JP2007048920A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ1Wより大きな径を有するウエハ保護テープWPTの粘着面をウエハ1Wの主面(デバイス面)に貼付し、ウエハ保護テープWPTの粘着面にはウエハ1Wを取り囲むようにキャリアリングCRRを貼付し、このような状態でウエハ1Wの裏面研削および搬送を行うことにより、キャリアリングCRRがウエハ保護テープWPTと一体になってウエハ1Wを保持する構造としてウエハ1Wへ伝わる衝撃および応力を緩和する。
【選択図】 図3
Description
(a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープと、第3の主面、前記第3の主面とは反対側の第4の主面、第2の外周および第2の内周を有し、前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲む大きさのリング状の第2の搬送治具とを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第2の搬送治具の前記第3の主面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第2の搬送治具の前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第2の主面と前記第2の搬送治具の前記第4の主面とを対向させる工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含む。
(a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープと、第3の主面、前記第3の主面とは反対側の第4の主面、第2の外周および第2の内周を有し、前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲み、前記第2の外周が前記第1の搬送治具の前記第1の内周より小さいかもしくは前記第2の内周が前記第1の搬送治具の第1の外周より大きいリング状の第2の搬送治具とを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第2の搬送治具の前記第3の主面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第2の搬送治具の前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲み、前記第2の搬送治具の前記第2の外周が前記第1の搬送治具の前記第1の内周の内側に配置されるかもしくは前記第1の搬送治具の第1の外周が前記第2の搬送治具の第2の内周の内側に配置されるように前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付する工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含む。
(a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第1の搬送治具の前記第2の主面および前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付する工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含む。
項1.(a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープと、第3の主面、前記第3の主面とは反対側の第4の主面、第2の外周および第2の内周を有し、前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲む大きさのリング状の第2の搬送治具とを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第2の搬送治具の前記第3の主面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第2の搬送治具の前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第2の主面と前記第2の搬送治具の前記第4の主面とを対向させる工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
項2.(a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープと、第3の主面、前記第3の主面とは反対側の第4の主面、第2の外周および第2の内周を有し、前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲み、前記第2の外周が前記第1の搬送治具の前記第1の内周より小さいかもしくは前記第2の内周が前記第1の搬送治具の第1の外周より大きいリング状の第2の搬送治具とを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第2の搬送治具の前記第3の主面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第2の搬送治具の前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲み、前記第2の搬送治具の前記第2の外周が前記第1の搬送治具の前記第1の内周の内側に配置されるかもしくは前記第1の搬送治具の第1の外周が前記第2の搬送治具の第2の内周の内側に配置されるように前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付する工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
項3.(a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第1の搬送治具の前記第2の主面および前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付する工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
項4.項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程は、回転しつつ前記半導体ウエハの前記裏面を研削する研削手段と、回転しつつ前記半導体ウエハを保持するウエハ保持手段とを含むインフィード方式の研削装置を用いて実施し、
前記半導体ウエハと接する前記ウエハ保持手段のウエハ保持面は、前記ウエハ保持手段の回転軸が通る中心から外周へ向かう方向へ傾斜が形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
項5.項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記ウエハ保持手段の前記回転軸は、前記(d)工程時に前記半導体ウエハの裏面と接触する前記研削手段の研削面に対して第1の角度だけ傾いていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
項6.項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程は、
(d1)第1の研削手段を用いて前記半導体ウエハの前記裏面を研削する工程、
