JP3210743U - シート貼付装置 - Google Patents

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武志 明地
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【課題】装置が大型化することを防止することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置10は、被着体WFを支持する支持面24Aを有する支持手段20と、被着体WFに接着シートASを貼付する貼付手段30と、支持面24Aを清掃する清掃手段40とを備え、清掃手段40は、支持面24Aに対し、当該支持面24Aの一端から他端に向かってまたは、当該支持面24Aの中央部から外縁に向かって気体を吹き付ける吹付け手段41を備えている。【選択図】図1

Description

本考案は、シート貼付装置に関する。
従来、支持面を清掃する清掃手段を備えた装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2009−140982号公報
特許文献1に記載されたような従来の装置では、テーブルTの上面(支持面)上を転動するピックアップローラ12(清掃手段)で当該支持面を清掃する構成のため、清掃手段に付着した塵やコンタミネーション等の塵埃を除去する転着ローラ13等の構成が必要となり、装置が大型化するという不都合がある。
本考案の目的は、装置が大型化することを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
本考案は、各請求項に記載した構成を採用した。
本考案によれば、支持面に気体を吹き付けて当該支持面を清掃するので、清掃手段に付着した塵埃を除去する構成が不要となり、装置が大型化することを防止することができる。
また、吹き付けた気体を吸引するようにすれば、支持面から除去した塵埃が再び支持面に付着することを防止することができる。
(A)は本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。(B)は(A)の部分平面図。 (A)は本考案の変形例に係るシート貼付装置を示す側面図。(B)は(A)の部分平面図。
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFを支持する支持面24Aを有する支持手段20と、ウエハWFに接着シートASを貼付する貼付手段30と、支持面24Aを清掃する清掃手段40とを備えている。
支持手段20は、駆動機器としてのリニアモータ21と、リニアモータ21のスライダ21Aに支持され、前後左右に位置する側面部22A〜22Dと底面部22Eとからなる外側テーブル22と、底面部22Eに支持された駆動機器としての直動モータ23と、直動モータ23の出力軸23Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持可能な支持面24Aを有する内側テーブル24とを備えている。
貼付手段30は、剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ31と、原反RSを案内するガイドローラ32と、剥離シートRLを折り曲げて当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板33と、駆動機器としての回動モータ34によって駆動される駆動ローラ35と、駆動ローラ35との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ36と、剥離シートRLを回収する回収ローラ37と、接着シートASをウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ38とを備えている。
清掃手段40は、支持面24Aに対し、当該支持面24Aの一端である左端から他端である右端に向かって空気やガス等の気体を吹き付ける吹付け手段41と、当該吹付け手段41が吹き付けた気体を吸引する吸引手段42とを備えている。
吹付け手段41は、外側テーブル22の左側の側面部22Aに設けられた複数の吹付け孔41Aと、給気管41Bを介して吹付け孔41Aに接続された加圧ポンプやタービン等の加圧手段41Cとを備えている。
吸引手段42は、外側テーブル22の右側の側面部22Cに設けられた吸引孔42Aと、吸引管42Bを介して吸引孔42Aに接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段42Cとを備えている。
以上のシート貼付装置10において、ウエハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1(A)中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、当該シート貼付装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が原反RSを同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段30が回動モータ34を駆動し、原反RSを繰り出す。そして、先頭の接着シートASが剥離板33で所定長さ剥離されたことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段30が回動モータ34の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
次に、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段により、図1(A)中実線で示すように、内側テーブル24上にウエハWFが載置されると、支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハWFを支持面24Aで吸着保持した後、リニアモータ21を駆動し、スライダ21Aを左方に移動させる。そして、ウエハWFが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、貼付手段30が回動モータ34を駆動し、内側テーブル24の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離板33で剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ38によって図1(A)中二点鎖線で示すようにウエハWFに押圧されて貼付され、次の接着シートASが剥離板33で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、貼付手段30が回動モータ34の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
