JP2016115800A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、個々のデバイスに分割されたウエーハの裏面に接着フィルムを装着するとともにダイシングテープを貼着し、該ダイシングテープを拡張することにより接着フィルムを個々のデバイスに沿って破断すると、接着フィルムはウエーハよりも僅かに大きく形成されているため接着フィルムの外周部が破砕して飛散し、デバイスの表面に付着してデバイスの品質を低下させるという問題がある。
ウエーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線を内部に集光点を位置付けて分割予定ラインに沿って照射し、ウエーハの内部に分割予定ラインに沿って改質層を形成する改質層形成工程と、
該改質層形成工程が実施されたウエーハの裏面を研削水を供給しつつ研削して所定の厚みに形成するとともにウエーハを改質層を破断起点として分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割する裏面研削工程と、を含み、
該裏面研削工程を実施する前に、ウエーハの表面に紫外線を照射することにより硬化する液状樹脂を被覆して保護膜を形成する保護膜形成工程と、該保護膜形成工程が実施されウエーハの表面に被覆された該保護膜に紫外線を照射して硬化する保護膜硬化工程と、該保護膜硬化工程が実施され硬化せしめられた該保護膜の表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程を実施する、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
上記液状樹脂は水溶性樹脂からなり、上記保護膜除去工程は洗浄水を供給する。
この改質層形成工程は、先ず上述した図5に示すレーザー加工装置5のチャックテーブル51上に上記保護テープ貼着工程が実施された半導体ウエーハ2の保護テープPT側を載置する。そして、図示しない吸引手段によってチャックテーブル51上に半導体ウエーハ2を保護テープPTを介して吸着保持する(ウエーハ保持工程)。従って、チャックテーブル51上に保持された半導体ウエーハ2は、裏面2bが上側となる。このようにして、半導体ウエーハ2を吸引保持したチャックテーブル51は、図示しない加工送り手段によって撮像手段53の直下に位置付けられる。
波長 :1064nmのパルスレーザー
繰り返し周波数 :100kHz
平均出力 :0.3W
集光スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :100mm/秒
図8に示す実施形態は、ダイシングテープDTの表面に予め接着フィルム7が貼着された接着フィルム付きのダイシングテープを使用する。即ち、図9の(a)、(b)に示すように環状のフレームFの内側開口部を覆うように外周部が装着されたダイシングテープDTの表面に貼着された接着フィルム7に、半導体ウエーハ2の裏面2bを装着する。このように補強シート付きのダイシングテープを使用する場合には、ダイシングテープDTの表面に貼着された接着フィルム7に半導体ウエーハ2の裏面2bを装着することにより、接着フィルム7が装着された半導体ウエーハ2が環状のフレームFに装着されたダイシングテープDTによって支持される。なお、ダイシングテープDTの表面に予め貼着されている接着フィルム7も、半導体ウエーハ2の裏面全面に確実に装着するために、半導体ウエーハ2より僅かに大きく形成されている。そして、図9の(b)に示すように半導体ウエーハ2の表面2aに被覆された保護膜300の表面に貼着されている保護テープPTを剥離する(保護テープ剥離工程)。なお、図9の(a)、(b)に示す実施形態においては、環状のフレームFに外周部が装着されたダイシングテープDTの表面に貼着された接着フィルム7に半導体ウエーハ2の裏面2bを装着する例を示したが、半導体ウエーハ2の裏面2bにダイシングテープDTに貼着された接着フィルム7を装着するとともにダイシングテープDTの外周部を環状のフレームFに同時に装着してもよい。
21:分割予定ライン
22:デバイス
23:改質層
3:保護膜形成装置
31:スピンナーテーブル
32:樹脂液供給ノズル
300:保護膜
4:紫外線照射器
5:レーザー加工装置
51:レーザー加工装置のチャックテーブル
52:レーザー光線照射手段
522:集光器
6:研削装置
61:研削装置のチャックテーブル
62:研削手段
634:研削ホイール
7:接着フィルム
8:テープ拡張装置
81:フレーム保持手段
82:テープ拡張手段
9:洗浄水供給ノズル
PT:保護テープ
F:環状のフレーム
DT:ダイシングテープ
Claims (3)
- 表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成されているとともに該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハを、分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線を内部に集光点を位置付けて分割予定ラインに沿って照射し、ウエーハの内部に分割予定ラインに沿って改質層を形成する改質層形成工程と、
該改質層形成工程が実施されたウエーハの裏面を研削水を供給しつつ研削して所定の厚みに形成するとともにウエーハを改質層を破断起点として分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割する裏面研削工程と、を含み、
該裏面研削工程を実施する前に、ウエーハの表面に紫外線を照射することにより硬化する液状樹脂を被覆して保護膜を形成する保護膜形成工程と、該保護膜形成工程が実施されウエーハの表面に被覆された該保護膜に紫外線を照射して硬化する保護膜硬化工程と、該保護膜硬化工程が実施され硬化せしめられた該保護膜の表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程を実施する、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該裏面研削工程を実施した後に、個々のデバイスに分割されたウエーハの裏面に接着フィルムを装着するとともにダイシングテープを貼着して保護テープを剥離し、該ダイシングテープを拡張することにより該接着フィルムを個々のデバイスに沿って破断する接着フィルム破断工程と、該接着フィルム破断工程が実施された個々のデバイスの表面に洗浄液を供給して該保護膜を除去する保護膜除去工程を実施する、請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該液状樹脂は水溶性樹脂からなり、該保護膜除去工程は洗浄水を供給する、請求項1又は2記載のウエーハの加工方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018046069A (ja) * | 2016-09-12 | 2018-03-22 | 株式会社ディスコ | デバイスウェーハの加工方法 |
JP2018049904A (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2018195663A (ja) * | 2017-05-16 | 2018-12-06 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP2019106454A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 株式会社ディスコ | 被加工物の分割方法 |
JP2019149518A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
