JP2018526826A - ウェーハを処理する方法および該方法で使用するための保護シート - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図6
Description
Claims (19)
- 複数の分割線(11)で区切られた複数のデバイスを片側(1)に備えたデバイス領域(2)と、デバイスを含まずに前記デバイス領域(2)の周囲に形成された周縁領域(3)と、を有するウェーハ(W)を処理する方法であって、前記デバイス領域(2)が前記ウェーハ(W)の平坦面から出っ張った複数の凸部(14)で形成されており、前記方法が、
保護膜(4)を用意するステップと、
ベースシート(7)でありその表面(17)にクッション層(13)が延在するベースシート(7)を用意するステップと、
前記保護膜(4)の表面を、前記ウェーハ(W)上の前記デバイスを覆うために、前記ウェーハ(W)の前記片側(1)に貼り付けるステップであって、前記保護膜(4)が少なくとも前記周縁領域(3)に接着剤(9)で接着される、ステップと、
前記保護膜(4)の前記表面とは反対の前記保護膜(4)の裏面を前記クッション層(13)に貼り付けるステップであって、
前記ウェーハ(W)の前記平坦面から前記出っ張った凸部(14)が前記クッション層(13)に埋め込まれ、前記ベースシート(7)の前記表面(17)とは反対の前記ベースシート(7)の裏面(18)が、前記片側(1)とは反対の前記ウェーハ(W)の側(6)と略平行である、ステップと、
前記ウェーハ(W)の厚さを調整するために前記片側(1)とは反対の前記ウェーハ(W)の前記側(6)を研削するステップと、
を含む方法。 - まず、前記保護膜(4)と、ベースシート(7)であり前記表面(17)に前記クッション層(13)が延在する前記ベースシート(7)とが積層されて、前記ベースシート(7)と前記クッション層(13)と前記クッション層(13)に貼り付けられた前記保護膜(4)とを備える保護シート(5、5’)を形成し、
その後、前記保護シート(5、5’)が前記ウェーハ(W)の前記片側(1)に貼り付けられて、前記ウェーハ(W)の前記平坦面から出っ張った前記凸部(14)が前記保護膜(4)で覆われて前記クッション層(13)に埋め込まれ、前記ベースシート(7)の前記裏面(18)が、前記片側(1)とは反対の前記ウェーハ(W)の前記側(6)と略平行になる、
請求項1に記載の方法。 - まず、前記保護膜(4)が前記ウェーハ(W)の前記片側(1)に貼り付けられ、
その後、前記保護膜(4)が貼り付けられている前記ウェーハ(W)の前記片側(1)が前記ベースシート(7)の前記表面(17)に貼り付けられて、前記ウェーハ(W)の前記平坦面から出っ張った前記凸部(14)が前記クッション層(13)に埋め込まれ、前記ベースシート(7)の前記裏面(18)が、前記片側(1)とは反対の前記ウェーハ(W)の前記側(6)と略平行になる、
請求項1に記載の方法。 - 前記ウェーハ(W)を前記分割線(11)に沿って切断するステップをさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ウェーハ(W)から前記保護膜(4)、前記クッション層(13)および前記ベースシート(7)を除去するステップをさらに含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ウェーハ(W)を切断する前記ステップが、前記ウェーハ(W)から前記保護膜(4)、前記クッション層(13)および前記ベースシート(7)を除去する前記ステップの前または後に行われる、請求項4に従属する請求項5に記載の方法。
- 前記保護膜(4)を前記ウェーハ(W)の前記片側(1)に接着するための前記接着剤(9)が前記周縁領域(3)にのみ施され、または、前記接着剤(9)が、前記ウェーハ(W)の前記片側(1)と前記保護膜(4)との接触領域全体にわたって施される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記保護膜(4)が伸張可能であり、前記保護膜(4)が、前記ウェーハ(W)の前記平坦面から出っ張った前記凸部(14)の輪郭に沿うように、前記ウェーハ(W)の前記片側(1)に取り付けられる際に伸張する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記クッション層(13)が、紫外線、熱、電界および/または化学薬品などの外部刺激によって硬化する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記片側(1)とは反対の前記ウェーハ(W)の前記側(6)を研削する前記ステップの前に、前記クッション層(13)に前記外部刺激を加えて前記クッション層(13)を硬化させるステップをさらに含む、請求項9に記載の方法。
- 前記片側(1)とは反対の前記ウェーハ(W)の前記側(6)を研削する前記ステップの前に、前記ウェーハ(W)の周線を越えて横方向に延出する前記保護膜(4)および/または前記クッション層(13)および/または前記ベースシート(7)の1つまたは複数の部分(23)を切断するステップをさらに含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ベースシート(7)が、PETおよび/またはシリコンおよび/またはガラスおよび/またはSUSなどの剛性材料で作られている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記保護膜(4)が5〜200μmの範囲内の厚さを有する、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記クッション層(13)が20〜300μmの範囲内の厚さを有する、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- ウェーハ(W)を処理する際に使用するための保護シート(5、5’)であって、前記保護シート(5、5’)が、
ベースシート(7)と、
前記ベースシート(7)の表面(17)に延在するクッション層(13)と、
裏面が前記クッション層(13)に貼り付けられた保護膜(4)と、
前記保護膜(4)の前記裏面とは反対の前記保護膜(4)の表面の少なくとも一部に延在する接着剤層(9)と、
を備える保護シート(5、5’)。 - 前記クッション層(13)が、紫外線、熱、電界および/または化学薬品などの外部刺激によって硬化する、請求項15に記載の保護シート(5、5’)。
- 前記接着剤層(9)が略環状の形を有する、請求項15または16に記載の保護シート(5、5’)。
- 前記接着剤層(9)の内径が半導体サイズのウェーハ(W)の直径よりも小さい、請求項17に記載の保護シート(5、5’)。
- 前記接着剤層(9)の外径が、半導体サイズのウェーハ(W)を保持するための半導体サイズの環状フレーム(25)の内径よりも大きい、請求項17または18に記載の保護シート(5、5’)。
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