ウエハWFへの接着シートASの貼付が完了すると、支持手段20がリニアモータ21および図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段がウエハWFを次工程に搬送すると、支持手段20が直動モータ23を駆動し、図1(A)中下側の二点鎖線で示すように、内側テーブル24を下降させる。次に、支持手段20がリニアモータ21を駆動し、スライダ21Aを初期位置に復帰させるとともに、清掃手段40が加圧手段41Cおよび減圧手段42Cを駆動し、図1(B)に示すように、支持面24Aの左端から右端に向かって気体を吹き付ける。これにより、支持面24A上に塵やコンタミネーション等の塵埃が存在していたとしても、当該塵埃は、吹付け手段41が吹き付けた気体によって吹き飛ばされて吸引手段42に吸引され、支持面24Aが清掃される。
次いで、清掃手段40が加圧手段41Cおよび減圧手段42Cの駆動を停止した後、支持手段20が直動モータ23を駆動し、内側テーブル24を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、支持面24Aに気体を吹き付けて当該支持面24Aを清掃するので、清掃手段40に付着した塵埃を除去する構成が不要となり、装置が大型化することを防止することができる。
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
例えば、シート貼付装置10は、支持手段20および清掃手段40に代えて、図2に示す支持手段20Aおよび清掃手段40Aを備えてもよい。
支持手段20Aは、リニアモータ21と、外側テーブル22と、複数の直動モータ23と、直動モータ23の出力軸23Aに支持された内側テーブル25とを備えている。内側テーブル25は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持可能な支持面25Aと、支持面25Aの中央部に形成された上下に貫通する貫通孔25Bとを備えている。
清掃手段40Aは、支持面25Aに対し、当該支持面25Aの中央部から外縁に向かって気体を吹き付ける吹付け手段43と、吹付け手段43が吹き付けた気体を吸引する吸引手段44とを備えている。
吹付け手段43は、外側テーブル22の底面部22Eに支持され、放射状に設けられた複数の吹付け孔43Aを有する吹付けノズル43Bと、吹付け孔43Aに接続された加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段41Cとを備えている。
吸引手段44は、外側テーブル22の側面部22A〜22Dに連続して設けられた環状の吸引溝44Aと、側面部22A〜22Dごとに吸引管44Bを介して吸引溝44Aに接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段42Cとを備えている。
このような支持手段20Aおよび清掃手段40Aを備えたシート貼付装置10は、接着シートASが貼付されたウエハWFが次工程に搬送されると、支持手段20Aが内側テーブル25を下降させた後、清掃手段40Aが加圧手段41Cおよび減圧手段42Cを駆動し、吹付け孔43Aから気体を吹き付け、吹付け手段43が吹き付けた気体を吸引手段44が吸引する。
支持手段20、20Aは、ウエハWFを固定しておきまたは移動させつつ、貼付手段30を移動させ、当該ウエハWFに接着シートASを貼付する構成でもよいし、内側テーブル24、25の位置を固定しておきまたは、内側テーブル24、25を下降させ、外側テーブル22を上昇させる構成でもよいし、直動モータ23は複数でもよいし単数でもよい。
貼付手段30は、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートASとされ、所定の間隔を隔てて複数の接着シートASが剥離シートRLに仮着された原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反が採用された場合、切断刃やレーザカッタ等の切断手段により接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に接着シートASを形成してもよい。
清掃手段40、40Aは、吹付け孔41Aを介さずに給気管41Bから支持面24Aに気体を吹き付けてもよいし、吸引孔42Aや吸引溝44Aを介さずに吸引管42B、44Bで気体を吸引してもよいし、吹付け孔41Aを側面部22Cに設け、吸引孔42Aを側面部22Aに設けてもよいし、吹付け孔41Aおよび吸引孔42Aの一方を側面部22Bに設け、他方を側面部22Dに設けてもよいし、吹付け孔41Aおよび吸引孔42Aは、互いに同じ数設けてもよいし、互いに異なる数設けてもよいし、給気管41Bを吹付け孔41Aごとに独立して設け、各々別々に加圧手段41Cを接続してもよいし、吸引管42Bを複数設けてもよいし、吸引管44Bを単体で構成してもよいし、側面部22A〜22Dの内面に断続した吸引溝44Aを設けてもよいし、吸引手段42、44は、本考案のシート貼付装置10に備わっていなくてもよい。
接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、被着体を支持する支持面を有するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
10 シート貼付装置
20 支持手段
24A 支持面
25A 支持面
30 貼付手段
40 清掃手段
41 吹付け手段
42 吸引手段
43 吹付け手段
44 吸引手段
AS 接着シート
WF ウエハ(被着体)

Claims (2)

  1. 被着体を支持する支持面を有する支持手段と、
    前記被着体に接着シートを貼付する貼付手段と、
    前記支持面を清掃する清掃手段とを備え、
    前記清掃手段は、前記支持面に対し、当該支持面の一端から他端に向かってまたは、当該支持面の中央部から外縁に向かって気体を吹き付ける吹付け手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 前記清掃手段は、前記吹付け手段が吹き付けた気体を吸引する吸引手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
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