JP6219196B2 - シート貼付方法および貼付装置 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウエハ(被着体)の表面に貼付された保護テープとリングフレームとの両方にマウント用の粘着テープ(接着シート)が貼付されたマウントフレームを保持し、保持されたマウントフレームにウエハの裏面側からダイシング用の粘着テープを貼付するように構成されている。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
先ず、第1〜第3原反RS1〜RS3を図1に示すようにセットする。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1中実線で示す初期位置にある外側テーブル72上にリングフレームRFを載置し、内側テーブル74上にウエハWFを載置すると、支持手段70が図示しない減圧手段を駆動し、支持面72AでリングフレームRFを吸着保持し、支持面74AでウエハWFを吸着保持する。
また、別の装置で第1接着シートAS1が貼付されたウエハWFおよびリングフレームRFの第1接着シートAS1に第2接着シートAS2を貼付する場合、第1貼付手段20はなくてもよい。
さらに、第1および第2貼付手段20、30は、第3貼付手段60と同様の構成を採用してもよく、第3貼付手段60は、第1および第2貼付手段20、30と同様の構成を採用してもよい。
さらに、リングフレームRFは、なくてもよい。
さらに、加熱手段50は、保持テーブル43の外部にヒータ等を設け、上方や側方からウエハWFを加熱してもよいし、ウエハWFの周囲の雰囲気を加熱するようにしてもよい。
また、保持テーブル43、保持プレート69、外側テーブル72、および内側テーブル74は、吸着以外にメカチャックや静電チャックで保持するものでもよい。
さらに、第1接着シートAS1は第1基材BS1のない構成でもよい。
また、第3接着剤AD3層は感熱接着性でない構成でもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 第1貼付手段
30 第2貼付手段
40 保持手段
50 加熱手段
60 第3貼付手段
AD2 接着剤
AS1 第1接着シート
AS2 第2接着シート
AS3 第3接着シート
BS2 第2基材(基材)
WF ウエハ(被着体)
WF1 一方の面
WF2 他方の面
Claims (3)
- 第1接着シートを被着体の一方の面に貼付する工程と、
耐熱性を有する基材に接着剤層が積層された第2接着シートを前記第1接着シートに貼付する工程と、
前記第1接着シートおよび前記第2接着シートが貼付された被着体を前記第2接着シート側から保持する工程と、
保持された被着体を加熱し、第3接着シートを加熱された被着体の他方の面に貼付する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。 - 耐熱性を有する基材に接着剤層が積層された第2接着シートを第1接着シートに貼付する工程と、
前記第2接着シートが貼付された第1接着シートを被着体の一方の面に貼付する工程と、
前記第1接着シートおよび前記第2接着シートが貼付された被着体を前記第2接着シート側から保持する工程と、
保持された被着体を加熱し、第3接着シートを加熱された被着体の他方の面に貼付する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。 - 第1接着シートを被着体の一方の面に貼付する第1貼付手段と、
耐熱性を有する基材に接着剤層が積層された第2接着シートを前記第1接着シートに貼付する第2貼付手段と、
前記第1接着シートおよび前記第2接着シートが貼付された被着体を前記第2接着シート側から保持する保持手段と、
保持された被着体を加熱する加熱手段と、
第3接着シートを加熱された被着体の他方の面に貼付する第3貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
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