JP2023019318A (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-09 | 日化精工株式会社 | ウェーハ上のデバイスの保護処理方法 |
WO2023058481A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | 日東電工株式会社 | 電子部品装置の製造方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9630927B2 (en) * | 2014-01-17 | 2017-04-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Method and manufacturing system |
JP6821245B2 (ja) * | 2016-10-11 | 2021-01-27 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP6837709B2 (ja) * | 2016-10-14 | 2021-03-03 | 株式会社ディスコ | デバイスウェーハのレーザ加工方法 |
JP6765949B2 (ja) * | 2016-12-12 | 2020-10-07 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP6649308B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2020-02-19 | キオクシア株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2019033134A (ja) * | 2017-08-04 | 2019-02-28 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
JP7027234B2 (ja) * | 2018-04-16 | 2022-03-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP7068028B2 (ja) * | 2018-05-09 | 2022-05-16 | 株式会社ディスコ | ウェーハの分割方法 |
JP7092553B2 (ja) * | 2018-05-21 | 2022-06-28 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP7164411B2 (ja) * | 2018-11-15 | 2022-11-01 | 株式会社ディスコ | 積層体の加工方法 |
JP7164412B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-11-01 | 株式会社ディスコ | 積層体の加工方法 |
JP7453208B2 (ja) * | 2019-02-26 | 2024-03-19 | リンテック株式会社 | 第1保護膜付きワーク加工物の製造方法 |
US20200405125A1 (en) * | 2019-06-27 | 2020-12-31 | Canon U.S.A., Inc. | Manufacture of distal optics |
JP7453013B2 (ja) * | 2020-02-14 | 2024-03-19 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2021174920A (ja) * | 2020-04-28 | 2021-11-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04336448A (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2003188129A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | デバイスウエハのデバイス面保護構造 |
US20050147489A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Tian-An Chen | Wafer supporting system for semiconductor wafers |
JP2005223283A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2005533376A (ja) * | 2002-07-12 | 2005-11-04 | ケテカ、シンガポール、(プロプライエタリー)、リミテッド | ウエハ上に超清浄なボンディングパッドを保つための方法およびウエハ |
JP2007088292A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Fujifilm Corp | 板状部材の切断方法 |
WO2009001732A1 (ja) * | 2007-06-22 | 2008-12-31 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 半導体ウエハ研削方法とそれに用いる樹脂組成物及び保護シート |
JP2009224659A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワークの分割方法 |
JP2012015256A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2013207170A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | デバイスウェーハの分割方法 |
JP2014086550A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2014209523A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3556399B2 (ja) | 1996-07-29 | 2004-08-18 | 株式会社ディスコ | 半導体ウエーハの研磨方法 |
JP3408805B2 (ja) | 2000-09-13 | 2003-05-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 切断起点領域形成方法及び加工対象物切断方法 |
JP2003007648A (ja) | 2001-06-18 | 2003-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハの分割システム |
ATE534142T1 (de) * | 2002-03-12 | 2011-12-15 | Hamamatsu Photonics Kk | Verfahren zum auftrennen eines substrats |
JP2004160493A (ja) | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法 |
JP4471632B2 (ja) | 2003-11-18 | 2010-06-02 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2005223282A (ja) | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2006269897A (ja) | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハのレーザー加工方法 |
US7768141B2 (en) | 2006-02-14 | 2010-08-03 | Lg Innotek Co., Ltd. | Dicing die attachment film and method for packaging semiconductor using same |
