JP3210745U

JP3210745U - 支持装置

Info

Publication number: JP3210745U
Application number: JP2017001276U
Authority: JP
Inventors: 渡邉　健一; 健一渡邉
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2017-03-23
Filing date: 2017-03-23
Publication date: 2017-06-01
Anticipated expiration: 2027-03-23

Abstract

【課題】塵埃の発生を極力低減させて支持面上にシート部材を供給することができる支持装置を提供すること。【解決手段】支持装置１０は、帯状のシート部材ＳＢを介して支持対象物ＷＦを支持する支持面２３Ａを有する支持手段２０と、シート部材ＳＢを支持面２３Ａに対向させて供給する供給手段３０と、支持面２３Ａおよびシート部材ＳＢを支持面２３Ａに交差する方向に相対移動させる移動手段４０とを備えている。【選択図】図１

Description

本考案は、支持装置に関する。

従来、シート部材を支持面に対向させて供給する供給手段を備えた装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−１２５５７７号公報

特許文献１に記載されたような従来の装置は、保護シート５７（シート部材）が吸着チャックの保持面４２１（支持面）に接触した状態で、支持面上にシート部材を供給するので、支持面とシート部材とが擦れて塵埃を発生するという不都合がある。このような塵埃は、非常に微細ではあるが、ハイレベルの清掃度（ハイクラス）が要求されるクリンルームでは、このような非常に微細な塵埃でも当該装置の置かれた雰囲気が汚染されるため、問題とされる場合がある。

本考案の目的は、塵埃の発生を極力低減させて支持面上にシート部材を供給することができる支持装置を提供することにある。

本考案は、各請求項に記載した構成を採用した。

本考案によれば、シート部材を供給する際、支持面とシート部材とが擦れることがないので、塵埃の発生を極力低減させて支持面上にシート部材を供給することができる。

本考案の一実施形態に係る支持装置の側面図。支持装置の動作説明図。

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、支持装置１０は、多孔質樹脂等の通気性を有する部材で構成された帯状のシート部材ＳＢを介して支持対象物としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを支持する支持面２３Ａを有する支持手段２０と、シート部材ＳＢを支持面２３Ａに対向させて供給する供給手段３０と、支持面２３Ａおよびシート部材ＳＢを支持面２３Ａに交差する方向である上下方向に相対移動させる移動手段４０とを備え、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付するシート貼付手段５０の近傍に配置されている。

支持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持された基台２２と、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着して支持可能な支持面２３Ａを有するテーブル２３とを備えている。

供給手段３０は、ブラケット３１を介して基台２２に支持され、シート部材ＳＢを支持する支持ローラ３２と、ブラケット３３を介して基台２２に支持され、シート部材ＳＢを巻き取る巻取ローラ３５を図示しない出力軸で支持する駆動機器としての回動モータ３４とを備えている。

移動手段４０は、基台２２に支持され、出力軸４１Ａでテーブル２３を支持する駆動機器としての直動モータ４１と、基台２２に支持され、出力軸４２Ａでブラケット４２Ｂを介してガイドローラ４２Ｃを支持する駆動機器としての直動モータ４２とを備えている。

シート貼付手段５０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２と、剥離シートＲＬを折り曲げて当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５３と、駆動機器としての回動モータ５４によって駆動される駆動ローラ５５と、駆動ローラ５５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ５７と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５８とを備えている。

以上の支持装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態の支持装置１０に対し、当該支持装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳおよびシート部材ＳＢを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段５０が回動モータ５４を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シートＡＳが剥離板５３で所定長さ剥離されたことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段に検知されると、シート貼付手段５０が回動モータ５４の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

次に、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図１中実線で示すように、シート部材ＳＢ上にウエハＷＦが載置されると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、シート部材ＳＢを介して当該ウエハＷＦを支持面２３Ａで吸着して支持した後、リニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを左方に移動させる。そして、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段に検知されると、シート貼付手段５０が回動モータ５４を駆動し、テーブル２３の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、剥離板５３で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ５８によって図１中二点鎖線で示すようにウエハＷＦに押圧されて貼付される。

ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了し、次の接着シートＡＳが剥離板５３で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、シート貼付手段５０が回動モータ５４の駆動を停止するとともに、支持手段２０がリニアモータ２１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送すると、移動手段４０が直動モータ４１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、テーブル２３を下降させて支持面２３Ａをシート部材ＳＢから離間させる。次に、支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、スライダ２１Ａを初期位置に復帰させるとともに、供給手段３０が回動モータ３４を駆動し、巻取ローラ３５でシート部材ＳＢを所定量巻き取り、シート部材ＳＢの未使用領域を支持面２３Ａ上に供給する。その後、移動手段４０が直動モータ４１を駆動し、テーブル２３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、シート部材ＳＢを供給する際、支持面２３Ａとシート部材ＳＢとが擦れることがないので、塵埃の発生を極力低減させて支持面２３Ａ上にシート部材ＳＢを供給することができる。

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。

例えば、支持装置１０は、シート貼付手段５０に対して使用される以外に、支持対象物を研削したり、支持対象物を検査したり、支持対象物に塗装や印字を施したり、支持対象物に表面処理を施したりする装置等に対して使用されてもよい。

支持手段２０は、ウエハＷＦを固定しておきまたは移動させつつ、シート貼付手段５０を移動させ、当該ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する構成でもよいし、リニアモータ２１がなくてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、磁力、駆動機器等でウエハＷＦを支持する構成を採用してもよく、この場合、シート部材ＳＢは通気性を有さない部材であってもよい。

供給手段３０は、吸引孔を有する部材で構成されたシート部材ＳＢを供給してもよいし、ウエハＷＦを１枚処理する度にシート部材ＳＢを供給するものに限らず、ウエハＷＦを複数枚処理する度にシート部材ＳＢを供給してもよいし、ウエハＷＦの処理枚数に関係なく所定時間が経過した時点でシート部材ＳＢを供給してもよいし、シート部材ＳＢ上に存在する塵埃を検出可能なカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない塵埃検知手段を設け、当該塵埃検知手段によって塵埃が検出された際にシート部材ＳＢを供給してもよい。

移動手段４０は、図２（Ｂ）に示すように、テーブル２３の位置を固定しておき、ガイドローラ４２Ｃを上昇させてもよいし、テーブル２３を下降させ、ガイドローラ４２Ｃを上昇させてもよい。この際、移動手段４０は、ガイドローラ４２Ｃを初期位置に復帰させるときに生じるシート部材ＳＢの弛みを除去するために、巻取ローラ３５でシート部材ＳＢを巻き取ればよく、巻取ローラ３５によらずにまたは併用して、支持ローラ３２でシート部材ＳＢを巻き取ってもよい。

シート貼付手段５０は、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされ、所定の間隔を隔てて複数の接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断刃やレーザカッタ等の切断手段により接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に接着シートＡＳを形成してもよい。また、シート貼付手段５０は、本考案の支持装置１０に備わっていなくてもよい。

また、本考案における接着シートＡＳおよび支持対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、支持対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の支持対象物に貼付することができる。

本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、シート部材を支持面に対向させて供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。

１０支持装置
２０支持手段
２３Ａ支持面
３０供給手段
４０移動手段
ＳＢシート部材
ＷＦウエハ（支持対象物）

Claims

帯状のシート部材を介して支持対象物を支持する支持面を有する支持手段と、
前記シート部材を前記支持面に対向させて供給する供給手段と、
前記支持面および前記シート部材を前記支持面に交差する方向に相対移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする支持装置。