JP6685592B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
11 半導体ウェーハ
13 分割予定ライン
15 デバイス
17 保護膜
19 改質層
20 切削バイト
21 ウェーハの外周余剰領域
23 チップ
32 研削ユニット
38 研削ホイール
44 撮像ユニット
54 切削ブレード
66 集光器
70 ブレーキング装置
76 クランプ
78 弾性シート
82 ピックアップ装置
84 コレット
Claims (1)
- 交差する複数の分割予定ラインで区画された表面の各領域にそれぞれデバイスが形成されたウェーハの加工方法であって、
ウェーハの表面を外的刺激で硬化する樹脂で被覆して保護膜を形成する保護膜形成ステップと、
該保護膜形成ステップを実施した後、該保護膜を半硬化させる半硬化ステップと、
該半硬化ステップを実施した後、ウェーハの裏面側をチャックテーブルで保持し、該保護膜を切削バイトで切削して平坦化する保護膜平坦化ステップと、
該保護膜平坦化ステップを実施した後、ウェーハの該保護膜側をチャックテーブルで保持し、ウェーハの裏面を研削手段で研削してウェーハを所定厚みへと薄化する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、ウェーハの該保護膜側をチャックテーブルで保持し、ウェーハの裏面側から該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出ステップと、
該分割予定ライン検出ステップを実施した後、該分割予定ラインに沿ってウェーハの裏面側からウェーハを加工してウェーハを複数のチップへと分割する分割ステップと、
該分割ステップを実施した後、該保護膜を完全硬化させる完全硬化ステップと、
該完全硬化ステップを実施した後、該保護膜から該複数のチップをピックアップするピックアップステップと、
を備えたことを特徴とするウェーハの加工方法。
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