JP6779576B2 - 粘着テープ、被加工物の加工方法、及び粘着テープ貼着装置 - Google Patents
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Description
1a 中央部
1b 外周部
1c 伸長部
3 第1粘着テープ
3a 表面
5 第2粘着テープ
5a 表面
7 第1保持シート
9 第2保持シート
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
13 加工予定ライン(ストリート)
15 デバイス
17 フレーム
17a 開口
21 フレームユニット
2 粘着テープ貼着装置
4 支持台
4a 被加工物支持領域
4b フレーム支持領域
4c テープ支持領域
6 移動ユニット
8 第1繰り出しローラ(第1テープ支持部)
10 第1巻き取りローラ(第1テープ支持部)
12 第1押圧ローラ
14 第2繰り出しローラ(第2テープ支持部)
16 第2巻き取りローラ(第2テープ支持部)
18 第2押圧ローラ
22 切削装置(加工装置)
24 チャックテーブル
26 基台
26a 凹部
26b 吸引路
28 保持板
28a 上面(保持面)
30 クランプ
32 切削ユニット(加工ユニット)
34 切削ブレード
Claims (5)
- 板状の被加工物に貼着される中央部と、
環状のフレームに貼着される外周部と、
該中央部と、該外周部と、の間に配置され、該中央部に比べて伸長性の高い環状の伸長部と、を備え、
被加工物を保持する保持面と、該保持面より低い位置において該フレームを保持するためのフレーム保持部と、を備えるチャックテーブルで、被加工物と、該フレームと、を保持する際に用いられることを特徴とする粘着テープ。 - 該中央部の大きさは、該保持面の大きさ以下であることを特徴とする請求項1に記載の粘着テープ。
- 該外周部と、該中央部と、該伸長部と、は、いずれも、基材層と、接着層と、を有し、
該中央部の該基材層は、ポリエチレンテレフタレートを用いて形成されており、
該伸長部の該基材層は、ポリオレフィン又はポリ塩化ビニールを用いて形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の粘着テープ。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の該粘着テープの該中央部を被加工物に貼着し、該外周部を該フレームに貼着してフレームユニットを形成するフレームユニット形成ステップと、
被加工物を保持する該保持面と、該保持面より低い位置において該フレームを保持するための該フレーム保持部と、を備えるチャックテーブルで、該フレームユニットを保持する保持ステップと、
該チャックテーブルに保持された該フレームユニットの被加工物を加工する加工ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。 - 環状のフレームと、該フレームの開口内に配置される板状の被加工物と、に粘着テープを貼着してフレームユニットを形成する粘着テープ貼着装置であって、
該フレームの該開口内に被加工物が配置された状態で、被加工物と、該フレームと、を支持する支持台と、
被加工物に貼着される円形の第1粘着テープを支持する第1テープ支持部と、
該被加工物に対して該第1粘着テープを押し付ける第1ローラと、
該第1粘着テープの外周縁と、該フレームと、に貼着され、該第1粘着テープに比べて伸長性が高い環状の第2粘着テープを支持する第2テープ支持部と、
該フレームに対して該第2粘着テープを押し付ける第2ローラと、
該被加工物と、第1粘着テープと、が対面する第1対面位置と、該フレームと、該第2粘着テープと、が対面する第2対面位置と、の間で、該支持台と、該第1テープ支持部と、該第2テープ支持部と、を相対的に移動させる移動ユニットと、を備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置。
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