JP2008235650A (ja) | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | デバイスの製造方法 |
JP2009043931A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの裏面研削方法 |
JP2009290148A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP5133855B2 (ja) | 2008-11-25 | 2013-01-30 | 株式会社ディスコ | 保護膜の被覆方法 |
JP2010219461A (ja) | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの研磨方法 |
JP5385060B2 (ja) | 2009-09-07 | 2014-01-08 | 株式会社ディスコ | 保護膜被覆方法および保護膜被覆装置 |
JP2012160515A (ja) | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の加工方法 |
JP5839390B2 (ja) | 2011-10-06 | 2016-01-06 | 株式会社ディスコ | アブレーション加工方法 |
JP5988601B2 (ja) | 2012-02-13 | 2016-09-07 | 株式会社ディスコ | 光デバイスウェーハの分割方法 |
JP6029338B2 (ja) | 2012-06-12 | 2016-11-24 | 株式会社ディスコ | 光デバイスの加工方法 |
JP6162018B2 (ja) | 2013-10-15 | 2017-07-12 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2016001677A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-07 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
-
2014
- 2014-12-15 JP JP2014253203A patent/JP2016115800A/ja active Pending
-
2015
- 2015-11-09 TW TW104136847A patent/TW201626447A/zh unknown
- 2015-11-24 SG SG10201509657RA patent/SG10201509657RA/en unknown
- 2015-11-26 KR KR1020150166649A patent/KR20160072775A/ko unknown
- 2015-12-03 US US14/958,268 patent/US9685377B2/en active Active
- 2015-12-09 CN CN201510901141.5A patent/CN105702628A/zh active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04336448A (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2003188129A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | デバイスウエハのデバイス面保護構造 |
JP2005533376A (ja) * | 2002-07-12 | 2005-11-04 | ケテカ、シンガポール、(プロプライエタリー)、リミテッド | ウエハ上に超清浄なボンディングパッドを保つための方法およびウエハ |
US20050147489A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Tian-An Chen | Wafer supporting system for semiconductor wafers |
JP2005223283A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2007088292A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Fujifilm Corp | 板状部材の切断方法 |
WO2009001732A1 (ja) * | 2007-06-22 | 2008-12-31 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 半導体ウエハ研削方法とそれに用いる樹脂組成物及び保護シート |
JP2009224659A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | ワークの分割方法 |
JP2012015256A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2013207170A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | デバイスウェーハの分割方法 |
JP2014086550A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP2014209523A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018046069A (ja) * | 2016-09-12 | 2018-03-22 | 株式会社ディスコ | デバイスウェーハの加工方法 |
JP2018049904A (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2018195663A (ja) * | 2017-05-16 | 2018-12-06 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
JP2019106454A (ja) * | 2017-12-12 | 2019-06-27 | 株式会社ディスコ | 被加工物の分割方法 |
JP7045843B2 (ja) | 2017-12-12 | 2022-04-01 | 株式会社ディスコ | 被加工物の分割方法 |
JP2019149518A (ja) * | 2018-02-28 | 2019-09-05 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
JP7075242B2 (ja) | 2018-02-28 | 2022-05-25 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
JP2023019318A (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-09 | 日化精工株式会社 | ウェーハ上のデバイスの保護処理方法 |
JP7422410B2 (ja) | 2021-07-29 | 2024-01-26 | 日化精工株式会社 | ウェーハ上のデバイスの保護処理方法 |
WO2023058481A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | 日東電工株式会社 | 電子部品装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201626447A (zh) | 2016-07-16 |
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