(d2)前記(d1)工程後、前記第1の研削手段より前記半導体ウエハの前記裏面を細かく研削できる第2の研削手段を用いて前記半導体ウエハの前記裏面を研削する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
項7.項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程時には、前記第1の搬送治具は、前記半導体ウエハの前記裏面より相対的に前記半導体ウエハの前記裏面を研削する研削手段から大きく離間して保持されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
項8.項7記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程時に前記半導体ウエハはウエハ保持手段によって保持され、
前記ウエハ保持手段は、前記半導体ウエハを吸着する第1の吸着面と、前記第1の搬送治具を吸着する第2の吸着面とを有し、
前記第2の吸着面は、前記第1の吸着面より相対的に前記研削手段から大きく離間して形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
項9.項7記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程時に前記半導体ウエハはウエハ保持手段によって保持され、
前記ウエハ保持手段は、前記半導体ウエハを吸着する第1の吸着面を有し、
前記第1の搬送治具は、第1の固定手段によって前記第1の吸着面より相対的に前記研削手段から大きく離間して保持されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
(1)薄型化したウエハを割れおよび欠けを生じさせることなく搬送することができる。
(2)半導体パッケージの製造工程において、ウエハに割れおよび欠けを生じさせることなく薄型のチップを安価に製造することができる。
1W ウエハ
11 実装基板
14 接着材
17 接着材
18 チップ
19、20 ワイヤ
21 モールド樹脂
22 バンプ電極
23 チップ
25 接着材
26 ワイヤ
CR 切断領域(分離領域)
CRR キャリアリング(第1の搬送治具)
DT ダイシングテープ
GW グラインディングホイール(研削手段)
HS 加熱ステージ
KS1 保持面(ウエハ保持面、第1の吸着面)
KS2 保持面(第2の吸着面)
KT 保持具(第1の固定手段)
KTU 上端部
N ノッチ
PD1、PD2、PD3、PD4 パッド
RA1 回転軸
RS1 裏面
STG ステージ
US1 上面
WPT ウエハ保護テープ(保護テープ)
WR、WR2 ウエハリング(第2の搬送治具)
WSG ウエハステージ(ウエハ保持手段)
Claims (5)
- (a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープと、第3の主面、前記第3の主面とは反対側の第4の主面、第2の外周および第2の内周を有し、前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲む大きさのリング状の第2の搬送治具とを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第2の搬送治具の前記第3の主面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第2の搬送治具の前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第2の主面と前記第2の搬送治具の前記第4の主面とを対向させる工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープと、第3の主面、前記第3の主面とは反対側の第4の主面、第2の外周および第2の内周を有し、前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲み、前記第2の外周が前記第1の搬送治具の前記第1の内周より小さいかもしくは前記第2の内周が前記第1の搬送治具の第1の外周より大きいリング状の第2の搬送治具とを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第2の搬送治具の前記第3の主面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付し、前記第2の搬送治具の前記第2の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲み、前記第2の搬送治具の前記第2の外周が前記第1の搬送治具の前記第1の内周の内側に配置されるかもしくは前記第1の搬送治具の第1の外周が前記第2の搬送治具の第2の内周の内側に配置されるように前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付する工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)分割領域によって主面が複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々に半導体素子が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)前記半導体ウエハの前記主面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記主面を覆う第1の粘着面を有する保護テープと、第1の主面、前記第1の主面とは反対側の第2の主面、第1の外周および第1の内周を有し、前記第1の内周が前記半導体ウエハの外周を取り囲む大きさのリング状の第1の搬送治具とを用意する工程、
(c)前記半導体ウエハの前記主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付し、前記第1の搬送治具の前記第1の内周が前記半導体ウエハの前記外周を取り囲むように前記第1の搬送治具の前記第1の主面を前記保護テープの前記第1の粘着面に貼付する工程、
(d)前記保護テープの前記第1の粘着面に前記半導体ウエハの前記主面および前記第1の搬送治具が貼付された状況下において、前記半導体ウエハの裏面を研削する工程、
(e)前記半導体ウエハの裏面より大きな面積を有し、前記半導体ウエハの前記裏面を覆う第2の粘着面を有するダイシングテープを用意する工程、
(f)前記(d)工程後、前記第1の搬送治具の前記第2の主面および前記半導体ウエハの裏面を前記ダイシングテープの前記第2の粘着面に貼付する工程、
(g)前記(f)工程後、前記半導体ウエハの前記主面から前記保護テープを剥離する工程、
(h)前記(g)工程後、前記半導体ウエハの前記裏面に前記ダイシングテープが貼付された状況下で前記半導体ウエハを前記分割領域に沿って分割する工程、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程は、回転しつつ前記半導体ウエハの前記裏面を研削する研削手段と、回転しつつ前記半導体ウエハを保持するウエハ保持手段とを含むインフィード方式の研削装置を用いて実施することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体ウエハと接する前記ウエハ保持手段のウエハ保持面は、前記ウエハ保持手段の回転軸が通る中心から外周へ向かう方向へ傾斜が形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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