JP2013041973A - 板状物の研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持部材上に配設された板状物の裏面を研削して所定厚みへ薄化する板状物の研削方法であって、板状物の面積よりも大きい面積を有する支持部材上に剥離可能に密着する剥離起点部を形成し、この剥離起点部上に板状物の表面側を載置して紫外線硬化樹脂で板状物の表面側を埋め込むとともに板状物の外周を紫外線硬化樹脂で囲繞する。次いで、紫外線を照射して支持部材上に剥離起点部及び紫外線硬化樹脂を介して裏面が露出した状態で板状物を固定する。次いで、支持部材をチャックテーブルで保持して板状物の裏面を研削して板状物を所定厚みへと薄化し、支持部材を板状物ユニットから剥離起点部と支持部材との界面で剥離する。
【選択図】図7
Description
下記の支持部材上に下記剥離起点部を密着させた後、剥離起点部上に紫外線硬化樹脂を塗布してサファイアウエーハを載置し、精密プレス機でサファイアウエーハを加圧して支持部材に貼り付けた。その後、紫外線硬化樹脂にサファイアウエーハを介して紫外線を照射してサファイアウエーハを支持部材上に固定した。サファイアウエーハを80μmに研削した際のウエーハの割れ及びクラックの有無、更に支持部材の剥離可否を確認して表1に示すような結果を得た。
剥離起点部 :厚さ50μmの弱粘着剤コーティングPETフィルム
被加工物 :φ6インチ、厚さ1mmのサファイアウエーハ
13 軟粘着剤コーティングされた樹脂フィルム
17 紫外線硬化樹脂
19 光デバイスウエーハ
21 光デバイス
23 ウエーハユニット
24 研削ホイール
25 紫外線ランプ
28 研削砥石
T 粘着テープ
F 環状フレーム
Claims (3)
- 支持部材上に配設された板状物の裏面を研削して所定厚みへ薄化する板状物の研削方法であって、該支持部材と板状物との少なくとも何れかが紫外線を透過する物質から構成されており、
板状物の面積よりも大きい面積を有する剛体からなる支持部材の支持面に剥離可能に密着する剥離起点部を形成する剥離起点部形成ステップと、
該剥離起点部形成ステップを実施した後、紫外線照射によって硬化するとともに加熱又は加水によって軟化性を発現する紫外線硬化樹脂を介して該剥離起点部上に板状物の表面側を載置し、該紫外線硬化樹脂の面積が該剥離起点部と板状物の面積よりも大きくなるように該紫外線硬化樹脂を形成するとともに、該紫外線硬化樹脂に板状物の表面側が埋め込まれ、板状物の外周が該紫外線硬化樹脂で囲繞された状態にする板状物載置ステップと、
該板状物載置ステップを実施した後、該紫外線硬化樹脂に該支持部材又は板状物を介して紫外線を照射して、該支持部材上に該剥離起点部及び該紫外線硬化樹脂を介して裏面が露出した状態で板状物を固定する板状物固定ステップと、
該板状物固定ステップを実施した後、該支持部材をチャックテーブルで保持して板状物の裏面側を研削し、板状物を所定厚みへと薄化する薄化ステップと、
該薄化ステップを実施した後、板状物が該紫外線硬化樹脂で該剥離起点部と一体化された形態の板状物ユニットから該支持部材を該剥離起点部と該支持部材との界面で剥離する支持部材除去ステップと、
該支持部材除去ステップを実施した後、該板状物ユニットの該紫外線硬化樹脂を加熱又は加水して軟化させ、板状物から該紫外線硬化樹脂を該剥離起点部とともに除去する紫外線硬化樹脂除去ステップと、
を具備したことを特徴とする板状物の研削方法。 - 前記薄化ステップを実施した後、前記紫外線硬化樹脂除去ステップを実施する前に、前記板状物ユニットの板状物側に粘着テープを貼着するとともに該粘着テープの外周部を環状フレームに貼着する転写ステップを更に具備した請求項1記載の板状物の研削方法。
- 板状物はサファイア又はSiCから構成され、前記支持部材はシリコンウエーハから構成され、前記板状物固定ステップでは、板状物側から前記紫外線硬化樹脂へ紫外線を照射する請求項1又は2記載の板状物の研削方法。
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