JP2012160515A - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の分割予定ラインに沿って被加工物11を分割して所定厚みのチップを形成する被加工物11の加工方法であって、該分割予定ラインに沿って該所定厚みよりも深く且つ被加工物11を完全切断しない深さの溝を形成する溝形成ステップと、該溝31が形成された被加工物11の該表面を紫外線硬化樹脂35を介してシート33上に配設し、該シート33の外周を環状フレーム37に装着する環状フレーム装着ステップと、該シート33の外周を該環状フレーム37に装着する前又は後に、該紫外線硬化樹脂35に紫外線を照射して被加工物11を該シート33上に固定する固定ステップと、被加工物11の裏面を研削して該溝を該裏面に露出させることで被加工物を分割して所定厚みのチップを形成する研削ステップと、を具備した。
【選択図】図3
Description
波長 :355nm(YAGレーザの第3高調波)
平均出力 :0.1〜1.2W
繰り返し周波数 :90〜200kHz
送り速度 :100〜300mm/秒
10 研削ユニット
11 光デバイスウエーハ
13 サファイア基板
17 分割予定ライン(ストリート)
19 光デバイス
22 研削ホイール
23 レーザビーム照射ユニット
26 研削砥石
27 集光器
33 シート
35 紫外線硬化樹脂
36 チャックテーブル
37 環状フレーム
39 紫外線ランプ
41 ピックアップ用テープ
43 チップ
Claims (2)
- 表面に設定された複数の分割予定ラインに沿って被加工物を分割して所定厚みのチップを形成する被加工物の加工方法であって、
被加工物の表面から該分割予定ラインに沿って該所定厚みよりも深く且つ被加工物を完全切断しない深さの溝を形成する溝形成ステップと、
該溝が形成された被加工物の該表面を紫外線硬化樹脂を介してシート上に配設し、該シートの外周を環状フレームに装着する環状フレーム装着ステップと、
被加工物を該シート上に配設した後、該シートの外周を該環状フレームに装着する前又は後に、該紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して被加工物を該シート上に固定する固定ステップと、
該固定ステップを実施した後、被加工物の裏面を研削して該所定厚みへ薄化するとともに該溝を該裏面に露出させることで被加工物を該分割予定ラインに沿って分割して所定厚みのチップを形成する研削ステップと、
を具備したことを特徴とする被加工物の加工方法。 - 前記被加工物はサファイアウエーハから構成され、前記所定厚みは30μm以下である請求項1記載の被加工物の加工方法。
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