移動させる駆動機器を備えていてもよいし、他の装置でウエハＷＦを支持する場合、本考案のシート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。

切断手段３４Ｄは、カッター刃３４Ｃに代えてまたは併用して、ロータリカッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等を採用してもよいし、接着シートＡＳを貫通する切込を形成可能なものでもよいし、接着シートＡＳを貫通することのない切込を形成可能なものでもよいし、例えば、ミシン目ロータリカッター刃等で接着シートＡＳを貫通または貫通することのない切込が断続的に続くように当該接着シートＡＳを疑似的に切断するものでもよいし、接着シートＡＳをレーザやイオンビーム等で組成、特性、性質、材質、形状、組織等を変更させた改質層を形成するものでもよいし、ウエハＷＦに貼付する前の接着シートＡＳを切断するものであってもよいし、他の装置で接着シートＡＳを切断する場合や接着シートＡＳを切断しない場合、本考案のシート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。
搬送アーム３４Ｅは、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でウエハＷＦや一体物ＷＫを保持する構成を採用してもよい。

シート貼付装置１０は、検査手段２０で検出された異常箇所を取り除く取除き手段を備えていてもよく、例えば、切断手段３４Ｄを支持した多関節ロボット３４Ａで当該取除き手段を構成して異常箇所を切り取ってもよいし、異常箇所が異物の付着である場合には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器、送風機等で取除き手段を構成して異物を取り除いてもよく、このような取除き手段は、異常箇所がウエハＷＦに貼付されなければどのような構成でもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付してもよいし、ウエハＷＦと他のウエハＷＦとに接着シートＡＳを貼付して一体物ＷＫを形成したり、被着体とフレーム部材や板状部材等の他のものとに接着シートＡＳを貼付して一体物ＷＫを形成したりしてもよい。

本考案における接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板、紙、ゴムまたは樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

１０…シート貼付装置
２０…検査手段
３０…貼付手段
ＡＳ…接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＷＫ…一体物

Claims (2)

1. 被着体に貼付される前の接着シートを検査して、当該接着シートの異常箇所を検出する検査手段と、
   前記異常箇所が検出されなかった接着シートを前記被着体に貼付して一体物を形成する貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記検査手段で検出された異常箇所を取り除く取除き手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

Images