JP2015176950A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 38
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 19
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 93
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000002507 cathodic stripping potentiometry Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
11a 表面
11b 裏面
12 分割予定ライン
13 デバイス
15 封止材
16 バンプ
21 保護テープ
21a 粘着層
31 保持テーブル
41 環状フレーム
42 ダイシングテープ
52 撮像手段
C チップ
Claims (3)
- 複数の分割予定ラインによって区画され複数のデバイスが形成された表面が封止材で封止され、該封止材上に該デバイスの電極に対応して複数のバンプが形成されたウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
保護テープの粘着層に該バンプを埋没させて該保護テープを該ウェーハの該封止材側に貼着する保護テープ貼着ステップと、
該保護テープ貼着ステップを実施した後に、該保護テープ側を保持テーブルで保持して、該ウェーハの裏面を研削して薄化する薄化ステップと、
該薄化ステップを実施した後に、該保護テープ側にダイシングテープを貼着し環状フレームで支持するダイシングテープ貼着ステップと、
該ダイシングテープ貼着ステップを実施した後に、該ウェーハに対して透過性を有する波長で撮像する撮像手段で該ウェーハを透過して該分割予定ラインを撮像し、該分割予定ラインを検出する分割予定ライン検出ステップと、
該分割予定ライン検出ステップで検出された該分割予定ラインに基づき、該分割予定ラインに沿って該ウェーハの裏面側から加工を行い、該ウェーハを個々のチップへと分割する分割ステップと、を備えるウェーハの加工方法。 - 該保護テープの粘着層は紫外線で硬化する紫外線硬化型であり、
該保護テープ貼着ステップにおいて、該粘着層に該バンプを埋没させて該ウェーハの該封止材側に該保護テープを貼着し、該複数のバンプが埋没された該紫外線硬化型の該粘着層に紫外線を照射して硬化すること、を特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。 - 該分割ステップを実施した後に、該チップの露出している裏面を保持してピックアップするピックアップステップと、を備える請求項1又は2に記載のウェーハの加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014051147A JP2015176950A (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | ウェーハの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014051147A JP2015176950A (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | ウェーハの加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015176950A true JP2015176950A (ja) | 2015-10-05 |
Family
ID=54255894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014051147A Pending JP2015176950A (ja) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | ウェーハの加工方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2015176950A (ja) |
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